JPH03183005A

JPH03183005A - 磁気ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH03183005A
Application number: JP32115089A
Authority: JP
Inventors: Kazuyoshi Fuse; 一義布施
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-12-11
Filing date: 1989-12-11
Publication date: 1991-08-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明のｎ的コ（産業上の利用分野）本発明はたとえばＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）等に
用いられる磁気ヘッドの製造方法に関する。

（従来の技術）メタルテープ等の抗磁力の高い磁気記録媒体の出現に対
応して、高飽和磁束密度の金属磁性体を用いてメインコ
アを形成した磁気ヘッドが開発されている。

このような磁気ヘッドの一例として、透磁率の高いフェ
ライト等を用いた一対のサブコアの対向面に、高飽和磁
束密度を有する金属磁性膜を形成し、これらのサブコア
をガラスにより一体に接合させた磁気ヘッドがあり、こ
れらはメタルインギャップヘッド（ＭＩＧヘッド）と称
されている。

このような磁気ヘッドの製造方法を第４図（ａ）〜（ｄ
）を用いて説明する。

まず、第４図（ａ）に示す一対のフェライトブロック４
１．４１の一方のフェライトブロック４１のコア対向面
に溝加工を行い巻線溝４２を形成する（第４図（ｂ））
。この後、スパッタリング装置等により一対のフェライ
トブロック４１．４１の対向面にそれぞれメインコアと
なる金属磁性膜４３を形成する（第４図（Ｃ））。この
後、各フェライトブロック４１．４１の対向面を接合さ
せ、さらにガラス等により一体に接着した後（第４図（
ｄ））　、所定の形状に切断するとともに媒体接触面４
４を形成する。そして第５図に示すように、巻線Ｆ、４
２にコイル４５を巻装することにより磁気ヘッドが製造
される。

しかしながら、上述した従来の磁気ヘッドの製造方法に
より得られた磁気ヘッドでは、第５図に示したように、
この磁気ヘッドの再生時において、磁気ヘッドのバック
ギャップ対向部Ａに金属磁性膜が存在しており、再生時
の磁束が金属磁性膜と直交し、この部分で渦電流損失が
生じ、特に高周波領域での再生効率が低下する恐れがあ
るという課題がある。

（発明が解決しようとする課題）上述したように従来の磁気ヘッドの製造方法により製造
された磁気ヘッドでは、バックギャップ対向面に金属磁
性膜がイｊ在するため、再生特性が低下するという課題
がある。

本発明は上述した従来の課題を角ｉｌ決するためのもの
で、再生特性の低下を有効に防止した磁気ヘッドを得る
ことのできる磁気ヘッドの製造方法を堤供することを目
的としている。

［９，明の構成］（課題を解決するための手段）本発明は、一対のフェライトサブコアの対向面にそれぞ
れ金属磁性膜のメインコアが形成され、これらのメイン
コアの間に磁気ギャップ膜が形成された磁気ヘッドの製
造方法において、前記フェライトサブコアとなる一対の
フェライトブロックの主面にそれぞれ巻線溝を形成し、
前記主面にフロントギャップ対向面、巻線溝およびバッ
クギャップ対向面を形成する工程と、前記フェライトブ
ロックの少なくとも前記フロントギャップ対向面にメイ
ンコアとなる金属磁性膜を形成する工程と、この金属磁
性膜が形成されたフェライトブロックの主面全面にフェ
ライト膜を形成する工程と、このフェライトブロックの
前記フロントギャップ対向面に形成された金属磁性膜が
露出されるとともにこの金属磁性膜の対向面と前記バッ
クギャップ対向面に形成されたフェライト膜の対向面と
が同一平面となるよう前記フェライトブロックの主面を
研磨する工程とを有することを特徴としている。

