JPH03170266A - 電解ドレッシング方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業」二の利用分野」 本発明は、導電性結合剤を使用した砥石に電解ドレッン
ングを施すための方法および装置に関する。

「従来の技術」 シリコン、フエライト、セラミックス等の硬質脆性材料
の切断または研削を行なう場合には、砥石の耐摩耗性を
高めるために、砥粒として超砥粒を使用するとともに、
結合剤として金属を使用したメタルボンド砥石または電
鋳砥石等が使用されることが多い。

３ ところで、この種のメタルボンド砥石または電鋳砥石で
は、上記のような硬質脆性材料の切断を行なうと、結合
剤の摩耗速度に比して超砥粒の摩耗が早く、研削開始後
の早期に研削面における超砥粒の切刃の平坦化が生じて
突出量が小さくなり、切れ味の低下が昔しいという問題
があった。

このため従来では、切れ味の回復を図るために、ＳｉＣ
やＡ　Ｉ　ｔ　Ｏ　ａ砥粒を用いたドレッシング砥石を
、研削の合間に頻繁にあるいは研削と同時に砥石の研削
面に当て、ドレッシングを行なう方法が採られていた。

しかし、この方法では、結合剤とともに超砥粒も破損ず
るため、砥粒層の摩耗が激しく、砥石寿命が大幅Ｚこ短
縮するうえ、ドレッシング作業によって研削盤の稼動率
が制限され、作業効率の低下を招く欠点があった。

そこで、第５図に示すように、研削と並行して研削面の
電解ドレッンングを行なう方法が一部で提案されている
。

図中符号１は円板状の切断砥石で、研削盤のス−４ ピンドル軸２に装着され、この砥石１の外周の一郎を覆
って電極３が配置されている。

この電極３は全体が銅などの金属で成形され、一対の三
日月状の側板３Ａと、これら側板３Ａを平行に固定する
天板部３Ｂとからなり、天坂部３Ｂの中央には給液路４
が接続されている。

そして砥石ｌを回転させ、被削材Ｗを研削しつつ、砥石
１のスピンドル軸２に電源の陽極を、電極３に陰極を接
続し、同時に給液路４から電解液を供給することにより
、回転する砥石ｌの砥粒層の金属結合剤を徐々に溶出さ
せる。

この方法によれば、砥拉を残して結合剤だけを除去ずる
から、超砥粒を損傷することなく、その発刃を促進して
切れ味を良好に維持する効果が得られる。

［−発明が解決しようとする課題」 ところが」二記のドレッシング方法では、砥石ｌに陽極
を直接接続しているうえ、電極３が側板部３Ａを有する
ため、これら例板部３Ａと対向する砥石の側面部におい
てもドレッシングが進行する。

このため、この方法を特に半導体素子の加工などＺこ使
用される極薄刃砥石に使用すると、砥石の薄肉化が無視
できず、切断幅の精度が低下する等の欠点があった。

また、上記の方法では、電極３と砥石１との間隙量は数
ｆｆｆｆから数ｃｉ程度の比較的大きな値に設定せざる
を得ないから、砥石の研ｆｉｌ＋而の凹凸を形状修正す
る効果は低く、ツルーイングは別途行なわねばならなか
った。

「課題を解決するための手段」 本発明は」二記の各課題を解決するためになされたもの
で、まず本発明の電解ドレッシング方法は、電極の少な
くとも先端郎を絶縁体で被覆し、この絶縁体の先端郎に
ドレッシングすべき砥石の外周部が入りうるスリットを
形威して、このスリットの底面に電極の先端面を露出さ
せてなるドレッシング治具を、前記スリットに砥石の外
周部を差し入れ電極の前記先端面が砥石の研削而と一定
間隔を空けて対向するように配置し、 電極と研削面との間に電解研削肢を供給するとともに、
電極と砥粒層との抵抗値あるいは極間電圧を測定し、こ
の値が一定範囲に入るように前記ドレソンング治具を砥
石に対し進退させつつ、電極を電源陰極、砥粒層を電源
陽極に接続して通電することを特徴とする。

