JPH03178176A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
- Publication number
- JPH03178176A JPH03178176A JP31675989A JP31675989A JPH03178176A JP H03178176 A JPH03178176 A JP H03178176A JP 31675989 A JP31675989 A JP 31675989A JP 31675989 A JP31675989 A JP 31675989A JP H03178176 A JPH03178176 A JP H03178176A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- laser medium
- cooling pipe
- cabinet
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ装置に関する。
従来から、レーザ媒質とフラッシュランプを独立して冷
却する系においてレーザ媒質の冷却方法として６転 第
３は 第４図に示したように ガラス管１４にレーザ媒
質１１を挿入し このガラス管１４中に純水などの第１
液体１２を流通し またフラッシュランプ１５の冷却方
法として該ガラス管１４外と集光反射鏡１６の間に純水
などの第２液体１３を流通させるという方法がとられて
きら 例え眠 レーザ媒質１１を８５℃に温度制御して発振さ
せようとする時、フラッシュランプ１５を冷却するため
に低温（１５℃）の第２液体１３を集光反射鏡１６とガ
ラス管１４外の間に流通させ、前記ガラス管１４内には
レーザ媒質１１の温度が８５℃となるように温度調節さ
れた第１液体１２を流通させる。
却する系においてレーザ媒質の冷却方法として６転 第
３は 第４図に示したように ガラス管１４にレーザ媒
質１１を挿入し このガラス管１４中に純水などの第１
液体１２を流通し またフラッシュランプ１５の冷却方
法として該ガラス管１４外と集光反射鏡１６の間に純水
などの第２液体１３を流通させるという方法がとられて
きら 例え眠 レーザ媒質１１を８５℃に温度制御して発振さ
せようとする時、フラッシュランプ１５を冷却するため
に低温（１５℃）の第２液体１３を集光反射鏡１６とガ
ラス管１４外の間に流通させ、前記ガラス管１４内には
レーザ媒質１１の温度が８５℃となるように温度調節さ
れた第１液体１２を流通させる。
このような装置において１丸 レーザ媒質１１を温度
コントロールする第１液体１２とフラッシュランプ１５
を冷却する第２液体１３とがガラス管１４のみを境界と
して隣接するので、両者の熱的絶縁が不十分で、境界近
傍では第１液体１２の液温が第２液体１３の熱的影響を
受は不安定になり、こうした冷却系の温度変動でレーザ
発振が不安定となる。
コントロールする第１液体１２とフラッシュランプ１５
を冷却する第２液体１３とがガラス管１４のみを境界と
して隣接するので、両者の熱的絶縁が不十分で、境界近
傍では第１液体１２の液温が第２液体１３の熱的影響を
受は不安定になり、こうした冷却系の温度変動でレーザ
発振が不安定となる。
本発明は前述の状況に鑑みなされたもので、その目的は
レーザ媒質の温度を一定ならしめるレーザ装置を提供す
ることにある。
レーザ媒質の温度を一定ならしめるレーザ装置を提供す
ることにある。
本発明は、前記課題を解決するため、以下のような手段
としら 本発明は、レーザ媒質と、電力印加用電極を有する励起
源と、この励起源で励起された光を反射して前記レーザ
媒質に投射する反射鏡とを備えたレーザ装置において、
前記励起源を透明な第１冷却筐内に収容して第１冷却筐
内を第１冷却液で満たすとともは 前記レーザ媒質を透
明な第２冷却筐内に収容して第２冷却筐内を第２冷却液
で満たＬ 前記第１冷却筐と第２冷却筺との間に断熱層
を設けて、前記第１冷却液と第２冷却液とを熱的に絶縁
したことを特徴とするレーザ装置である。
としら 本発明は、レーザ媒質と、電力印加用電極を有する励起
源と、この励起源で励起された光を反射して前記レーザ
媒質に投射する反射鏡とを備えたレーザ装置において、
前記励起源を透明な第１冷却筐内に収容して第１冷却筐
内を第１冷却液で満たすとともは 前記レーザ媒質を透
明な第２冷却筐内に収容して第２冷却筐内を第２冷却液
で満たＬ 前記第１冷却筐と第２冷却筺との間に断熱層
を設けて、前記第１冷却液と第２冷却液とを熱的に絶縁
したことを特徴とするレーザ装置である。
ここで、前記絶縁層は空気層あるいは真空層とするのが
好適である。真空層の真空度は０．０１〜１ ｔｏｒｒ
がよい。
好適である。真空層の真空度は０．０１〜１ ｔｏｒｒ
がよい。
本発明で１１ 第１冷却液と第２冷却液とが熱的に絶
縁されるため、励起源やレーザ媒質が効率よく冷却され
る。
縁されるため、励起源やレーザ媒質が効率よく冷却され
る。
以下図面を参照して本発明について説明する。
第１臥 第２図は本発明の固体レーザ装置断面の模式図
である。
である。
本実施例におけるレーザ装置＋４ 気密性筐体１内＆
ス レーザ媒質２としてアレキサンドライト、励起源と
して２つのフラッシュランプ３、この励起源で励起され
た光を発振させる共振器を備え、前記共振器はフラッシ
ュランプ３で励起された光を反射して前記レーザ媒質２
に投射する集光反射鏡５を気密性筐体１の内面に有し
集光反射鏡５はレーザ媒質２を挾んで一対設けられてい
る。
ス レーザ媒質２としてアレキサンドライト、励起源と
