JPH03181039A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH03181039A JPH03181039A JP32631390A JP32631390A JPH03181039A JP H03181039 A JPH03181039 A JP H03181039A JP 32631390 A JP32631390 A JP 32631390A JP 32631390 A JP32631390 A JP 32631390A JP H03181039 A JPH03181039 A JP H03181039A
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- magnetic thin
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は新規な層構成でありかつ新規な組成の磁性薄層
を有する光磁気記録媒体に関する。
を有する光磁気記録媒体に関する。
従来、光磁気メモリー材料の磁性膜としてアモルファス
磁性合金膜Ｇｄ＝Ｃｏ、 Ｇｄ−Ｆｅ、 Ｔｂ−Ｆｅ、
Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ、 Ｄ７−Ｔｋ−Ｆｅなどが用いら
れていたが、磁気光学特性、カーまたはファラデー回転
角が不十分で再生時のＳ／Ｎが低かった。キュリー温度
を上げると例えばＧｄ−Ｔｋ−Ｆｅのようにカー回転角
が向上するものがあるが、いまだカー回転角は不十分で
あり、またキュリー温度が高いと記録時のレーザーパワ
ーが大きいという欠点がある。
磁性合金膜Ｇｄ＝Ｃｏ、 Ｇｄ−Ｆｅ、 Ｔｂ−Ｆｅ、
Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ、 Ｄ７−Ｔｋ−Ｆｅなどが用いら
れていたが、磁気光学特性、カーまたはファラデー回転
角が不十分で再生時のＳ／Ｎが低かった。キュリー温度
を上げると例えばＧｄ−Ｔｋ−Ｆｅのようにカー回転角
が向上するものがあるが、いまだカー回転角は不十分で
あり、またキュリー温度が高いと記録時のレーザーパワ
ーが大きいという欠点がある。
そこで、本発明者等は光磁気メモリー材料の磁性膜とし
てＴｋＦｅＣｏ系合金を使用してカー回転角を大きくす
ることを既に提案した。しかしながら、ＴｋＦｅＣｏの
使用によりカー回転角が改善されるが光磁気光学特性と
しては十分満足のいくものではなかった。また、キュリ
ー温度が高いために記録時のレーザパワーを大きくする
必要があり、その結果記録速度を十分に得ることができ
々いという問題があった。
てＴｋＦｅＣｏ系合金を使用してカー回転角を大きくす
ることを既に提案した。しかしながら、ＴｋＦｅＣｏの
使用によりカー回転角が改善されるが光磁気光学特性と
しては十分満足のいくものではなかった。また、キュリ
ー温度が高いために記録時のレーザパワーを大きくする
必要があり、その結果記録速度を十分に得ることができ
々いという問題があった。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであって、遷移
金属（Ｆｅ、 Ｃｏ）と希土類（Ｄ７．Ｔｂ、 Ｇｄ）
との合金薄膜において遷移金属の磁気モーメントが主に
光磁気光学効果に作用している点に着目してカーまたは
ファラデー回転角の大きい磁性合金組成を選択し、また
記録時のレーザパワーをできるだけ小さくするために遷
移金属に希土類を適正に組合せ、さらに新規な層構成を
