JPH03170550A

JPH03170550A - 感光性樹脂組成物

Info

Publication number: JPH03170550A
Application number: JP30930789A
Authority: JP
Inventors: Akira Toko; 都甲　明; Nobuyuki Sashita; 暢幸指田; Etsu Takeuchi; 江津竹内
Original assignee: Sumitomo Bakelite Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Bakelite Co Ltd
Priority date: 1989-11-30
Filing date: 1989-11-30
Publication date: 1991-07-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は密着性が良く、弾性率が小さく、高感度で高耐
熱の感光性ポリイミド樹脂組成物に関するものである。

［従来の技術］従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜などには、
耐熱性が優れ、また卓越した電気的特性、機械的特性な
どを有するポリイミド樹脂が用いられているが、近年半
導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケージの薄
型化、小型化、半田リフローによる表面実装方式などへ
の移行により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の著し
い向上の要求があり、これまでのポリイミド樹脂では、
対応が困難となってきた。

この対策として、例えばポリイミド樹脂にシリコーン成
分を導入して、密着性を上げ弾性率を低くすることが知
られている。（特開昭６１−６４７３０号公報、特開昭
６２−２２３２２８号公報等）一方、ポリイミド樹脂自
身に感光性を付与する技術が最近注目を集めてきた。

これらの感光性を付与したポリイミド樹脂を使用すると
、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン作
成工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエッ
チング液を使用しなくてすむので、安全、公害上も優れ
ており、ボワイミド樹脂の感光性化はポリイミド樹脂の
高密着、低弾性率化とともに今後一層重要な技術となる
ことが期待されている。

感光性ポリイミド樹脂としては、例えば下式で示される
ような構造のエステル基で感光性基を付与したポリイミ
ド前駆体組成物（特公昭５５−３０２０７号公報、特公
昭５５−４１４２２号公報）あるいは下式で不されるよ
うな構造のポリアミック酸に化学線により２ｉ化、また
は重合可能な炭素一炭素二重結合およびアミノ基または
、その四級化塩を含む化合物を添加した組成物（例えば
特開昭５４−１４５７９４号公報）などが知られている
。

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、ワニス状
態”（２布、乾燥した後、フォトマスクを介して紫外線
照射し、現像、リンス処理して所望のパターンを得、さ
らに加熱処理することによりポリイミド被膜としている
。

しかし、かかる従来の感光化技術をポリイミド樹脂成分
にシリコーソ其左Ｘ大Ｉｆ−富本書　鼾ａ性率のポリイ
ミド樹脂に適用すると、紫外線を照射してもパターニン
グすることは難しいか、または著しく感度が低く、半導
体工業で通常用いられている露光装置で処理するには不
充分であった。

更には、これらの感光性ポリイミド樹脂の膜厚を厚くし
ていくと光感度が極端に低下してしまい、適正露光時間
が極端に長くなってしまうという欠点があった。

［発明が解決しようとする課題］本発明の目的とするところは、ポリアミツク酸中にシリ
コーン基を導入して密着性を向上させ、弾性率を低下さ
せたにもかかわらず高感度の光硬化性を有し、さらに硬
化後の被膜の耐熱性に優れた感光性樹脂組成物を提供す
るにある。

［課題を解決するための手段］本発明は下記の一般式（１）で示されるシリコーン系ジ
アミンを０．５〜２５重量％共重合した下記一般式（　
ＩＩ　）で示されるポリアミック酸（Ａ）と増感剤として下記一般式（　ＩＴＩ　）で示されるス
チリル化合９ｊ（Ｂ）と、開始剤として下記一般式（ＩＶ）で示されるオキサ
ゾロン化合物（Ｃ）とを必須成分とし（Ａ）１００重量部に対し、増感剤で
ある（Ｂ）１〜１０重量部および開始剤である（Ｃ）１
〜２０重量部を配してなる感光性樹脂組成物を用いるこ
とにある。

［作用］本発明において用いる一般式ＣＩ）で示されるシリコー
ン系ジアミンはポリイミド被膜の密着性を向上させ、弾
性率を低下させる効果を有する。

シリコーン系ジアミンの重合度ｎは１〜５０であること
が必要であり、ｎが１未満であると密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果が得られず、またｎが５０を越
える長鎖シリコーン系ジアミンを使．用すると、テトラ
カルボン酸二無水物との反応が定量的に進行しにくくな
り、未反応物として残存し、分子量が大きくならないば
かりか柔軟性を低下させ、クラックを発生し易くなるの
で好ましくない。

