JPH03181038A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH03181038A JPH03181038A JP32631290A JP32631290A JPH03181038A JP H03181038 A JPH03181038 A JP H03181038A JP 32631290 A JP32631290 A JP 32631290A JP 32631290 A JP32631290 A JP 32631290A JP H03181038 A JPH03181038 A JP H03181038A
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- Japan
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- magneto
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- magnetic
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- optical recording
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は新規な組成の磁性薄層を有する光磁気記録媒体
に関する。
に関する。
従来、光磁気メモリー材料の磁性膜としてアモルファス
磁性合金膜Gd−Co、 Gd−Fe、 TI+−Fe
、 Gd−TbFe、 D7−Th−Feなどが用いら
れていたが、磁気光学特性、カーまたはファラデー回転
角が不十分で再生時のS/Nが低かった。キュリー温度
を上げると例えばGd−Tk−Feのようにカー回転角
が向上するものがあるが、いまだカー回転角は不十分で
あり、またキュリー温度が高いと記録時のレーザーパワ
ーが大きいという欠点がある。
磁性合金膜Gd−Co、 Gd−Fe、 TI+−Fe
、 Gd−TbFe、 D7−Th−Feなどが用いら
れていたが、磁気光学特性、カーまたはファラデー回転
角が不十分で再生時のS/Nが低かった。キュリー温度
を上げると例えばGd−Tk−Feのようにカー回転角
が向上するものがあるが、いまだカー回転角は不十分で
あり、またキュリー温度が高いと記録時のレーザーパワ
ーが大きいという欠点がある。
そこで、本発明者等は光磁気メモリー材料の磁性膜とし
てTkFeCo系合金を使用してカー回転角を大きくす
ることを既に提案した。しかしながら、TbFeCoの
使用によりカー回転角が改善されるが光磁気光学特性と
しては十分満足のいくものではなかった。また、キュリ
ー温度が高いために記録時のレーザパワーを大きくする
必要があり、その結果記録速度を十分に得ることができ
ないという問題があった。
てTkFeCo系合金を使用してカー回転角を大きくす
ることを既に提案した。しかしながら、TbFeCoの
使用によりカー回転角が改善されるが光磁気光学特性と
しては十分満足のいくものではなかった。また、キュリ
ー温度が高いために記録時のレーザパワーを大きくする
必要があり、その結果記録速度を十分に得ることができ
ないという問題があった。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであって、遷移
金属(Fe、 Co)と希土類(DF、 Tk、 Gd
)との合金薄膜において遷移金属の磁気モーメントが主
に光磁気光学効果に作用している点及び該合金薄膜の膜
厚と記録エネルギーとの間の特殊ね関係に着目してカー
またはファラデー回転角の大きい磁性合金組成を選択し
、また記録時のレーザパワーをできるだけ小さくするた
めに遷移金属に希土類を適正に組合せるとともに膜厚を
一定の範囲に規定することにより小さなエネルギーで記
録できかつ再生時に大きなSinを得ることができる光
磁気記録媒体の開発に成功し、本発明の完成に至った。
金属(Fe、 Co)と希土類(DF、 Tk、 Gd
)との合金薄膜において遷移金属の磁気モーメントが主
に光磁気光学効果に作用している点及び該合金薄膜の膜
厚と記録エネルギーとの間の特殊ね関係に着目してカー
またはファラデー回転角の大きい磁性合金組成を選択し
、また記録時のレーザパワーをできるだけ小さくするた
めに遷移金属に希土類を適正に組合せるとともに膜厚を
一定の範囲に規定することにより小さなエネルギーで記
録できかつ再生時に大きなSinを得ることができる光
磁気記録媒体の開発に成功し、本発明の完成に至った。
本発明の目的は記録時のメモリー媒体面でのレーザパワ
ーが小さい光磁気記録媒体を提供することである。また
、本発明の別の目的は再生時のSinすなわちカーない
しファラデー回転角の大きい光磁気記録媒体を提供する
ことである。
ーが小さい光磁気記録媒体を提供することである。また
、本発明の別の目的は再生時のSinすなわちカーない
しファラデー回転角の大きい光磁気記録媒体を提供する
ことである。
本発明の光磁気記録媒体は、磁性薄層として、一般式
%式%)
(式中、MlはTb、Gdまたはoyを表わし、Mll
はTb。
はTb。
Gd、D7またはBiを表わし、引とMllは異々って
おり、0.0<x<1゜0.0.7≦y<t、oおよび
0.1<t<0.3である。、)で表わされる少々くと
