JPH03183177A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH03183177A JPH03183177A JP32064189A JP32064189A JPH03183177A JP H03183177 A JPH03183177 A JP H03183177A JP 32064189 A JP32064189 A JP 32064189A JP 32064189 A JP32064189 A JP 32064189A JP H03183177 A JPH03183177 A JP H03183177A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- discharge
- tube
- gas laser
- main discharge
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明はガスレーザ発振装置に関する。
（従来技術）
レーザ光に対して主放電方向が直交するＴＥＡＣ０２レ
ーザやエキシマレーザなどのパルスレーザについて、第
３図を参照して説明する。すなわち、レーザ管（１〉を
有し、内部に陰極（２）および陽極（３）からなる一対
の主放電電極が所定の主放電空間（４）を形成して設け
られている。上記主放電空間（４）の近傍に予備電離用
のピン電極（５〉が紙面垂直方向になるレーザ光軸に沿
って複数対設けられている。これらピン電極（５）はそ
れぞれピーキングコンデンサ（６）を介し主電源（７）
に接続されている。レーザ管０〉の内部には上記主放電
電極の他に封入されているガスレーザ媒質を冷却して循
環させる熱交換器（８）、送風機（９）が設けられてい
る。
ーザやエキシマレーザなどのパルスレーザについて、第
３図を参照して説明する。すなわち、レーザ管（１〉を
有し、内部に陰極（２）および陽極（３）からなる一対
の主放電電極が所定の主放電空間（４）を形成して設け
られている。上記主放電空間（４）の近傍に予備電離用
のピン電極（５〉が紙面垂直方向になるレーザ光軸に沿
って複数対設けられている。これらピン電極（５）はそ
れぞれピーキングコンデンサ（６）を介し主電源（７）
に接続されている。レーザ管０〉の内部には上記主放電
電極の他に封入されているガスレーザ媒質を冷却して循
環させる熱交換器（８）、送風機（９）が設けられてい
る。
（発明が解決しようとする課８）
上記の構成になるガスレーザ発振装置では、放電時に陰
極（２）および陽極（３〉に多量の電気エネルギが注入
され、放電過程で発生するイオンや電子が例えばＣ（１
％Ｎ ｉＦ ２などの放電生成物４ が発生する。生成物のうち固体のものはガスレーザ媒質
中にダストとして混入し、主放電を不安定にするほか、
励起されたレーザ光を吸収し、レーザ出力が不安定にな
ったり、出力低下を招いていた。
極（２）および陽極（３〉に多量の電気エネルギが注入
され、放電過程で発生するイオンや電子が例えばＣ（１
％Ｎ ｉＦ ２などの放電生成物４ が発生する。生成物のうち固体のものはガスレーザ媒質
中にダストとして混入し、主放電を不安定にするほか、
励起されたレーザ光を吸収し、レーザ出力が不安定にな
ったり、出力低下を招いていた。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、放電
で発生した生成物を除去して長時間安定してレーザ発振
が運転可能なガスレーザ発振を提供する。
で発生した生成物を除去して長時間安定してレーザ発振
が運転可能なガスレーザ発振を提供する。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段と作用）
ガスレーザ媒質を封入したレーザ管と、このレーザ管内
に対向して設けられた少なくとも一対の主放電電極と、
主放電空間を予備電離するために上記主放電電極の近傍
に設けられたピン電極と、上記主放電空間で発生したレ
ーザ光を共振する光共振器とを備えたガスレーザ発振装
置において、上記ガスレーザ管に接続された導入管およ
び排出管と、これら導入管および排出管とに接続したガ
ス処理タンクと、上記導入管側へ設けられ主放電による
圧力上昇時に開く第１の弁と、上記排出側に設けられ上
記ガス処理タンク内にガスレーザ媒質の導入に同期して
開く第２の弁とを備えた構成にしたもので、主放電で励
起されたガスレーザ媒質はこの主放電にほぼ同期してガ
ス処理タンクに入り、またこのタンク内で処理されたガ
スがレーザ管内に戻される。
に対向して設けられた少なくとも一対の主放電電極と、
主放電空間を予備電離するために上記主放電電極の近傍
