JPH03169559A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JPH03169559A JPH03169559A JP30820189A JP30820189A JPH03169559A JP H03169559 A JPH03169559 A JP H03169559A JP 30820189 A JP30820189 A JP 30820189A JP 30820189 A JP30820189 A JP 30820189A JP H03169559 A JPH03169559 A JP H03169559A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 claims description 5
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 32
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、インク滴を飛翔させて記録9某体上を,画像
を形成するインクジェットヘッドの製造方法に関するも
のである. 〔従来の技術〕 プラスチック基板でインクジェットヘッドのノズルに使
用できる程度の極小径穴を開けることは、射出成形法で
は不可能なため、従来は予め穴開けされた金属ノズル板
を基板に接着することによってインクジェットヘッドを
製造していた。
を形成するインクジェットヘッドの製造方法に関するも
のである. 〔従来の技術〕 プラスチック基板でインクジェットヘッドのノズルに使
用できる程度の極小径穴を開けることは、射出成形法で
は不可能なため、従来は予め穴開けされた金属ノズル板
を基板に接着することによってインクジェットヘッドを
製造していた。
しかしながら、上述の方法ではノズル板と基板との間で
位置ずれが生じ、また接着剤によるノズルの目づまりが
生じてインク滴の飛翔を著しく悪化させるという問題が
あった. 〔課題を解決するための手段〕 このような問題を解決するために本発明の方法では、高
分子樹脂を基材とするプラスチック製ヘッド基板にプラ
スチック製あるいは金属製ノズルプレートを接合した後
、前記ノズルプレートに対し、レーザあるいはドリルで
前記ヘッド基板の流路に連通ずるノズル穴を加工するよ
うにした.〔作用〕 ノズルプレートを接着した後、ノズルの穴開け加工を化
す事により、ノズルプレートと基板の位置ずれによるイ
ンクの飛翔不良と、接着剤によるノズル穴づまりが防止
される. 〔実施例〕 以下に本発明方法の実施例にっレ\て図而を参照して説
明する。
位置ずれが生じ、また接着剤によるノズルの目づまりが
生じてインク滴の飛翔を著しく悪化させるという問題が
あった. 〔課題を解決するための手段〕 このような問題を解決するために本発明の方法では、高
分子樹脂を基材とするプラスチック製ヘッド基板にプラ
スチック製あるいは金属製ノズルプレートを接合した後
、前記ノズルプレートに対し、レーザあるいはドリルで
前記ヘッド基板の流路に連通ずるノズル穴を加工するよ
うにした.〔作用〕 ノズルプレートを接着した後、ノズルの穴開け加工を化
す事により、ノズルプレートと基板の位置ずれによるイ
ンクの飛翔不良と、接着剤によるノズル穴づまりが防止
される. 〔実施例〕 以下に本発明方法の実施例にっレ\て図而を参照して説
明する。
第1図は特許請求の範囲(1)に記載した発明に関する
第l実施例の説明図である。本実施例では、まず射出成
形により、流路3が複数成形されている、ポリサルフォ
ン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート等の高
分子樹脂を基材としたプラスチック製ヘッド基板1を成
形する。また、φ50〜φ60μmのノズル加工用穴4
aを列状に配したニッケル製プレート4を電紡しておく
.その後、材質は特に限定しないプラスチック製ノズル
プレート2を接着剤7でヘッド基板1の流路3のない側
に接着する(第1図(a))。次いで、ヘッド基板1に
接着したプラスチック製ノズルブレート2の上にニッケ
ル製プレート4を密着させ、レーザ光(例えば、エキシ
マレーザー)6により、ヘッド基板1に連通ずるように
プラスチック製ノズルプレート2および接着層7にノズ
ル穴3aを開ける(第1図(b))。なお、ニッケル製
プレート4はノズルプレート位置決め用ダボ5により位
置決めする.ノズル穴3aを開けた後、流路3を洗浄し
、ヘッド基板1と同材質の振動板8をノズル前面と反対
側に接合する(第1図(C))。
第l実施例の説明図である。本実施例では、まず射出成
形により、流路3が複数成形されている、ポリサルフォ