も一種の磁性合金膜を有し、かつ該磁性合金膜の膜厚が
150A〜500人の範囲にあることを特徴とする。
おり、0.0<x<1゜0.0.7≦y<t、oおよび
0.1<t<0.3である。、)で表わされる少々くと
も一種の磁性合金膜を有し、かつ該磁性合金膜の膜厚が
150A〜500人の範囲にあることを特徴とする。
本発明における磁性薄層の組成ではFeとCoの2種の
遷移金属によってカーないしファラデー回転角が改善さ
れ、そして2種の希土類元素の組合せによって垂直異方
性とキュリー温度が調整されるものと考えられる。本発
明の磁性薄層に用いられる合金組成の代表的々例として
は以下のものをあげることができる。
遷移金属によってカーないしファラデー回転角が改善さ
れ、そして2種の希土類元素の組合せによって垂直異方
性とキュリー温度が調整されるものと考えられる。本発
明の磁性薄層に用いられる合金組成の代表的々例として
は以下のものをあげることができる。
(Tbo、aDTo−s)o、zz(Feo、5Coo
、z)o−ys −(i)。
、z)o−ys −(i)。
(Tbo−*BIa、r)o−sr(Feo、vsCo
o−zz>o−ms ・= (b)。
o−zz>o−ms ・= (b)。
(Gdo、5DFo、a)o、ta(Feo、5Coo
、+)o、sz −(c)、(Gdo、@5B
io、xs)o、2s(Feo、ascoo−+2)o
−ycm・(d)、(D7o、5Bio、t)o、zs
(Fe□、aCoo−z)o、ys ”’(e)、
(Gd+)、yTko、3)o、z4(Feo、5sC
oo、os)o、ya −(f)。
、+)o、sz −(c)、(Gdo、@5B
io、xs)o、2s(Feo、ascoo−+2)o
−ycm・(d)、(D7o、5Bio、t)o、zs
(Fe□、aCoo−z)o、ys ”’(e)、
(Gd+)、yTko、3)o、z4(Feo、5sC
oo、os)o、ya −(f)。
光磁気記録媒体の重要な課題は記録時には小さなエネル
ギーを要し、一方再生時には大きなSinが得られねば
々らない。記録時のエネルギーは磁性膜のキュリー温度
、膜厚、媒体の熱伝導率が大きな要因である。第1図は
膜厚と記録に必要なエネルギー(レーザ出力)との関係
を示すグラフである。この図から明らかなように、膜厚
200A (0,02μm)まで膜厚とレーザ出力は直
線関係に膜厚の増大に比例する。膜厚200A(0,0
2μm)以下になるとレーザ出力が増大する。これは膜
厚が薄くなりすぎてレーザ光が透過してしまい熱が蓄積
されなくなるためである。したがって、本発明では磁性
薄層の厚さを150−50OAにするのが適当である。
ギーを要し、一方再生時には大きなSinが得られねば
々らない。記録時のエネルギーは磁性膜のキュリー温度
、膜厚、媒体の熱伝導率が大きな要因である。第1図は
膜厚と記録に必要なエネルギー(レーザ出力)との関係
を示すグラフである。この図から明らかなように、膜厚
200A (0,02μm)まで膜厚とレーザ出力は直
線関係に膜厚の増大に比例する。膜厚200A(0,0
2μm)以下になるとレーザ出力が増大する。これは膜
厚が薄くなりすぎてレーザ光が透過してしまい熱が蓄積
されなくなるためである。したがって、本発明では磁性
薄層の厚さを150−50OAにするのが適当である。
また、第2図は本発明の磁性薄層に用いられる合金組成
と記録可能な出力(レーザパワー+*W)およびキュリ
ー温度(℃〉との関係を示すグラフである。
と記録可能な出力(レーザパワー+*W)およびキュリ
ー温度(℃〉との関係を示すグラフである。
グラフ中、実線はレーザパワーを、点線はキュリー温度
を示す。記録条件としてはLD波長1l100n、レー
ザパルス幅5μs、外部磁界2000eおよび膜厚20
0A〜500人を用いる。キュリー温度の低いo7の量
が増大するに従ってキュリー温度が低下し、記録に必要
なレーザパワーの出力が減少する。
を示す。記録条件としてはLD波長1l100n、レー
ザパルス幅5μs、外部磁界2000eおよび膜厚20
0A〜500人を用いる。キュリー温度の低いo7の量
が増大するに従ってキュリー温度が低下し、記録に必要
なレーザパワーの出力が減少する。
以下、図面について本発明の光磁気記録媒体の構成を説
明する。
明する。
第3図(^)は本発明の光磁気記録媒体の層構成例を示
す模式図であって、基板1上に高屈折率層3、磁性薄層
2および酸化防止層4を順次設けたものである。第3図
(B)は別の層構成例を示す模式図であって、基板!上
に磁性薄層2、高屈折率層3、反射層5および酸化防止
層6を順次設けたものである。
す模式図であって、基板1上に高屈折率層3、磁性薄層
2および酸化防止層4を順次設けたものである。第3図
(B)は別の層構成例を示す模式図であって、基板!上
に磁性薄層2、高屈折率層3、反射層5および酸化防止
層6を順次設けたものである。
磁性薄層2は単層であっても積層であっても良い。
基板としては、ガラス、プラスチックなどを用いること
ができる。
ができる。
高屈折率層は例えばFe2O3,TiO2、CeO2,
5b2o3、WO2、Sin、 Bi2O3,CdOな
どの屈折率が2.0以上の物をスッパタリング法によっ
て付着させる。
5b2o3、WO2、Sin、 Bi2O3,CdOな
どの屈折率が2.0以上の物をスッパタリング法によっ
て付着させる。
酸化防止層としてはMgO1A1203.5i02.
