JPH0316231A - 電荷転送装置 - Google Patents
電荷転送装置Info
- Publication number
- JPH0316231A JPH0316231A JP15186189A JP15186189A JPH0316231A JP H0316231 A JPH0316231 A JP H0316231A JP 15186189 A JP15186189 A JP 15186189A JP 15186189 A JP15186189 A JP 15186189A JP H0316231 A JPH0316231 A JP H0316231A
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- Japan
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- charge
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- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電極転送装置に関するものである。
従来の技術
近年、電荷転送装置を組み込んだ固体撮像装置の開発が
進み、固体撮像装置の性能向上が図られてきた。
進み、固体撮像装置の性能向上が図られてきた。
第６図は従来の電荷転送装置の構成図である。
１は転送電極、２は電荷入力部、３は電荷出力部、４は
電荷転送領域、５は転送電極の繰り返しピッチである。
電荷転送領域、５は転送電極の繰り返しピッチである。
電荷入力部２にある電荷は転送電極１に転送パルスφ重
，φ２，φ３，φ４，φ５が加わることで電荷出力部
３へ転送される。
，φ２，φ３，φ４，φ５が加わることで電荷出力部
３へ転送される。
第７図は第６図のＡ−Ａ’間の断面ポテンシャル図であ
る。６は隣りの転送電極の影響を受けないポテンシャル
平坦領域、７は隣りの転送電極の影響を受けるポテンシ
ャル傾斜領域、８は電荷、９は電荷転送領域に電位を与
え電荷を転送する、有効電極領域の長さ、１０は隣りの
電極と重ね合せを行うための領域の長さである。第７図
はφ１くφ２くφ３の電位関係にある場合のポテンシャ
ル図である。φ１の加わる転送電極１の下にある電荷は
、φ！とφ２の加わる転送電極１の境界にあるポテンシ
ャル傾斜領域７により加速されてφ２の加わる転送電極
１の下へ移動する。φ２の加わる転送電極１の下にある
電荷はφ２とφ３の加わる電極１間の境界にあるポテン
シャル傾斜領域７により加速されてφ３の加わる転送電
極１の下へ移動する。以上のようにしてφ１のｊｆｆわ
る転送電極１の下にある電荷はφ３の加わる転送電極へ
と転送される。
る。６は隣りの転送電極の影響を受けないポテンシャル
平坦領域、７は隣りの転送電極の影響を受けるポテンシ
ャル傾斜領域、８は電荷、９は電荷転送領域に電位を与
え電荷を転送する、有効電極領域の長さ、１０は隣りの
電極と重ね合せを行うための領域の長さである。第７図
はφ１くφ２くφ３の電位関係にある場合のポテンシャ
ル図である。φ１の加わる転送電極１の下にある電荷は
、φ！とφ２の加わる転送電極１の境界にあるポテンシ
ャル傾斜領域７により加速されてφ２の加わる転送電極
１の下へ移動する。φ２の加わる転送電極１の下にある
電荷はφ２とφ３の加わる電極１間の境界にあるポテン
シャル傾斜領域７により加速されてφ３の加わる転送電
極１の下へ移動する。以上のようにしてφ１のｊｆｆわ
る転送電極１の下にある電荷はφ３の加わる転送電極へ
と転送される。
第８図は第６図の転送電極１下のポテンシャル平坦領域
６を示す図である。転送電極１下のボテンシャル平坦領
域６が広く、電荷入力部２から注入された電荷８を転送
電極１にパルスを加えて転送し、電荷出力部３へ取り出
す場合，電荷７は何度もポテンシャル平坦領域を通るこ
ととなる。
６を示す図である。転送電極１下のボテンシャル平坦領
域６が広く、電荷入力部２から注入された電荷８を転送
電極１にパルスを加えて転送し、電荷出力部３へ取り出
す場合，電荷７は何度もポテンシャル平坦領域を通るこ
ととなる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記のような構威では、有効電極領域の
長さ９が転送電極の繰り返しビッチ５と等しいのでポテ
ンシャル平想領域６が広くなり、ポテンシャル平坦領域
６に電荷の一部が残ってしまい、電荷結合装置の転送効
率が悪くなってしまう。
長さ９が転送電極の繰り返しビッチ５と等しいのでポテ
ンシャル平想領域６が広くなり、ポテンシャル平坦領域
６に電荷の一部が残ってしまい、電荷結合装置の転送効
率が悪くなってしまう。