採用することにより小さなエネルギーで記録できかつ再
生時に大きなＳｉｎを得ることができる光磁気記録媒体
の開発に成功し、本発明の完成に至った。
金属（Ｆｅ、 Ｃｏ）と希土類（Ｄ７．Ｔｂ、 Ｇｄ）
との合金薄膜において遷移金属の磁気モーメントが主に
光磁気光学効果に作用している点に着目してカーまたは
ファラデー回転角の大きい磁性合金組成を選択し、また
記録時のレーザパワーをできるだけ小さくするために遷
移金属に希土類を適正に組合せ、さらに新規な層構成を
採用することにより小さなエネルギーで記録できかつ再
生時に大きなＳｉｎを得ることができる光磁気記録媒体
の開発に成功し、本発明の完成に至った。
本発明の目的は記録時のメモリー媒体面でのレーザパワ
ーが小さい光磁気記録媒体を提供することである。また
１本発明の別の目的は再生時のＳｉｎすなわちカーない
しファラデー回転角の大きい光磁気記録媒体を提供する
ことである。
ーが小さい光磁気記録媒体を提供することである。また
１本発明の別の目的は再生時のＳｉｎすなわちカーない
しファラデー回転角の大きい光磁気記録媒体を提供する
ことである。
本発明の光磁気記録媒体は、基板上に高屈折率層、磁性
薄層および酸化防止層を順次設けた構成あるいは基板上
に磁性薄層、高屈折率層、反射層および酸化防止層を順
次設けた構成を有し、かつ該磁性薄層が、一般式 ％式％） （式中、ＭｌはＴｂ、ＧｄまたはＤｒを表わし、Ｍｌｌ
はＴｂ。
薄層および酸化防止層を順次設けた構成あるいは基板上
に磁性薄層、高屈折率層、反射層および酸化防止層を順
次設けた構成を有し、かつ該磁性薄層が、一般式 ％式％） （式中、ＭｌはＴｂ、ＧｄまたはＤｒを表わし、Ｍｌｌ
はＴｂ。
）１−ｚ（式中、ＭＩはＴｂ、ＧｄまたはＤｙを表わし
、ＭＩＩは異ｆ１つでおり、０．０＜ｘ＜１．０．０．
７≦ｙ＜１．ｏおよびＱ、、ｊ ＜ ！ ＜ ０．３で
ある。）で表わされる少なくとも一種の磁性合金膜から
々ることを特徴とするものである。
、ＭＩＩは異ｆ１つでおり、０．０＜ｘ＜１．０．０．
７≦ｙ＜１．ｏおよびＱ、、ｊ ＜ ！ ＜ ０．３で
ある。）で表わされる少なくとも一種の磁性合金膜から
々ることを特徴とするものである。
本発明における磁性薄層の組成ではＦｅとＣｏの２種の
遷移金属によってカーないしファラデー回転角が改善さ
れ、そして２種の希土類元素の組合せによって垂直異方
性とキュリー温度が調整されるものと劣えられる。本発
明の磁性薄層に用いられる合金組成の代表的な例として
は以下のものをあげることができる。
遷移金属によってカーないしファラデー回転角が改善さ
れ、そして２種の希土類元素の組合せによって垂直異方
性とキュリー温度が調整されるものと劣えられる。本発
明の磁性薄層に用いられる合金組成の代表的な例として
は以下のものをあげることができる。
（Ｔｋｏ−ｓＤＦｏ−ｓ）ｏ−ａ２（Ｆｅｏ、＠Ｃｏｏ
、ｚ）ｏ−ｔｓ −−ｈ）。
、ｚ）ｏ−ｔｓ −−ｈ）。
（Ｔｂｏ、５Ｂｉｏ、１）ｏ、＋ｙ（Ｆｅｏ、ｙｓＣｏ
ｏ、ｚｚ）ｏ、ｓ３− （ｂ）、（Ｇｄｏ、５Ｄｙｏ
、ａ）ｏ、＋ａ（Ｆｅｏ、５ｃｏｏ、ｔ）ｏ、ａｘ
−（ｃ）、（Ｇｄｏ、５ｓＢｉｏ、＋ｓ）ｏ、ｚａ（
Ｆｅｏ、５ａＣｏｏ、＋ｚ）ｏ−ｙｃ＝ （ｄ）、（
ＤＦｏ、５Ｂｉｏ、１）ｏ、ｚｓ（Ｆｅｏ−ａｃｏｏ−
ｚ）ｏ、ｙｓ ・・・ （ｅ）（Ｇｄｏ、ｙＴｂｏ
−３）ｏ、ｚ＜（Ｆｅｏ、５ｓＣｏｏ、ｏｓ）ｏ、ｙａ
−（ｒ）。
ｏ、ｚｚ）ｏ、ｓ３− （ｂ）、（Ｇｄｏ、５Ｄｙｏ
、ａ）ｏ、＋ａ（Ｆｅｏ、５ｃｏｏ、ｔ）ｏ、ａｘ