Ti0z、およびTh0zの酸化物が用いられ、膜厚は
100OA以上である。
Ti0z、およびTh0zの酸化物が用いられ、膜厚は
100OA以上である。
第3図(B)では基板上に磁性薄層が150〜30OA
の膜厚で付着しており、再生時のレーザー光が透過可能
々物である。
の膜厚で付着しており、再生時のレーザー光が透過可能
々物である。
反射層としては金属薄膜Cu、^g、 Cr、 AQ、
Rh、AuおよびNiなどが用いられる。反射層に金属
薄膜を用いる場合はその上に酸化防止層が必要である。
Rh、AuおよびNiなどが用いられる。反射層に金属
薄膜を用いる場合はその上に酸化防止層が必要である。
次に、本発明の光磁気記録媒体の製造例を具体的に説明
する。
する。
厚さ1閣のガラス基板上に最初に磁性層をアルゴンガス
圧3X 10−”Tort、放電々力300W、模作製
速度2OA/secの条件で作製する。スパッタリング
は3つのターゲットを用いて基板回転で行い例えばGd
Tb Fe Co磁性層のターゲット上の配置はFe
ターゲット上にGd、 Tb、 Coのチップが磁性層
に対応する面積比で配置される。1つのターゲットは高
屈折率層例えばSiOであり、もう1つのターゲットは
反射層例えばCuがそれぞれ配置される。各々の積層膜
は同一真空中でターゲット上のシャッターが開閉されて
順次膜が積層され光磁気記録媒体が作製されるものであ
る。
圧3X 10−”Tort、放電々力300W、模作製
速度2OA/secの条件で作製する。スパッタリング
は3つのターゲットを用いて基板回転で行い例えばGd
Tb Fe Co磁性層のターゲット上の配置はFe
ターゲット上にGd、 Tb、 Coのチップが磁性層
に対応する面積比で配置される。1つのターゲットは高
屈折率層例えばSiOであり、もう1つのターゲットは
反射層例えばCuがそれぞれ配置される。各々の積層膜
は同一真空中でターゲット上のシャッターが開閉されて
順次膜が積層され光磁気記録媒体が作製されるものであ
る。
上述したようにして作製された本発明の光磁気記録媒体
の構成例を以下の表1に記載する。磁性薄層の欄におい
て、(i)、(b)、 (c)、(d)、(e)および
(f)はそれぞれ先に例示した合金組成に対応する。表
1に示した本発明の光磁気記録媒体について、レーザ(
波長800nmおよび媒体面での強度1+mW)を用い
て測定したカー回転角(θk)及びファラデー回転角O
Fと記録周波数2kl bN/sにおける記録レーザパ
ワーを以下の表2に示す。
の構成例を以下の表1に記載する。磁性薄層の欄におい
て、(i)、(b)、 (c)、(d)、(e)および
(f)はそれぞれ先に例示した合金組成に対応する。表
1に示した本発明の光磁気記録媒体について、レーザ(
波長800nmおよび媒体面での強度1+mW)を用い
て測定したカー回転角(θk)及びファラデー回転角O
Fと記録周波数2kl bN/sにおける記録レーザパ
ワーを以下の表2に示す。
表
A、光磁気記録媒体の構成〔第3図(^)〕麩麩惠 率
佳薄廣 ^−1(哀)#厚300A A−2(b) If 250A ^−3(C) n 400A A−4(d) # 200A ^−5(e) n 180A ^−6([) n 250A ?MAwgL 慝也ヅ生星 SiO膜厚 1000A Fe2O33000ACe
O□n 3000A WO33000人Ti0z
n 2000A A Q 2033000ASi
OIT 2500A AQ2035000ASiO
n 900A Ag2O34000人5iOII
500A ugo 5000人B、光磁気
記録媒体の構成〔第3図(B)〕竪法覆装 鼻亘近生屡
区盤屋 徴但肢生星B−1(a)膜厚150A Ti
O2膜厚3000A Ag5000人TiO□3000
AB−2(k) n 170ASiOn 500
AAu n TsN3000AB−3(c) n
200ASiOn ZOQOACo n Ce0
230GOλB−4(d) IF 250A CeO
2n 100OA AQ IT CrN 300
0AB−5(e) IT 200ASiO2It
900AAQ n Ti021000AB−6(f
) # 250ASiOn 2500ACu n
5i025000A表 2 カー効果(試料Aに対して) によるθ1およびファラデー 効果(試料Bに対して)によ るθ。
佳薄廣 ^−1(哀)#厚300A A−2(b) If 250A ^−3(C) n 400A A−4(d) # 200A ^−5(e) n 180A ^−6([) n 250A ?MAwgL 慝也ヅ生星 SiO膜厚 1000A Fe2O33000ACe
O□n 3000A WO33000人Ti0z
n 2000A A Q 2033000ASi
OIT 2500A AQ2035000ASiO
n 900A Ag2O34000人5iOII
500A ugo 5000人B、光磁気
記録媒体の構成〔第3図(B)〕竪法覆装 鼻亘近生屡
区盤屋 徴但肢生星B−1(a)膜厚150A Ti
O2膜厚3000A Ag5000人TiO□3000
AB−2(k) n 170ASiOn 500