本発明は上記欠点に鑑み、転送電極１下のポテンシャル
平坦領域６が狭くなるような、転送電極長の短い、電荷
転送装置を提供するものである。
平坦領域６が狭くなるような、転送電極長の短い、電荷
転送装置を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明の電荷転送装置は複
数本の転送電極を備えた電荷転送装置において、前記転
送電極内の、隣りの電極との重ね合せを行うための領域
以外の領域であり、電荷転送領域に電位を与える有効電
極領域が、凹凸または、前記電荷転送装置の転送方向に
対して９０’以外の角度で傾斜した構造を持つ前記転送
電極を少なくとも、一本以上有する構成となっている。
数本の転送電極を備えた電荷転送装置において、前記転
送電極内の、隣りの電極との重ね合せを行うための領域
以外の領域であり、電荷転送領域に電位を与える有効電
極領域が、凹凸または、前記電荷転送装置の転送方向に
対して９０’以外の角度で傾斜した構造を持つ前記転送
電極を少なくとも、一本以上有する構成となっている。
作用
この構成によって、有効電極領域の長さが短くなるため
転送電極下のポテンシャル平坦領域が狭くなり、ポテン
シャル傾．ｆｌ領域７を広くすることができる。したが
って転送電極下のポテンシャル平坦領域６に残る電荷量
が少なくなり、電荷結合装置の転送効率を改善すること
ができる。また、ポテンシャル傾斜領域７が広くなった
ことから、低電圧の転送パルスで転送電極を駆動できる
。
転送電極下のポテンシャル平坦領域が狭くなり、ポテン
シャル傾．ｆｌ領域７を広くすることができる。したが
って転送電極下のポテンシャル平坦領域６に残る電荷量
が少なくなり、電荷結合装置の転送効率を改善すること
ができる。また、ポテンシャル傾斜領域７が広くなった
ことから、低電圧の転送パルスで転送電極を駆動できる
。
実施例
以下、本発明の第１の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。第１図は本発明の実施例における電荷転送
装置の構威図である。転送電極１が凹凸の構造となって
いる。
ら説明する。第１図は本発明の実施例における電荷転送
装置の構威図である。転送電極１が凹凸の構造となって
いる。
第２図は第１図のＢ−Ｂ’間の断面ポテンシャル図であ
る。Ｂ−Ｂ’間の有効電極領域の長さ９は、第１図の従
来の転送電極繰り返しピッチ５に比べ短くなるため、φ
２の加わる転送電極１の下では、隣りの転送電極の影響
を受け、ポテンシャル傾斜領域７のみとなる。したがっ
て、Ｂ−８’間にはポテンシャル平坦領域６がなく、ポ
テンシャル平坦領域６に取り残される電荷がなくなるた
め電荷結合装置の転送効率を改善することができる。
る。Ｂ−Ｂ’間の有効電極領域の長さ９は、第１図の従
来の転送電極繰り返しピッチ５に比べ短くなるため、φ
２の加わる転送電極１の下では、隣りの転送電極の影響
を受け、ポテンシャル傾斜領域７のみとなる。したがっ
て、Ｂ−８’間にはポテンシャル平坦領域６がなく、ポ
テンシャル平坦領域６に取り残される電荷がなくなるた
め電荷結合装置の転送効率を改善することができる。
第３図は、第１図の転送電極１下のポテンシャル平坦領
域６を示す図である。第６図に比べポテンシャル平坦領
域６が極端に少なくなり、ポテンシャル平坦領域６に取
り残される電荷が減る。したがって電荷入力部２から注
入された電荷８を電荷出力部３へ取り出す場合の転送効
率を大幅に改善することができる。
域６を示す図である。第６図に比べポテンシャル平坦領
域６が極端に少なくなり、ポテンシャル平坦領域６に取
り残される電荷が減る。したがって電荷入力部２から注
入された電荷８を電荷出力部３へ取り出す場合の転送効
率を大幅に改善することができる。
第４図１−１本発明第２の実施例における電荷転送装置
の構成図である。転送電極１が、電荷転送装置の転送方
向に対して４５゜傾斜した構造となっている。
の構成図である。転送電極１が、電荷転送装置の転送方
向に対して４５゜傾斜した構造となっている。
第５図は、第４図の転送電極１下のポテンシャル平坦領
域６を示す図である。有効電極領域の長さ９が転送電極
の繰り返しビッチ５に比べ短くなっているため、第６図
に比べポテンシャル平坦領域６の幅が極端に狭くなり、
ポテンシャル平坦領域６に取り残される電荷が減る。し
たがって電荷入力部２から注入された電荷８を電荷出力
部３へ取り出す場合の転送効率を大幅に改善することが
できる。
域６を示す図である。有効電極領域の長さ９が転送電極
の繰り返しビッチ５に比べ短くなっているため、第６図
に比べポテンシャル平坦領域６の幅が極端に狭くなり、
ポテンシャル平坦領域６に取り残される電荷が減る。し
たがって電荷入力部２から注入された電荷８を電荷出力