−（ｃ）、（Ｇｄｏ、５ｓＢｉｏ、＋ｓ）ｏ、ｚａ（
Ｆｅｏ、５ａＣｏｏ、＋ｚ）ｏ−ｙｃ＝ （ｄ）、（
ＤＦｏ、５Ｂｉｏ、１）ｏ、ｚｓ（Ｆｅｏ−ａｃｏｏ−
ｚ）ｏ、ｙｓ ・・・ （ｅ）（Ｇｄｏ、ｙＴｂｏ
−３）ｏ、ｚ＜（Ｆｅｏ、５ｓＣｏｏ、ｏｓ）ｏ、ｙａ
−（ｒ）。
光磁気記録媒体の重要な課題は記録時には小さなエネル
ギーを要し、一方再生時には大きなＳｉｎが得られねば
ならない。記録時のエネルギーは磁性膜のキュリー温度
、膜厚、媒体の熱伝導率が大きな要因である。第１図は
膜厚と記録に必要なエネルギー（レーザ出力）との関係
を示すグラフである。この図から明らかなように、膜厚
２０ＯＡ （０，０２μ国）まで膜厚とレーザ出力は直
線関係に膜厚の増大に比例する。膜厚２００Ａ （０，
０２μｌ１１）以下になるとレーザ出力が増大する。こ
れはレーザ光が透過してしまい熱が蓄積されないためで
ある。したがって、本発明では磁性薄層の厚さを２００
−１０００ Ａにするのが適当である。
ギーを要し、一方再生時には大きなＳｉｎが得られねば
ならない。記録時のエネルギーは磁性膜のキュリー温度
、膜厚、媒体の熱伝導率が大きな要因である。第１図は
膜厚と記録に必要なエネルギー（レーザ出力）との関係
を示すグラフである。この図から明らかなように、膜厚
２０ＯＡ （０，０２μ国）まで膜厚とレーザ出力は直
線関係に膜厚の増大に比例する。膜厚２００Ａ （０，
０２μｌ１１）以下になるとレーザ出力が増大する。こ
れはレーザ光が透過してしまい熱が蓄積されないためで
ある。したがって、本発明では磁性薄層の厚さを２００
−１０００ Ａにするのが適当である。
また、第２図は本発明の磁性薄層に用いられる合金組成
と記録可能な出力（レーザパワーｍＷ）およびキュリー
温度（℃）との関係を示すグラフである。
と記録可能な出力（レーザパワーｍＷ）およびキュリー
温度（℃）との関係を示すグラフである。
グラフ中、実線はレーザパワーを、点線はキュリー温度
を示す。記録条件としてはＬＤ波長８００ｎｎ＋。
を示す。記録条件としてはＬＤ波長８００ｎｎ＋。
レーザパルス幅５μｓ、外部磁界２０００ｅおよび膜厚
２００Ａ−１００ＯＡを用いる。キュリー温度の低いＤ
Ｙの量が増大するに従ってキュリー温度が低下し、記録
に必要なレーザパワーの出力が減少する。
２００Ａ−１００ＯＡを用いる。キュリー温度の低いＤ
Ｙの量が増大するに従ってキュリー温度が低下し、記録
に必要なレーザパワーの出力が減少する。
以下、図面について本発明の光磁気記録媒体の構成を説
明する。
明する。
第３図（Ａ）は本発明の光磁気記録媒体の層構成例を示
す模式図であって、基板ｌ上に高屈折率層３゜磁性薄層
２および酸化防止層４を順次設けたものである。第３図
（Ｂ）は別の層構成例を示す模式図であって、基板ｌ上
に磁性薄層２、高屈折率層３、反射層５および酸化防止
層６を順次設けたものである。
す模式図であって、基板ｌ上に高屈折率層３゜磁性薄層
２および酸化防止層４を順次設けたものである。第３図
（Ｂ）は別の層構成例を示す模式図であって、基板ｌ上
に磁性薄層２、高屈折率層３、反射層５および酸化防止
層６を順次設けたものである。
磁性薄層２は単層であっても積層であっても良い。
基板としては、ガラス、プラスチックなどを用いること
ができる。
ができる。
高屈折率層は例えばＦｅ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＣｅＯ２，
５ｂｚＯｓ、ＷＯ，、Ｓｉｎ、 Ｂｉ２Ｏ３、ＣｄＯな
どの屈折率が２．０以上の物をスパッリング法によって
付着させる。
