JPH0316971B2 - - Google Patents
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- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Description
本発明は極薄重合体膜の製造法に関する。さら
に詳しくは混合気体に対し高透過性を有する極薄
重合体膜の製造法に関する。 本発明者らはさきに1−モノアルキルジメチル
シリルプロピン重合体がより高透過性および実用
的な選択性を有する気体透過性材料であることを
見出し、またこの重合体の成膜の際に用いる溶剤
として芳香族炭化水素、脂環式炭化水素およびハ
ロゲン化炭化水素が使用できることを提案してい
る(特願昭58−29786号明細書)が、これらの溶
剤は極薄膜(たとえば1μ以下)を得るには不適
当であつた。 本発明者らは容易に極薄膜が得られる方法につ
いて鋭意検討した結果、特定の溶剤の使用により
上記目的が達せられることを見出し本発明に到達
した。 すなわち本発明一般式 (式中、RはC1-4の直鎖または分岐のアルキル
基である)で示される繰返し単位を有する1−モ
ノアルキルジメチルシリルプロピン重合体の脂肪
族炭化水素溶液を水面上に展開して該重合体の極
薄膜を形成させることを特徴とする極薄重合体膜
の製造法である。 一般式(1)においてR1のC1〜4の直鎖状または分
岐状のアルキル基としては直鎖アルキル基たとえ
ばメチル、エチル、プロピル、ブチル基など;分
岐状のアルキル基たとえばイソブチル基、ターシ
ヤリーブチル基などがあげられる。 一般式(1)で示される繰返し単位を有する重合体
を得るのに用いられる1−モノアルキルジメチル
シリルプロピンとしては1−トリメチルシリルプ
ロピン、1−モノエチルジメチルシリルプロピ
ン、1−モノ−n−プロピルジメチルシリルプロ
ピン、1−モノ−n−ブチルジメチルシリルプロ
ピンなどがあげられる。これらのうちで好ましい
ものは1−トリメチルシリルプロピンである。 1−トリメチルシリルプロピンは市販のモノマ
ー(米国のペトラーク社製品、チツソ社SP開発
部製品T3728)を使用することができる。この重
合体を得る方法としては上記をV族遷移金属であ
るニオブ(Nb)、タンタル(Ta)に基ずく触媒
(たとえばNbCl5,TaCl5,NbBr5,TaBr5)の
存在下、また溶媒(ベンゼン、トルエン、キシレ
ンなどの芳香族炭化水素、シクロヘキセンなどの
脂環式炭化水素、1,2−ジクロエタン、4塩化
炭素などの塩素系溶剤など)の存在下、通常30℃
〜100℃で12〜36時間重合することにより得るこ
とができる。また、特願昭58−84626号明細書に
記載の方法によつても得ることができる。 得られた重合体は白色繊維状あるいは粉末状の
ポリマーである。その数平均分子量は光散乱法で
通常10000以上、好ましくは10万以上である。 本発明において1−モノアルキルジメチルシリ
ルプロピン重合体は必要により他の重合体を併用
することができる。他の重合体としては1−アル
キン重合体(ターシヤリーブチルアセチレン、ネ
オペンチルアセチレン、ターシヤリーペンチルア
セチレンなどの重合体、好ましくはターシヤリー
ブチルアセチレン重合体)、ビニルオルガノシラ
ン重合体(ビニルトリメチルシラン、ビニルトリ
エチルシラン、ビニルトリプロピルシランなどの
重合体、好ましくはビニルトリメチルシラン重合
体)、ポリオルガノシロキサン(ジメチルシロキ
サン、ポリメチルフエニルシロキサン、ポリジフ
エニルシロキサンなど)、セルロース系重合体
(エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロー
ス、トリアセチルセルロースなど、好ましくはエ
チルセルロース)、α−オレフイン系重合体(4
−メチルペンテン−1の重合体など)、アルキル
スルホン重合体(α−オレフインとSO2の共重合
体、好ましくはアルキル基が炭素数として10〜20
の長鎖アルキルスルホンの重合体など)、第3級
アミン含有重合体(ビニルピリジン重合体、N,
