JPH03173368A - 振動波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は電気−機械エネルギー変換素子に電圧を印加す
ることにより振動体に進行性振動波を生じさせ、この振
動体に接触する部材との間で摩擦駆動により相対移動を
起こさせる振動波モータ、特に大出力型の振動波モータ
に関するものである。

（従来の技術） 従来の振動波モータ特に大出力型の振動波モータは、例
えばステンレスからなる円環状振動体基板の裏面に薄い
円環形状の圧電素子群を固着すると共に、表面にタング
ステンカーバイド及びコバルトからなる超硬材料を溶射
し更に研磨することで硬質の摺動面を形成させて振動体
を構成させ、他方これに接触する部材として、アルミ合
金等の支持体に、ガラス転容点が１００℃以上の熱可塑
性樹脂、具体的にはポリイミド（ＰＩ）、ポリアミドイ
ミド（Ｐ＾工）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリ
エーテルエーテルケトン（ＰＥＥに）、ポリエーテルス
ルホン（ＰＥＳ）、ボリアリレート（ＰＡＲ）　、ポリ
スルホン（ＰＳＦ）、芳香族ポリアミド（Ｐ＾）等の耐
熱樹脂に、炭素繊維等の強化材を充填含有させて強化型
複合樹脂層とした摺動体を固着させて構成させ、これら
振動体と接触する部材とが、該振動体に発生させた進行
性振動波により摩擦駆動で相対的に移動するものとして
形成されている。

なお上記接触する部材と振動体の相対的な移動は、いず
れが固定でまたいずれが移動するものであってもよいが
、本明細書における以下の説明では説明の簡明化のため
に振動体を固定とし、接触する部材を移動する場合の例
として示し、従って該接触する部材は「移動体」と称す
る。

さて上記従来の振動波モータにおいて、移動体の一部を
形成する強化型複合樹脂層としてガラス転移点が１００
℃以上の熱可塑性樹脂を母材とした摺動体を用いている
のは、これらの耐熱性樹脂は材料物性として温度依存性
が小さく、モータ駆動時における温度上昇に対しても樹
脂材の軟化に起因するトルクダウンの現象がなく、また
モータの性能精度を安定できるからである。

また上記樹脂材に炭素繊維等の強化材を配合充填してい
るのは、第１には、例えばタングステンカーバイド及び
コバルトからなる振動体側の超硬材料の摺動面に対して
、移動体の摺動面の性状が常に安定し、しかも長時間駆
動の際も十分な耐摩耗性を保証するためであり、第２に
は、摺動体の弾性率あるいは硬さ等の材料物性値を大き
くし、出力等モータの性能を向上するためであり、更に
第３には、摺動体の熱伝導性を向上して効率等モータの
性能を改善するためである。

（発明が解決しようとする課題） 上述の通り、振動波モータにおいて移動体の摺動面を提
供する摺動体にガラス転移点が１００℃以上の耐熱性の
熱可塑性樹脂に炭素繊維を充填した強化型複合樹脂を用
いることで、モータ駆動による温度上昇時においてもモ
ータの性能及び精度は安定し、振動体の摺動面を形成す
る超硬材料に対して長時間駆動しても耐摩耗性は十分で
あり、更に出力効率等のモータ性能も高い値を示す。

しかしながら振動体の超硬材料からなる硬質の摺動面に
、移動体の上記炭素繊維を強化充填した耐熱性熱可塑性
樹脂からなる複合樹脂層の摺動面を加圧接触すると、例
えば定格運転の条件として４　ｋｇｃｒｎ、　１１００
ｒｐで駆動を開始すると、摩擦摺動面の温度上昇に伴っ
てトルクの「うねりｊ等が問題となる場合があり、より
一層の性能精度向上のためには更に改善すべき点のある
ことが知見された。

また定格での連続運転においては、定格トルク値に対し
て５％程度のトルクムラがあり、なお−層の改善が要望
された。

また更に、負荷トルクが大きいときは問題ないものの、
無負荷時あるいは低負荷時には、駆動によって摺動摩擦
に基づくいわゆる’　Ｏｌ　ｔｇ　Ｊの現象が発生する
という問題があフた。