５ｂｚＯｓ、ＷＯ，、Ｓｉｎ、 Ｂｉ２Ｏ３、ＣｄＯな
どの屈折率が２．０以上の物をスパッリング法によって
付着させる。
酸化防止層としてはＭｇＯ，ＡＱ２０３．５ｉ０２、Ｔ
ｉＯ２、およびＴｈＯ□の酸化物が用いられ、膜厚は１
００ＯＡ以上である。
ｉＯ２、およびＴｈＯ□の酸化物が用いられ、膜厚は１
００ＯＡ以上である。
第３図（Ｂ）では基板上に磁性薄層が２００〜５００人
の膜厚で付着しており、再生時のレーザー光が透過可能
な物である。
の膜厚で付着しており、再生時のレーザー光が透過可能
な物である。
反射層としては金属薄膜Ｃｕ、 Ａｇ、 Ｃ１．＾Ｑ、
Ｒｈ、ＡｕおよびＮｉなどが用いられる。反射層に金ｐ
Ａ薄膜を用いる場合はその上に酸化防止層が必要である
。
Ｒｈ、ＡｕおよびＮｉなどが用いられる。反射層に金ｐ
Ａ薄膜を用いる場合はその上に酸化防止層が必要である
。
次に、本発明の光磁気記録媒体の製造例を具体的に説明
する。
する。
厚さＩＩＩＩＩｌｌのガラス基板上に最初に磁性層をア
ルゴンガス圧３Ｘ １０””Ｔｏｒｒ、放電々力３００
！、膜作製速度２０Ａ／ｓｅｃの条件で作製する。スパ
ッタリングは３つのターゲットを用いて基板回転で行い
例えばＧｄ Ｔｂ Ｆｅ Ｃｏ磁性層のターゲット上の
配置はＦｅターゲット上にＧｄ、 Ｔｂ、 Ｃｏのチッ
プが磁性層に対応する面積比で配置される。１つのター
ゲットは高屈折率層例えばＳｉＯであり、もう１つのタ
ーゲットは酸化防止層例えばＭｇＯがそれぞれ配置され
る。
ルゴンガス圧３Ｘ １０””Ｔｏｒｒ、放電々力３００
！、膜作製速度２０Ａ／ｓｅｃの条件で作製する。スパ
ッタリングは３つのターゲットを用いて基板回転で行い
例えばＧｄ Ｔｂ Ｆｅ Ｃｏ磁性層のターゲット上の
配置はＦｅターゲット上にＧｄ、 Ｔｂ、 Ｃｏのチッ
プが磁性層に対応する面積比で配置される。１つのター
ゲットは高屈折率層例えばＳｉＯであり、もう１つのタ
ーゲットは酸化防止層例えばＭｇＯがそれぞれ配置され
る。
各々の積層膜は同一真空中でターゲット上のシャッター
が開閉されて順次膜が積層され光磁気記録媒体が作製さ
れるものである。
が開閉されて順次膜が積層され光磁気記録媒体が作製さ
れるものである。
上述したようにして作製された本発明の光磁気記録媒体
の構成例を以下の表１に記載する。磁性薄層の欄におい
て、（Ｉ）、（Ｉｔ）、 （ｃ）、（ｄ）、 （ｅ）お
よび（ｆ）はそれぞれ先に例示した合金組成に対応する
。表１に示した本発明の光磁気記録媒体について、レー
ザ（波長８００ｎｍおよび媒体面での強度１＋ｓＷ）を
用いて測定したカー回転角（θｋ）及びファラデー回転
角θ、と記録周波数２Ｍ ｂ口／Ｓにおける記録レーザ
パワーを以下の表２に示す。
の構成例を以下の表１に記載する。磁性薄層の欄におい
て、（Ｉ）、（Ｉｔ）、 （ｃ）、（ｄ）、 （ｅ）お
よび（ｆ）はそれぞれ先に例示した合金組成に対応する
。表１に示した本発明の光磁気記録媒体について、レー
ザ（波長８００ｎｍおよび媒体面での強度１＋ｓＷ）を
用いて測定したカー回転角（θｋ）及びファラデー回転
角θ、と記録周波数２Ｍ ｂ口／Ｓにおける記録レーザ
パワーを以下の表２に示す。
表 １
Ａ、光磁気記録媒体の構成〔第３図（Ａ〕〕−６
（１）
６５０人
Ｓｉ０
００Ａ
ＭｇＯ
０００Ａ
Ｂ、光磁気記録媒体の構成〔第３図（Ｂ）〕竪牲脛屡
高屈折率層 区坦贋 醒但抜よ贋Ｂ−１（ｉ）膜厚
２００Ａ Ｔｉ０ｚ膜厚３０００Ａ Ａｇ５０００人Ｔ
ｉ０２３０００ＡＢ−２（ｂ） ｎ ２００ＡＳｉＯ
ｎ ５００ＡＡｕ Ｉｆ ＴａＮ３０００ＡＢ−