N−ジエチルアミノエチルアクリレート重合体、
N,N−ジメチルアミノスチレン重合体など、好
ましくはビニルピリジン重合体)などがあげられ
る。 モノアルキルジメチルシリルプロピン重合体と
第2成分(他の重合体)を併用する場合、モノア
ルキルジメチルシリルプロピン重合体の含量は通
常50重量%以上好ましくは70重量%以上である。 本発明における脂肪族炭化水素溶液の調製に用
いられる脂肪族炭化水素系溶剤としては沸点が通
常30〜99℃、好ましくは35〜70℃の直鎖または分
岐状の飽和または不飽和の脂肪族炭化水素たとえ
ばn−ペンタン、n−ヘキサン、イソヘキサン、
n−ヘプタン、nオクタン、イソオクタン、1−
ヘキサン、1−ヘプテン、石油エーテルなどがあ
げられる。これらのうちで好ましいものはn−ヘ
キサン、および石油エーテルである。特に好まし
いものは石油エーテルである。この脂肪族炭化水
素系溶剤には他の溶剤たとえば脂環式炭化水素系
溶剤(シクロヘキサン、シクロヘキセン、メチル
シクロヘキサン、エチルシクロヘキサンなど、好
ましくはシクロヘキサン)、芳香族炭化水素系溶
剤(ベンゼン、トルエン、o,m、またはp−キ
シレン、スチレン、エチルベンゼン、ナフタリン
など好ましくはベンゼンおよびトルエン)、ハロ
ゲン化炭化水素系溶剤(4塩化炭素、1,2,3
−トリクロロプロパン、トリクロロエチレン、ク
ロロホルム、クロルベンゼン、クロロエチルベン
ゼン、など好ましくは1,2,3−トリクロロプ
ロパン)およびこれらの2種以上を併用しうる。
他の溶剤と併用する場合、脂肪族炭化水素の全溶
剤中の含量は通常50重量%以上、好ましくは70重
量%以上である。 これらの溶剤には水面膜の延展性を改良するた
めに添加物たとえばアルコール類、フエノール
類、ケトン類、アルデヒド類、アミン類およびこ
れらの2種以上を添加しても良い。これらの添加
物の量は溶剤の通常10重量%以下である。 本発明における溶液中の1−モノアルキルジメ
チルシリルプロピン重合体および必要により他の
重合体の濃度は通常0.001〜1.0重量%好ましくは
0.01〜0.5重量%である。濃度が0.001重量%未満
では水面上に展開する薄膜に欠陥部分が生じやす
くピンホールを生成する。また濃度が1重量%よ
り大になると、重合体溶液の粘度が高くなり均一
に薄膜状に展開しにくい。 重合体溶液を水面上に展開する方法としては該
溶液を水面に添加ないし滴下する方法があげられ
る。重合体溶液を水面に添加しない滴下するとた
だちに水面上に拡がり極薄膜が形成される。 重合体の脂肪族炭化水素溶液を水面上に展開し
て重合体の極薄膜を形成させるに際し、あらかじ
め重合体溶液の温度および水の温度を一定の温度
範囲に保持しておくのが好ましい。重合体溶液の
温度は好ましくは20〜50℃でありこの温度が20℃
より低いと重合体溶液の粘度があがり薄膜状に拡
がりにくい。重合体溶液の温度が50℃より高くな
ると溶剤が揮発しやすく、水面上に展開したとき
しわになりやすい。一方水の温度は好ましくは5
〜30℃とくに好ましくは10〜25℃である。この温
度が5℃より低い場合には重合体溶液は粘度が上
昇し、薄膜状に拡がりにくくまた、この温度が30
℃より高い場合には、溶剤が蒸発しやすくなり、
水面上に滴下された重合体溶液は充分に自主的に
拡がり難い。 本発明において、1−モノアルキルジメチルシ
リルプロピン重合体(A)と他の重合体(B)を併用して
極薄膜を得る場合、その方法としては(1)2成分の
混合物の溶液から本発明と同様の方法で製膜する
ことができる。水面上に流延し乾燥して形成され
た膜の膜厚は用いる重合体の分子量および重合体
溶液の濃度により種々変えることができるが、通
常1μ以下(たとえば0.01〜1μ)である。分子量が
大きい重合体を低濃度で用いることにより容易に
0.1μ程度の極薄膜を作成することができる。ま
た、高濃度の溶液を用いて上記よりも厚い膜を形
成することもできる。 本発明によつて得られる極薄膜はそれ自体で自
立性が少いので気体分離膜用に用いる場合には支
持体が通常必要である。この支持体としては、多
孔質材たとえば和紙、不織布、合成紙、紙、