して２つのフラッシュランプ３、この励起源で励起され
た光を発振させる共振器を備え、前記共振器はフラッシ
ュランプ３で励起された光を反射して前記レーザ媒質２
に投射する集光反射鏡５を気密性筐体１の内面に有し
集光反射鏡５はレーザ媒質２を挾んで一対設けられてい
る。
そして、第２図で示したよう＆ス 気密性筺体１内に第
１冷却管６が設けられてこの気密性筺体１と第１冷却管
６とで第１冷却筺が形成されている。
１冷却管６が設けられてこの気密性筺体１と第１冷却管
６とで第１冷却筺が形成されている。
そして、第１冷却筺へ 即ち、気密性筐体１と第１冷却
管６との間の空間に前記各フラッシュランプ３が設けら
れているととも＆； 第１冷却液９としての純水で満た
さＬ この純水は図示しない循環手段で循環されるよう
になっている。
管６との間の空間に前記各フラッシュランプ３が設けら
れているととも＆； 第１冷却液９としての純水で満た
さＬ この純水は図示しない循環手段で循環されるよう
になっている。
各フラッシュランプ３の両端に：転 励起用電力を印加
するための電極４が設けら也 電極４には電極ホルダ８
がそれぞれ取り付けられている。
するための電極４が設けら也 電極４には電極ホルダ８
がそれぞれ取り付けられている。
第１冷却筐を構成する第１冷却管６内＆； 第２冷却筺
たる第２冷却管７が収容されこの第２冷却管内にレーザ
媒質２が収容されている。この第２冷却管７内には、第
２冷却液１０として純水が満たさへ この純水も図示し
ない循環手段で循環されるようになっている。
たる第２冷却管７が収容されこの第２冷却管内にレーザ
媒質２が収容されている。この第２冷却管７内には、第
２冷却液１０として純水が満たさへ この純水も図示し
ない循環手段で循環されるようになっている。
前記第１冷却管６とこの第２冷却管７との間の空間に空
気が充填さ也 空気層（Ｓ）による熱的絶縁が図られて
いる。
気が充填さ也 空気層（Ｓ）による熱的絶縁が図られて
いる。
そして、フラッシュランプ３で励起された光１転冷却液
９、反射鏡５を反射し 第１冷却管６を透過し 空気層
、第２冷却管７を透過してレーザ媒質２に投入さへ 反
対側の反射鏡５に反射さ也再度レーザ媒質２に投入さ札
この繰り返しによる共振でレーザ光が生成されて出力
される。
９、反射鏡５を反射し 第１冷却管６を透過し 空気層
、第２冷却管７を透過してレーザ媒質２に投入さへ 反
対側の反射鏡５に反射さ也再度レーザ媒質２に投入さ札
この繰り返しによる共振でレーザ光が生成されて出力
される。
この隊 フラッシュランプ３、及び、レーザ媒質２はそ
れぞ也 第１冷却管６九 第２冷却管７内の冷却液９．
１０で冷却されるカー 両冷却液９゜１０は空気層で熱
的に絶縁されるため、相互に熱的影響を受けず安定化さ
れる。
れぞ也 第１冷却管６九 第２冷却管７内の冷却液９．
１０で冷却されるカー 両冷却液９゜１０は空気層で熱
的に絶縁されるため、相互に熱的影響を受けず安定化さ
れる。
よって、フラッシュランプ３、及び、レーザ媒質２の温
度コントロールを適切に行うことができる。
度コントロールを適切に行うことができる。
このように本発明のレーザ装置は特に温度依存性のある
レーザ媒質を温度制御する冷却装置として有効である。
レーザ媒質を温度制御する冷却装置として有効である。
なお、この冷却液を第１冷却管６、第２冷却管７は比無
熱伝導度が高く、しかもアレキサンドライト、サファ
イア等の固体レーザの励起波長域において透明なる物質
、例えば合成石英ガラス、天然石英ガラス、セリウムド
ープ天然石英ガラス、チタニウムドープ天然石英ガラス
、パイレックス、Ｓｍフィルター等によってつくられて
いる。
熱伝導度が高く、しかもアレキサンドライト、サファ
イア等の固体レーザの励起波長域において透明なる物質
、例えば合成石英ガラス、天然石英ガラス、セリウムド
ープ天然石英ガラス、チタニウムドープ天然石英ガラス
、パイレックス、Ｓｍフィルター等によってつくられて
いる。
レーザ媒質２として鷹 前記したアレキサンドライトの
他、ルビー ガラスを使用できる。
他、ルビー ガラスを使用できる。
以上のように、本発明で眠 第１冷却液と第２冷却液と
が熱的に絶縁されるため、励起源やレーザ媒質が互いに
影響なく効率よく冷却されて、レーザ媒質の温度を一定
にでき、安定したレーザ発振運転ができる。
が熱的に絶縁されるため、励起源やレーザ媒質が互いに
影響なく効率よく冷却されて、レーザ媒質の温度を一定
にでき、安定したレーザ発振運転ができる。
第１図は本発明のレーザ装置の正面断面図であり、第２
図は本発明のレーザ装置の側面断面図である。第３図は
従来のレーザ装置の正面断面図であり、第４図は従来の
レーザ装置の側面断面図である。
図は本発明のレーザ装置の側面断面図である。第３図は
従来のレーザ装置の正面断面図であり、第４図は従来の
レーザ装置の側面断面図である。
Claims (3)
- （１）レーザ媒質と、電力印加用電極を有する励起源と
、この励起源で励起された光を反射して前記レーザ媒質
に投射する反射鏡とを備えたレーザ装置において、前記
励起源を透明な第１冷却筐内に収容して第１冷却筐内を
第１冷却液で満たすとともに、前記レーザ媒質を透明な
第２冷却筐内に収容して第２冷却筐内を第２冷却液で満
たし、前記第１冷却筐と第２冷却筐との間に断熱層を設
けて、前記第１冷却液と第２冷却液とを熱的に絶縁した
ことを特徴とするレーザ装置。 - （２）前記絶縁層が空気層である請求項１記載のレーザ
装置。 - （３）前記絶縁層が真空層である請求項１記載のレーザ