なお、電解トレッシングに先立ち電極の先端を絶縁体で
覆っておき、この絶縁体に対しドレッシングづ−べき砥
石で切り込むことにより前記スリッ｝・を形成してもよ
い。

−・方、本発明の電解ドレッシング装置は、電極の先端
部を絶縁体で被覆し、この絶縁体の先端部にドレッノン
グずへき砥石の外周部か入りうるスリッｌ・を形成して
、このスリットの底面に電極の先端而を露出させてなる
ドレッノング治具と、前記電極および砥粒層の間の抵抗
値あるいは極間電圧を測定する離間量検出機構と、電極
の先端面が砥石の研削而ど対向するようにドレッノング
治具を支持するとともに、前記離間量検出機構からの出
力信号に応じてドレッシング治具を砥石に向けて進退さ
せる離間量調整機構と、電極と研削而と７ の間隙に電解研削液を供給ずるための給液手段と電極を
陰極、砥粒層を陽極として通電する給電機構とを具備し
たことを特徴とする。

なお、前記ドレッシング治具は、給肢手段として前記ス
リッｌ・内に開口する給肢路を具備していてもよい。

「作　用」 上記の電解ドレッシング方法および装置によれば、ドレ
ッシング速度は通電量を調整することによりフィードバ
ック制御可能なので、研削と同時進行してドレッシング
を行なうことにより、研削面での砥粒摩耗速度とドレッ
シング速度を均衡させることが可能で、長期に亙って良
好な研削効率を維持できる。

また、スリットの両側壁而で砥石の砥粒層の側面が電気
的に遮蔽されるため、砥粒層の側面部分には電流が殆ど
流れず、砥粒層の側面がドレッシングされることが少な
い。したがって砥粒層の薄肉化を防いで、長期に亙って
一定の切断精度が維持できる。

８ また、砥粒層と電極との間の抵抗値あるいは極間電圧を
検出してドレッシング治具の位置を制御ずるので、研削
面と電極の間隙量を正確な極く小さい一定値に保つこと
が容易である。このため、研削面の凹凸に対応して鋭敏
に結合剤の溶出速度が変化し、研削面の形状修正効果が
高い。

さらに、ドレッシング治具にスリッｌ・の内郎に開１」
する給液路を形成し、この給肢路を通じて電解研削液を
供給した場合には、電極と研削面との狭い間隙にも効果
的に電解研削液がｆＪ（給でき、ドレッシング効率が高
められるとともに、研削面から溶出した金属イオンが速
やかに排出され、結合剤が電極表面に再度析出してドレ
ッシングを阻害することが防げる。

「実施例」 第１図は、本発明に係わる電解ドレッンング装置の一実
施例を示す概略図である。

図中符号１０は、導電性結合剤を使用したメタルボンド
砥石、電鋳砥石あるいは電着砥石等の切断砥石であり、
研削盤のスピンドル軸＋１に固定され、ワークテーブル
Ｉ２上に固定されたワークＷをノズルｌ３から研削液を
供給しつつ切断する。

一方、符号Ｉ４はドレッシング治具で、これは第２図に
示すように直方体状の絶縁体１５と、この絶縁体１５の
内部に水平に埋設された細長い板状の電極Ｉ６から構成
されている。また絶縁体Ｉ５の中心には電極１６と平行
に給液孔ｌ７が形成されるとともに、絶縁体１５の先端
面の中央には、砥石１０の外周部がほぼ隙間なく入る幅
のスリットｌ８が上下に向けて形成され、このスリット
１８の底面において前記電極Ｉ６の先端面の一部か露出
している。