部３へ取り出す場合の転送効率を大幅に改善することが
できる。
本発明の第１の実施例及び第２の実施例は、転送電極の
繰り返しビッチ５が等しい５本転送電極の例であるが、
繰り返しが１本の場合でも同様の効果がある。
繰り返しビッチ５が等しい５本転送電極の例であるが、
繰り返しが１本の場合でも同様の効果がある。
また、繰り返しが行われる範囲外の所にある転送電極の
有効電極領域の長さが、繰り返しの行われる範囲の有効
電力領域の長さより短くなっていれば、繰り返しが行わ
れる範囲外の所にある転送電極の領域でも転送効率を改
善することができる。
有効電極領域の長さが、繰り返しの行われる範囲の有効
電力領域の長さより短くなっていれば、繰り返しが行わ
れる範囲外の所にある転送電極の領域でも転送効率を改
善することができる。
第１図は本発明の第１の実施例における電荷転送装置の
構成図、第２図は第１図のＢ−Ｂ’断面図、第３図は第
１図の転送電極下のポテンシャル平坦領域を示す図、第
４図は第２の実施例における電荷転送装置の構成図、第
５図は第４図の転送電極下のポテンシャル平坦領域を示
す図、第６図は従来の電荷転送装置の構成図、第７図は
第６図のＡ−Ａ’間の断面ポテンシャル図、第８図は第
６図の転送電極下のポテンシャル平坦領域を示す図であ
る。 １・・・・・・転送電極、２・・・・・・電荷入力部、
３・・・・・・電荷出力部、４・・・・・・電荷転送領
域、５・・・・・・転送電極の繰り返しピッチ、６・・
・・・・ポテンシャル平坦領域、７・・・・・・ポテン
シャル傾斜領域、８・・・・・・電荷、９・・・・・・
有効転送電極の長さ、１０・・・・・・隣りの電極と重
ね合せを行うための領域。
構成図、第２図は第１図のＢ−Ｂ’断面図、第３図は第
１図の転送電極下のポテンシャル平坦領域を示す図、第
４図は第２の実施例における電荷転送装置の構成図、第
５図は第４図の転送電極下のポテンシャル平坦領域を示
す図、第６図は従来の電荷転送装置の構成図、第７図は
第６図のＡ−Ａ’間の断面ポテンシャル図、第８図は第
６図の転送電極下のポテンシャル平坦領域を示す図であ
る。 １・・・・・・転送電極、２・・・・・・電荷入力部、
３・・・・・・電荷出力部、４・・・・・・電荷転送領
域、５・・・・・・転送電極の繰り返しピッチ、６・・
・・・・ポテンシャル平坦領域、７・・・・・・ポテン
シャル傾斜領域、８・・・・・・電荷、９・・・・・・
有効転送電極の長さ、１０・・・・・・隣りの電極と重
ね合せを行うための領域。
Claims (5)
- （１）複数本の転送電極を備え前記転送電極内の隣りの
電極と重ね合せを行うための領域以外で、電荷転送領域
に電位を与える有効電極領域が、凹凸または前記電荷転
送装置の転送方向に対して９０゜以外の角度で傾斜した
構造を持つ前記転送電極を、少なくとも一本以上有する
ことを特徴とする電荷転送装置。 - （２）電荷転送装置の転送方向に対して、転送電極Ｎ本
を用いて長さＬの周期で前記転送電極をＭ回繰り返す範
囲において、前記転送電極内の隣りの電極と重ね合せを
行うための領域以外で、電荷転送領域に電位を与える有
効電極領域の最短の長さが、Ｌ／Ｎよりも短い構造を各
々の前記転送電極が有することを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の電荷転送装置。 - （３）電荷転送装置の転送方向に対して、転送電極Ｎ本
を用いて長さＬの周期で前記転送電極をＭ回繰り返す範
囲において、前記転送電極内の隣りの電極と重ね合せを
行うための領域以外で、電荷転送領域に電位を与える有
効電極領域の電荷入力側の端のどの点から測定しても、
電荷出力側への最短距離が、Ｌ／Ｎ以下の構造を、各々
の前記転送電極が有することを特徴とする特許請求範囲
の第１項記載の電荷転送装置。 - （４）電荷転送装置の転送方向に対して、転送電極Ｎ本
を用いて長さＬの周期で前記転送電極をＭ回繰り返す範
囲以外の範囲の前記転送電極において、前記転送電極内
の隣りの電極と重ね合せを行うための領域以外で、電荷
転送領域に電位を与える有効電極領域の最短の長さがＬ
／Ｎよりも短い構造を各々の前記転送電極が有すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電荷転送装置
。 - （５）電荷転送装置の転送方向に対して、転送電極Ｎ本
を用いて長さＬの周期で前記転送電極をＭ回繰り返す範
囲以外の範囲の前記転送電極において、前記転送電極内
の隣りの電極と重ね合せを行うための領域以外で、電荷
転送領域に電位を与える有効電極領域の電荷入力側の端
のどの点から測定しても、前記有効電極領域の電荷出力
側への最短距離がＬ／Ｎ以下の構造を各々の前記転送電
極が有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の電荷転送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15186189A JPH0316231A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 電荷転送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15186189A JPH0316231A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 電荷転送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316231A true JPH0316231A (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=15527846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15186189A Pending JPH0316231A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 電荷転送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0316231A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH046839A (ja) * | 1990-04-25 | 1992-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | 電荷転送素子 |
| JP2008288373A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | Iwate Toshiba Electronics Co Ltd | 固体撮像装置 |
| WO2010035367A1 (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-01 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置およびその駆動方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60257574A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-19 | Matsushita Electronics Corp | 電荷転送装置 |
| JPH01266763A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-24 | Nec Corp | 電荷転送装置 |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15186189A patent/JPH0316231A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60257574A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-19 | Matsushita Electronics Corp | 電荷転送装置 |
| JPH01266763A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-24 | Nec Corp | 電荷転送装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH046839A (ja) * | 1990-04-25 | 1992-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | 電荷転送素子 |
| JP2008288373A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | Iwate Toshiba Electronics Co Ltd | 固体撮像装置 |
| WO2010035367A1 (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-01 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置およびその駆動方法 |
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