JPH03171711A - 磁器コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、誘電体磁器と少なくとも２つの電極とから或
る単層又は積層構造の磁器コンデンサ及びその製造方法
に関する． ［従来の技術］ 従来、積層磁器コンデンサを製造する際には、誘電体磁
器原料粉末から成るグリーンシ一ト（未焼結磁器シート
）に白金又はパラジウム等の貴金属の＠電性ペーストを
所望パターンに印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着し
、１　３００℃〜１６００℃の酸化性雰囲気中で焼結さ
せた．これにより、誘電体磁器と内部電極とが同時に得
られる．上述の如く、貴金属を使用すれば、酸化性雰囲
気中で高温で焼結させても目的とする内部電極を得るこ
とができる．しかし、白金、パラジウム等の貴金属は高
価であるため、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高
になった． 上述の問題を解決することができるものとして、本件出
願人に係わる特公昭６１−１４６０７号公報には、 （Ｂａｋ−ｘＭｘ）ＯｋＴＩＯ２　（但し、ＭはＭｇ及
びＺｎの内の少なくとも１種）から成る基本成分と、Ｌ
ｉ　　ＯとＳ　ｉ　Ｏ　２とから成る添加成分２ とを含む誘電体磁器組成物が開示されている．また、特
公昭６１−１４６０８号公報には、上記の特公昭６１−
１４６０７号公報のＬ　１　２　０とＳ　ｉ　Ｏ　２の
代りに、Ｌｉ２０とＳｉＯ２とＭＯ（但し、ＭＯはＢａ
Ｏ、ＣａＯ及びＳｒＯの内の少なくと＃ＪＩＭ＞とから
成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されてい
る。

また、特公昭６１−１４６０９号公報には、（Ｂａ１＜
−ｘ−ｙ　ＭｘＬｙ）ＯｋＴｔＯ２　（但し、ＭはＭｇ
及びＺｎの少なくとも１種、ＬはＳｒ及びＣａの内の少
なくとも１種）から成る基本成分とＬｉ　　ＯとＳ　Ｉ
　Ｏ　２とから成る添加成分とを含む２ 誘電体磁器紐成物が開示されている． また、特公昭６１−１４６１０号公報には、上記の特公
昭６１−１４６０９号公報におけるし１２０と８１０２
の代りに、Ｌ　ｉ　２　０とＳ　ｉ　Ｏ　２とＭＯ（但
し、ＭＯはＢａＯ、ＣａＯ及びＳｒＯの内の少なくとも
１種｝とから成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開
示されている． また、特公昭６１−１４６１１号公報には、（　Ｂ　ａ
　　　Ｍ　　）　Ｏ　　Ｔ　ｉ　０２　（但し、ＭはＭ
ｇ、ｋ−ｘｘｋ Ｚｎ．Ｓｒ及びＣａの少なくとも１種）から成る基本戒
分と、Ｂ　Ｏ　とＳｉＯ２とから成る添加２３ 成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。

また、特公昭６２−１５９５号公報には、〈Ｂａ　　　
Ｍ　　）　Ｏ　　Ｔ　１　０２　　（　ｆ旦し、ＭはＭ
ｇ，Ｚｋ−ｘｘｋ ｎ，Ｓｒ及びＣａの内の少なくとも１種）から或る基本
成分と、Ｂ２０３とＭＯ（但しＭＯはＢａＯ，ＭｇＯ、
ＺｎＯ，ＳｒＯ及びＣａＯの少なくとも１種）とから或
る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている
． また、特公昭６２−１５９６号公報には、上記の特公昭
６２−１５９５号公報のＢ２ｏ３とＭＯの代りに、ＢＯ
　　と３　１　０　２とＭＯ（但しＭＯ２３ はＢａＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯ．ＳｒＯ及びＣａＯの内の少
なくとも１種）とから成る添加成分とを含む誘電体磁器
組成物が開示されている．これらに開示されている誘＠
．体磁器組成物は、還元性雰囲気１２００℃以下の条件
の焼成で得ることができ、比誘電率が２０００以上、静
電容量の温度変化率が−２５℃〜＋８５℃で±１０％の