に設けられたピン電極と、上記主放電空間で発生したレ
ーザ光を共振する光共振器とを備えたガスレーザ発振装
置において、上記ガスレーザ管に接続された導入管およ
び排出管と、これら導入管および排出管とに接続したガ
ス処理タンクと、上記導入管側へ設けられ主放電による
圧力上昇時に開く第１の弁と、上記排出側に設けられ上
記ガス処理タンク内にガスレーザ媒質の導入に同期して
開く第２の弁とを備えた構成にしたもので、主放電で励
起されたガスレーザ媒質はこの主放電にほぼ同期してガ
ス処理タンクに入り、またこのタンク内で処理されたガ
スがレーザ管内に戻される。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例で第２図と共通する部分には
同一符号を付している。すなわち、レーザ管（１）の外
部にガス処理タンク（２ａ）が設けられ、これら両者は
導入管（２１）および排出管（２２〉によって接続され
ている。導入管（２１〉はその導入口（２３）を」二記
主放電空間（４）のガスレーザ媒質が下流側出口に対向
して接続されている。一方、ガス処理タンク（２０）内
にはダスト状の放電生成物を濾過するフィルタ（２４〉
が設けられている。ガス処理タンク（２０）と、導入管
（２１）および排出管（２２）との各接続部には第１の
弁（２Ｂ）と、この第１の弁（２６〉と同一構造になる
第２の弁（２７〉が設けられている。第１の弁（２６）
は主放電時、ガスレーザ媒質の膨脂で開き、また、第２
の弁（２７）はガス処理タンク（２０）内にガスレーザ
媒質の導入に同期して開き、それ以外は閉じる弁となっ
ている。これら弁の両者の構造は同一なので、一方の第
１の弁（２６）の構造について第２図で説明する。すな
わち、ガス処理タンク（２０）における導入管（２１）
の出口部周囲のガス処理タンク（２０〉の内壁部にＯリ
ング（２８）が埋設されている。第１の弁（２Ｂ）はＩ
ｌ＆（２９）を支点にして回動自在になっている。第１
の弁（２Ｂ）の軸（２９）に軸支されている端部部分は
バネ（３０）に付勢され、このバネ（３０〉によって第
１の弁（２Ｂ〉は０１Ｊング（２８）に常時当接されて
いる。なお、導入管（２１）および排出管（２２）の管
路の中途部にはバルブ（３１ａ）、（３１ｂ）が接続さ
れている。
同一符号を付している。すなわち、レーザ管（１）の外
部にガス処理タンク（２ａ）が設けられ、これら両者は
導入管（２１）および排出管（２２〉によって接続され
ている。導入管（２１〉はその導入口（２３）を」二記
主放電空間（４）のガスレーザ媒質が下流側出口に対向
して接続されている。一方、ガス処理タンク（２０）内
にはダスト状の放電生成物を濾過するフィルタ（２４〉
が設けられている。ガス処理タンク（２０）と、導入管
（２１）および排出管（２２）との各接続部には第１の
弁（２Ｂ）と、この第１の弁（２６〉と同一構造になる
第２の弁（２７〉が設けられている。第１の弁（２６）
は主放電時、ガスレーザ媒質の膨脂で開き、また、第２
の弁（２７）はガス処理タンク（２０）内にガスレーザ
媒質の導入に同期して開き、それ以外は閉じる弁となっ
ている。これら弁の両者の構造は同一なので、一方の第
１の弁（２６）の構造について第２図で説明する。すな
わち、ガス処理タンク（２０）における導入管（２１）
の出口部周囲のガス処理タンク（２０〉の内壁部にＯリ
ング（２８）が埋設されている。第１の弁（２Ｂ）はＩ
ｌ＆（２９）を支点にして回動自在になっている。第１
の弁（２Ｂ）の軸（２９）に軸支されている端部部分は
バネ（３０）に付勢され、このバネ（３０〉によって第
１の弁（２Ｂ〉は０１Ｊング（２８）に常時当接されて
いる。なお、導入管（２１）および排出管（２２）の管
路の中途部にはバルブ（３１ａ）、（３１ｂ）が接続さ
れている。
上記の構成で、送風機（８）が駆動され、レーザ管（１
）内に封入されたガスレーザ媒質はおよそ１０ｍ／ｍｉ
ｎの速度で循環される。一方、複数のピン電極（５〉が
−斉に放電し主放電空間（４）が予備電離された直後、
主放電が点弧する。この点弧で主放電空間（４）のガス
レーザ媒質は主放電時の電気エネルギに加熱され、局部
的に圧力が２〜３倍となる。このガス圧上昇に押され、
第１の弁（２６）が開き、ガスレーザ媒質の一部が導入
管（２１〉よりガス処理タンク（２０〉内に流入する。
）内に封入されたガスレーザ媒質はおよそ１０ｍ／ｍｉ
ｎの速度で循環される。一方、複数のピン電極（５〉が
−斉に放電し主放電空間（４）が予備電離された直後、
主放電が点弧する。この点弧で主放電空間（４）のガス
レーザ媒質は主放電時の電気エネルギに加熱され、局部
的に圧力が２〜３倍となる。このガス圧上昇に押され、
第１の弁（２６）が開き、ガスレーザ媒質の一部が導入
