JPH0316205Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0316205Y2 JPH0316205Y2 JP3866885U JP3866885U JPH0316205Y2 JP H0316205 Y2 JPH0316205 Y2 JP H0316205Y2 JP 3866885 U JP3866885 U JP 3866885U JP 3866885 U JP3866885 U JP 3866885U JP H0316205 Y2 JPH0316205 Y2 JP H0316205Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- movement
- image
- rotation
- push button
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、スキヤン・ローテーシヨンを使用し
て像を回転させる機能を備えた走査型電子顕微鏡
やＸ線分析装置などの電子分析装置の試料移動装
置に関するものである。
て像を回転させる機能を備えた走査型電子顕微鏡
やＸ線分析装置などの電子分析装置の試料移動装
置に関するものである。
試料ステージ上の試料に電子線を照射して像を
観察する走査型電子顕微鏡やＸ線分析装置などの
電子分析装置では、像を回転させるスキヤン・ロ
ーテーシヨンが使用される。第３図はスキヤン・
ローテーシヨンを説明するための図である。
CRT上において、通常は第３図ａに示すような
座標軸に従つて試料の像が観察される。ここで、
スキヤン・ローテーシヨンを使用して像を回転さ
せると、45゜回転では第３図ｂに示すようになり、
また90゜回転では第３図ｃに示すようになる。
観察する走査型電子顕微鏡やＸ線分析装置などの
電子分析装置では、像を回転させるスキヤン・ロ
ーテーシヨンが使用される。第３図はスキヤン・
ローテーシヨンを説明するための図である。
CRT上において、通常は第３図ａに示すような
座標軸に従つて試料の像が観察される。ここで、
スキヤン・ローテーシヨンを使用して像を回転さ
せると、45゜回転では第３図ｂに示すようになり、
また90゜回転では第３図ｃに示すようになる。
しかし、従来の試料移動装置では、試料ステー
ジ上の試料を例えばＸ方向に移動させたいとき、
スキヤン・ローテーシヨンを使用して像を回転さ
せ観察していると、その方向が判りにくくなる。
特に、何回もスキヤン・ローテーシヨンをかける
と、Ｘ，Ｙ動がどの方向なのか実際に動かしてみ
ないと判らなくなる。
ジ上の試料を例えばＸ方向に移動させたいとき、
スキヤン・ローテーシヨンを使用して像を回転さ
せ観察していると、その方向が判りにくくなる。
特に、何回もスキヤン・ローテーシヨンをかける
と、Ｘ，Ｙ動がどの方向なのか実際に動かしてみ
ないと判らなくなる。
本考案は、上記の考察に基づくものであつて、
スキヤン・ローテーシヨンをかけていても常に試
料のＸ，Ｙ動方向が容易に判り操作しやすくした
試料移動装置を提供することを目的とするもので
ある。
スキヤン・ローテーシヨンをかけていても常に試
料のＸ，Ｙ動方向が容易に判り操作しやすくした
試料移動装置を提供することを目的とするもので
ある。
そのために本考案の試料移動装置は、試料移動
操作手段の操作により試料を移動し電子線を照射
して像を観察するとともに像を回転させる機能を
備えた電子分析装置における試料移動装置であつ
て、試料移動操作手段に回転機構を備え、観察す
る像を回転させる際、回転機構を駆動して像の回
転角度に合わせて試料移動操作手段も同じ角度回
転するように構成したことを特徴とするものであ
る。
操作手段の操作により試料を移動し電子線を照射
して像を観察するとともに像を回転させる機能を
備えた電子分析装置における試料移動装置であつ
て、試料移動操作手段に回転機構を備え、観察す
る像を回転させる際、回転機構を駆動して像の回
転角度に合わせて試料移動操作手段も同じ角度回
転するように構成したことを特徴とするものであ
る。
〔作用〕
本考案の試料移動装置では、スキヤン・ローテ
ーシヨンをかけると、それによつて回転機構も駆
動され回転する像の回転角度と同じ角度だけ試料
移動操作手段も回転する。従つて、スキヤン・ロ
ーテーシヨンをかけた像と移動操作手段により操
作の移動方向との対応が明確になり、試料のＸ，
Ｙ動方向を的確に判断することができる。
ーシヨンをかけると、それによつて回転機構も駆
動され回転する像の回転角度と同じ角度だけ試料
移動操作手段も回転する。従つて、スキヤン・ロ
ーテーシヨンをかけた像と移動操作手段により操
作の移動方向との対応が明確になり、試料のＸ，
Ｙ動方向を的確に判断することができる。
以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
第１図は本考案の試料移動装置の１実施例構成