３（ｃ） ｎ ２００ＡＳｉＯｎ ２０００ＡＣｕ
ｒｌ Ｃｅ０２３０００ＡＢ−４（ｄ） Ｉｔ
２５０Ａ ＣｅＯ２Ｉｔ １００ＯＡ Ａｌｉ
ｎ ＣｒＮ ３０００ＡＢ−５（ｅ） ７１ ２００
ＡＳｉＯ） ｎ ９００ＡＡＱ ７１ Ｔｉ０
２１０００ＡＢ−６（１） ’＋ ２００ＡＳｉＯＩ
ｔ ２５００ＡＣｕ ” ５ｉＯｚ５０００Ａ表
２ カー効果（試料＾に対して） によるＯ３およびファラデー 効果（試料Ｂに対して）によ るθＦ 致旦Ｎ −旬１幻−記録レーザパワー Ａ−１０，５８７ｍＷ ＾−２ ０．５２ ８Ａ−３
０，６２７ Ａ−４０，６４６ Ａ−５０，０６） ５ Ａ−６０，７４６ Ｂ−１０，６８２，５ Ｂ−２０，６０２，８ Ｂ−３０，７４２，８ Ｂ−４０，７２２，５ Ｂ−５０，７０２，３ Ｂ−６０，８８３゜５ 表−２から本発明による光磁気記録媒体は十分な大きさ
のカー回転角ないしファラデー回転角を示し、記録時の
レーザパワーも小さくできることがわかる。
高屈折率層 区坦贋 醒但抜よ贋Ｂ−１（ｉ）膜厚
２００Ａ Ｔｉ０ｚ膜厚３０００Ａ Ａｇ５０００人Ｔ
ｉ０２３０００ＡＢ−２（ｂ） ｎ ２００ＡＳｉＯ
ｎ ５００ＡＡｕ Ｉｆ ＴａＮ３０００ＡＢ−
３（ｃ） ｎ ２００ＡＳｉＯｎ ２０００ＡＣｕ
ｒｌ Ｃｅ０２３０００ＡＢ−４（ｄ） Ｉｔ
２５０Ａ ＣｅＯ２Ｉｔ １００ＯＡ Ａｌｉ
ｎ ＣｒＮ ３０００ＡＢ−５（ｅ） ７１ ２００
ＡＳｉＯ） ｎ ９００ＡＡＱ ７１ Ｔｉ０
２１０００ＡＢ−６（１） ’＋ ２００ＡＳｉＯＩ
ｔ ２５００ＡＣｕ ” ５ｉＯｚ５０００Ａ表
２ カー効果（試料＾に対して） によるＯ３およびファラデー 効果（試料Ｂに対して）によ るθＦ 致旦Ｎ −旬１幻−記録レーザパワー Ａ−１０，５８７ｍＷ ＾−２ ０．５２ ８Ａ−３
０，６２７ Ａ−４０，６４６ Ａ−５０，０６） ５ Ａ−６０，７４６ Ｂ−１０，６８２，５ Ｂ−２０，６０２，８ Ｂ−３０，７４２，８ Ｂ−４０，７２２，５ Ｂ−５０，７０２，３ Ｂ−６０，８８３゜５ 表−２から本発明による光磁気記録媒体は十分な大きさ
のカー回転角ないしファラデー回転角を示し、記録時の
レーザパワーも小さくできることがわかる。
々お、本発明による光磁気記録媒体は光変調方式と磁界
変調方式のいずれにも適用でき、また重ね書きタイプの
記録方式にも適用可能である。
変調方式のいずれにも適用でき、また重ね書きタイプの
記録方式にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
第Ｘ図は磁性薄層の膜厚と記録エネルギーとの関係を示
すグラフであり、第２図は磁性薄層の合金組成と記録エ
ネルギーとの関係を示すグラフであり、そして第３図（
Ａ）および（Ｂ）は光磁気記録媒体の層構成を示す模式
図である。 ｌ・・・基板、２・・・磁性薄層％３・・・高屈折率層
、４．６・・・酸化防止層、５・・・反射層。
すグラフであり、第２図は磁性薄層の合金組成と記録エ
ネルギーとの関係を示すグラフであり、そして第３図（
Ａ）および（Ｂ）は光磁気記録媒体の層構成を示す模式
図である。 ｌ・・・基板、２・・・磁性薄層％３・・・高屈折率層
、４．６・・・酸化防止層、５・・・反射層。
Claims (2)
- （１）基板上に高屈折率層、磁性薄層および酸化防止層
を順次設けた構成を有し、 かつ該磁性薄層が、一般式 （Ｍ I ＿ｘＭII＿１＿−＿ｘ）＿ｚ（Ｆｅ＿ｙＣｏ＿
１＿−＿ｙ）＿１＿−＿ｚ（式中、Ｍ I はＴｂ、Ｇｄ
またはＤｙを表わし、ＭIIはＴｂ、Ｇｄ、ＤｙまたはＢ