このようなスリット１８を形成するには、第４図に示す
ように、電極ｌ６を基端部のみが露出した状態で絶縁体
Ｉ５の内部に埋設した後、この電極１６の先端が露出す
る位置までドレッシングすべき砥石ｌＯで研削ずる。こ
の方法によれば、砥石肉厚に適合した幅を有するスリッ
トＩ８の形成が容易である。

なお、絶縁体１５の材質としては、各種のプラスチック
、セラミックス、その他いかなる絶縁材を用いてもよい
が、被削性の良いものが好ましい。

また電極Ｉ６の材質としては、Ｎｉ，Ｎｉ基合金．ステ
ンレス，Ｔａ等の高耐食性金属、あるいはカーボン、グ
ラファイト等が好適である。なお、図示の電極Ｉ６は細
長い板状であるが、この形状に限る必要はなく、九棒状
や管状、端子状としてもよい。

また電極ｌ６の厚さは、砥石径や砥石厚さζこ応じて決
定される。

ドレッシング治具１４は離間量調整機構１９の駆動部２
０に固定され、スリットｌ８に砥石ＩＯの外周部を奥ま
で挿入した状態で支持されている。

この離間量調整機構１９は駆動源として高精度ステッピ
ングモー夕等を具備し、後述するＭ間量検出機構２４か
らの出力信号に応じてドレッシング治具ｌ４を砥石１０
に向けて進退させる。

そして、電極ｌ６とスピンドル軸１１の間には、電極Ｉ
６を陰極、スピンドル軸Ｉ＋を陽極として電流計２１を
介して給電装置２２が接続され、設定可能な一定電流が
供給される。給電装置２２の出力容量は、砥石■０の種
類、必要なドレッシング速度等を考慮して決定すべきで
あるが、通常の砥石に対しては５０ＶＸＩＯＡ程度あれ
ばよい。

また、給電装置２２の両極間には電圧計２３が接続され
、この電圧計２３はさらに離間量検出機構２４に接続さ
れている。この離間量検出機構２４は、両極間の電圧が
所定の上限値を上回る（電極Ｉ６と砥石１０間の抵抗が
増犬ずる）とＭ　Ｈ　ＩＪｋ調整機構１９を作動させ、
極間電圧が上限｛ｊ’ｊを下回る位置までドレッシング
治具Ｉ４を前進させる。

また、両極間電圧が下限値を下回る（電極１６と砥石Ｉ
Ｏ間の抵抗か減少する）と、離間量凋整機構１９を作動
させて下限値を上回る位置までドレッシング治具Ｉ４を
後退させる構成となっている。

以」二の装置を使用するには、給液孔ｌ７を給肢ボンプ
（図示略）に接続し、一定流量で電解研削液をスリット
１８と砥石ＩＯの間隙に供給する。そして給電装置２２
、離間量検出機構２４、離間量網整機構■９をそれぞれ
作動させ、ドレッシング治具１４を動かして、電極ｌ６
と砥石ｌＯの研削面との間隔が一定範囲となるように調
節する。

両者の最適離間量は砥石１０の種類によって異なり、例
えばＭ鋳薄刃砥石の場合には１〜５００μｍ、望ましく
は５〜２００μ尻程度に設定される。１μ肩未満では電
極ｌ６と砥石ＩＯとの短絡がドレッノング開始当初に生
じてドレッシング効率が低下したり、切粉の通過により
電極ｌ６の損耗が進んで好ましくない。一方、５００μ
友より大では形状修正効果が低下するとともに、砥石ｒ
Ｉｌｌ面がドレッシングされる割合が相対的に増加し、
砥石研削面のドレッンング効率が相対的に低下する問題
が生じる。

また、電極１６の先端面での電流密度は０．　　１〜ｌ
００、望ましくは０．５−５０Ａ／ａｘ’とされる。０
．ＩＡ／ｃｙ′未満では十分なドレッシングが行なえず
、Ｉ　Ｏ　０　Ａ　／　ａｘ２より大では電解液の電気
分解速度が増大し、電流増に見合うドレッシング効果が
期待てきない。

