JPH0317632U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0317632U JPH0317632U JP7896689U JP7896689U JPH0317632U JP H0317632 U JPH0317632 U JP H0317632U JP 7896689 U JP7896689 U JP 7896689U JP 7896689 U JP7896689 U JP 7896689U JP H0317632 U JPH0317632 U JP H0317632U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum tweezers
- wafer
- area
- suctioning
- handled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図ａは、本考案の真空ピンセツトを示す上
面図。第１図ｂは、本考案の真空ピンセツトの断
面図。第１図ｃは、本考案の真空ピンセツトでウ
エハーを吸着したところを示す図。第２図ａは、
従来の真空ピンセツトを示す上面図。第２図ｂは
、従来の真空ピンセツトの断面図。第２図ｃは、
従来の真空ピンセツトでウエハーを吸着したとこ
ろを示す図。 １…吸引部、２…接触部、３…取手、４…ウエ
ハー。
面図。第１図ｂは、本考案の真空ピンセツトの断
面図。第１図ｃは、本考案の真空ピンセツトでウ
エハーを吸着したところを示す図。第２図ａは、
従来の真空ピンセツトを示す上面図。第２図ｂは
、従来の真空ピンセツトの断面図。第２図ｃは、
従来の真空ピンセツトでウエハーを吸着したとこ
ろを示す図。 １…吸引部、２…接触部、３…取手、４…ウエ
ハー。
Claims (1)
- ウエハーキヤリア等にセツトされたウエハーを
１枚ずつ吸引することにより、他のウエハーキヤ
リア等に移し替えを行なうための真空ピンセツト
において、ウエハーを吸引するための穴を少なく
とも２ケ設け、かつウエハーとの接触面積を最大
、取扱うウエハーの面積を越えない程度のものと
することを特徴とする真空ピンセツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7896689U JPH0317632U (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7896689U JPH0317632U (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0317632U true JPH0317632U (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=31622708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7896689U Pending JPH0317632U (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0317632U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997010024A1 (en) * | 1995-09-12 | 1997-03-20 | Eisen Corporation | Personal ornament for applying magnetism to human body |
-
1989
- 1989-07-04 JP JP7896689U patent/JPH0317632U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997010024A1 (en) * | 1995-09-12 | 1997-03-20 | Eisen Corporation | Personal ornament for applying magnetism to human body |