ン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート等の高
分子樹脂を基材としたプラスチック製ヘッド基板1を成
形する。また、φ50〜φ60μmのノズル加工用穴4
aを列状に配したニッケル製プレート4を電紡しておく
.その後、材質は特に限定しないプラスチック製ノズル
プレート2を接着剤7でヘッド基板1の流路3のない側
に接着する(第1図(a))。次いで、ヘッド基板1に
接着したプラスチック製ノズルブレート2の上にニッケ
ル製プレート4を密着させ、レーザ光(例えば、エキシ
マレーザー)6により、ヘッド基板1に連通ずるように
プラスチック製ノズルプレート2および接着層7にノズ
ル穴3aを開ける(第1図(b))。なお、ニッケル製
プレート4はノズルプレート位置決め用ダボ5により位
置決めする.ノズル穴3aを開けた後、流路3を洗浄し
、ヘッド基板1と同材質の振動板8をノズル前面と反対
側に接合する(第1図(C))。
第2図は特許請求の範囲(1〉に記載した発明に関する
第2実施例の説明図である.前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出或形し、前記ニッケル製プレート4を用意
する.その後、ヘッド基板1と同材質のプラスチック振
動板8を、ヘッド基板1の流路3のある側の面に溶着す
る(第2図(a))。次にプラスチック製ノズルプレー
ト2を接着剤7でヘッド基板1に接着する。ヘッド基板
1に接着したプラスチック製ノズルプレート2の上にニ
ッケル製プレート4を密着させ、レーサ光(例えば、エ
キシマレーザー)6によりヘッド基板1の流路3に連通
するようにプラスチック製ノズルプレート2、及び接着
層7にノズル穴3aを開ける(第2図(b)(c))。
第2実施例の説明図である.前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出或形し、前記ニッケル製プレート4を用意
する.その後、ヘッド基板1と同材質のプラスチック振
動板8を、ヘッド基板1の流路3のある側の面に溶着す
る(第2図(a))。次にプラスチック製ノズルプレー
ト2を接着剤7でヘッド基板1に接着する。ヘッド基板
1に接着したプラスチック製ノズルプレート2の上にニ
ッケル製プレート4を密着させ、レーサ光(例えば、エ
キシマレーザー)6によりヘッド基板1の流路3に連通
するようにプラスチック製ノズルプレート2、及び接着
層7にノズル穴3aを開ける(第2図(b)(c))。
なお、ニッケル製プレート4は、ノズルプレート位置決
め用ダボ5により位置決めする。
め用ダボ5により位置決めする。
第3図は特許請求の範囲(1)に記載した発明に関する
第3実施例の説明図である。前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出或形し、前記ニッケル製プレート4を用意
する. その後、ヘッド基板1と同材質のプラスチック製ノズル
プレート12をヘッド基板1の流路3側と反対側に溶着
する(第3図(a))。ヘッド基板1に溶着したプラス
チック製ノズルプレート12の上にニッケル製プレート
4を密着させ、レーザ光(例えば、エキシマレーザー)
6によりヘッド基板1の流路に連通するようにプラスチ
ック製ノズルプレートl2にノズル穴3aを開ける〈第
3図(b)〉。なお、ニッケル製プレート4はノズルプ
レート位置決め用ダボ5により位置決めする。ノズル穴
3aを開けた後、ヘッド基板1と同材質の振動板8を流
路3のある側に溶着する(第3図(c)). 第4図は特許請求の範囲(1)に記載した発明に関する
第4実施例の説明図である.前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出或形し、前記ニッケル製プレート4を用意
する.その後、ヘッド基板1と同材質のプラスチック振
動板8を、ヘッド基板1の流路3のある側の面に溶着す
る(第4図(a)).次に、ヘッド基板1と同材質のプ
ラスチック製ノズルプレート12を溶剤でヘッド基板1
に溶着する.ヘッド基板1に溶着したプラスチック製ノ
ズルプレート12の上にニッケル製プレート4を密着さ
せ、レーザ光(例えば、エキシマレーザー)6によりヘ
ッド基板1の流路3に連通するようにプラスチック製ノ
ズルプレート12にノズル穴3aを開ける(第4図(b
)(c)). なお、ニッケル製プレート4はノズル
プレート位置決め用ダボ5により位置決めする. 第5図は特許請求の範囲(2)に記載した発明に関する
第1実施例の説明図である。前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出成形し、前記ニッケル製プレート4をヘッ
ド基板1の流路3のない側に接着剤7により接着する.