を示す図、第２図はスキヤン・ローテーシヨンを
かけた場合の押しボタン・スイツチと像との対応
例を示す図である。図中、１は試料、２はＸ動移
動部、３はＸ動駆動ねじ、４はＸ動ガイド、５と
１０はジヨイント、６はＸ動用モータ、７はＹ動
移動部、８はＹ動駆動ねじ、９はＹ動ガイド、１
１はＹ動用モータ、１２は試料ステージ、１３は
押しボタン・スイツチ、１４はウオームホイル、
１５はウオーム、１６は押しボタン・スイツチ駆
動用モータ、１７はケース、１８はSRTつまみ、
１９はSRT回路、２０はCRTをそれぞれ示して
いる。
を示す図、第２図はスキヤン・ローテーシヨンを
かけた場合の押しボタン・スイツチと像との対応
例を示す図である。図中、１は試料、２はＸ動移
動部、３はＸ動駆動ねじ、４はＸ動ガイド、５と
１０はジヨイント、６はＸ動用モータ、７はＹ動
移動部、８はＹ動駆動ねじ、９はＹ動ガイド、１
１はＹ動用モータ、１２は試料ステージ、１３は
押しボタン・スイツチ、１４はウオームホイル、
１５はウオーム、１６は押しボタン・スイツチ駆
動用モータ、１７はケース、１８はSRTつまみ、
１９はSRT回路、２０はCRTをそれぞれ示して
いる。
第１図において、試料１は、試料ステージ１２
上にあつて、Ｘ動移動部２の移動によりＸ方向に
移動し、Ｙ動移動部７の移動によりＹ方向に移動
する。Ｘ動移動部２は、Ｘ動用モータ６の回転に
伴つてジヨイント５を介してＸ動駆動ねじ３が回
転し、その回転方向により図示左右の方向に移動
する。Ｙ動移動部７は、Ｙ動用モータ１１の回転
に伴つてジヨイント１０を介してＹ動駆動ねじ８
が回転し、その回転方向により図示上下方向に移
動する。押しボタン・スイツチ１３は、Ｘ，Ｙ動
移動を行うときに操作されるスイツチであり、図
示△印のＸの正負方向の押しボタン及びＹの正負
方向の計４個の押しボタンを有し、この押しボタ
ンが操作されると、その操作内容に応じてＸ動用
モータ６又はＹ動用モータ１１が正転又は逆転駆
動される。第１図ａに示す試料ステージ１２の部
分及びケース１７の部分の横断面図を示したのが
第１図ｂである。SRTつまみ１８は、スキヤ
ン・ローテーシヨンをかけるときに操作されるも
のであり、このSRTつまみ１８が操作されると、
SRT回路１９は、その操作内容に応じてCRT２
０の像を回転させると同時にその回転角度と同じ
角度の回転量だけ押しボタン・スイツチ駆動用モ
ータ１６を駆動する。その結果、この押しボタ
ン・スイツチ駆動用モータ１６の回転により、ウ
オーム１５とウオームホイル１４を介して押しボ
タン・スイツチ１３を像と同じ方向に同じ角度だ
け回転させる。第１図ａ図示の状態からSRTつ
まみ１８を操作することによりスキヤン・ローテ
ーシヨンを使つて反時計方向に45゜回転をかけた
ときの押しボタン・スイツチ１３の状態及び
CRT２０の表示状態を示したのが第２図である。
この第２図から明らかなように、CRT２０上の
Ｘ，Ｙ動移動方向と押しボタン・スイツチ１３の
操作指示方向とが一致することになる。
上にあつて、Ｘ動移動部２の移動によりＸ方向に
移動し、Ｙ動移動部７の移動によりＹ方向に移動
する。Ｘ動移動部２は、Ｘ動用モータ６の回転に
伴つてジヨイント５を介してＸ動駆動ねじ３が回
転し、その回転方向により図示左右の方向に移動
する。Ｙ動移動部７は、Ｙ動用モータ１１の回転
に伴つてジヨイント１０を介してＹ動駆動ねじ８
が回転し、その回転方向により図示上下方向に移
動する。押しボタン・スイツチ１３は、Ｘ，Ｙ動
移動を行うときに操作されるスイツチであり、図
示△印のＸの正負方向の押しボタン及びＹの正負
方向の計４個の押しボタンを有し、この押しボタ
ンが操作されると、その操作内容に応じてＸ動用
モータ６又はＹ動用モータ１１が正転又は逆転駆
動される。第１図ａに示す試料ステージ１２の部
分及びケース１７の部分の横断面図を示したのが
第１図ｂである。SRTつまみ１８は、スキヤ
ン・ローテーシヨンをかけるときに操作されるも
のであり、このSRTつまみ１８が操作されると、
SRT回路１９は、その操作内容に応じてCRT２
０の像を回転させると同時にその回転角度と同じ
角度の回転量だけ押しボタン・スイツチ駆動用モ
ータ１６を駆動する。その結果、この押しボタ
ン・スイツチ駆動用モータ１６の回転により、ウ
オーム１５とウオームホイル１４を介して押しボ
タン・スイツチ１３を像と同じ方向に同じ角度だ
け回転させる。第１図ａ図示の状態からSRTつ
まみ１８を操作することによりスキヤン・ローテ
ーシヨンを使つて反時計方向に45゜回転をかけた
ときの押しボタン・スイツチ１３の状態及び
CRT２０の表示状態を示したのが第２図である。
この第２図から明らかなように、CRT２０上の
Ｘ，Ｙ動移動方向と押しボタン・スイツチ１３の
操作指示方向とが一致することになる。
なお、本考案は、上記の実施例に限定されるも
のではなく、例えば第１図図示の押しボタン・ス