また本発明は、一対のフェライトサブコアのχ、１向面
にそれぞれ金属磁性膜のメインコアが形成され、これら
のメインコアの間に磁気ギャップ膜が形成された磁気ヘ
ッドの製造方法において、前記フェライトサブコアとな
る一対のフエライトブロツクの主面にそれぞれ巻線溝を
形成し、前記主面にフロントギャップ対向面、巻線溝お
よびバックギャップ対向面を形成する工程と、前記フェ
ライトブロックの少なくとも前記バックギャップ対向面
にフェライト膜を形成する工程と、このフェライト膜が
形成されたフェライトブロックの主面全面に金属磁性膜
を形成する工程と、このフェライトブロックの前記バッ
クギャップ対向面に形成されたフェライト膜が露出され
るとともにこのフェライト膜の対向面と前記フロントギ
ャップ対向面に形成された金属磁性膜の対向面とが同一
平面となるよう前記フェライトブロックの主面を研磨す
る工程とををすることを特徴としている。

（作　用）本発明の製造方法では、磁気ヘッドのバックギャップ部
分の対向面に金属磁性膜が存在しないので、再生時にお
けるバックギャップ部分での渦電流損失による再生効率
の劣化が防止され良好な再生特性を得ることのできる磁
気ヘッドを製造することができる。

（実施例）以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図（ａ）〜（ｅ）は本発明の一実施例の磁気ヘッド
の製造方法を説明するための図である。

以下、第１図を用いて磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明する。

まず、一対のサブコアとなる一対のフェライトブロック
１１．１１の対向面にそれぞれ巻線溝１２．１２を形成
する（第１図（ａ））。これにより、フロントギャップ
対向面１３、巻線溝１２およびバックギャップ対向面１
４が形成される。

次に、バックギャップ対向［１１ｉ１４をマスキングし
、この状態でフェライトブロック１１の対向面にメイン
コアとなる金属磁性膜１５をスパッタリングにより形成
する（第１図（ｂ））。

この後、バックギャップ対向面１４上のマスキングを除
去し、フェライトブロック１１の対向面全面にフェライ
ト膜１６をスパッタリングにより形成する（第１図（Ｃ
））。

そして、フェライトブロック１１のフロントギャップ対
向面１３上に形成された金属磁性膜１５が露出するとと
もに、この金属磁性膜１５の対向面とバックギャップ対
向面１４上に形成されたフェライト１１！１６の対向面
とが同一平面となるようにフェライトブロック１１の対
向面を研磨する（第１図（ｄ））。

この後、一対のフェライトブロック１．１．１１の対向
面に磁気ギャップ部となる酸化物膜を形成し、その対向
面を合せ、ガラスにより接合してフェライトブロック１
１．１１を一体とし、媒体接触面１７を形成するととも
に、チップ化のためのスライスを行う（第１図（ｅ））
。

これにより、サブコアの対向面のバックギャップ対向面
に金属磁性膜がイｒ［ＥＬ、、ない磁気ヘッドが得られ
る。

したがって、この実施例では、サブコアの対向面のバッ
クギャップ対向面に金属磁性膜が存在しないため、再生
時におけるバックギャップ対向面での渦電流の発生が防
止され、再生特性の良好な磁気ヘッドを得ることができ
る。

次に、本発明の他の実施例の磁気ヘッドの製造方法を第
２図（ａ）〜（ｅ）を用いて説明する。

まず、一対のサブコアとなる一対のフェライトブロック
２１．２１の対向面にそれぞれ巻ｎ　？ｍ　２２．２２
を形成する（第２図（ａ））。これにより、フロントギ
ャップ対向１１ｉ１ｉ２３、巻線溝２２およびバックギ
ャップ対向面２４が形成される。

次に、フロントギャップ対向面２３をマスキングし、こ
の状態でフェライトブロック２１の対向面にフェライト
膜２５をスパッタリングにより形成する（第２図（ｂ）
）。

この後、フロントギャップ対向面２３上のマスキングを
除去し、フェライトブロック２１の対向面全面に金属磁
性膜２６をスパッタリングにより形成する（第２図（Ｃ
））。

そして、フェライトブロック２１のバックギャップ対向
面２４上に形成されたフェライト膜２５が露出するとと
もに、このフェライト膜２５の対向面とフロントギャッ
プ対向面２３上に形成された金属磁性膜２６の対向面と
が同一平面となるようにフェライトブロック２１の対向
面を研磨する（第２図（ｄ））。