布、セラミツク多孔体、金属多孔体、精密過
膜、限外過膜などがあげられる。これらの支持
体と複合化することにより気体分離用膜として充
分に用いられる。複合化の方法は公知の方法でよ
くたとえば水面上で形成された膜を支持体上で加
圧密着させたり、すくい上げたり、支持体を通し
て吸引密着させたりして支持体と複合化させるこ
とができる。これらの支持体と膜の間に接着剤な
どを存在させて支持することもできる。さらに支
持体上に膜を支持せしめたものを加熱処理しても
よい。 本発明は極薄重合体膜が容易に得られる方法で
ある。この極薄膜は酸素透過係数が極めてすぐれ
ており、その酸素透過係数は通常10-2〜10-4(CC
(STP)/cm2,sec,cmHg)程度である。また酸
素と窒素との透過性との比は通常1.5〜3.0の範囲
にある。以上からこの極薄膜は現在までに知られ
ている酸素富化膜として画期的に秀れており、実
用化に際して十分満足な性能を示すものである。
また他の重合体を併用することにより分離係数を
高めることができる。 本発明の方法により得られた極薄膜は気体分離
膜として有用であり、空気から酸素富化空気を製
造する装置に組み込んで、エンジン、ボイラー、
暖房器具等の燃焼効率の向上のため用いることが
できる。また、エンジンの燃焼効率を上げるター
ボチヤージアー代替分野、1000℃以上の高温にな
る加熱炉、焼成炉、ガラス溶解炉に用い30〜50%
の省エネが期待される。さらに清浄な酸素富化空
気として、未熟児の保育箱、呼吸器疾患患者の治
療器としてあるいは人工肺、人工えら、コンタク
トレンズとして利用することができる。 以下、実施例により実施例をさらに説明するが
本発明はこれに限定されるものではない。 実施例 1〜10 1−トリメチルシリルプロピン重合体(以下
PMSPという。)。(PMSPの極限粘度はトルエン
30℃において6.9である。)を用いPMSP単独また
は他の重合体を混合して、表1に示す脂肪族炭化
水素および必要により他の溶剤に溶解した。その
重合体溶液5mlを1辺が30cm四方の底面積をもつ
ステンレス製水浴上にピペツトで静かに添加し
た。重合体溶液は自主的に円形に広がり、溶剤が
蒸発すると極薄膜が生成した。得られた極薄膜の
膜厚および膜面積を測定し表1に示した。
に詳しくは混合気体に対し高透過性を有する極薄
重合体膜の製造法に関する。 本発明者らはさきに1−モノアルキルジメチル
シリルプロピン重合体がより高透過性および実用
的な選択性を有する気体透過性材料であることを
見出し、またこの重合体の成膜の際に用いる溶剤
として芳香族炭化水素、脂環式炭化水素およびハ
ロゲン化炭化水素が使用できることを提案してい
る(特願昭58−29786号明細書)が、これらの溶
剤は極薄膜(たとえば1μ以下)を得るには不適
当であつた。 本発明者らは容易に極薄膜が得られる方法につ
いて鋭意検討した結果、特定の溶剤の使用により
上記目的が達せられることを見出し本発明に到達
した。 すなわち本発明一般式 (式中、RはC1-4の直鎖または分岐のアルキル
基である)で示される繰返し単位を有する1−モ
ノアルキルジメチルシリルプロピン重合体の脂肪
族炭化水素溶液を水面上に展開して該重合体の極
薄膜を形成させることを特徴とする極薄重合体膜
の製造法である。 一般式(1)においてR1のC1〜4の直鎖状または分
岐状のアルキル基としては直鎖アルキル基たとえ
ばメチル、エチル、プロピル、ブチル基など;分
岐状のアルキル基たとえばイソブチル基、ターシ
ヤリーブチル基などがあげられる。 一般式(1)で示される繰返し単位を有する重合体
を得るのに用いられる1−モノアルキルジメチル
シリルプロピンとしては1−トリメチルシリルプ
ロピン、1−モノエチルジメチルシリルプロピ
ン、1−モノ−n−プロピルジメチルシリルプロ
ピン、1−モノ−n−ブチルジメチルシリルプロ
ピンなどがあげられる。これらのうちで好ましい
ものは1−トリメチルシリルプロピンである。 1−トリメチルシリルプロピンは市販のモノマ
ー(米国のペトラーク社製品、チツソ社SP開発
部製品T3728)を使用することができる。この重
