JPH03156231A - 精密洗浄装置およびその換気方法 - Google Patents
精密洗浄装置およびその換気方法Info
- Publication number
- JPH03156231A JPH03156231A JP29513089A JP29513089A JPH03156231A JP H03156231 A JPH03156231 A JP H03156231A JP 29513089 A JP29513089 A JP 29513089A JP 29513089 A JP29513089 A JP 29513089A JP H03156231 A JPH03156231 A JP H03156231A
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- JP
- Japan
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- opening
- cleaning
- filter
- filter device
- air
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、洗浄する雰囲気を清浄に保つために、天井部
分のフィルタユニットから清浄な空気を吹き出すように
した精密洗浄装置の換気方法に関する。
分のフィルタユニットから清浄な空気を吹き出すように
した精密洗浄装置の換気方法に関する。
［従来の技術］
例えばシリコン等の円柱状結晶体を薄く輪切りにした円
板状でＩＣやトランジスタの基板となるウェハを収納し
て運搬するウェハキャリヤを使用後に極めて清浄に洗浄
する精密洗浄装置においては、効果的に洗浄を行うと共
に、２次汚染を防止するために洗浄する雰囲気を清浄に
保つ必要がある。
板状でＩＣやトランジスタの基板となるウェハを収納し
て運搬するウェハキャリヤを使用後に極めて清浄に洗浄
する精密洗浄装置においては、効果的に洗浄を行うと共
に、２次汚染を防止するために洗浄する雰囲気を清浄に
保つ必要がある。
そのため例えば第２図に示す従来の洗浄部ｒＩｔ１０に
おいては、全長りの箱状のケーシング１１の長手方向の
一側に開口部１２を設けると共に、天井部分１３にＨＥ
ＰＡ型フィルタ７とファン８とからなるフィルタユニッ
ト６を設け、矢印りで示すようにファン８が吸込んだ空
気をフィルタ７で正常化して洗浄部１４に吹き付け、矢
印Ｅで示すように開口部１２から流出させて雰囲気を清
浄化するようにしている。
おいては、全長りの箱状のケーシング１１の長手方向の
一側に開口部１２を設けると共に、天井部分１３にＨＥ
ＰＡ型フィルタ７とファン８とからなるフィルタユニッ
ト６を設け、矢印りで示すようにファン８が吸込んだ空
気をフィルタ７で正常化して洗浄部１４に吹き付け、矢
印Ｅで示すように開口部１２から流出させて雰囲気を清
浄化するようにしている。
［発明が解決しようとする課題］
上記装置において、清浄度を維持するため、流れる空気
の流速は、例えば０．３〜０．５ｍが必要とされる。し
たがって、全長りに応じて複数（図示の例では２個）の
フィルタユニット６が必要となる。
の流速は、例えば０．３〜０．５ｍが必要とされる。し
たがって、全長りに応じて複数（図示の例では２個）の
フィルタユニット６が必要となる。
そのため、設備費や運転コストが高くなり、フィルタユ
ニット６の個数を少なくすると、清浄度が低下する。
ニット６の個数を少なくすると、清浄度が低下する。
本発明は可及的小ない送風量で必要な清浄雰囲気が得ら
れる精密洗浄装置の換気方法を提供することを目的とし
ている。
れる精密洗浄装置の換気方法を提供することを目的とし
ている。
し課題を解決するための手段］
本発明による精密洗浄装置の換気方法は、洗浄する雰囲
気を清浄に保つために、天井部分のフィルタユニットか
ら清浄な空気を吹き出すようにした精密洗浄装置におい
て、洗浄対象物の搬入側に開口部を設け、該開口部以外
の部分を略密閉すると共に、搬出側の天井部分に前記フ
ィルタユニットを設け、該フィルタユニットから吹き出
した清浄な空気を前記開口部から流出させることを特徴
としている。
気を清浄に保つために、天井部分のフィルタユニットか
ら清浄な空気を吹き出すようにした精密洗浄装置におい
て、洗浄対象物の搬入側に開口部を設け、該開口部以外
の部分を略密閉すると共に、搬出側の天井部分に前記フ
ィルタユニットを設け、該フィルタユニットから吹き出
した清浄な空気を前記開口部から流出させることを特徴
としている。
上記洗浄装置の搬出側に、カーテン等で覆われた開口部
を形成するのが好ましい。
を形成するのが好ましい。
［作用］
上記のように構成された精密洗浄装置においては、洗浄
時にフィルタユニットを作動すると、ファンで吸込まれ
た空気はフィルタで清浄化され、フィルタ下方の洗浄部
に吹き付けられたのち、上方にフィルタユニットが設け
られていない洗浄部に沿って流れ、搬入側の開口部から
排出され、この清浄な空気の流れで、洗浄部全体の雰囲
気が清浄化される。
時にフィルタユニットを作動すると、ファンで吸込まれ
た空気はフィルタで清浄化され、フィルタ下方の洗浄部
に吹き付けられたのち、上方にフィルタユニットが設け
られていない洗浄部に沿って流れ、搬入側の開口部から
排出され、この清浄な空気の流れで、洗浄部全体の雰囲
気が清浄化される。
［実施例］
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図には本発明を実施する全体を符号１で示す洗浄装
置の一例が示される。
置の一例が示される。
この洗浄装置１のケーシング２は、矢印Ｃで示す搬送方
向に長い長方体の箱状に形成され、その上部には天井部
３が画成され、下部には洗浄部４が設けられている。
向に長い長方体の箱状に形成され、その上部には天井部
３が画成され、下部には洗浄部４が設けられている。
そのケーシング２の図示しない洗浄対象物（例えばウェ
ハキャリヤ）の搬入側には、天井部３と洗浄部４で画成
された開口部５が形成されている。
ハキャリヤ）の搬入側には、天井部３と洗浄部４で画成
された開口部５が形成されている。
そして、天井部３の搬出側には、ＨＥＰＡ型フィルタ７
とファン８とからなるフィルタユニット６が設けられて