またシリコーン系ジアミンの使用量は、ポリアミック酸
成分に対して０．５〜２５重量％が好ましい。

０．５重量％未満では密着性の向上、弾性率の低下の効
果が得られず、また２５重量％を越えると耐熱性が著し
く低下し、ポリイミド樹脂本来の特徴が得られなくなる
ので好ましくない。

本発明において用いる一般式（　ＩＩ　）で示されるポ
リアミック酸のＲ２は、２価の有機基を有する化合物か
らなるもので、上記の式ＣＩ）で示されるシリコーン系
ジアミンの他に各種特性を付与するために以下に挙げる
ような芳香族ジアミンも併用することができる。

例えばｍ−フェニレンージアミン、１−イソブロビル−
２，４−フェニレンージアミン、ρ−フェニレンージア
ミン、４．４′−ジアミノージフェニルプロパン、３，
．３゜−ジアミノージフェニルプロパン、４，４′−ジ
アミノージフェニルエタン、３，３′−ジアミノージフ
エニルエタン、４，４′−ジアミノージフェニルメタン
、３，３′−ジアミノージフェニルメタン、４，４′−
ジアミノージフェニルスルフイド、３，３′−ジアミノ
ージフェニルスルフィド、４．４′−ジアミノージフェ
ニルスルホン、３，３′−ジアミノージフェニルスルホ
ン、４．４′−ジアミノージフェニルエーテル、３，３
′−ジアミノージフェニルエーテル、ベンジジン、３，
３′−ジアミノービフェニル、３．３′−ジメチル−４
，４′−ジアミノービフェニル、３，３′−ジメトキシ
ーベンジジン、４．４”−ジアミノーｐ−テルフェニル
、３．３”−ジアミノーｐ−テルフェニル、ビス（ｐ−
アミノーシクロヘキシル）メタン、ビス（ｐ一β−アミ
ノーｔ−プチルフェニル）エーテル、ビス（ｐ−β−メ
チルーδ−アミノペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（２−
メチル−４−アミノーベンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（
ｌ，１−ジメチル−５−アミノーペンチル）ベンゼン、
１．５−ジアミノーナフタレン、２．６−ジアミノーナ
フタレン、２，４−ビス（β−アミノーｔ−ブチル）ト
ルエン、２，４−ジアミノートルエン、ｍーキシレン−
２．５−ジアミン、ｐ−キシレン−２．５−ジアミン、
ｍ−キシリレンージアミン、ｐ−キシリレンージアミン
、２，６−ジアミノービリジン、２．５−ジアミノービ
リジン、２，５−ジアミノ−１．３．４−オキサジアゾ
ール、１．４−ジアミノーシクロヘキサン、ビペラジン
、メチレンージアミン、エチレンージアミン、プロビレ
ンージアミン、２，２−ジメチループロピレンージアミ
ン、テトラメチレンージアミン、ペンタメチレンージア
ミン、ヘキサメチレンージアミン、２，５−ジメチルー
へキサメチレンージアミン、３−メトキシーへキサメチ
レンージアミン、ヘプタメチレンージアミン、２，５−
ジメチルーへブタメチレンージアミン、３ーメチルーへ
ブタメチレンージアミン、４，４−ジメチ７１ｗヘブタ
メチレンージアミン、オクタメチレンージアミン、ノナ
メチレンージアミン、５−メチルーノナメチレンージア
ミン、２．５−ジメチルーノナメチレンージアミン、デ
カメチレンージアミン、ｌ，１０−ジアミノーｌ，１０
−ジメチルーデカン、２，ｌ１−ジアミノードデカン、
１，ｌ２−ジアミノーオクタデカン、２．１２−ジアミ
ノーオクタデカン、２．１７−ジアミノ−７イコサンな
どがあげられるが、これらに限定されるものではない。