この後、一対のフェライトブロック２１．２１の対向面
に磁気ギャップ部となる酸化物膜を形成し、その対向面
を合せ、ガラスにより接合してフェライトブロック２１
．２１を一体とし、媒体接触面２７を形成するとともに
、チップ化のためのスライスを行う（第２図（ｅ））。

これにより、サブコアの対向面のバックギャップ対向面
に金属磁性膜がイｆ：在しない磁気ヘッドが得られる。

したがって、この実施例でも、サブコアの対向面のバッ
クギャップ対向面に金属磁性膜が存在しないため、再生
＋ｔｙにおけるバックギャップ対向面での渦電流の発生
が防止され、再生特性の良好な磁気ヘッドを得ることが
できる。

なお、上述した実施例では、一対のフェライトブロック
にそれぞれ巻線溝を形成した磁気ヘッドの例について説
明したが、第３図に示すように一方のフェライトブロッ
クにのみ巻線溝を形威し、巻線溝が形成されたサブコア
半体３１と巻線溝を形成していないサブコア半体３２と
の各対向面に上述した各実施例と同様にしてメインコア
である金属磁性膜３３、フェライト膜３４を形成してバ
ックギャップ対向面に金属磁性膜３３が存在しない磁気
ヘッドを得るようにしてもよい。

［発明の効果〕以上説明したように本発明の磁気ヘッドの製造方法では
、磁気ヘッドのバックギャップ部分の対向面に金属磁性
膜が存在しないので、再生時におけるバックギャップ部
分での渦電流損失による再生効率の劣化が防止され良好
な再生特性を得ることのできる磁気ヘッドを製造するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｅ）は本発明の一実施例の磁気ヘッド
の製造方法を説明するための図、第２図（ａ）〜（ｅ）
は本発明の他の実施例の磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための図、第３図は本発明の他の実施例の磁気ヘッド
の製造方法により得られた磁気ヘッドを示す図、第４図
（ａ）〜（ｄ）は従来の磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための図、第５図は従来の磁気ヘッドの製造方法によ
り得られた磁気ヘッドを示す図である。１１．２１・・・フェライトブロック、１２．２２・・
・巻線溝、１３．２３・・・フロントギヤ・ノブ対向面
、１４．２４・・・バックギャップ対向面、１５．２５
・・・金属磁性膜、１６．２６・・・フェライト膜。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）一対のフェライトサブコアの対向面にそれぞれ金
属磁性膜のメインコアが形成され、これらのメインコア
の間に磁気ギャップ膜が形成された磁気ヘッドの製造方
法において、前記フェライトサブコアとなる一対のフェライトブロッ
クの主面にそれぞれ巻線溝を形成し、前記主面にフロン
トギャップ対向面、巻線溝およびバックギャップ対向面
を形成する工程と、前記フェライトブロックの少なくとも前記フロントギャ
ップ対向面にメインコアとなる金属磁性膜を形成する工
程と、この金属磁性膜が形成されたフェライトブロックの主面
全面にフェライト膜を形成する工程と、このフェライト
ブロックの前記フロントギャップ対向面に形成された金
属磁性膜が露出されるとともにこの金属磁性膜の対向面
と前記バックギャップ対向面に形成されたフェライト膜
の対向面とが同一平面となるよう前記フェライトブロッ
クの主面を研磨する工程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
（２）一対のフェライトサブコアの対向面にそれぞれ金
属磁性膜のメインコアが形成され、これらのメインコア
の間に磁気ギャップ膜が形成された磁気ヘッドの製造方
法において、前記フェライトサブコアとなる一対のフェライトブロッ
クの主面にそれぞれ巻線溝を形成し、前記主面にフロン
トギャップ対向面、巻線溝およびバックギャップ対向面
を形成する工程と、前記フェライトブロックの少なくとも前記バックギャッ
プ対向面にフェライト膜を形成する工程と、このフェライト膜が形成されたフェライトブロックの主
面全面に金属磁性膜を形成する工程と、このフェライト
ブロックの前記バックギャップ対向面に形成されたフェ
ライト膜が露出されるとともにこのフェライト膜の対向
面と前記フロントギャップ対向面に形成された金属磁性
膜の対向面とが同一平面となるよう前記フェライトブロ
ックの主面を研磨する工程とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。