このような観点からなされた本発明の目的とするところ
は、高温下においても優れた摺動特性を示し、トルクの
「うねり」やトルクムラの低減された高効率の振動波モ
ータを提供することを目的とする。

また本発明の別の目的は、振動波モータにおいて問題と
なっている無負荷時あるいは低負荷時の駆動に際しての
「鳴き」を解消することができる新規な構成の振動波モ
ータ、特に大出力型の振動波モータを提供することを目
的とする。

また本発明のさらに別の目的は、移動体に接触される振
動体の摺動面を、無電界メツキ法により安価に形成でき
る硬質面としたものを使用で診る振動波モータを提供す
るところにある。

（課題を解決するための手段） 上記目的を実現するためになされた本発明の振動波モー
タの特徴は、進行性振動波を生ずる振動体に、該振動体
との接触面を提供する複合樹脂層を備えた部材を加圧接
触させて、振動体と該加圧接触する部材を該振動体に生
じさせた進行性振動波により摩擦駆動で相対９動させる
振動波モータにおいて、上記複合樹脂層が、芳香族ポリ
イミド樹脂の母材に、摩擦調整剤、及び必要に応じて非
繊維型の耐摩耗性改良剤を充填配合した複合樹脂で形成
されているという構成をなすところにある。

本発明の振動波モータは、代表的には電気−機械エネル
ギー変換素子からなる駆動相に電圧を印加することによ
り、この駆動相が設けられた円環状の振動体に進行性振
動波を生じさせ、この振動体に加圧接触された移動体を
摩擦駆動させる振動波モータとして構成されるものであ
り、上記移動体は、熱良導性のアルミ合金等の支持体と
、この支持体に一体化されて上記振動体に接触する摺動
面を提供する上記複合樹脂層とから構成される。また本
発明の振動波モータにおける上記振動体には、従来のも
のと同様に、金属製等の振動体基板の表面に、タングス
テンカーバイド及びコバルトの超硬材料を溶射して必要
に応じて研磨して摺動面としたものを用いることも出来
るが、これに代えて無電界メツキ法を用いて炭化珪素（
ＳｔＣ）　、炭化ホウ素（８４Ｇ）　　ホウ素チタニウ
ム（ＴｉＢｔ）、チッ化ホウ素（８Ｎ）の一種以上を含
むニッケル−リン基合金の超硬面を形成させたものを用
いることがで診る。

本発明の振動波モータは、上述した複合樹脂材を用いて
移動体を形成し、あるいは複合樹脂材を用いて形成した
摺動体を支持体に固着一体化することで形成した移動体
を有することを特徴とする。

このような複合樹脂層を形成する方法、及び移動体の支
持体上に一体化する方法としては、−殻内には、射出成
形、押出成形により上記複合樹脂材の摺動体を形成し、
これを接着剤を用いて支持体上に固着一体化することに
よって構成することができる。なお複合樹脂材で形成し
た摺動体の支持体上への固着は、ガラス転移点が１００
℃以上の接着剤を用いて行なうことができ、このような
接着剤として具体的には、１００℃での耐熱接着力及び
熱老化性等が十分考慮された化学反応型エポキシ系接着
剤を例示することができる。

本発明においては、振動体との摺動面を提供する複合樹
脂層の母材として芳香族ポリイミド樹脂が用いられるこ
とを特徴とする。

この芳香族ポリイミド樹脂は熱硬化性樹脂であり代表的
にはビフェニルテトラカルボン酸二無水物と芳香族ジア
ミンの縮合物（「ユービレックス」　（商品名；宇部興
産社製））ビロメ＼ リフト酸無水物とジアミノジフェニールエーテルの縮合
物（「ベスブル」　（商品名：デュポン社製））を例示
することができる。この縮合物は、広範囲に渡るプラス
チックの中で高温での特性の優れたものであり、例えば
荷重１８．８ｋｇ／ａｍ２での熱変形温度は３５０℃で
あり、２６０℃の連続使用温度でも一般のエンジニアリ
ングプラスチックの常温での強度を示す。

本発明の上記複合樹脂層には、摩擦調整剤好ましくは粉
末状の摩擦調整剤が充填される。このような摩擦調整剤
は母材である熱硬化ｌ樹脂の潤滑性等を改善するために
充填されるものであり、このような摩擦調整剤としては
一般に無定形粉末の固体潤滑剤が用いられ、具体的には
フッ素樹脂、二硫化モリブデン、黒鉛、カーボン、酸化
鉛、鉛等の粉末（いずれも非繊維）を例示することがで
きる。

上記摩擦調整剤は、代表的には母材に対し重量比で３０
％以下の一酸化鉛等の鉛化合物の粉末、及び重量比で５
〜４０％の四フッ化エチレン等のフッ素樹脂を同時添加
する場合を特に好ましいものとして挙げることができる
。

上記四フッ化エチレン樹脂は低摩擦係数樹脂であるため
、充填量があまり多くなると摩擦係数は小さくなるが、
材料的な強度と耐摩耗性が低下するため上記範囲とされ
る。

上記−酸化鉛粉末及び四フッ化エチレン樹脂粉末は、い
ずれも固体潤滑剤として母材である熱硬化性樹脂の潤滑
性を補うために有効であり、振動体摺動面に対し複合樹
脂層の摺動面を摩擦駆動する際に、−酸化鉛粉末は四フ
ッ化エチレン樹脂の被膜を振動体摺動面に転移させる作
用があり、特に高温での摺動で摩擦係数を常に安定させ
るために有効な物質である。

潤滑剤としての上記−酸化鉛粉末等の鉛化合物、四フッ
化エチレン樹脂等のフッ素樹脂の粉末は、母材である熱
可塑性樹脂との密着性を考えて複合樹脂層としての耐摩
耗性や材料強度を保証するために例えば平均粒径が２０
ｔ１ｍ以下とすることが好ましい。なお四フッ化エチレ
ン樹脂（ＰＴＦＥ）は低摩擦係数樹脂であるから充填量
が多いと摩擦係数は小さくなるが、材料的強度及耐摩耗
性は低下する。

また上記複合樹脂層にはさらに、耐摩耗性の改良、摺動
面の温度変化に対する安定性向上の目的で必要に応じて
遷移金属粉末を充填配合することができる。このような
遷移金属粉末として具体的には、タングステン、モリブ
デン、クロム、コバルト、チタン、ニッケルを挙げるこ
とができ、母材に対し４０％以下のタングステン粉末（
２０μｍ以下）、あるいは１５％以下のモリブデン粉末
（２０ｐｍ以下）等を少なくとも１種添加する場合を例
示することができる。尚非繊維型の耐摩耗性改良剤とし
て、前記の遷移金属の代りに、平均粒径１０〜３０μｍ
の球形の炭素を用いても良く、特に炭素繊維と同様高硬
度で熱伝導性の高い炭素ビーズを例示しても良い。

（実施例） 以下本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。

第１図は本発明による振動波モータの一実施例を示す縦
断面図である。

この図において、２はステンレス等の金属部材からなる
円環状の振動体基板であり、その裏面側には、薄い円環
形状の圧電素子群１が耐熱性のエポキシ樹脂系接着剤で
同心的に固着され、また表面側の摺動面は、進行性振動
波の撮動振幅を大きくとるために周方向に多数の溝部が
軸方向に切り込まれて措歯状をなしている。

３は高熱伝導性の金属材からなる筐体であり、その中心
部に第１のボール軸受１１が設けられると共に、この第
１のホール軸受１１の軸心と同心的に上記振動体２がネ
ジ４で固定されている。

１０は中間にフランジ部１０ｃが形成された出力軸であ
り、その一端部側１０ａは上記第１のボール軸受１１の
内輪に軸方向摺動が可能に貫通支持され、また他端部側
１０ｂは、後記する第２のボール軸受１２の内輪及び後
記するバネ圧調整ナツト部材１８の軸孔に軸方向摺動自
在かつ回転自在に：ｉａしている。１５は上記出力軸１
０のフランジ部１０ｃにネジ１６で固定された円盤状の
中間部材であり、その外周端部には、環状に形成された
移動体７が同心的に外装嵌合して固定されている。

上記移動体７は、アルミ合金等の熱伝導性の高い金属か
らなる環状の支持体５と、この支持体５の表面に、耐熱
性のエポキシ系接着剤で同心的に接着された摺動体６と
から構成され、この摺動体６は本例では例えば厚み１ｍ
ｍの環状体として後述する配合及び構造をもった複合樹
脂層として形成される。この摺動体６が振動体２の摺動
面に接触する。