次いでニッケル製プレート4の列状の穴4aを目標にし
て、ニッケル製プレート4と接着層7にノズル穴開け加
工を径φ60μm〜φ70μmのドリル9で施す(第5
図(a)(b)). その後流路を洗浄し、ヘッド基
板■と同材質のプラスチック振動板8をヘッド基板1の
流路3のある側の面に溶着する(第5図(C))。
第3実施例の説明図である。前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出或形し、前記ニッケル製プレート4を用意
する. その後、ヘッド基板1と同材質のプラスチック製ノズル
プレート12をヘッド基板1の流路3側と反対側に溶着
する(第3図(a))。ヘッド基板1に溶着したプラス
チック製ノズルプレート12の上にニッケル製プレート
4を密着させ、レーザ光(例えば、エキシマレーザー)
6によりヘッド基板1の流路に連通するようにプラスチ
ック製ノズルプレートl2にノズル穴3aを開ける〈第
3図(b)〉。なお、ニッケル製プレート4はノズルプ
レート位置決め用ダボ5により位置決めする。ノズル穴
3aを開けた後、ヘッド基板1と同材質の振動板8を流
路3のある側に溶着する(第3図(c)). 第4図は特許請求の範囲(1)に記載した発明に関する
第4実施例の説明図である.前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出或形し、前記ニッケル製プレート4を用意
する.その後、ヘッド基板1と同材質のプラスチック振
動板8を、ヘッド基板1の流路3のある側の面に溶着す
る(第4図(a)).次に、ヘッド基板1と同材質のプ
ラスチック製ノズルプレート12を溶剤でヘッド基板1
に溶着する.ヘッド基板1に溶着したプラスチック製ノ
ズルプレート12の上にニッケル製プレート4を密着さ
せ、レーザ光(例えば、エキシマレーザー)6によりヘ
ッド基板1の流路3に連通するようにプラスチック製ノ
ズルプレート12にノズル穴3aを開ける(第4図(b
)(c)). なお、ニッケル製プレート4はノズル
プレート位置決め用ダボ5により位置決めする. 第5図は特許請求の範囲(2)に記載した発明に関する
第1実施例の説明図である。前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出成形し、前記ニッケル製プレート4をヘッ
ド基板1の流路3のない側に接着剤7により接着する.
次いでニッケル製プレート4の列状の穴4aを目標にし
て、ニッケル製プレート4と接着層7にノズル穴開け加
工を径φ60μm〜φ70μmのドリル9で施す(第5
図(a)(b)). その後流路を洗浄し、ヘッド基
板■と同材質のプラスチック振動板8をヘッド基板1の
流路3のある側の面に溶着する(第5図(C))。
第6図は特許請求の範囲(2〉に記載した発明に関する
第2実施例の説明図である。前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出成形し、ニッケル、ステンレス等の材質の
穴開けされていない金属製プレート14を、ヘッド基板
1の流路3のない側に接着剤7により接着する。次いで
、前記金B製プレート14と接着M7にノズル穴開け加
工を径φ60μm〜φ70μmのドリル9で施す(第6
図(a)(b)). その後、流路を洗浄し、ヘッド
基板1と同材質のプラスチック振動板8を、ヘッド基仮
1の流路3を覆う面に溶着する(第6図(c)). 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明においては、高分子樹脂を基
材とするプラスチック製ヘッド基板にプラスチック製あ
るいは金属製ノズルプレートを接合した後、レーザある
いはドリルによりノズル六開けをする事により、高精度
の穴を開けることが可能となり、またノズル穴が接着剤
で詰る恐れもなくなる.
第2実施例の説明図である。前記プラスチック製ヘッド
基板1を射出成形し、ニッケル、ステンレス等の材質の
穴開けされていない金属製プレート14を、ヘッド基板
1の流路3のない側に接着剤7により接着する。次いで
、前記金B製プレート14と接着M7にノズル穴開け加
工を径φ60μm〜φ70μmのドリル9で施す(第6
図(a)(b)). その後、流路を洗浄し、ヘッド
基板1と同材質のプラスチック振動板8を、ヘッド基仮
1の流路3を覆う面に溶着する(第6図(c)). 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明においては、高分子樹脂を基
材とするプラスチック製ヘッド基板にプラスチック製あ
るいは金属製ノズルプレートを接合した後、レーザある
いはドリルによりノズル六開けをする事により、高精度
の穴を開けることが可能となり、またノズル穴が接着剤
で詰る恐れもなくなる.