範囲にすることができるものである． ［発明が解決しようとする課！］ ところで、近年の電子回路の高密度化に伴い、積層コン
デンサの小型化の要求が非常に強く、これに対応する為
に、温度変化率を悪化させることなく誘電体の比誘電率
を、上記各公報に開示されている誘ｔ体磁器組成物の比
誘電率よりも更に増大させることが望まれている． そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気、１２００℃
以下の温度での焼成で得るものであるにも拘らず、高い
誘電率を有し、且つ広い温度範囲にわたって誘電率の温
度変化率が小さい誘電体磁器を備えてい・る磁器コンデ
ンサ及びその製造方法を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達或するための本発明は、誘電体磁器と、前
記磁器に接触している少なくとも２つの電極とから戒る
磁器コンデンサにおいて、前記磁器が１００．０重１部
の基本成分と、０．２〜５．０重量部の添加成分とから
成り、前記基本戒分が、（１−α）（（Ｂａ　　　Ｍ　
　）Ｏ　　（Ｔｉ　　　Ｒｋ−ＸＸｋ　　　　１−ｙ ）Ｏ　　　　ｌ　＋αＣａＺｒ０３　　（ただし、Ｍは
Ｖ　　　２−ｙ／２ Ｍｇ，Ｚｎの内の少なくとも１種の金属、ＲはＳｃ，Ｙ
，Ｇｄ．．Ｄｙ，Ｈｏ、Ｅｒ，Ｙｂ，Ｔｂ、Ｔｍ．Ｌｕ
の内の少なくとも１種の金属、αは０．００５〜０．０
４の範囲の数値、ｋは１．００〜１．０５の範囲の数値
、Ｘは０．０ｉ　〜０．１０の範囲の数値、ｙは０．０
４以下のＯよりも大きい数値）であり、前記添加成分が
Ｌ　ｉ　２　０とＳｔＯ２とＭＯ＜但し、ＭＯはＢａＯ
、ＳｒＯ、ＣａＯ、ＭｇＯ及びＺｎＯの内の少なくとも
１種の金属酸化物）から成り、且つ前記Ｌ　ｌ　２　０
と前記ＳｉＯ２と前記ＭＯとの組成範囲がこれ等の組成
をモル％で示す三角図における前記Ｌ　ｌ　２　０が１
モル％、前記Ｓ　Ｉ　Ｏ　２が８０モル％、前記ＭＯが
１９モル％の点（Ａ）と、前記Ｌ　ｉ　２　０が１モル
％、前記Ｓ　Ｉ　Ｏ　２が３９モル％、前記ＭＯが６０
モル％の点（Ｂ）と、前記Ｌｉ２０’が３０モル％、前
記Ｓ　１　０　２が３０モル％、前記ＭＯが４０モル％
の点（Ｃ）と、前記Ｌ　ｌ　２　０が５０モル％、前記
Ｓ　１　０　２が５０モル％、前記ＭＯがＯモル％の点
（Ｄ）と、前記Ｌ　ｌ　２　０が２０モル％、前記Ｓｉ
Ｏ２が８０モル％、前記ＭＯがＯモル％の点（Ｅ）とを
順に結ぶ５本の直線で囲まれた領域内のものであるコン
デンサに係わるものである．なお、基本成分を示す組成
式におい゜〔、ｋ−ｘ，ｘ．ｋ、１−ｙ，ｙ、２−ｙ／
２は勿論それぞれの元素の原子数を示し、（１−α）と
αは組成式の第１項Ｒ　　　）０ の（Ｂａ（−ｘＭｘ）Ｏｋ（Ｔｉ１，　　，　　２−，
７２と第２項のＣａＺｒ０３との割合をモルで示すもの
であり、Ｂａはバリウム、０は酸素、Ｔｉはチタン、Ｍ
ｇはマグネシウム、Ｚｎは亜鉛である．また、Ｓｃはス
カンジウム、Ｙはイットリウム、Ｇｄはガドリニウム、
Ｄｙはジスプロシウム、ＨＯはホロニウム、Ｅｒはエル
ビウム、Ｙｂはイッテルビウム、Ｔｂはテルビウム、Ｔ
ｍはツリウム、Ｌｕはルテチウムである．添加戒分にお
けるＬｉ２０は酸化リチウム、Ｓ　１　０　２は酸化け
い素、ＢａＯは酸化バリウム、ＳｒＯは酸化ストロンチ
ウム、ＣａＯは酸化カルシウム、ＭｇＯは酸化マグネシ
ウム、ＺｎＯは酸化亜鉛である． 製造方法に係わる発明は、上記の基本成分と添加成分と
の混合物を用意する工程と、少なくとも２つの！極部分
を有する前記混合物の成形物を作る工程と、前記電極部
分を有する前記成形物を非酸化性雰囲気で焼成する工程
と、前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理
する工程とを含む磁器コンデンサの製遣方法に係わるも
のである． 〔作用効果コ 上記発明の磁器コンデンサにおける誘電体磁器を非酸化