本発明において用いる一般式（　ＩＩ　）で示されるポ
リアミック酸のＲ１は３価または４価の有機基を有する
化合物からなるもので、各種の酸無水物が用いられる。

例えば、トリメリット酸無水物、ビロメリット酸二無水
物、ベンゼン−１．２，３．４−テトラカルボン酸二無
水物、３．３’　，４．４’−ベンゾフエノンテトラカ
ルボン酸二無水物、２．２’　，３．３’−ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸二無水物、２，３．３’　．４′
−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレ
ン−２．３，６．７−テトラカルボン酸二無水物、ナフ
タレン−１．２，５．６−テトラカルボン酸二無水物、
ナフタレン−１．２，４．５−テトラカルボン酸二無水
物、ナフタレン−１．４，５．８−テトラカルボン酸二
無水物、ナフタレン−１．２，６．７−テトラカルボン
酸二無水物、４，８−ジメチル−１．２，３，５，６．
７−へキサヒドロナフタレン−１．２，５．６−テトラ
カルボン酸二無水物、４，８−ジメチル−１．２，３，
５，６．７−へキサヒド口ナフタレン−２．３，６．７
−テトラカルボン酸二無水物、２，６−ジクロロナフタ
レン−１．４，５．８−テトラカルボン酸二無水物、２
，７−ジクロロナフタレン−１．４，５．８−テトラカ
ルボン酸二無水物、２，３，６．７−テトラクロロナフ
タレン−１．４，５．８−テトラカルボン酸二無水物、
１　，　４　，５．８−テトラクロロナフタレン−２．
３，６．７−テトラカルボン酸二無水物、３．３’　，
４．４’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、２．
２’　，３．３’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水
物、２，３．３’　，４’−ジフェニルテトラカルボン
酸二無水物、３．３”，４．４”−ｐ−テルフエニルテ
トラカルボン酸二無水物、２．２”，３．３”−ｐ−テ
ルフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３”，
４”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、２
．２−ビス（２．３−ジカルポキシフェニル）一プロパ
ンニ無水物、２，２−ピス（３，４−ジカルボキシフェ
ニル）一プロパンニ無水物、ビス（２．３−ジカルボキ
シフェニル）エーテルニ無水物、ビス（３，４−ジカル
ボキシフェニル）エーテルニ無水物、ビス（２，３−ジ
カルポキシフェニル）メタンニ無水物、ビス（３．４−
ジカルボキシフェニル）メタンニ無水物、ビス（２．３
−ジカルボキシフェニル）スルホンニ無水物、ビス（３
，４−ジカルボキシフェニル）スルホンニ無水物、１．
１−ビス（２．３−ジカルボキシフェニル）エタンニ無
水物、１．１−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）
エタン二無水物、ベリレン−２，：），８．９−テトラ
カルボン酸二無水物、ベリレン−３．４，９．１０−テ
トラカルボン酸二無水物、ベリレン−４．５，１０．１
１−テトラカルボン酸二無水物、ペリレン−５．６，１
１．１２−テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン
−１．２，７．８−テトラカルボン酸二無水物、フェナ
ンスレンー１，２，６．７−テトラカルボン酸二無水物
、フェナンスレンー１，２，９．１０−テトラカルボン
酸二無水物、シクロベンタン−１，２，３．４−テトラ
カルボン酸二無水物、ビラジンー２．３，５．６−テト
ラカルボン酸二無水物、ピロリジン−２．３，４．５−
テトラカルボン酸二無水物、チオフェン−２．３，４．
５−テトラカルボン酸二無水物などがあげられるが、こ
れらに限定されるものではない。

本発明において用いる一般式（　ＩＩ　）で示されるポ
リアミック酸のＲ３は、炭素一炭素二重結合をイｉする
化合物からなるもので、各種のアルコールが用いられる
。例えば、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−
ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロビ
ルメタクリレート、２〜ヒドロキシプ口ビルアクリレー
ト、アリルアルコール、エチレングリコールモノアリル
エーテルなどがあげられるが、これらに限定されるもの
ではない。