第1図(a)(b)(c)は本発明のレーザ加工による
第1実施例の説明図、第2図(a)(b)(C)は本発
明のレーザ加工による第2実施例の説明図、第3図(a
)(b)(c)は本発明のレーザ加工による第3実施例
の説明図、第4図(a)(b)(c)は本発明のレーザ
加工による第4実施例の説明図、第5図(a)(b)(
c)は本発明のドリル加工による第1実施例の説明図、
第6図(a)(b)(C)は本発明のドリル加工による
第2実施例の説明図である。 1・・・ヘッド基板 2・・・プラスチック製ノズルプレート3・・・流路 3a・・・ノズル穴 4・・・ニッケル製穴開きプレート 5・・・位置決め用ダボ 6・・・レーザ光 7・・・接着層 8・・・プラスチック製振動板 l2・・・ヘッド基板1と同材質のプラスチック製ノズ
ルプレート 14・・・金属製ノズルプレート 以 上
第1実施例の説明図、第2図(a)(b)(C)は本発
明のレーザ加工による第2実施例の説明図、第3図(a
)(b)(c)は本発明のレーザ加工による第3実施例
の説明図、第4図(a)(b)(c)は本発明のレーザ
加工による第4実施例の説明図、第5図(a)(b)(
c)は本発明のドリル加工による第1実施例の説明図、
第6図(a)(b)(C)は本発明のドリル加工による
第2実施例の説明図である。 1・・・ヘッド基板 2・・・プラスチック製ノズルプレート3・・・流路 3a・・・ノズル穴 4・・・ニッケル製穴開きプレート 5・・・位置決め用ダボ 6・・・レーザ光 7・・・接着層 8・・・プラスチック製振動板 l2・・・ヘッド基板1と同材質のプラスチック製ノズ
ルプレート 14・・・金属製ノズルプレート 以 上
Claims (2)
- (1)高分子樹脂を基材とするプラスチック製ヘッド基
板にプラスチック製ノズルプレートを接合した後、前記
プラスチック製ノズルプレートに対し、レーザで前記ヘ
ッド基板の流路に連通するノズル穴を加工する事を特徴
とするインクジェットヘッドの製造方法。 - (2)高分子樹脂を基材とするプラスチック製ヘッド基
板に金属製ノズルプレートを接合した後、前記金属製ノ
ズルプレートに対し、ドリルで前記ヘッド基板の流路に
連通するノズル穴を加工する事を特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30820189A JPH03169559A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30820189A JPH03169559A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03169559A true JPH03169559A (ja) | 1991-07-23 |
Family
ID=17978137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30820189A Pending JPH03169559A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03169559A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0885212A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッドのノズルプレート及びその製造方法 |
| JPH08503176A (ja) * | 1992-11-12 | 1996-04-09 | ケトーネン,ラウリ,カレルボ | 伐木装置の切断フランジ内のカラーマーキング装置 |
| JPH08207291A (ja) * | 1994-07-14 | 1996-08-13 | Hitachi Koki Co Ltd | インク噴射記録ヘッドの製造方法および記録装置 |
| EP0782923A4 (en) * | 1995-07-14 | 1997-10-22 | Seiko Epson Corp | Laminated head for ink jet recording, production method thereof, and printer equipped with the recording head |
| US5948290A (en) * | 1992-04-21 | 1999-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of fabricating an ink jet recording head |
| US6158843A (en) * | 1997-03-28 | 2000-12-12 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printer nozzle plates with ink filtering projections |
| US6183064B1 (en) | 1995-08-28 | 2001-02-06 | Lexmark International, Inc. | Method for singulating and attaching nozzle plates to printheads |
| JP2008542076A (ja) * | 2005-05-28 | 2008-11-27 | ザール テクノロジー リミテッド | プリントヘッド組立体の不働体化及びその構成部材 |
| JP2017154179A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | ゼロックス コーポレイションXerox Corporation | 支持されていない層に開口をアブレーションする方法 |
-
1989
- 1989-11-28 JP JP30820189A patent/JPH03169559A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6158847A (en) * | 1995-07-14 | 2000-12-12 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink-jet recording head, a process for production thereof and a printer equipped with the recording head |
| EP0782923A4 (en) * | 1995-07-14 | 1997-10-22 | Seiko Epson Corp | Laminated head for ink jet recording, production method thereof, and printer equipped with the recording head |
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| JP2017154179A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | ゼロックス コーポレイションXerox Corporation | 支持されていない層に開口をアブレーションする方法 |
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