JPH03183164A - 固体撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は表面に受光素子および遮光膜を有する固体撮
像装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来の固体撮像装置の構成を示す断面図である
。同図に訃いて、１は半導体基板、２は感光部、３は続
出部、４は分離用酸化膜、５は絶縁膜、６はゲート電極
、７は例えばアルミニウム薄膜からなる遮光膜である。

このような構成において、入射光８は、感光部２以外で
は遮光膜Ｔによってそれようも下部には到達されない。

また、感光部２内に入射した入射光８は電荷を発生させ
、この発生した電荷はゲート電極６をオープンすること
によって続出部３へ転送されることになる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら従来の固体撮像装置は、遮光膜Ｔにアルミ
ニウム薄膜もしくは高融点金属薄膜を用いているために
その表面で入射光８の反射が生じるという問題があった
。また、アルミニウム薄膜からなる遮光膜γでは膜厚が
薄いためにピンホールが生じやすく、完全な遮光が得ら
れないという問題があった。つ１シ、同図に示すように
入射光８′は読出部３に入射した光で疑似電荷が発生し
てし１うことになる。したがって続出部３での遮光は完
全でなければならない。

〔課題を解決するための手段〕

このような課題を解決するために本発明は、遮光膜上に
不透明な電着膜を設けたものである。

〔作用〕

この発明における不透明な電着膜は入射光の入射および
散乱を阻止する。

〔実施例〕

第１図はこの発明による固体撮像装置の一実施例を示す
断面図であシ、前述の図と同一部分には同一符号を付し
である。同図において、アルｅ　ニウム薄膜からなる遮
光膜７は、絶縁膜５を介して感光部２以外の部分に形成
されておシ、この遮光膜１上には不透明な電着Ｍ９が形
成されている。

この電着膜９＃′ｉ溶液型もしくは分散型電着塗料を材
料として用い、遮光膜Ｔを電極として選択的に形成する
。

このような構成によると、不透明な電着膜９をアルミニ
ウム遮光膜Ｔ上に積層形成して設けたことにより１アル
ミニウム遮光膜７のピンホールに入る入射光の突き抜け
が阻止できる。また、感光部２以外は不透明な電着膜９
で被われているので、入射光８の散乱がなくなる。

なお、前述した実施例においては、アルミニウム遮光膜
Ｔを電極として電着を行なった場合について説明したが
、アルミニウム遮光膜の代シにポリシリコン、高融点金
属もしくはシリサイド等の遮光膜を用いても良い。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば、遮光膜上に不透
明な電着膜を積層して設けたことにょシ、遮光膜のピン
ホールによる入射光の突き抜けが防止でき、完全な遮光
が得られる。また、感光部以外は不透明な電着膜で被わ
れてしるために入射光の散乱がなくなシ、反射防止が可
能となシ、したがって高品負、高傷頼性の固体撮像袋ｆ
が得られるという極めて優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による固体撮像装置の一実施例を示す
要部断面図、第２図は従来の固体撮像装置の要部断面図
である。 １・・・・半導体基板、２・・・・感光部、３・・・・
読出部、４・・・・分離用酸化膜、５・・・・絶縁膜、
６・・・・ゲート電極、７ｅ・・・アルミニウム遮光膜
、８・・・・入射光、９・・電着膜。 代 理 人 大 岩 増 雄 第１ 図 ＠２ 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体基板の表面に光電変換機能を有する複数の感光部
   および読出部が形成され、絶縁膜を介して感光部に対応
   する位置に開口部を有する遮光膜上に選択的に不透明電
   着膜を設けたことを特徴とする固体撮像装置。