本発明における（Ａ）成分のポリアミック酸は、下記式
（　ＩＩ　）（式中Ｒエ：３価または４価の有機基、Ｒ２：２価の有
機基、Ｒ３：炭素一炭素二重結合を有する基、ｍ：ｌ〜２　　
　　　　　　　　　　　）で示される重合物で、その合
成方法は、例えば、特公昭５５−３０２０７号の実施例
１に示される方法などがあげられる。即ち、カルボン酸
無水物としてのビロメリット酸二無水物８７８２重量分
と、炭素一炭素二重結合を有するアルコールとしてのア
リルアルコール４００容積分とを０．４重量分のｐ，ｐ
’−ビス（ジメチルアミノ）一ジフェニルメタン存在下
で２６時間室温で撹拌した後、過剰のアリルアルコール
を水流ボンブ真空中で蒸留除去する。これを２００重量
分の塩化チオニルおよび５重量分のジメチルホルムアミ
ドと共に室温でＩ　ＩｔＩ間放置した後、３時間還流さ
せながら煮沸する。過剰の塩化チオニルは、水流ポンプ
真空中で蒸留除去する。次に、これを３５０容積分の無
水のジメチルアセトアミドに溶かし湿気を遮断して撹拌
しながら、４００容積分の無水のジメチルアセトアミド
に、８０重量分のｐ．ｐ’一ジアミノジフェニルエーテ
ルを含むジアミノ化合物を溶かし、０゜Ｃに冷却した溶
液に反応混合物が２０゜Ｃ以上の温度となることがない
ように滴下する。

これが終ると室温で１時間撹拌した後、この溶液に５容
積分のアニリンを添加し、１５分間撹拌して濾過する。

反応生成物は４リッｔ４の沸騰水中に滴下して沈澱させ
、熱湯および１：１のアセトン水溶液で洗い、真空中８
０゜Ｃで乾燥し、重合物を得る。

本発明におけるＣＢ）成分の増感剤は下記式（ｒＩＩ）で示されるアミノ基を持ったスチリル化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる増感剤としてはペンゾフ
ェノン、アセトフェノン、アントロン、ｐ．ｐ’−テト
ラメチルジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、
フェナントレン、２−ニトロフルオレン、５−ニトロア
セナフテン、ペンゾキノン、Ｎ−アセチルーｐ−ニトロ
アニリン、ｐ−ニトロアニリン、２−エチルアントラキ
ノン、２−ターシャリーブチルアントラキノン、Ｎ−ア
セチルー４−ニトロー１−ナフチルアミン、ビクラミド
、１．２−ペンズアンスラキノン、３−メチル−１．３
−ジアザー１，９−ペンズアンスロン、ｐ，ｐ’−テト
ラエチルジアミノベンゾフェノン、２−クロロ−４−ニ
トロアニリン、ジベンザルアセトン、１，２−ナフトキ
ノン、２，５−ビス−（４′−ジエチルアミノベンザル
）一シクロペンタン、２，６−ビス−（４′−ジェチル
アミノベンザル）一シクロヘキサノン、２，６−ビス−
（４′−ジメチルアミノベンザル）−４−メチルーシク
ロヘキサノン、２，６−ビス−（４′−ジエチルアミノ
ベンザル）−４−メチルーシクロヘキサノン、４．４′
−ビスー（ジメチルアミノ）一カルコン、４．４′−ビ
スー（ジェチルアミノ）一カルコン、ｐ−ジメチルアミ
ノベンジリデンインダノン、１，３−ビス−（４′−ジ
メチルアミノベンザル）一アセトン、１，３−ビスー（
４′一ジエチルアミノベンザル）一アセトン、Ｎ−フェ
ニ／ｋジエタノールアミン、Ｎ−ｐ−　｝−リルージェ
チルアミンなどがあげられるが、本発明において見いだ
されたスチリル化合物は、本発明において開始剤として
用いるオキサゾロン化合物との組み合わせで用いること
によってのみ、驚くほど優れた増感効果を示す。この驚
くべき相乗効果がいがにして発現されるのか、その理由
は今のところ明確ではない。

なお、スチリル化合物の配合量はポリアミック酸１００
重量部に対して１重量部以上、１０重量部以下が最も好
ましく、スチリル化合物以外の増感剤もこれに併用して
も差し支えがない。

スチリル化合物の配合量が１重量部未満であると、光エ
ネルギーの吸収量が不足し架橋が不充分となり、また、
１０重量部を越えると、光エネルギ一の透過量が不足し
、深部の光硬化が迅速に進まず好ましくない。