性雰囲気、１２００℃以下の焼成で得ることができる．
従って、ニッケル等の卑金属の導電性ペーストをグリー
ンシ一トに塗布し、グリーンシ一トと導電性ペーストと
を同時に焼成する方法によって磁器コンデンサを製造す
ることが可能になる．誘電体磁器の組成を本発明で特定
された範囲にすることによって、比誘電率が３０００以
上、誘電体摸失ｔａｎδが２．５％以下、抵抗率ρがＩ
Ｘ１０６ＭΩ・ｃｍ以上であり、且つ比誘電率の温度変
化率が−５５℃〜１２５℃で−１５％〜＋１５％（２５
℃を基準）、−２５℃〜８５゜Ｃでー１０％〜＋１０％
（２０℃を基準〉の範囲に収まる誘！＃磁器を備えたコ
ンデンサを提供することができる． ［実ａ例］ 次に、本発明に従う実施例及び比較例について説明する
． まず、本発明に従う基本成分の組成式 （　１　−α　冫　　（　　（Ｂａ　ｋ−ｘ　　Ｍ　ｘ
　）Ｏ　ｋ　　（Ｔｉ　　１，　　Ｒ）Ｏ　　　　）＋
αＣａＺｒＯ３における第１項Ｙ　　　２−ｙ／２ の（Ｂａ　　Ｍ　　）Ｏ　　（Ｔｉ　　Ｒ　　）Ｏｋ−
ｘ　　ｘ　　　ｋ　　　　１−ｙ　　ｙ　　　２−ｙ／
２　（以下第１基本成分と呼ぶ）を第１表及び第２表の
試料ぬ１のｋ−ｘ，ｘ，ｙ，ｋの欄に示す割合で得るた
め、換言すれば、（Ｂａ０．９６Ｍ０．０６）０　　　
（Ｔｉ　　　Ｒ　　　）Ｏ　　　　、更に詳細に１．０
２　　　　　　０．９９　　０．０１　　　　１．９９
５！よ−　ＭＯ．０６＝Ｍｇ　Ｏ．０５ＺｎＯ．０１及
びＲｏ．ｏｔ＝　Ｙ　ｂｏ．ｏｉであるので、 （　Ｂａ０．９６Ｍｇｏ．ａｓＺｎＱ．０１）　０１．
０２’　Ｔ’　０．９９ＹｂＯ．０１）０１．９９５を
得るために、純度９９．０％以上のＢ　ａ　Ｃ　Ｏ　３
（炭酸バリウム）、ＭｇＯ（酸化マグネシウム），Ｚｎ
Ｏ（酸化亜鉛）、及びＴｉｅ（酸化チタン）、Ｙｂ２０
３　（酸化イ２ ッテルビウム）を用意し、不純物を目方に入れないで ＢａＣＯ　　：１０４１．９６ｇ（０．９６モル３ 部相当） ＭｇＯ：　１　１．０９ｇ　（０．０５モル部相当）Ｚ
ｎＯ：　４．４８ｇ　（０．０１モル部相当）ＴｉＯ２
　：　４３５．０６ｇ　（０．９９モル部相当） Ｙｂ　　Ｏ　　：１０．８４ｇ（０．００５モル部２３ 相当）を秤量した． 次に、秤量されたこれ等の原料をボットミル（ｐｏｔ　
Ｉｌｉｌｌ）に入れ、更にアルミナボールと水２．５ｊ
とを入れ、１５時間湿式攪拌した後、攪拌物をステンレ
スポットに入れて熱風式乾燥器で１５０℃、４時間乾燥
した．次にこの乾燥物を粗粉砕し、この粗粉砕物をトン
ネル炉にて大気中で１２００℃、２時間仮焼し、上記組
成式の第１基本戒分を得た． また、基本成分の組成式の第２項のＣａＺｒＯ３　（以
下、第２基本成分と呼ぶ）を得るために、ＣａＣＯ　　
（炭酸カルシウム〉とＺ　ｒ　Ｏ　２　　（酸化３ ジルコニウム）とが等モルとなる様に前者を４４８．９
６ｇ二後者を５５１．０４ｇをそれぞれ秤量し、これ等
を混合し、乾燥し、粉砕した後に、約１２５０℃で２時
間大気中で仮焼した．つぎに、第１表の試料Ｎα１に示
すように１−αが０．９８モル、αが０．０２モルとな
るように、９８モル部（９８４．３４ｇ）の第１基本成
分（Ｂａ０．９６ＭｇＯ．０５ＺｎＯ．０１）０１．０
２（　Ｔ’　０．９９”ｂ０．０１＞　０１．９９５の
粉末と、２モル部（１５．６６ｇ）の第２基本成分（　
Ｃ　ａ　Ｚ　ｒ　Ｏ　ｓ　）の粉末とを混合して１００
０ｇの基本成分を得た．一方、第３表の試料Ｎα１の添
加戒分を得るために、Ｌ　ｉ　２　０を０．４４ｇ　（
１モル部）と、ＳｉＯ２を７０．９９ｇ　（８０モル部
）と、Ｂ　ａｃｏ３を１１．Ｌｏｇ　（３．８モル部）
と、Ｃ　ａｃｏ３を１４．７０ｇ　（９．５モル部）と
、ＭｇＯを３．４０ｇ　（５．７モル部）とをそれぞれ
秤量し、この混合物にアルコールを３００ＣＣ加え、ポ
リエチレンボットにてアルミナボールを用いて１０時間
攪拌した後、大気中１０００℃で２時間仮焼或し、これ
を３００ｃｃの水と共にアルミナポットに入れ、アルミ
ナボールで１５時間粉砕し、しかる後、１５０℃で４時