AAu n TsN3000AB−3(c) n
200ASiOn ZOQOACo n Ce0
230GOλB−4(d) IF 250A CeO
2n 100OA AQ IT CrN 300
0AB−5(e) IT 200ASiO2It
900AAQ n Ti021000AB−6(f
) # 250ASiOn 2500ACu n
5i025000A表 2 カー効果(試料Aに対して) によるθ1およびファラデー 効果(試料Bに対して)によ るθ。
笠iNa −01む−記録レーザパワーA−10,5
113,0mW A−20,523,0 A−30,624,2 A−40,643,0 A−50,603,0 A−60,743,5 B−10,682,5 B−20,602,8 B−30,742,8 B−40,722,5 B−50,702,3 B−60,883,5 表−2から本発明による光磁気記録媒体は十分な大きさ
のカー回転角tlいしファラデー回転角を示し、記録時
のレーザパワーも小さくできることがわかる。
113,0mW A−20,523,0 A−30,624,2 A−40,643,0 A−50,603,0 A−60,743,5 B−10,682,5 B−20,602,8 B−30,742,8 B−40,722,5 B−50,702,3 B−60,883,5 表−2から本発明による光磁気記録媒体は十分な大きさ
のカー回転角tlいしファラデー回転角を示し、記録時
のレーザパワーも小さくできることがわかる。
なお、本発明による光磁気記録媒体は光変調方式と磁界
変調方式のいずれにも適用でき、また重ね書きタイプの
記録方式にも適用可能である。
変調方式のいずれにも適用でき、また重ね書きタイプの
記録方式にも適用可能である。
第1図は磁性薄層の膜厚と記録エネルギーとの関係を示
すグラフであり、第2図は磁性薄層の合金組成と記録エ
ネルギーとの関係を示すグラフであり、そして第3図(
A)および(B)は光磁気記録媒体の層構成を示す模式
図である。 I・・・基板、2・・・磁性薄層、3・・・高屈折率層
、4.6・・・酸化防止層、5・・・反射層。
すグラフであり、第2図は磁性薄層の合金組成と記録エ
ネルギーとの関係を示すグラフであり、そして第3図(
A)および(B)は光磁気記録媒体の層構成を示す模式
図である。 I・・・基板、2・・・磁性薄層、3・・・高屈折率層
、4.6・・・酸化防止層、5・・・反射層。
Claims (1)
- (1)磁性薄層として、一般式 (M I _xMII_1_−_x)_z(Fe_yCo_
1_−_y)_1_−_z(式中、M I はTb、Gd
またはDyを表わし、MIIはTb、Gd、DyまたはB
iを表わし、M I とMIIは異なっており、0.0<x
<1.0、0.7≦y<1.0および0.1<z<0.
3である。)で表わされる少なくとも一種の磁性合金膜
を有し、かつ該磁性合金膜の膜厚が150Å−500Å
の範囲にあることを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326312A JP2612215B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326312A JP2612215B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 光磁気記録媒体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57169707A Division JPS5961011A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03181038A true JPH03181038A (ja) | 1991-08-07 |
| JP2612215B2 JP2612215B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=18186359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2326312A Expired - Lifetime JP2612215B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2612215B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961011A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2326312A patent/JP2612215B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961011A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2612215B2 (ja) | 1997-05-21 |
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