本発明における（Ｃ）成分の開始剤は下記式Ｒ７　：　
−Ｈ　，−Ｃ　Ｈ：ｘ，−Ｃ，ｄ｛５，−Ｃ３Ｉ｛７，
−Ｃ４Ｈ９．−Ｃ　ｓＨ　５，−Ｏ　Ｉ｛　，−Ｏ　Ｃ
　Ｈ　：ｌ，　　−○Ｃ２Ｉｉ５，−Ｏ　Ｃ　３Ｈ　７
，−Ｏ　Ｃ　４Ｈ９，−Ｏ　Ｃ　６Ｈ　５．−Ｃ　Ｈ　
２Ｃ８Ｈ　５，−Ｃ　Ｈ２Ｃ　Ｈ２Ｃ６Ｈ　５，−Ｃ　
Ｉ　２０　Ｈ　，−Ｃ　Ｈ　２Ｃ　Ｈ　２０Ｈ，−Ｃ　
Ｉ■２Ｃ　Ｈ３，一Ｃ　■■（Ｃ　Ｈ３）２．−Ｃ（Ｃ
　Ｈ３）３，−ＣＯＣＨ３，−ＣＯＣ２Ｈ５．−ＯＣＯ
ＣＨ３．−Ｏ　Ｃ　Ｏ　Ｃ　２Ｈ　５，−Ｃ　Ｈ　２Ｎ
　Ｈ　２．−Ｃ　Ｈ　２Ｃ　Ｈ　２Ｎ　Ｈ２，−Ｃ　Ｏ
　Ｎ　Ｈ　２，一Ｃ　Ｏ　Ｎ　Ｈ　Ｃ　Ｈ３，−Ｃ　Ｏ
　Ｎ　（Ｃ　Ｈ３）２．−ＣＯＮＨＣ２Ｈ５，−ＣＯＮ
（Ｃ２Ｈ５）２，−Ｎ　Ｈ　Ｃ　Ｈ３，−Ｎ　（Ｃ　Ｈ
３）２，−Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２．）で示される芳香族基を
持ったオキサゾロン化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる開始剤としては２．２−
ジメトキシー２−フェニルーアセトフェノン、ｌ−ヒド
ロキシーシク口へキシルーフェニルケトン、２−メチル
−１４−（メチルチオ）フェニル１−２−モルフォリノ
ー１−プロパン、３．３’　，４．４’−テトラー（ｔ
−プチルパーオキシカルボニル）ペンゾフェノン、ベン
ジル、ペンゾインーイソプロビルエーテル、ペンゾイン
ーイソブチルエーテル、４，４′−ジメトキシベンジル
、１．４−ジベンゾイルベンゼン、４−ペンゾイルビフ
ェニル、２−ペンゾイルナフタレン、メチルーＯ−ペン
ゾイルベンゾエート、２．２′−ビス（０−クロロフェ
ニル）−４．４’　，５．５’−テトラフェニル−１，
２′−ビイミダゾール、ｌロ−ブチルー２−クロロアク
リドン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、ジ
ベンゾイルメタン、２，４−ジエチルチオキサントン、
３，３−ジメチル−４−メトキシーペンゾフェノン、２
−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１
−オン、２−（４−イソプロビルフェニル）−２−ヒド
ロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−ド
デシルフェニル）−２−ヒドロキシー２−メチルプロパ
ン−１−オン、１−フェニル−１，２−ブタンジオンー
２−（Ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、ｌ−フェニ
ループロパンブタンジオンー２＝（０−ベンゾイル）オ
キシム、１，２−ジフェニルーエタンジオンー１−（Ｏ
−ベンゾイル）オキシム、１，３−ジフェニループロパ
ントリオン−２−（Ｏ−ベンゾイル）オキシム、ｌ−フ
ェニル−３−エトキシープロパントリオン−２−（ｏ−
ベゾイル）オキシムなどが使用されているが、本発明に
おいて見いだされたオキサゾロン化合物は、増感剤とし
てのスチリル化合物との組み合わせによって、他の開始
剤にくらべて格段の光反応開始効果を示した。