間乾燥させてＬ　１　２　０が１モル％、Ｓ　１　０　
２が８０モル％、ＭＯが１９モル％（ＢａＯ　　３．８
モノレ％＋Ｃａ０９．５モノレ％＋ＭｇＯ　　５．７モ
ル％〉の組成の添加成分の粉末を得た．なお、ＭＯの内
容であるＢａＯとＣａＯとＭｇＯとの割合は第３表に示
すように２０モル％、５０モル％、３０モル％となる．
次に、１００ｆＪ．量部（１０００ｇ）の基本戒分に２
重量部（２０ｇ）の添加戒分を添加し、更に、アクリル
酸エステルボリマー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶
液から成る有機バインダを基本成分と添加成分との合計
重量に対して１５重量％添加し、更に、５０重量％の水
を加え、これ等をボールミルに入れて粉砕及び混合して
磁器原料のスラリーを作製した． 次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡し２、こ
のスラリーをリバースロールコー夕に入れ、ここから得
られる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連
続して受け取ると共に、同フィルム上でこれを１００℃
に加熱して乾燥させ、厚さ約２５μｍの未焼結磁器シー
トを得た．このシートは長尺なものであるが、これを１
０１角の正方形に裁断して使用する． 一方、内部＄極用の導電ペーストは、粒径平均１．５μ
ｍのニッケル粉末１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇ
をプチルカルビトール９．１ｇに溶解させたも′のとを
攪拌機に入れ、１０時間攪拌することにより得た．この
導電ペーストを長さ１４關、幅７間のパターンを５０個
有するスクリーンを介して上記未焼結磁器シートの片測
に印刷した後、これを乾燥させた． 次に、上記印刷面を上にして未焼結磁器シートを２枚積
層した．この際、隣接する上下のシートにおいて、その
印刷面がパターンの長平方向に約半分程ずれるように配
置した．更に、この積層物の上下両面にそれぞれ４枚ず
つ厚さ６０μｍの未焼結磁器シートを８！層した．次い
で、この積層物を約５０℃の温度で厚さ方向に約４０ト
ンの荷重を加えて圧着させた．しかる後、この積層物を
格子状に裁断し、５０個の積層チップを得た．次に、こ
の積層体を雰囲気焼成が可能な炉に入れ、大気雰囲気中
で１００゜Ｃ／ｈの速度で６００℃まで昇温して、有機
バインダを燃焼させた．しかる後、炉の雰囲気を大気か
らＨ２　（２体積％）十Ｎ２　（９８体積％）の雰囲気
に変えた．そして、炉を上述の如き還元性雰囲気とした
状態を保って、積層体加熟温度を６００℃から焼結温度
の１１５０℃まで、１００℃／ｈの速度で昇温して１１
５０℃（最高温度）を３時間保持した後、１００゜Ｃ／
ｈの速度で６００℃まで降温し、雰囲気を大気雰囲気（
酸化性雰囲気）におきかえて、６００℃を３０分間保持
して酸化処理を行い、その後、室温まで冷却してＷＩ層
焼結体チップを作製した．次に、第１図に示すＭ層磁器
コンデンサ１０を得るために、３つの誘電体磁器層ｌ２
と２つの内部電優１４とから成る積層焼結体チップ１５
に一対の外部電極１６を形威した．なお、外部電極１６
は、＠極が露出する焼結体チップ１５の側面に亜鉛とガ
ラスフリット（ｇｆａｓｓ　　ｆｒｉｔ）とビヒクル（
ｖｅｈｉｃｌｅ）とから成る導電性ペーストを塗布して
乾燥し、これを大気中で５５０℃の温度で１５分間焼付
け、亜鉛電極層１８を形成し、更にこの上に無電解メッ
キで法で銅層２０を形成し、更にこの上に電気メッキ法
でｐｂ−Ｓｎ半田層２２を設けたものから成る．このコ
ンデンサ１０の誘ｔ体磁器層１２の厚さは０．０２ｍ、
一対の内部電極１４の対向面積は５　ｗｍＸ　５　ａｍ
　＝　２　５　ｍａ　２である．ナオ、ｆｉ　ｍ　ｆ＆
　ノ？ｉｉｉ器層１２の組成は、焼結前の基本成分と添
加或分との混合組戒と実質的に同じである． 次に、コンデンサ１０の電気的特性を測定し、その平均