いる。なお、ケーシング２の開口部に対向する側には、
カーテン等で覆われた開口部９が形成されており、また
、両開口部５．９以外の部分をもカーテン等で略密閉す
るようにしてもよい。
とファン８とからなるフィルタユニット６が設けられて
いる。なお、ケーシング２の開口部に対向する側には、
カーテン等で覆われた開口部９が形成されており、また
、両開口部５．９以外の部分をもカーテン等で略密閉す
るようにしてもよい。
洗浄に際し、洗浄部４を稼働し、フィルタユニット６を
作動すると、矢印Ａで示すようにファン８で吸込まれた
空気はフィルタ７で清浄化され、フィルタ７下方の洗浄
部４ａに吹付けられたのち、矢印Ｂで示すように上方に
フィルタユニット６が設けられていない開口部５側の洗
浄部４ｂに沿って流れ、開口部５から排出され、清浄な
空気の流れＢにより洗浄部４の全体の雰囲気が、この実
施例では１個のフィルタユニット６により清浄化される
。
作動すると、矢印Ａで示すようにファン８で吸込まれた
空気はフィルタ７で清浄化され、フィルタ７下方の洗浄
部４ａに吹付けられたのち、矢印Ｂで示すように上方に
フィルタユニット６が設けられていない開口部５側の洗
浄部４ｂに沿って流れ、開口部５から排出され、清浄な
空気の流れＢにより洗浄部４の全体の雰囲気が、この実
施例では１個のフィルタユニット６により清浄化される
。
［発明の効果］
本発明は、以上説明したように構成されているので、少
ないフィルタユニットの送風量で必要な清浄雰囲気を得
て、設備費や運転コストを低減することかできる。
ないフィルタユニットの送風量で必要な清浄雰囲気を得
て、設備費や運転コストを低減することかできる。
第１図は本発明を実施する装置の一例を示す斜視図、第
２図は従来装置を示す斜視図である。 １・・・精密洗浄装置 ３・・・天井部４・・・洗浄
部 ５・・・開口部 ６・・・フィルタユニット
７φψ・ＨＥＰＡ型フィルタ ８・・・ファン
Ｂ・・・清浄な空気の流れ
２図は従来装置を示す斜視図である。 １・・・精密洗浄装置 ３・・・天井部４・・・洗浄
部 ５・・・開口部 ６・・・フィルタユニット
７φψ・ＨＥＰＡ型フィルタ ８・・・ファン
Ｂ・・・清浄な空気の流れ
Claims (1)
- 洗浄する雰囲気を清浄に保つために、天井部分のフィル
タユニットから清浄な空気を吹き出すようにした精密洗
浄装置において、洗浄対象物の搬入側に開口部を設け、
該開口部以外の部分を略密閉すると共に、搬出側の天井
部分に前記フィルタユニットを設け、該フィルタユニッ
トから吹き出した清浄な空気を前記開口部から流出させ
ることを特徴とする精密洗浄装置の換気方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295130A JP2654204B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 精密洗浄装置およびその換気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295130A JP2654204B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 精密洗浄装置およびその換気方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03156231A true JPH03156231A (ja) | 1991-07-04 |
| JP2654204B2 JP2654204B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=17816675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1295130A Expired - Fee Related JP2654204B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 精密洗浄装置およびその換気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2654204B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5922095A (en) * | 1997-03-20 | 1999-07-13 | Acoustiflo, Llc | Air handling system for buildings and clean rooms |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6238282U (ja) * | 1985-08-26 | 1987-03-06 | ||
| JPS6238281U (ja) * | 1985-08-26 | 1987-03-06 |
-
1989
- 1989-11-15 JP JP1295130A patent/JP2654204B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6238282U (ja) * | 1985-08-26 | 1987-03-06 | ||
| JPS6238281U (ja) * | 1985-08-26 | 1987-03-06 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5922095A (en) * | 1997-03-20 | 1999-07-13 | Acoustiflo, Llc | Air handling system for buildings and clean rooms |
| US6375719B1 (en) | 1997-03-20 | 2002-04-23 | Acoustiflo, Llc | Methods for air handling in buildings and clean rooms |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2654204B2 (ja) | 1997-09-17 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |