JPH0317565A - ハンドラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体素子のテストの際にテスターに半導
体素子を供給するためのハンドラーに関するものである
。

〔従来の技術〕

第４図は従来のハンドラーの構或を示す図である。第４
図において、ハンドラー（１）はローダ部（２）．供給
部（３），測定部（４），収容部（５），アンローダ部
（７）よシ構戒されている。

第３図は！４図にかける測定部（４）の構或を示す図で
ある。

第４図にシいて、ハンドラー（１）のローダ部（２》よ
シ半専体素子を送シ．こみ、供給ｓ（３）は送シこまれ
？半導体素子を測定都（４）へ供給する。半導体素子が
測定部（４）に供給されると、第３図のように測定スト
ツパ制御部αθにテスターよシ信号が送られ、測定スト
ッパー■によシ半専体素子０υの位置決めが行われ、テ
ストヘッド（９）のコンタクト部αＯと前記半導体素子
αυがコンタクトし、測定が行われる仕組みになってい
る。測定が終了すると測定ストッパー■が開き半導体素
子ａＤは収容部（５）にてテスタからの測定結果情報に
よってアンローダ部（７）にセットされたチューブ（６
）に！Ｄ分けられる。

選別された半導体素子にはその後の工程でマーキングが
行われる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のハンドラーによって選別された半４体素子は、マ
ーキング工程までに混入する可能性があり、実際に上記
のような問題がかきている半例もある。

この発明は上記のような問題点をＰＩＩ決するためにな
されたもので、内部に印字機能を持つハンドラーを得る
ことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るハンドラーは、測定終了した半導体素子
に対して、不良品には不良品であることがわかるような
マークを印字し、また良品には品種名などのマーキング
も行う印字機能を備えている０ 〔作用〕 この発明にｋける・・ンドラーは、内部に印字機能を持
ってかり、前記ハンドラーにてマーキングを行うことに
よシ、半導体素子の混入を防き゛、品種名等を印字する
場合は工程改が減る。

〔実施例〕

以下、この発明の一夾施例を図面を用いて説明する。ｉ
ｌ図はこの発明の一実施例によるハンドラ−の構或を示
した横断面図でるる。

第１図に釦いて、測定部（４）と収容部（５）の間にマ
ーキング部（８）を設ける。

第２図は第１図における測定部（４）とマーキング部（
８）の構或を示す図である。

次にこの発明にかけるハンドラーの動作について第１図
，第２図を参照して説明する。

人手によってＷ．１図のローダ部（２）にセットされた
半導体素子は、供給部（３）を通シ測定部（４）に送ら
れる。測定終了すると第２図のようにマーキングストッ
パー制御部に信号が送られ、マーキングストッパーα４
が＃１作し、マーキング部に送られた半導体素子αυの
位置が決１る。１た、測定結果情報がテスタよシマーキ
ング制御部に送られマーキング制御部の制御によシマー
キング装置が半導体素子の上面に適切なマーキングを行
う。不良品には赤インクで×印を印字するが、サルベー
ジのことも考え、この赤インクは消去可能なものにする
。

また、測定部（４）にかける測定がｊｔ終測定の場合に
は、良品に対して品種名等の印字を行う。マーキングが
完了すると、マーキングストッパーａ◆が開き半導体素
子αυぱ収容部（５）に送られる。収谷部（５）にて半
導体素子はアンローダ部（７）の各チューブ（６）へ振
う分けられる。

なか、上記実施例では測定部（４）と収容部（５）の間
にマーキング部（８７　′ｆ．設けたものを示したが、
収容部（５）とアンローダ部（７）の間にマーキング部
（３）を設け、振シ分けの終了後、マーキングを行って
もよいＯ 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば、半導体素子の混入、
例えば不良品が良品として出荷されるようなことを防き
゛、また工程数を減らすことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるハンドラーを示す横
断面図である。第２図は第１図にかける測定部（４）と
マーキング部（８）を示す構或図である。 第３図は第４図に釦ける測定部（４）を示す構或図であ
る。第４図は従来のノ）ンドラーを示す斜視図である。 図に３いて、（３）はマーキング部である。 なお、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体素子への印字を行うマーキング部を備えたハンド
   ラー。