値を求めたところ、第３表に示す如く、比誘電率ε３が
３９３０、ｔａｎδが１．１％、抵抗率ρが６．５Ｘ１
０６ＭΩ・ＣＩ１，２５℃の静電容量を基準にした−５
５℃及び＋１２５℃の静電容量の変化率ΔＣ　　、ΔＣ
１２５が−１０．２％、−５５ ＋３．１％、２０℃の静電容量を基準にした−２５℃、
＋８５℃の静電容量の変化率ΔＣ−　、Δ２５ Ｃ８５は−５、５％、−６．０％であった．なお、電気
的特性は次の要領で測定した．（Ａ）　　比誘電率ε，
は、温度２０℃、周波数１　ｋＨｚ，電圧（実効値）１
．ＯＶの条件で静電容量を測定し、この測定値一対の内
部電極１４の対向面積２５簡２と一対の内部電極１４間
の磁器層１２の厚さ０．０２＋ｍ＋から計算で求めた．
（Ｂ）　　誘電体損失ｔａｎδ（％）は比誘電率と同一
条件で測定した． （Ｃ）　　抵抗率ρ《ＭΩ・ｃＩｍ）は、温度２０℃に
おいてＤＣ　１　０　０Ｖを１分間印加した後に一対の
外部ｔ極１６間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法と
に基づいて計算で求めた． （Ｄ）　　静電容量の温度特性は、恒温槽の中に試料を
入れ、−５５℃、−２５℃、Ｏ℃、＋２０℃、２５℃、
＋４０℃、＋６０℃、＋８５℃、＋１０５℃、＋１２５
℃の各温度において、周波数ｌ　ｋＨｚ．電圧（実効値
）１．ＯＶの条件で静電容量を測定し、２０’Ｃ及び２
５℃の時の静電容量に対する各温度における変化率を求
めることによって得た． 以上、試料Ｎα１の作製方法及びその特性について述べ
たが、試料ＮＱ２〜１３１についても、基本戒分及び添
加戒分の組成、これ等の割合、及び還元性雰囲気での焼
成温度を第１表〜第４表に示すように変えた他は、試料
Ｎα１と全く同一の方法でＷｉ層磁器コンデンサを作製
し、同一方法で電気的特性を測定した． 第１表には、基本戒分を示す組成式における（１−α）
とα二）ｋ−ｘとＸが示され、Ｘの欄のＭｇ，Ｚｎは一
般式のＭの内容を示し、Ｍｇ，Ｚｎの欄にはこれ等の原
子数が示され、合計の欄にはこれ等の合計値（Ｘ値〉が
示されている．第２表には基本成分を示す組成式におけ
るＲの内容と量及びｋの値が示されている．即ち、ｙの
欄のＳｅ，Ｙ、’　Ｇｄ，ＤＶ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｙｂは一
般式のＲの内容を示し、これ等の欄にはこれ等の原子数
が示され、合計の欄にはこれ等の合計値が示されている
， ：にはそれぞれの試料の添加成分の添加量乙が示されて
いる．添加成分の添加量は基本成分１００重量部に対す
る重量部で示されている．第３表の添加成分のＭＯの内
容の欄には、Ｂａｏ，ＭＨＯ，ＺｎＯ，ＳｒＯ，ＣａＯ
の割合がモル％で示されている． 第４表は各試料の焼成温度及び電気的特性を示す．この
第４表において、静電容量の温度特性は、２５℃の静電
容量を基準にした−５５℃及び＋１２５℃の静電容量変
化率ΔＣ　　（％）及びΔＣ−５５ １ｉ５（％》と、２０℃の静電容量を基準にしたー２５
℃及び＋８５℃の静電容量変化率ΔＣ−２５（％）及び
ΔＣ８５《％）とで示されている．第１表〜第４表から
明らかな如く、本発明に従う試料では、非酸化性雰囲気
、１２００゜Ｃ以下の焼成で、比誘電率ε８が３０００
以上、誘電体損失ｔａｎδが２．５％以下、抵抗率ρが
Ｉ　Ｘ　１　０６ＭΩ・ＣＩ１以上、静電容量の温度変
化率ΔＣ−５５及びΔＣ１２５が−１５％〜＋１５％、
ΔＣ−２５及びΔＣ８５は−１０％〜＋１０％の範囲と
なり、所望特性のコンデンサを得ることが出来る．一方
、試料Ｎａｉｌ〜１６、４２、４７、４８、５３、５９
、６２、６５、６８、７１、７４、７７、７８、８２、
８３、８７、８８、９６〜９８、１０４、１０５、１０
９、１１０、１１４、１１９、１３１では本発明の目的
を達成することができない．従って、これ等は本発明の
範囲外のものである．第４表にはΔＣ　　、ΔＣ１２５
、ΔＣ−２５、Δ−５５ Ｃ８５のみが示されているが、本発明の範囲に属する試
料の−２５℃〜＋８５℃の範囲の種々の静電容量の変化
率ΔＣは、−１０％〜＋１０％の範囲に収まり、また、
−５５℃〜＋１２５℃の範囲の種々の静電容量の変化率
ΔＣは、−１５％〜＋１５％の範囲に収まっている． 次に、組成の限定理由について述べる．ｘＬ：ｙ）値が
、試料ＮＱ８８、９８に示す如く、零の場合には、ΔＣ
−２５が−１０％〜＋１０％の範囲外、ΔＣ−５５が−
１５％〜＋１５％の範囲外となるが、試料ＮＱ８９、９
９に示す如く、Ｘの値が０．０１の場合には、所望の電
気的特性を得ることができる．従って、Ｘの値の下限は
０．０１である．一方、試料ＮＱ　９　６、９７、１０
４に示す如く、Ｘの値が０．１２の場合には、ΔＣ８５
が−１０％〜＋１０％の範囲外となるが、試料ＮＱ９４
、９５、１０３に示す如く、Ｘの値が０．１０の場合に
は、所望の電気的特性を得ることができる．従って、Ｘ
の値の上限は０，１０である．なお、Ｍ成分のＭｇとＺ
ｎとはほぼ同様に働き、これ等から選択されｆＳ１・つ
を使用しても、又は複数を使用しても同様な結果が得ら
れる．そして、Ｍ成分の１種又は複数種の何れの場合に
おいてもＸの値を０．０１〜０．１０の範囲にすること
が望ましい．ｙの値が、試料ＮＱ５９、６２、６５、６
８、７１、７４、７７に示す如く、０．０６の場合には
緻密な焼結体が得られないが、試料Ｎｏ．　５　８、６
１、６４、６７、７０、７３、７６に示す如く、ｙの値
が０．０４の場合には所望の電気的特性を得ることがで
きる．従って、ｙの値の上限は０．０４である．なお、
Ｒ成分のＳｃ，Ｙ．Ｄｙ，Ｈｏ、Ｅｒ，Ｙｂはほぼ同様
に働き、一これ等から選択された１つを使用しても、又
は複数を使用しても同様な結果が得られる．そして、Ｒ
成分が１種又は複数種のいずれの場合に於いてもｙの値
を０．０４以下の範囲にすることが望ましい．また、ｙ
は０．０４以下であれば、０に近い微量であってもそれ
なりの効果がある．なお、組戒式Ｒで示す成分は、静電
容量の温度特性の改善に寄与する．即ち、Ｒ成分の添加
によって−５５℃〜１２５℃の範囲での静電容量の温度
変化率△Ｃ−５．〜ΔＣ１。

５を−１５％〜＋１５％の範囲に容易に収めることが可
能になると共に、−２５°Ｃ〜８５゜Ｃの範囲での静電
容量の温度変化率ΔＣ−２５〜ΔＣ８．を−１０％〜＋
１０％の範囲に容易に収めることが可能になり、且つ各
温度範囲における静電容量の温度変化率の変動幅を小さ
くすることができる．また、Ｒ戒分は抵抗率ρを大きく
する作用及び焼結性を高める作用を有する． αの値が試料ＮＱ７８、８３に示す如く、零の場合には
、ΔＣ−２５が−１０％〜＋１０％の範囲外、ΔＣ−５
５が−１５％〜＋１５％の範囲外となるが、試！ＭＮｎ
７９、８４に示す如く、αの値が０．００５の場合には
、所望の電気的特性を得ることができる．従って、αの
値の下限は０．００５である．一方、試料Ｎ０８２、８
７に示す如く、αの値が０．０５の場合には、八〇８５
が−１０％〜＋１０％の範囲外となるが、試料ＮＱ８１
、８６に示す如く、αの値が０．０４の場合には所望の
電気的特性を得ることができる．従って、αの値の上限
は０．０４である． ｋの値が、試料ＮＱ１０５、１１０に示す如く、６ １．０よりも小さい場合には、ρがＩＸＩＯ　　ＭΩ・
ＣＩ未満となり、大幅に低くなるが、試料ＮＱＩ０６、
１１１に示す如く、ｋの値が１．ＯＯの場台には、所望
の電気的特性が得られる．従って、ｋの値の下限はｉ．
ｏｏである．一方、ｋの値が、試料Ｎｏ．　１　０　９
、１１４に示す如く、１．０５より大きい場合にはｆｆ
ｉ密な焼結体が得られないが、試料Ｎｏ．９９〜１０３
、１０８、１１３に示す如く、ｋの値が１．０５の場合
には所望の電気的特性が得られる、従って、ｋの値の上
限は１．０５である． 添加成分の添加量が零の場合には、試料ＮＱ４２、４８
から明らかな如く、焼成温度が１２５０℃であっても緻
密な焼結体が得られないが、試ＩＮＱ４３、４９に示す