合体を得る方法としては上記をV族遷移金属であ
るニオブ(Nb)、タンタル(Ta)に基ずく触媒
(たとえばNbCl5,TaCl5,NbBr5,TaBr5)の
存在下、また溶媒(ベンゼン、トルエン、キシレ
ンなどの芳香族炭化水素、シクロヘキセンなどの
脂環式炭化水素、1,2−ジクロエタン、4塩化
炭素などの塩素系溶剤など)の存在下、通常30℃
〜100℃で12〜36時間重合することにより得るこ
とができる。また、特願昭58−84626号明細書に
記載の方法によつても得ることができる。 得られた重合体は白色繊維状あるいは粉末状の
ポリマーである。その数平均分子量は光散乱法で
通常10000以上、好ましくは10万以上である。 本発明において1−モノアルキルジメチルシリ
ルプロピン重合体は必要により他の重合体を併用
することができる。他の重合体としては1−アル
キン重合体(ターシヤリーブチルアセチレン、ネ
オペンチルアセチレン、ターシヤリーペンチルア
セチレンなどの重合体、好ましくはターシヤリー
ブチルアセチレン重合体)、ビニルオルガノシラ
ン重合体(ビニルトリメチルシラン、ビニルトリ
エチルシラン、ビニルトリプロピルシランなどの
重合体、好ましくはビニルトリメチルシラン重合
体)、ポリオルガノシロキサン(ジメチルシロキ
サン、ポリメチルフエニルシロキサン、ポリジフ
エニルシロキサンなど)、セルロース系重合体
(エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロー
ス、トリアセチルセルロースなど、好ましくはエ
チルセルロース)、α−オレフイン系重合体(4
−メチルペンテン−1の重合体など)、アルキル
スルホン重合体(α−オレフインとSO2の共重合
体、好ましくはアルキル基が炭素数として10〜20
の長鎖アルキルスルホンの重合体など)、第3級
アミン含有重合体(ビニルピリジン重合体、N,
N−ジエチルアミノエチルアクリレート重合体、
N,N−ジメチルアミノスチレン重合体など、好
ましくはビニルピリジン重合体)などがあげられ
る。 モノアルキルジメチルシリルプロピン重合体と
第2成分(他の重合体)を併用する場合、モノア
ルキルジメチルシリルプロピン重合体の含量は通
常50重量%以上好ましくは70重量%以上である。 本発明における脂肪族炭化水素溶液の調製に用
いられる脂肪族炭化水素系溶剤としては沸点が通
常30〜99℃、好ましくは35〜70℃の直鎖または分
岐状の飽和または不飽和の脂肪族炭化水素たとえ
ばn−ペンタン、n−ヘキサン、イソヘキサン、
n−ヘプタン、nオクタン、イソオクタン、1−
ヘキサン、1−ヘプテン、石油エーテルなどがあ
げられる。これらのうちで好ましいものはn−ヘ
キサン、および石油エーテルである。特に好まし
いものは石油エーテルである。この脂肪族炭化水
素系溶剤には他の溶剤たとえば脂環式炭化水素系
溶剤(シクロヘキサン、シクロヘキセン、メチル
シクロヘキサン、エチルシクロヘキサンなど、好
ましくはシクロヘキサン)、芳香族炭化水素系溶
剤(ベンゼン、トルエン、o,m、またはp−キ
シレン、スチレン、エチルベンゼン、ナフタリン
など好ましくはベンゼンおよびトルエン)、ハロ
ゲン化炭化水素系溶剤(4塩化炭素、1,2,3
−トリクロロプロパン、トリクロロエチレン、ク
ロロホルム、クロルベンゼン、クロロエチルベン
ゼン、など好ましくは1,2,3−トリクロロプ
ロパン)およびこれらの2種以上を併用しうる。
他の溶剤と併用する場合、脂肪族炭化水素の全溶
剤中の含量は通常50重量%以上、好ましくは70重
量%以上である。 これらの溶剤には水面膜の延展性を改良するた
めに添加物たとえばアルコール類、フエノール
類、ケトン類、アルデヒド類、アミン類およびこ
れらの2種以上を添加しても良い。これらの添加
物の量は溶剤の通常10重量%以下である。 本発明における溶液中の1−モノアルキルジメ
チルシリルプロピン重合体および必要により他の
重合体の濃度は通常0.001〜1.0重量%好ましくは
0.01〜0.5重量%である。濃度が0.001重量%未満
では水面上に展開する薄膜に欠陥部分が生じやす