装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31675989A JPH03178176A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | レーザ装置 |
| CA002031445A CA2031445A1 (en) | 1989-12-06 | 1990-12-04 | Laser device |
| US07/623,094 US5130999A (en) | 1989-12-06 | 1990-12-06 | Laser device |
| EP19900123441 EP0431619A3 (en) | 1989-12-06 | 1990-12-06 | Laser device |
| KR1019900019998A KR910013637A (ko) | 1989-12-06 | 1990-12-06 | 레이저장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31675989A JPH03178176A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03178176A true JPH03178176A (ja) | 1991-08-02 |
Family
ID=18080606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31675989A Pending JPH03178176A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03178176A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002009371A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザキャビティ |
-
1989
- 1989-12-06 JP JP31675989A patent/JPH03178176A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002009371A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザキャビティ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4734913A (en) | Unitary solid-state laser | |
| US5481556A (en) | Laser oscillation apparatus with cooling fan and cooling fins | |
| US5130999A (en) | Laser device | |
| US5050184A (en) | Method and apparatus for stabilizing laser mirror alignment | |
| US3855543A (en) | Device for producing stimulated infrared emission | |
| US4933946A (en) | Conductively cooled solid-state slab laser | |
| JPH01268080A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPS6171689A (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
| US5848081A (en) | Insulated water cooled gain medium assembly for a laser system | |
| JPH02161786A (ja) | 半導体レーザ励起固定レーザ装置 | |
| JP2012033818A (ja) | 半導体レーザー励起固体レーザー装置 | |
| JPS6310917B2 (ja) | ||
| JPH1187813A (ja) | 固体レーザ発振器 | |
| JPS6021584A (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPH05211361A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| RU2202846C2 (ru) | Лазер | |
| JPH1187806A (ja) | 固体レーザ発振装置 | |
| JPH03178175A (ja) | レーザ装置 | |
| WO1993001636A1 (en) | Solid laser | |
| JPH0322579A (ja) | スラブ型固定レーザ装置 | |
| JPS61220486A (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| SU1165210A1 (ru) | Стабилизированный лазер | |
| JPH0311785A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JPH053355A (ja) | 固体レーザ媒質 | |
| JPH06310782A (ja) | スラブ形固体レーザ装置 |