JPH03155643A - ウェハー識別方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造におけるウェハー識別方法に関す
る。

（従来の技術１ 従来のウェハー識別方法としては、ウェハーの表面にレ
ーザビームを照射しウェハーに識別用の文字を形成し、
ＣＯＤカメラによりその文字を操影し、パターン認識装
置により文字を認識してウェハーの識別を行っていた。

〔発明が解決しようとする課題１ しかし、前述の従来技術では、ウェハーの加工処理が行
なわれるにつれて、ウェハーの表面に膜が付くため認識
が困難となるという課題を有していた。

そこで本発明は従来のこのような課題な解決するために
、ウェハーの加工処理が行われてもウェハーの識別を可
能にする方法を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため本発明のウェハー識別方法は １）ウェハー表面上に形成されたウェハー識別手段によ
り、ウェハーを識別するウェハー識別方法において、前
記ウェハー識別手段が、ウェハー表面に形成された１個
乃至複数個の穴であることを特徴とする。

２）ウェハー識別手段がウェハー表面に形成された１個
乃至複数個の溝であることを特徴とする。

３）ウェハー識別手段がウェハー表面に形成された１個
乃至複数個の黒色パターンであることを特徴とする。

［実　施　例］ 以下に本発明の実施例を図面をもとに説明する。

第１図及びその第１図の断面図を示す第２図において、
ウェハーｌの周辺部に識別用の手段として穴２を設ける
。この識別用の穴２の配置はコード化することにより、
識別のための情報が付与されている。

ウェハーの識別は第３図に示すように、識別用手段と対
応して配置された検出手段、例えば反射型の光センサ−
３ａ　、ｂにより識別用の穴２を読みとる。光センサー
投光部３ａより発せられた光は、穴２により反射角が変
わるため光センサー受光部３ｂに入らなくなる。

以上のようにして、ウェハー上の多穴の有無を検出し、
識別用の穴の配置パターンを検出することにより、コー
ド化された情報を得ることができ、ウェハーの識別が可
能となる。

このようなウェハーに穴を設けるという方法によりウェ
ハーの加工処理が進んでも識別用の穴が変化することな
く確実に安定した識別が可能となる。

また、第４図および第５図に示すようにウェハー１に設
けられた識別手段が穴の代わりに溝４あるいは黒色パタ
ーン５であっても同様である。

〔発明の効果］ 本発明は、以上述べたように、ウェハーの表面上に穴又
は溝又は黒色パターンを設けたという簡単な構造によっ
て、ウェハーの加工処理が行なわれても誤検出がなく、
確実で安定したウェハーの識別を可能にする効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のウェハー識別手段を示す図。 第２図は、本発明のウェハー識別手段としての穴の断面
図。 第３図は、ウェハー識別手段のウェハー識別方法を示す
図。 第４図は、本発明のウェハー識別手段としての溝の断面
図。 第５図は１本発明のウェハー識別手段としての黒色パタ
ーンの説明図。 ５・・・黒色パターン 以上

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハー表面上に形成されたウェハー識別手段に
   より、ウェハーを識別するウェハー識別方法において、
   前記ウェハー識別手段が、ウェハー表面に形成された１
   個乃至複数個の穴であることを特徴とするウェハー識別
   方法。
2. （２）ウェハー識別手段がウェハー表面に形成された１
   個乃至複数個の溝であることを特徴とするウェハー識別
   方法。
3. （３）ウェハー識別手段がウェハー表面に形成された１
   個乃至複数個の黒色パターンであることを特徴とするウ
   ェハー識別方法。