またこの移動体７は、その底部に設けられたゴム類の弾
性シート部材１７を介して中間部材１５に支持された構
造に設けられていて、上記出力軸１０のフランジ部１０
ｃと上記第２のボール軸受１２との間に弾装されたコイ
ル状の圧縮バネ部材１４が発生する軸荷重が、この弾性
シート部材１７を介して支持体５の軸方向に与えられて
、振動体２の摺動面と移動体７の摺動体６とが加圧接触
されるようになっている。

８は振動波モータの筐体カバーであり、ネジ９により筐
体３に固定されている。そしてその中央部に形成された
軸受嵌合孔８ｂには第２のボール軸受１２が軸方向摺動
可能に嵌合され、更にこの軸受嵌合孔８ｂの内周面には
、螺子部８ｃが形成されてバネ圧調整ナツト部材１８が
螺着されている。バネ圧調整ナツト部材１８は、第２の
ボール軸受１２の外輪１２ａにのみ接し、また第２のボ
ール軸受１２の内輪１２ｂは出力軸１ｏに対して軸方向
摺動可能でかつ回転可能に設けられていて、バネ圧調整
ナツト部材１８に形成された２個の小孔１８ａ、１８ａ
に例えば先端部に２木の差し込み棒が形成された治具（
図示せず）の該差し込み棒を差し込んで時計方向に回す
ことで、このバネ圧調整ナツト部材１８が図中左方向に
螺進しながら第２のボール軸受１２を同方向に押し圧縮
バネ部材１４を縮めてバネ力を大きくし、また逆方向に
回すと圧縮バネ部材１４を広げてバネ力を弱くできるよ
うになっており、これによりバネのたわみによる出力軸
ｌＯの軸荷重調整が可能とされている。なお出力軸ｌＯ
の軸荷重調整後に、筐体カバー８の小孔８ａから接着剤
を流し込んで、第２のボール軸受１２の外輪１２ａを筐
体カバー８に固着するのが通常である。

また、圧縮バネ部材１４の一端と第２のボール軸受１２
との間には、第２のボール軸受１２の内輪１２ｂにのみ
当接するスペーサ１３が配置され、このスペーサ１３に
圧縮バネ部材１４の一端が当接し、出力軸が支障なくス
ムーズに回転できるようにしている。なお、圧縮バネ部
材１４には、たわみに対する軸荷重の変動を小さくする
ためにバネ定数の極力小さなものが好ましく用いられる
。

上記した振動体２の圧電素子群１は、第２図に示すよう
に、夫々図示の如く分８ｉ処理された駆動用のＡ圧電素
子群１ａ及びＢ圧電素子群１ｂと、振動状態を検出する
２つの振動検出用圧電素子１ｃと、接地用の共通電極１
ｄから構成され、Ｂ圧電素子群１ｂはＡ圧電素子群１ａ
に対し、励起されるべ誇振動数の波長（λ）の１７４だ
けずれたピッチで配置されている。

モしてＡ圧電素子群１ａとＢ圧電素子群１ｂに、互いに
位相が９０°異なる周波電圧を印加することにより、振
動体２の表面に進行性振動波が発生し、この振動体２に
上述の如く加圧接触された移動体７が摩擦駆動され、中
間部材１５を介して出力軸１０を回転させる。

以上の構成の振動波モータにつき、移動体７の複合樹脂
層である振動体６の材質を検討するために下北第−表の
配合からなる摺動体としての板状体を形成しく実施例１
．２及び参考例１〜６）、下記に従ってその曲げ弾性率
を測定した。

なお実施例の摺動体は、母材として芳香族ポリイミド樹
脂に、表中に記載の非繊維型充填材を配合した下記の通
りのものである。

実施例１：ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と芳香
族ジアミンとの縮合物であ る芳香族ポリイミド樹脂に、非繊維 型充填剤として四フッ化エチレン樹 脂粉末（平均粒径９Ｂｍ）を重量比で ８．５％、−酸化鉛粉末を（平均粒径 １０ｐｍ）を重量比で６．０％充充填台し、圧縮成形し
、切削加工して１ｍｍ の板状体（摺動体）とした。