ｉを表わし、Ｍ I とＭIIは異なっており、０．０＜ｘ
＜１．０、０．７≦１＜１．０および０．１＜ｚ＜０．
３である。）で表わされる少なくとも一種の磁性合金膜
からなることを特徴とする光磁気記録媒体。 - （２）基板上に磁性薄層、高屈折率層、反射層および酸
化防止層を順次設けた構成を有し、 かつ該磁性薄層が、一般式 （Ｍ I ＿ｘＭII＿１＿−＿ｘ）＿ｚ（Ｆｅ＿ｙＣｏ＿
１＿−＿ｙ）＿１＿−＿ｚ（式中、Ｍ I はＴｂ、Ｇｄ
またはＤｙを表わし、ＭIIはＴｂ、Ｇｄ、ＤｙまたはＢ
ｉを表わし、Ｍ I とＭIIは異なっており、０．０＜ｘ
＜１．０、０．７≦ｙ＜１．０および０．１＜ｚ＜０．
３である。）で表わされる少なくとも一種の磁性合金膜
からなることを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326313A JP2544684B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326313A JP2544684B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 光磁気記録媒体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57169707A Division JPS5961011A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03181039A true JPH03181039A (ja) | 1991-08-07 |
| JP2544684B2 JP2544684B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=18186371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2326313A Expired - Lifetime JP2544684B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2544684B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017214913A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-07 | 株式会社東芝 | 蒸気タービン翼及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961011A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2326313A patent/JP2544684B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961011A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017214913A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-07 | 株式会社東芝 | 蒸気タービン翼及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2544684B2 (ja) | 1996-10-16 |
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