如く、添加量が１００重量部の基本成分に対して０、２
重量部の場合には、１１８０〜１１９０℃の焼成で所望
の電気的特性を有する焼結体が得られる．従って、添加
成分の下限は０．２重量部である，一方、試料ＮＱ４７
、５３に示す如く、添加成分の添加量が６．０重量部の
場合には、ε　が３０００未満となり、更に△Ｃ−５Ｓ ５が−１５％〜＋１５％の範囲外となるが、試料ＮＱ４
６、５２に示す如く、添加量が５．Ｏｆ重量部の場合に
は所望特性を得ることができる．従って、添加量の上限
は５．Ｏｆ重量部である．添加成分の好ましい組成は、
第２図のＬ　１　２　０３　１　０　２　　Ｍ　Ｏの組
成比を示す三角図に基づいて決定することができる．三
角図の第１の点（Ａ）は、試料Ｎｏ．　１の１−　１２
　０が１モル％、Ｓ　ｉ　Ｏ　２が８０モル％、ＭＯが
１９モル％の組成を示し、第２の点（Ｂ）は、試料ｋ２
のＬｆ２０が１モル％、Ｓ　Ｉ　Ｏ　２が３９モル％、
ＭＯが６０モル％の組成を示し、第３の点（Ｃ）は、試
料Ｎｏ．　３のＬ　１　２　０が３０モル％、Ｓ　１　
０　２が３０モル％、ＭＯが４０モル％の組成を示し、
第４の点（Ｄ）は、試料Ｎｏ．　４のＬ　１　２　０が
５０モル％、Ｓ　ｔ　Ｏ　２が５０モル％、ＭＯがＯモ
ル％の組成を示し、第５の点（　Ｂ　）　ハ、試科Ｈａ
　５　ｆ）　Ｌ　１　２　０が２０モル％、ＳｉＯ２が
８０モル％、ＭＯがＯモル％の組成を示す． 本発明の範囲に属する試料の添加成分の組成は三角図の
第１〜５の点（Ａ）〜（Ｅ）を順に結ぶ５本の直線で囲
まれた領域内の組成になっている．この領域内の組戒と
すれば、所望の電気的特性を得ることができる．一方、
試料ね１１〜１６のように、添加成分の組成が本発明で
特定した範囲外となれば、ｆｆｉ密な焼結体を得ること
ができない．なお、ＭＯ成分は例えば試料ｋｌ７〜２１
に示す如（ＢａＯ、ＭｇＯ，ＺｎＯ、ＳｒＯ、ＣａＯの
いずれか１つであってもよいし、又は他の試料で示すよ
うに適当な比率としてもよい． ［変形例］ 以上、本発明の実施例について述べたが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、例えば次の変形例が可能な
ものである． （ａ）　　基本成分の中に、本発明の目的を阻害しない
範囲で微量のＭ　ｎ　０　２　　（好ましくは０．０５
〜０．１！量％）等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上さ
せてもよい．また、その他の物質を必要に応じて添加し
てもよい． （ｂ）　　出発原料を、実施飼で示したちの以外の酸化
物又は水酸化物又はその他の化合物としてもよい． （ｃ）　　焼成時の非酸化性雰囲気での処理の後の酸化
性雰囲気での処理の温度を６００℃以外の焼結温度より
も低い温度（好ましくは５００℃〜１０００℃の範囲）
としてもよい．即ち、ニッケル等の電極材料と磁器の酸
化とを考慮して種々変更することが可能である． （ｄ）　　非酸化性雰囲気中の焼成温度を、電極材料を
考慮して種々変えることができる．ニッケルを内部電極
とする場合には、１０５０℃〜１２００″Ｃの範囲でニ
ッケル粒子の凝集がほとんど生じない． （ｅ）　　焼結を中性雰囲気で行ってもよい．（ｆ）　
　積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層の磁器コンデ
ンサにも勿論適用可能である．（ｇ）　　組成式におけ
るＲ成分の中のＴｂ，Ｔｍ，Ｌｕについては特に第１表
〜第４表に掲載されていないが、Ｒ或分の他のものと同
櫟に使用することができることが確認されている．

【図面の簡単な説明】

第ｌ図は本発明の実施例に係わる積層型磁器コンデンサ
を示す断面図、 第２図は添加成分の組成範囲を示す三角図である． １２・・・磁器層、 １４・・・内部電極、 １ ６・・・外部電 極． 代 理 人 而 野 則 次