実施例２：四フッ化エチレン樹脂粉末の充填量を９．４
％とし、さらにモリブデン粉 末の重量比で６゜５％充填配合した他 は、実施例１と同様にして板状体を 成形した。

参考例としては、ガラス転移点が１００℃以上の各耐熱
性熱可塑性樹脂に、耐摩耗性向上のために第−表中記載
量の炭素繊維を分散充填して、実施例と同様の板状体に
成形し、その曲げ弾性率を測定した結果を同表に示した
。なお炭素繊維の充填は主に耐摩耗性の向上を目的とし
ており、この目的からは充填量は多いことが望ましいが
、充填量が３０％を越えると射出成形が困難となる。な
お炭素繊維の充填により材料の弾性率や硬さ等大きくな
って、結果的にモータ等の性能が向上することは知られ
ている。

！二里淀 ＡＳＴＭ　Ｄ７９２に基づき測定したもので厚み３．２
ｍｍの板を用いた。

第 表 上記表から明らかであるように、本実施例の複合樹脂層
は、例えば実施例１．２は、熱可塑性樹脂を母材とした
参考例の板状体に比べてはるかに高い熱変形温度を示す
ことが理解される。

また実施例は、熱可塑性樹脂を母材とした参考例に比べ
て炭素繊維が充填されていないにもかかわらず曲げ弾性
率が高く、芳香族ポリイミドの機械的な強度が高いこと
を示している。

実施例 上記第−表に示された板状体（摺動体）を支持体に固着
して移動体を作製し、これを用いて第１図の振動波モー
タを製作した。

振動体２の振動体基板は、その熱膨張係数が固着される
圧電素子群１の面方向の熱膨張係数に近似し、金属とし
ては比較的熱膨張係数が小さく、また内部損失も小さい
弾性材料であるマルテンサイト系ステンレスを用いて、
直径が７３ｍｍ、軸方向寸法が７ｍｍの円環状のものと
して形成し、また移動体が加圧接触される摺動画は、炭
化珪素（Ｓｉｎ）を共析（１０％程度）したニッケル−
リン基合金の硬質面（Ｈｖ＝６００　）をアニールして
硬度を上げて（ｌ（ｖ＝　１１００）用いた。

移動体の作製は、上記振動体と概ね同寸法の円環状支持
体をアルミニウム合金により形成し、上記第−表で示し
た板状体（摺動体）を複合樹脂層としてエポキシ系接着
剤を用いて接着固定した。なおこの摺動体６は射出成形
品である１０ｍｍ厚の板材の片側面が摺動面となるよう
に約ｌｌ１ｌｌ１１１厚で削り出し、支持体５に固着後
、摺動面を微小量切削く又は研磨）して最終的に１　ｍ
ｍ厚にすると共に、摺動面に炭素繊維が露出するように
したが、これはモータの初期性能と経時的性能に差が出
ないようにしたためである。

なお参考例２，４．５の複合樹脂層には摺動時の潤滑性
向上のためにＰＴＦＥを５％充填した。また参考例の振
動波モータでは、移動体の摺動面を提供する複合樹脂層
に炭素１Ｇ維が充填配合されているため、振動体の摺動
面は上述したタングステンカーバイド及びコバルトから
なる超硬材料を溶射して硬質面（ＨＶ”Ｆ１２００）と
した。

以上の摺動体からなる複合樹脂層（上記参考例１〜６、
及び実施例１〜４）を固着した移動体を、第１図で説明
した大出力型の振動波モータに組込み、「鳴き」、「出
力」、及び「トルクムラ」を下記に従って測定した。

［０１きの測定コ 第１図の振動波モータにおける圧縮ばね部材１４が発生
する加圧力を９　ｋｇｆに設定し、ＦＦＴを用いて無負
荷回転時の鳴きを測定した。測定結果を概略鳴きあり及
び鳴きなしとして示した。

［出力の測定］ 定格トルク（４ｋｇｃｍ）での出力の犬ぎさを低速型ト
ルク検出器を用いて測定した。測定結果は出力の大きさ
により犬、中、小に分けた。

［トルクムラの測定］ 定格（４ｋｇｃｍ、　１０１００ｒｐで連続駆動したと
きのトルクムラを低速型トルク検８器を用いて測定した
。測定結果は、トルクの変動量により中、小に分けた。