くピンホールを生成する。また濃度が1重量%よ
り大になると、重合体溶液の粘度が高くなり均一
に薄膜状に展開しにくい。 重合体溶液を水面上に展開する方法としては該
溶液を水面に添加ないし滴下する方法があげられ
る。重合体溶液を水面に添加しない滴下するとた
だちに水面上に拡がり極薄膜が形成される。 重合体の脂肪族炭化水素溶液を水面上に展開し
て重合体の極薄膜を形成させるに際し、あらかじ
め重合体溶液の温度および水の温度を一定の温度
範囲に保持しておくのが好ましい。重合体溶液の
温度は好ましくは20〜50℃でありこの温度が20℃
より低いと重合体溶液の粘度があがり薄膜状に拡
がりにくい。重合体溶液の温度が50℃より高くな
ると溶剤が揮発しやすく、水面上に展開したとき
しわになりやすい。一方水の温度は好ましくは5
〜30℃とくに好ましくは10〜25℃である。この温
度が5℃より低い場合には重合体溶液は粘度が上
昇し、薄膜状に拡がりにくくまた、この温度が30
℃より高い場合には、溶剤が蒸発しやすくなり、
水面上に滴下された重合体溶液は充分に自主的に
拡がり難い。 本発明において、1−モノアルキルジメチルシ
リルプロピン重合体(A)と他の重合体(B)を併用して
極薄膜を得る場合、その方法としては(1)2成分の
混合物の溶液から本発明と同様の方法で製膜する
ことができる。水面上に流延し乾燥して形成され
た膜の膜厚は用いる重合体の分子量および重合体
溶液の濃度により種々変えることができるが、通
常1μ以下(たとえば0.01〜1μ)である。分子量が
大きい重合体を低濃度で用いることにより容易に
0.1μ程度の極薄膜を作成することができる。ま
た、高濃度の溶液を用いて上記よりも厚い膜を形
成することもできる。 本発明によつて得られる極薄膜はそれ自体で自
立性が少いので気体分離膜用に用いる場合には支
持体が通常必要である。この支持体としては、多
孔質材たとえば和紙、不織布、合成紙、紙、
布、セラミツク多孔体、金属多孔体、精密過
膜、限外過膜などがあげられる。これらの支持
体と複合化することにより気体分離用膜として充
分に用いられる。複合化の方法は公知の方法でよ
くたとえば水面上で形成された膜を支持体上で加
圧密着させたり、すくい上げたり、支持体を通し
て吸引密着させたりして支持体と複合化させるこ
とができる。これらの支持体と膜の間に接着剤な
どを存在させて支持することもできる。さらに支
持体上に膜を支持せしめたものを加熱処理しても
よい。 本発明は極薄重合体膜が容易に得られる方法で
ある。この極薄膜は酸素透過係数が極めてすぐれ
ており、その酸素透過係数は通常10-2〜10-4(CC
(STP)/cm2,sec,cmHg)程度である。また酸
素と窒素との透過性との比は通常1.5〜3.0の範囲
にある。以上からこの極薄膜は現在までに知られ
ている酸素富化膜として画期的に秀れており、実
用化に際して十分満足な性能を示すものである。
また他の重合体を併用することにより分離係数を
高めることができる。 本発明の方法により得られた極薄膜は気体分離
膜として有用であり、空気から酸素富化空気を製
造する装置に組み込んで、エンジン、ボイラー、
暖房器具等の燃焼効率の向上のため用いることが
できる。また、エンジンの燃焼効率を上げるター
ボチヤージアー代替分野、1000℃以上の高温にな
る加熱炉、焼成炉、ガラス溶解炉に用い30〜50%
の省エネが期待される。さらに清浄な酸素富化空
気として、未熟児の保育箱、呼吸器疾患患者の治
療器としてあるいは人工肺、人工えら、コンタク
トレンズとして利用することができる。 以下、実施例により実施例をさらに説明するが
本発明はこれに限定されるものではない。 実施例 1〜10 1−トリメチルシリルプロピン重合体(以下
PMSPという。)。(PMSPの極限粘度はトルエン
30℃において6.9である。)を用いPMSP単独また
は他の重合体を混合して、表1に示す脂肪族炭化
水素および必要により他の溶剤に溶解した。その
重合体溶液5mlを1辺が30cm四方の底面積をもつ
ステンレス製水浴上にピペツトで静かに添加し
た。重合体溶液は自主的に円形に広がり、溶剤が
蒸発すると極薄膜が生成した。得られた極薄膜の