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］誘電体磁器と、前記磁器に接触している少なくと
   も２つの電極とから成る磁器コンデンサにおいて、 前記磁器が１００．０重量部の基本成分と、０．２〜５
   ．０重量部の添加成分とから成り、前記基本成分が、 （１−α）｛（Ｂａ＿ｋ＿−＿ｘＭ＿ｘ）Ｏ＿ｋ（Ｔｉ
   ＿１＿−＿ｙＲ＿ｙ）Ｏ＿２＿−＿ｙ＿／＿２｝＋αＣ
   ａＺｒＯ＿３（但し、ＭはＭｇ、Ｚｎの内の少なくとも
   １種の金属、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、
   Ｙｂ、Ｔｂ、Ｔｍ、Ｌｕの内の少なくとも１種の金属、 αは０．００５〜０．０４の範囲の数値、 ｋは１．００〜１．０５の範囲の数値、 ｘは０．０１〜０．１０の範囲の数値、 ｙは０．０４以下の０よりも大きい数値）であり、 前記添加成分がＬｉ＿２ＯとＳｉＯ＿２とＭＯ（但し、
   ＭＯはＢａＯ、ＳｒＯ、ＣａＯ、ＭｇＯ及びＺｎＯの内
   の少なくとも１種の金属酸化物）から成り、且つ前記Ｌ
   ｉ＿２Ｏと前記ＳｉＯ＿２と前記ＭＯとの組成範囲がこ
   れ等の組成をモル％で示す三角図における 前記Ｌｉ＿２Ｏが１モル％、前記ＳｉＯ＿２が８０モル
   ％、前記ＭＯが１９モル％の点（Ａ）と、前記Ｌｉ＿２
   Ｏが１モル％、前記ＳｉＯ＿２が３９モル％、前記ＭＯ
   が６０モル％の点（Ｂ）と、前記Ｌｉ＿２Ｏが３０モル
   ％、前記ＳｉＯ＿２が３０モル％、前記ＭＯが４０モル
   ％の点（Ｃ）と、前記Ｌｉ＿２Ｏが５０モル％、前記Ｓ
   ｉＯ＿２が５０モル％、前記ＭＯが０モル％の点（Ｄ）
   と、前記Ｌｉ＿２Ｏが２０モル％、前記ＳｉＯ＿２が８
   ０モル％、前記ＭＯが０モル％の点（Ｅ）と、を順に結
   ぶ５本の直線で囲まれた領域内のものであることを特徴
   とするコンデンサ。 ［２］１００．０重量部の基本成分と、０．２〜５．０
   重量部の添加成分とから成り、前記基本成分が、 （１−ａ）｛（Ｂａ＿ｋ＿−＿ｘＭ＿ｘ）Ｏ＿ｋ（Ｔｉ
   ＿１＿−＿ｙＲ＿ｙ）Ｏ＿２＿−＿ｙ＿／＿２｝＋αＣ
   ａＺｒＯ＿３（但し、ＭはＭｇ、Ｚｎの内の少なくとも
   １種の金属、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、
   Ｙｂ、Ｔｂ、Ｔｍ、Ｌｕの内の少なくとも１種の金属、
   αは０．００５〜０．０４の範囲の数値、ｋは１．００
   〜１．０５の範囲の数値、ｘは０．０１〜０．１０の範
   囲の数値、ｙは０．０４以下の０よりも大きい数値）で
   あり、前記添加成分がＬｉ＿２ＯとＳｉＯ＿２とＭＯ（
   但し、ＭＯはＢａＯ、ＳｒＯ、ＣａＯ、ＭｇＯ及びＺｎ
   Ｏの内の少なくとも１種の金属酸化物）から成り、且つ
   前記Ｌｉ＿２Ｏと前記ＳｉＯ＿２と前記ＭＯとの組成範
   囲がこれ等の組成をモル％で示す三角図における前記Ｌ
   ｉ＿２Ｏが１モル％、前記ＳｉＯ＿２が８０モル％、前
   記ＭＯが１９モル％の点（Ａ）と、前記Ｌｉ＿２Ｏが１
   モル％、前記ＳｉＯ＿２が３９モル％、前記ＭＯが６０
   モル％の点（Ｂ）と、前記Ｌｉ＿２Ｏが３０モル％、前
   記ＳｉＯ＿２が３０モル％、前記ＭＯが４０モル％の点
   （Ｃ）と、前記Ｌｉ＿２Ｏが５０モル％、前記ＳｉＯ＿
   ２が５０モル％、前記ＭＯが０モル％の点（Ｄ）と、前
   記Ｌｉ＿２Ｏが２０モル％、前記ＳｉＯ＿２が８０モル
   ％、前記ＭＯが０モル％の点（Ｅ）とを順に結ぶ５本の
   直線で囲まれた領域内のものであることを特徴とする混
   合物を用意する工程と、 少なくとも２つの電極部分を有する前記混合物の成形物
   を作る工程と、 前記電極部分を有する前記成形物を非酸化性雰囲気で焼
   成する工程と、 前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理する
   工程と を含む磁器コンデンサの製造方法。