この驚くべき効果がいかにして発現されるのかその理由
は現在のところ明確ではない。

なお、オキサゾロン化合物の配合量は、ポリアミック酸
１００重量部に対して１〜２０重量部を必須とし、オキ
サゾロン化合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支
えない。

開始剤としてのオキサゾロン化合物が１重量部未満であ
ると光感度が充分でなく、好ましくない。

また、２０重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特性
が低下する。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１ピロメリット酸二無水物６５．５ｇ　（０．３０モル）
と３．３′，４．４’−ベンゾフェノンテトラカルボン
酸二無水９１　２２５．５ｇ　（０．７０モル）とを、
２−ヒドロキシエチルメタクリレ−１−　２７０．７ｇ
　（２．０８モル）でエステル化したあと、４．４′−
ジアミノジフェニルエーテル１７０．２ｇ　（０．８５
モル）と下記式で示されるシリコーンジアミン１２８．７ｇ　（０．１０モル、ポリアミツク酸中１５
重量％）とでアミド化し、重合物を｛ｊ｝た。

次に、重合物１００重量部（固形分）に、増感剤として
２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ペンゾオキサゾー
ル３重量部と、開始剤として３−フエニルー５−イソオ
キサゾロン６重量部の他、テトラエチレングリコールジ
アクリレート　１５重量部、１−フエニル−５−メルカ
プト−ＩＨ−テトラゾール１重量部、３−メタクリ口キ
シブ口ピルトリメトキシシラン２１部、ｐ一ターシャワ
ープチルカテコール０．１重量部を添加し、室温でＮ−
メチールピロリドンに溶解した。

得られた溶液をアルミ板上にスビンナーで塗布し、乾燥
機により８０゜Ｃで１時間乾燥した。

このフイルムにコダック社製フォトグラフィックステッ
プタブレットＮｏ２．　２１ステップ（本グレースケー
ルでは、段数が一段増加するごとに透過光量が前段の１
／ｆ２に減少するので現像後の残存段階が大きいものほ
ど感度が良い）を重ね、５００ｍｊ／ｃａ＋２の紫外線
を照射し、Ｎ−メチルビロリドン６０重量％、キシレン
４０重量％の現像液を用いスプレーで現像、さらにイソ
プロビルアルコールでリンスをしたところ１４段までパ
ターンが残存し、高感度であることが判った。

次に、前述と同様な方法でシリコーンウェハー上に塗布
し全面露光し、現像、リンスの各工程を行い、さらに１
５０、２５０、３５０、４００℃で各々３０分間窒素中
で加熱硬化した。

密着力試験のため１ｍｍ角に１００個カットし、セロテ
ープで引き剥がそうとしたが、１個も剥がれず、高密着
性であることが判った。

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リン
ス、熱硬化したあとアルミ板をエッチングで除去し、フ
イルムを得た。

得られたフイルムの引張弾性率（ＪＩＳ　Ｋ−６７６０
）は１１０Ｋｇ／＋ｎｏ＋２と小さく、熱分解開始温度
は４４０゜Ｃと高かった。

この様に高感度であり、かつ高密着、低弾性率、高耐熱
という非常に優れた効果が同時に得られた。

比較例１〜■０実施例１の方法に従いシリコーンジアミンのシロキサン
結合数と添加量、増感剤、開始剤の種類と添加量をそれ
ぞれかえ、同様の実験を行い第１表の結果を得た。

比較例１は、開始剤の添加量を０．６重量部にしたもの
で、光感度が著しく低くなってしまった。

比較例２は、比較例１とは逆に３６重量部にしたもので
、この場合フイルム中に開始剤が残留し、このため熱分
解開始温度が低くなってしまった。

比較例３は、本発明以外の開始剤を使用したもので、光
感度が低く、実用的ではなかった。

．比較例４は、増感剤の添加量を０．３重量部にしたも
ので、この場合光感度が著しく低く、架橋も不充分であ
った。

比較例５は、増感剤量を３３重量部としたもので、この
場合深部への光透過量が不足し、深部の硬化が不充分で
ボイドを発生し、均一なフイルムにはならなかった。

比較例６は、本発明以外の増感剤を使用した場合で光感
度が低く、実用的ではなかった。

比較例７は、シリコーンジアミンの添加量を０．２重量
％にしたものであり、この場合、弾性率を低下させるこ
とができなかった。

比較例８は、シリコーンジアミンの添加量を３８重量％
にしたもので、この場合フイルムが脆くなってしまった
。

比較例９は、シリコーンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝０としたもので、この場合柔軟性に欠けるためフィ
ルム化時点でクラックが発生した。