電極Ｉ６への通電は連続的に行なうことが望ましいか、
研ｒ１１１中？こ断続的？こ行なってもほぼ同様な効果
が得られる。また、電流は図示のように直流であっても
、直流バイアスをかＩＪた交流電流、パルス電流等であ
ってもよい。

電解研削液としては、砥石１０と電極１６との間隔が小
さいことから、通常使用されている電気伝導度の低い研
削液も使用可能であるが、ドレッソング効率を高めるに
は、電気伝導度を向上ずるため？二Ｎｏ３−，ＣＩ−，
ＳＯ４’一等を含む電解質を適度に添加することが望ま
しい。また、これらの電解質の添加による装置本体の腐
食を防止するため、併せてインヒビターを添加してもよ
い。

上記構成からなる電解ドレッシング装置および方法によ
れば、ドレッシング速度は電極Ｉ６への通電量を凋整す
ることによりフィードバック制御可能なので、研削と同
時進行してドレッシングを行なえば、研削面での砥粒摩
耗速度とドレッシング速度を均衡させることが可能で、
長期に亙って適正な砥粒突出量を維持できる。

また、絶縁体Ｉ５に形成されたスリット１８の両側壁面
で砥石ＩＯの砥粒層の側面を電気的に遮蔽ずろため、砥
粒層の側面部分はトレッンングされることが少ない。し
たがって、砥粒層の薄肉化を防いで、薄肉化による切断
代減少などの精度低下が防止できる。

また、給電装置２２の両極間の電圧を計測してトレッシ
ング治具１４の位置を制御するので、研削面と電極１６
との間隙を正確な極く小さい一定値に保つことが容易で
ある。このため、研削而の凹凸に対応して鋭敏に結合剤
の溶出速度が変化し、研削面の形状修正効果が高く、ツ
ルーイングを別に行なう必要性が低減できろ。同時に、
砥石ＩＯど電極１６間の抵抗値を直接計測する構成に比
して装置が単純化できる。

さらに、上記実施例では、ドレッシング治具■４に電極
Ｉ６の間に給液孔ｌ７を形成し、この給液孔Ｉ７を通じ
てスリット１８内に電解研削液をｆ共給しているので、
電極ｌ６と砥石ＩＯとの狭い間隙に効果的に電解研削液
が供給でき、ドレッシング効率が高められるとともに、
研削面から溶出した金属イオンが速やかに排出され、電
極ｌ６のｌ５ 露出而に析出しにくいという利点も得られる。

なお、本発明は上記実施例に限定されず、必要に応じて
以下のように各部構成を変更してよい。

例えば、−１二記実施例では定電流型の給電装置２２の
両極間の電圧を測定することにより、電極１６と砥石１
０との抵抗を間接的に検出していたが、その代わりに、
砥石ＩＯのスピンドル軸ＩＩと電極１６間の抵抗値を直
接計測して治具位置を制御してもよい。

また、ドレッシング治具■４の内部に給肢路１７を形成
せず、外部から給液ずる構成としてもよいし、さらに、
カップ型砥石や内周刃型砥石など円板形砥石以外の砥石
に本発明を適用することも可能である。

「実験例」 次に、実験例を挙げて本発明の効果を実証する。

（実験例ｌ） 第１図と同様の装置を作威し、研削と平行して下記のダ
イヤモンド電鋳砥石（電折Ｎｉボンド）のドレッシング
を行なった。

Ｉ６ 外径＋０１１１１ＪＩＸ厚さ０．３７Ｉｕｘ内径４０ｘ
ｘダイヤモン１・砥粒径　２　０／３　０μ肩砥粒含有
率３２ｖｏｌ％、刃先突出量５１１Ｉ！ｌ・レッシング
治具としては、厚さ２．０■×幅５ｙｉｘＯ）　Ｓ　Ｕ
　Ｓ　３　０　４板を電極として基端のみ露出さＵ・て
エボキシ樹脂中に埋設し、樹脂硬化後、電極の上部に電
極と平行に６ｘｚφの給液孔を形成した。