なお鳴き及び出力の測定ではいずれの例でもも振動体２
の振動振幅量は予め設定した一定量で行なった。

また定格時のトルクムラの測定では定格値が得られるよ
うに摺動体の材料毎に振動体２の振動振幅量を設定した
。

第　　　二　　　表 上記表の結果から明らかであるように、まず定格（４ｋ
ｇｃｍ、１０１００ｒｐで連続運転を開始すると、参考
例はいずれの移動体も特に駆動直後の数分間でトルクの
うねりが見られるが、実施例ではうねり量が小さかった
。

また連続運転２時間後のトルクムラも、実施例のものは
トルクムラが２％程度と、参考例の５％よりも小さかっ
た。

また定格時（４ｋｇｃＩｌｌ）の出力をみると、参考例
が４．８〜５．４Ｗの範囲にあるのに対し、実施例は５
．０〜５，２ｗであり、参考例に比べて定価はなく実用
に十分供し得る範囲であった。

更に無負荷時の鳴ぎをみると、参考例１〜６の摺動体で
は全て鳴きの現象が見られたが、実施例では全＜　Ｏｉ
ｈの現象の発生がなかった。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明の大型振動波モータは、移
動体の摺動体を形成するために芳香族ポリイミド樹脂を
母材とし、これに摩擦調整剤を充填配合して用いること
により、定格の大出力時のトルクのうねり及びムラ等を
改善できるという効果がある。

また無負荷時あるいは低負荷時の駆動に際し「鳴き」を
回避することができるという効果がある。

更に振動体の摺動面として、炭化珪素（ＳｉＣ）を共析
したニッケル−リン基合金の無電界メツキによる安価な
硬質面を用いることがで診るので、従来のタングステン
カーバイド及びコバルトからなる超硬材料を溶射した高
価な硬質面を用いた場合と同等の高精度、高出力型振動
波モータを構成でき、振動波モータを低コストに堤供で
きるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を適用して構成される振動波モータの構
成概要を縦断面図として示した図、第２図は振動体を構
成する圧電素子群の配置を説明する平面図である。 １；圧電素子群　　　　２：振動体 ５：支持体　　　　　　６；摺動体 ７：移動体

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、進行性振動波を生ずる振動体に、該振動体との接触
   面を提供する複合樹脂層を備えた部材を加圧接触させて
   、振動体と該加圧接触する部材を該振動体に生じさせた
   進行性振動波により摩擦駆動で相対移動させる振動波モ
   ータにおいて、上記複合樹脂層は、芳香族ポリイミド樹
   脂の母材に、摩擦調整剤、及び必要に応じて非繊維型の
   耐摩耗性改良剤を充填配合した複合樹脂で形成されてい
   ることを特徴とする振動波モータ。 ２、請求項１において、芳香族ポリイミド樹脂がビフェ
   ニルテトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの縮合
   物であることを特徴とする振動波モータ。 ３、請求項１において、摩擦調整剤が鉛酸化物の少なく
   とも一種と、フッ素樹脂とであることを特徴とする振動
   波モータ。 ４、請求項３において、鉛酸化物が酸化鉛粉末であつて
   、母材に対し重量比で３０％以下含有されていることを
   特徴とする振動波モー タ。 ５、請求項３において、フッ素樹脂が四フッ化エチレン
   樹脂粉末であって、母材に対し重量比で５〜４０％充填
   されていることを特徴とする振動波モータ。 ６、請求項１において、複合樹脂層が充填材としてモリ
   ブデン、タングステン等の遷移金属粉末を含有すること
   を特徴とする振動波モータ。 ７、請求項１ないし６のいずれかにおいて、振動体に加
   圧接触する部材が、支持体と、複合樹脂層をなす成形体
   の固着一体化により形 成されていることを特徴とする振動波モー タ。 ８、請求項１ないし７のいずれかにおいて、振動体に加
   圧接触する部材が、複合樹脂層をなす成形体のみからな
   ることを特徴とする振動波モータ。 ９、請求項１ないし８のいずれかにおいて、振動体の摺
   動面が、炭化珪素、炭化ホウ素、ホウ素チタニウム、チ
   ッ化ホウ素の一種以上を含むニッケル−リン基合金の超
   硬面であることを特徴とする振動波モータ。