イツチ１３を回転させるウオーム１５とウオーム
ホイル１４との組み合わせによる構成に代えて、
平歯車或いはねじ歯車、かさ歯車を使つたり、押
しボタン・スイツチ１３として図示以外のものを
使つたりするなど種々の変形を加えて適用できる
ものであることはいうまでもない。
のではなく、例えば第１図図示の押しボタン・ス
イツチ１３を回転させるウオーム１５とウオーム
ホイル１４との組み合わせによる構成に代えて、
平歯車或いはねじ歯車、かさ歯車を使つたり、押
しボタン・スイツチ１３として図示以外のものを
使つたりするなど種々の変形を加えて適用できる
ものであることはいうまでもない。
以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば、Ｘ，Ｙ動駆動を行うスイツチを像の回転角度
と同じ角度になるように回転させるため、Ｘ，Ｙ
の移動方向が容易に判別でき、操作をしやすくす
ることができる。また、スキヤン・ローテーシヨ
ンの回転角度とＸ，Ｙ動駆動を行うスイツチの回
転角度とを自動的に合わせるため、CRT上のＸ，
Ｙの移動方向とＸ，Ｙ動駆動を行うスイツチが常
に一致し、像と操作との対応がとれて無駄な操作
をなくすことができる。
ば、Ｘ，Ｙ動駆動を行うスイツチを像の回転角度
と同じ角度になるように回転させるため、Ｘ，Ｙ
の移動方向が容易に判別でき、操作をしやすくす
ることができる。また、スキヤン・ローテーシヨ
ンの回転角度とＸ，Ｙ動駆動を行うスイツチの回
転角度とを自動的に合わせるため、CRT上のＸ，
Ｙの移動方向とＸ，Ｙ動駆動を行うスイツチが常
に一致し、像と操作との対応がとれて無駄な操作
をなくすことができる。
第１図は本考案の試料移動装置の１実施例構成
を示す図、第２図はスキヤン・ローテーシヨンを
かけた場合の押しボタン・スイツチと像との対応
例を示す図、第３図はスキヤン・ローテーシヨン
を説明するための図である。 １…試料、２…Ｘ動移動部、３…Ｘ動駆動ね
じ、４…Ｘ動ガイド、５と１０…ジヨイント、６
…Ｘ動用モータ、７…Ｙ動移動部、８…Ｙ動駆動
ねじ、９…Ｙ動ガイド、１１…Ｙ動用モータ、１
２…試料ステージ、１３…押しボタン・スイツ
チ、１４…ウオームホイル、１５…ウオーム、１
６…押しボタン・スイツチ駆動用モータ、１７…
ケース、１８…SRTつまみ、１９…SRT回路、
２０…CRT。
を示す図、第２図はスキヤン・ローテーシヨンを
かけた場合の押しボタン・スイツチと像との対応
例を示す図、第３図はスキヤン・ローテーシヨン
を説明するための図である。 １…試料、２…Ｘ動移動部、３…Ｘ動駆動ね
じ、４…Ｘ動ガイド、５と１０…ジヨイント、６
…Ｘ動用モータ、７…Ｙ動移動部、８…Ｙ動駆動
ねじ、９…Ｙ動ガイド、１１…Ｙ動用モータ、１
２…試料ステージ、１３…押しボタン・スイツ
チ、１４…ウオームホイル、１５…ウオーム、１
６…押しボタン・スイツチ駆動用モータ、１７…
ケース、１８…SRTつまみ、１９…SRT回路、
２０…CRT。
Claims (1)
- 試料移動操作手段の操作により試料を移動し電
子線を照射して像を観察するとともに像を回転さ
せる機能を備えた電子分析装置における試料移動
装置であつて、試料移動操作手段に回転機構を備
え、観察する像を回転させる際、回転機構を駆動
して像の回転角度に合わせて試料移動操作手段も
同じ角度回転するように構成したことを特徴とす
る試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3866885U JPH0316205Y2 (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3866885U JPH0316205Y2 (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61156169U JPS61156169U (ja) | 1986-09-27 |
| JPH0316205Y2 true JPH0316205Y2 (ja) | 1991-04-08 |
Family
ID=30545890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3866885U Expired JPH0316205Y2 (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0316205Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-03-18 JP JP3866885U patent/JPH0316205Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61156169U (ja) | 1986-09-27 |
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