さらに電極の基端にリード線を接続した後、基端を絶縁
材で被覆した。

次に、このドレッシング治具を、マイクロメータを備え
た離間量調整機構を介してスライシングマシンに固定し
、砥石の中心に向けて進退可能として砥石の外周部に対
向させた。さらに、電極と砥石との間に抵抗計を接続し
た。

次いでスラインングマシンを作動させ、電鋳薄刃砥石を
回転させつつ、離間量調整機構によりドレッシング治具
を砥石に向けて移動し、その先端面に切り込んだ。そし
て抵抗計が短絡を示した時点で切り込みを停止し、その
位置からマイクロメータを用い１・レッノング治具を５
μｍ後退させた。

次いで、電極を直流定電流電源の陰極に、スピンドルを
陽極にそれぞれ接続し、給液孔の先端に給液ノズルを固
定したうえ、給液孔の基端に給液ボンプを連結した。

以」二の準備が完了した後、以下の研削条件およびドレ
ッシング条件で研削実験を行なった。

被削材：ＡＬ０３・ＴｉＣ材、 縦７５灰だ×横７５尻ｎ×厚さ４ｍｍ 送り速度：３０ｍ次／ｍｉｎ． 切込深さ：４．５１１１１Ｆ　　　　ピッチ：Ｉｕｉ総
研削距離：５　２５灰 研削液二市水＋インヒビター少量 十Ｎ　ａＮ　Ｏ　３　１　０　９／　Ｑドレッシング電
流＋０．０９Ａ 電極と研削而の距Ｍ：５〜５０μｍ その結果、法線方向の切断抵抗は切断初期でＩＩ　ｋｇ
Ｗを示した後、０　．　６　ｋ９Ｗで一定化した。５２
５尻切断後の電鋳薄刃砥石の半径摩耗は３４μｍ、被削
材表面における各切断ラインでの最大チッピングのばら
つき範囲は２０〜２５μＲの非常に狭い範囲にあった。

また、刃先の形状変化を別の同材質の被削材にハーフカ
ットで切り込んで、形成された溝の断面形状から凋べた
ところ、刃先先端から２　０　０　７１７＋の位置での
摩耗による砥石の薄肉化量は僅か１２μ尻であった。

次に、砥石切り込み量を摩耗分補正した後、ドレッンン
グ治具の位置を適正化し、再び新たな前記と同材質の被
削材の切断を、前記と同じ研削条件で行ない、これらの
操作を繰り返して被削材を５回切断した。

各切断完了後のカーフ幅、切断抵抗、最大ヂッピング、
刃先先端から２００μ肩の位置での薄肉化量および半径
方向の累積摩耗量をそれぞれ測定した。その結果を第１
表に示す。なお、測定を行なったのは、各被削材の最終
切断ラインの中央部である。

（比較例１） 前記実験例１におけるトレッノング治具の代わりに、幅
１５ｉｚｘ厚さ１５■の矩形状のドレッシ９ ング砥石（ＷＣ４００・ビｌ・リファイド砥石）を前記
と同じ被削材の前端に沿って配置し、前記と同じ切断条
件で披削材の切断を行なうとともに、各切断ライン毎に
ドレッシング砥石を切断した。このようにして被削材１
枚を加工し終イつる毎に切り込み量を補正しつつ、５枚
の被削材を切断した。

前記実験例と同じ項目について測定した結果を第１表に
示す。

（以下余白） ２０ （尖験例２） 第１図と同様の装置を作成し、研削と平行して下記のダ
イヤモンドメタルボンド砥石（ボンＦ：８５ｗｔ％Ｃｕ
＋１５＋ｖｔ％Ｓｎ）のドレッシングを行なった。