膜厚および膜面積を測定し表1に示した。
【表】
実施例 11
実施例4で作成した極薄膜をジユラガード2400
(ポリプロピレン多孔膜)上にとり出し、更に同
じ極薄膜をその上にかさねて、これを4回くりか
えした。得られた極薄膜の複合膜の気体透過量
(CC(STP)/cm2,sec,cmHg)を測定したとこ
ろ、酸素透過量は3.2×10-2、窒素透過量は2.0×
10-2、であつた。 実施例 12 実施例5で作成した極薄膜を実施例11と同様に
4層にかさねた複合膜を作成してその気体透過量
を測定した。酸素透過量は2.2×10-2、窒素透過
量は1.1×10-2であつた。
(ポリプロピレン多孔膜)上にとり出し、更に同
じ極薄膜をその上にかさねて、これを4回くりか
えした。得られた極薄膜の複合膜の気体透過量
(CC(STP)/cm2,sec,cmHg)を測定したとこ
ろ、酸素透過量は3.2×10-2、窒素透過量は2.0×
10-2、であつた。 実施例 12 実施例5で作成した極薄膜を実施例11と同様に
4層にかさねた複合膜を作成してその気体透過量
を測定した。酸素透過量は2.2×10-2、窒素透過
量は1.1×10-2であつた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 一般式 (式中、RはC1-4の直鎖または分岐のアルキル
基である)で示される繰返し単位を有する1−モ
ノアルキルジメチルシリルプロピン重合体の脂肪
族炭化水素溶液を水面上に展開して該重合体の極
薄膜を形成させることを特徴とする極薄重合体膜
の製造法。 2 該脂肪族炭化水素溶液の重量に基づく重合体
の量が0.001〜1重量%である特許請求の範囲第
1項記載の製造法。 3 極薄膜の膜厚が1μ以下である特許請求の範
囲第1項または第2項記載の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13622283A JPS6028410A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 極薄重合体膜の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13622283A JPS6028410A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 極薄重合体膜の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028410A JPS6028410A (ja) | 1985-02-13 |
| JPH0316971B2 true JPH0316971B2 (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=15170145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13622283A Granted JPS6028410A (ja) | 1983-07-25 | 1983-07-25 | 極薄重合体膜の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6028410A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0762030A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-07 | Daicel Chem Ind Ltd | 光学活性アセチレンポリマー及びその膜、並びにそれを用いた光学分割方法 |
-
1983
- 1983-07-25 JP JP13622283A patent/JPS6028410A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6028410A (ja) | 1985-02-13 |
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