比較例ｌＯは、シロキサンジアミンのシロキサン結合数
をｎ　＝　ｔｏｏとしたもので、この場合反応性が低く
、フィルム化時点で未反応シリコーンが浮き出し、感度
も上がらなかった。

実施例及び比較例において得られた結果の性能を第１表
に示す。

［発明の効果］ポリイミド樹脂の主鎖構造中にシロキサン結合を導入し
、密着性の向上や、弾性率の低下を図る試みは、これま
でもなされてきた。

しかしながら、従来の感光性化技術では、シリコーン変
性したポリイミド樹脂の光感度を向上させる適当な増感
剤、開始剤がなく、良好なパターンを得ることができな
かった。

しかるに、本発明では、極めて光感度の高い特殊な増感
剤と開始剤との組合せを採用することで、少ない照射量
で良好なパターンを得ることができるようになった。さ
らに、耐熱性が優れ、また、シリコーン変性してあるの
で低弾性率で、しかも高密着性であるという非常に優れ
た効果が同時に得られた。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）下記式〔 I 〕で示されるシリコーン系ジアミン ▲数式、化学式、表等があります▼‥‥〔Ｉ〕（式中ｎ：１〜５０）を０．５〜２５重量％共重合した、下記式〔II〕で示さ
れるポリアミック酸（Ａ） ▲数式、化学式、表等があります▼‥‥〔II〕（式中Ｒ＿１：３価または４価の有機基、Ｒ＿２：２価の有機基、Ｒ＿３：炭素−炭素二重結合を有する基、ｍ：１〜２）下記式〔III〕で示されるスチリル化合物（Ｂ）▲数式
、化学式、表等があります▼‥‥〔III〕（式中Ｒ＿４：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
Ｃ＿６Ｈ＿５、Ｒ＿５：▲数式、化学式、表等がありま
す▼、▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化
学式、表等があります▼、▲数式、化学式、表等があり
ます▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼
、▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼（Ｒ：Ｈ、ＣＨ＿３、Ｃ＿２Ｈ＿５）
下記式〔IV〕で示されるオキサゾロン化合物（Ｃ） ▲数式、化学式、表等があります▼‥‥…〔IV〕（式中Ｒ＿６：▲数式、化学式、表等があります▼、▲
数式、化学式、表等があります▼Ｒ＿７：−Ｈ、−ＣＨ
＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−Ｃ＿３Ｈ＿７、−Ｃ＿４Ｈ＿
９、−Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＯＨ、−ＯＣＨ＿３、−ＯＣ＿
２Ｈ＿５、−ＯＣ＿３Ｈ＿７、−ＯＣ＿４Ｈ＿９、−Ｏ
Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＣＨ＿２Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＣＨ＿２Ｃ
Ｈ＿２Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＣＨ＿２ＯＨ、−ＣＨ＿２ＣＨ
＿２ＯＨ、−ＣＨ＿２ＣＨ＿３、−ＣＨ（ＣＨ＿３）＿
２、−Ｃ（ＣＨ＿３）＿３、−ＣＯＣＨ＿３、−ＣＯＣ
＿２Ｈ＿５、−ＯＣＯＣＨ＿３、−ＯＣＯＣ＿２Ｈ＿５
、−ＣＨ＿２ＮＨ＿２、−ＣＨ＿２ＣＨ＿２ＮＨ＿２、
−ＣＯＮＨ＿２、−ＣＯＮＨＣＨ＿３、−ＣＯＮ（ＣＨ
＿３）＿２、−ＣＯＮＨＣ＿２Ｈ＿５、−ＣＯＮ（Ｃ＿
２Ｈ＿５）＿２、−ＮＨＣＨ＿３、−Ｎ（ＣＨ＿３）＿
２、−Ｎ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２）を必須成分とし、（Ａ
）１００重量部に対して（Ｂ）１〜１０重量部、（Ｃ）
１〜２０重量部を配してなる感光性樹脂組成物。