外径１０１１ＩＩｌＩｘ厚さ１．Ｏｚｉｘ内径４０■ダ
イヤモンド砥粒径：４０／６０μ仄 砥粒含有率２５ｖｏｌ％、刃先突出員１０ｍｍトレッシ
ング治具としては、厚さ５．０■×幅５ａｍのカーボン
板を電極として基端のみ露出させてエボキン樹脂中に埋
設し、樹脂硬化後、電極の」一部に電極と平行（こ６ｚ
ｚφの給液孔を形成した。さらに電極の基端にリード線
を接続した後、基端を絶縁材で被覆した。

次に、このドレッシング治具を、マイクロメータを備え
た離間量調整機構を介してスライシングマンンに固定し
、砥石の中心に向けて進退可能として砥石の外周部に対
向させた。さらに、電極と砥石との間に抵抗計を接続し
た。

次いてスライシングマシンを作動させ、メタルボンド砥
石を回転させつつ、離間量調整機構によリドレッシング
治具を砥石に向けて移動し、その先端面に切り込んだ。

そして抵抗計が短絡を示した時点で切り込みを停止し、
その位置からマイクロメータを用いドレッシング治具を
３００μ次後退させた。

次いで、電極を直流定電流電源の陰極に、スピンドルを
陽極に接続し、給液孔の先端に給液ノズルを固定したう
え、給肢孔の基端に給液ボンプを連結した。

次に、砥石を回転させ、給液ボンプを作動して給液ノズ
ルから研ＩＹＩ＋　１を供給し、直流安定化電源の電流
値を０．１５Ａに設定して電極間に通電し、電極間の電
圧を測定した。得られた電圧値＋２Ｖに対して直流電源
の電圧上限を＋４Ｖ、下限をＩＩＶに設定し、研削中は
これら上限・下限値に従って離間ｍ調整機構を作動させ
、砥石の研削面と電極との離間量を一定化する構威とし
た。

以」二の準備が完了した後、以下の研削条件およびドレ
ッンング条件で研削実験を行なった。

被削材：ＡＩ，０３材、 縦２　０　０　ｒｔｒｍｘ横１　２　０　ｉｉＸ厚さ５
ｘＭ送り速度：　３　０　ｘＲ／ｍｉｎ 切込深さ：６．５■　　　ビッチ：２１ｌ尻総研削距離
・　ＩＯｉ 研削液，市水＋インヒビター少量 ＋ＮａＣＩ　５ｇ／１２ ドレッシング電流：　０．１　５Ａ その結果、法線方向の切断抵抗は切断初期で２Ｉ　ｋｇ
Ｗを示した後、約１．５ｋｇＷで一定化した。

１０ＪＩ切断後のメタルボンド砥石の半径摩耗量は３６
８μｍ、被削材表面にお１ノる各切断ラインでの最大チ
ッピングのばらつき範囲は３０〜３５μ肩の非常に狭い
範囲にあった。

また、刃先の形状変化を別の同材質の被削材にハーフカ
ットで切り込んで、形成された溝の断面形状から調べた
ところ、刃先先端から５００μｍの位置での摩耗による
砥石の薄肉化量は僅か２２μだであった。

（比較例２） 前記実験例２におけるドレッシング治具の代わりに、幅
１５ＲｘＸ厚さ＋５ｚｚの矩形状のドレッシング砥石（
ＷＣ２２０・ビトリファイド砥石）を前記と同じ被削材
の前端に沿って配置し、前記と同じ切断条件で被削材の
切断を行なうとともに、各切断ライン毎にドレッシング
砥石を切断した。

前記実験例と同じ項目について測定した結果、法線方向
の切断抵抗は切断初期で２．４ｋｇＷを示した後、切断
距離３ｍで３．ＩｋｇＷ，６ｍで４．８ｋｇＷ、１０Ｍ
で５．９ｋ９Ｗと切断距離の増加に従い徐々に増加した
。

Ｉｏｎ切断後のメタルボンド砥石の半径摩耗員は５８０
μＭだった。被削材表面にお（フる各切断ラインでの最
大チッピングのばらつき範囲は３５〜５０μＭだった。

また刃先先端から５００μｎの位置での摩耗による砥石
の薄肉化量は４５μｍだった。

（実験例３） 第１図と同様の装置を作成し、研削と平行して下記のダ
イヤモンド電鋳砥石（電折Ｎｉボンド）のドレッシング
を行なった。

外径７６．２１１１Ｊ！Ｘ厚さ０．Ｉ３ｚｕＸ内径４０
ｍｍダイヤモンド砥粒径：８／１６μｌ 砥粒含有率３２ｖｏｌ％、刃先突出量３ｚｍドレッシン
グ治具としては、厚さ１．０■×幅５２２のＮｉ板を電
極として基端のみ露出させてエボキシ樹脂中に埋設し、
樹脂硬化後、電極の上部に電極と平行に６渭肩φの給液
孔を形成した。さらに電極の基端にリード線を接続した
後、基端を絶縁材で被覆した。

次に、このドレッソング治具を、マイクロメータを備え
た離間量調整機構を介してスライシングマソンに固定し
、砥石の中心に向けて進退可能として砥石の外周部に対
向させた。

次に、直流安定化電源に対し前記と同様に電極およびス
ピンドルを接続し、電流値を０．０４Ａ，電圧値を１６
Ｖに合わせ、両極間に通電しつつスライシングマシンを
作動させ、電鋳薄刃砥石を回転させつつ、離間量凋整機
構によりドレッシング治具を砥石に向ｆノで移動し、そ
の先端面に切り込んた。そして両極間に電流が流れて両
極間の電圧が降下し、短絡を示した時点で切り込みを停
止し、その位置からマイクロメータを用いドレッシング
治具を５０μｍ後退させた。次いで、給液孔の先端に給
肢ノズルを固定したうえ、給肢孔の基端に給液ボンプを
連結した。

以上の準備が完了した後、以下の研削条件およびドレッ
シング条件で研削実験を行なった。

被削材．鏡面研摩されたＨ　Ｉ　Ｆフエライト（ワック
スでテーブルに接合） 縦２０ｕｉｘ横５０１１１ｌｘ厚さ２ｕ送り速度．２０
■／ｍｉｎ 切込深さ　２．５ｘ１ｌ　　　ピッチ：０．５Ｍｍ総切
断ライン数・ ９０（ライン）ｘｌ００（被削材） 研削Ｋ１二市水十インヒビター少量 ＋　Ｎ　ａＮ　０　３５　０　９／　ｉ２ドレソソング
電流：０．０４Ａ 前記試験を５回実施したが、いずれも被削材の合金から
の剥離・飛散を生じることなく、それぞれ設定値である
９０００ラインの切断が行なえた。

（比較例３） 前記実験例３におけるドレッンング治具を用いず、他の
条件は実験例３と同一にして、切断試験を５回実施した
。

その結果、いずれの切断試験においても、設定値に至る
前に被削材が合金から剥離・飛散し、平均的な被削材の
飛散を生じるまでの切断ライン数は８２６ラインだった
。

「発明の効果」 以上説明したように、本発明に係わる電解ドレッシング
方法および装置によれば、以下のような優れた効果が得
られる。

■　ドレッシング速度は通電量を詞整することによりフ
ィードバック制御可能なので、研削と同時進行してドレ
ッシングを行なうことにより、研削面での砥粒摩耗速度
とドレッシング速度を均衡させることが可能で、長期に
亙って良好な研削効率を維持できる。

■　スリッ１・の両側壁面で砥石の砥粒層の側面が電気
的に遮蔽されるため、砥粒層の側面部分には電流が殆ど
流れず、砥粒層の側面がドレッシングされることが少な
い。したがって、砥粒層の薄肉化を防いで、長期に亙っ
て良好な研削精度が維持できる。

■　砥粒層と電極との間の抵抗値を検出してドレッシン
グ治具の位置を制御するので、研削面と電極の間隙量を
正確な極く小さい一定値に保つことが容易である。この
ため、研削面の凹凸に対応して鋭敏にドレッシング強度
が変化し、研削面の形状修正効果が高い。

■　ドレッシング治具にスリットの内部に開口する給肢
路を形成し、この給岐路を通じて電解研削液を供給した
場合には、電極と研削面との狭い間隙にも効果的に電解
研削岐が供給でき、ドレッシング効率が高められるとと
もに、研削面から溶出した金属イオンが速やかに排出さ
れ、電極表面に析出しにくいという利点も得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わる電解トレッシング装置の一実施
例を示す概略図、第２図および第３図は同装置のトレッ
ノング治具を示す縦断面図および正面図、第４図はスリ
ット形成前のドレソシング治具を示す縦断面図である。 −・方、第５図は従来の電解ｌ・レッンング方法を示す
概略図である。 Ｗ・・・被削材、ＩＯ・・・砥石、Ｉ１・・・スピンド
ル軸、１４　・ドレッノング治具、Ｉ５　・絶縁体、Ｉ
６・・電極、１７　・給液孔（給液路）、１８・・・ス
リット、■９　Ｍ間量調整機構、２０・駆動部、２１・
・電流計、２２・・・給電機構、２３・・・電圧計、２
４・・・離間量検出機構。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）導電性結合剤を使用した砥粒層を有する砥石を軸
   回りに回転しつつ、前記砥粒層の研削面を電解ドレッシ
   ングする方法であって、 電極の少なくとも先端部を絶縁体で被覆し、この絶縁体
   の先端部にドレッシングすべき砥石の外周部が入りうる
   スリットを形成して、このスリットの底面に電極の先端
   面を露出させてなるドレッシング治具を、前記スリット
   に砥石の外周部を差し入れ電極の前記先端面が砥石の研
   削面と一定間隔を空けて対向するように配置し、 電極と研削面との間に電解研削液を供給するとともに、
   電極と砥粒層との抵抗値あるいは極間電圧を測定し、こ
   の値が一定範囲に入るように前記ドレッシング治具を砥
   石に対し進退させつつ、電極を電源陰極、砥粒層を電源
   陽極にそれぞれ接続して通電することを特徴とする電解
   ドレッシング方法。
2. （２）前記電解ドレッシングに先立ち、前記電極の先端
   を絶縁体で覆っておき、この絶縁体に対しドレッシング
   すべき砥石で切り込むことにより、前記スリットを形成
   することを特徴とする請求項１記載の電解ドレッシング
   方法。
3. （３）導電性結合剤を使用した砥粒層を有する砥石を軸
   回りに回転しつつ、前記砥粒層の研削面を電解ドレッシ
   ングする装置であって、 電極の先端部を絶縁体で被覆し、この絶縁体の先端部に
   ドレッシングすべき砥石の外周部が入りうるスリットを
   形成して、このスリットの底面に電極の先端面を露出さ
   せてなるドレッシング治具と、前記電極および砥粒層の
   間の抵抗値あるいは極間電圧を測定する離間量検出機構
   と、電極の先端面が砥石の研削面と対向するようにドレ
   ッシング治具を支持するとともに、前記離間量検出機構
   からの出力信号に応じてドレッシング治具を砥石に向け
   て進退させる離間量調整機構と、電極と研削面との間隙
   に電解研削液を供給するための給液手段と、電極を陰極
   、砥粒層を陽極として通電する給電機構とを具備したこ
   とを特徴とする電解ドレッシング装置。
4. （４）前記ドレッシング治具は、給液手段として前記ス
   リット内に開口する給液路を具備していることを特徴と
   する請求項３記載の電解ドレッシング装置。