管（２１〉よりガス処理タンク（２０〉内に流入する。
この流入によって第２の弁（２７〉が開き、流入した流
量分が排出管（２２〉を経てレーザ管＜１）に戻される
。この戻されたガスレーザ媒質はフィルタ（２４）によ
って清浄にされている。なお、この清浄作用が繰り返さ
れ一定時間経過後、バルブ（（ｌａ）、 （３１ｂ）を
閉じ、フィルタ（２４〉のみ、またはガス処理タンク（
２０）全体を新しいものと交換する。
量分が排出管（２２〉を経てレーザ管＜１）に戻される
。この戻されたガスレーザ媒質はフィルタ（２４）によ
って清浄にされている。なお、この清浄作用が繰り返さ
れ一定時間経過後、バルブ（（ｌａ）、 （３１ｂ）を
閉じ、フィルタ（２４〉のみ、またはガス処理タンク（
２０）全体を新しいものと交換する。
なお、上記実施例ではガスレーザ媒質を濾過するために
フィルタを用いたが、触媒を用いて濾過してもよい。
フィルタを用いたが、触媒を用いて濾過してもよい。
［発明の効果］
以上のように、放電による圧力上昇でガスレーザ媒質を
取り込んで濾過したので、レーザ発振の繰り返し動作に
ほぼ比例してガスレーザ媒質が濾過され、繰り返し動作
に関係なくレーザ管内が常に清浄に保たれる。したがっ
て、放電生成物によるレーザ光の吸収が無くなり、ガス
レーザ媒質のガス寿命が従来に比べて１．２〜１．５倍
程度のびた。
取り込んで濾過したので、レーザ発振の繰り返し動作に
ほぼ比例してガスレーザ媒質が濾過され、繰り返し動作
に関係なくレーザ管内が常に清浄に保たれる。したがっ
て、放電生成物によるレーザ光の吸収が無くなり、ガス
レーザ媒質のガス寿命が従来に比べて１．２〜１．５倍
程度のびた。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図のＡ部における拡大図、第３図は従来例を示す断面図
である。 （１） ・・・レーザ管 （２） ・・陰極 （３） ・・陽極 （５）・・・ピン電極 （２０）・・・ガス処理タンク （２６〉・・・第１の弁 （２７）・ ・第２の弁
図のＡ部における拡大図、第３図は従来例を示す断面図
である。 （１） ・・・レーザ管 （２） ・・陰極 （３） ・・陽極 （５）・・・ピン電極 （２０）・・・ガス処理タンク （２６〉・・・第１の弁 （２７）・ ・第２の弁
Claims (1)
- ガスレーザ媒質を封入したレーザ管と、このレーザ管内
に対向して設けられた少なくとも一対の主放電電極と、
主放電空間を予備電離するために上記主放電電極の近傍
に設けられたピン電極と、上記主放電空間で発生したレ
ーザ光を共振する光共振器とを備えたガスレーザ発振装
置において、上記ガスレーザ管に接続された導入管およ
び排出管と、これら導入管および排出管とに接続したガ
ス処理タンクと、上記導入管側へ設けられ主放電による
圧力上昇時に開く第１の弁と、上記排出管側に設けられ
上記ガス処理タンク内にガスレーザ媒質の導入に同期し
て開く第２の弁とを備えたことを特徴とするガスレーザ
発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32064189A JP2685940B2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32064189A JP2685940B2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03183177A true JPH03183177A (ja) | 1991-08-09 |
| JP2685940B2 JP2685940B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=18123678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32064189A Expired - Fee Related JP2685940B2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2685940B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06188485A (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-08 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザのガス再生装置 |
| JPH06237029A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Nec Corp | 放電励起エキシマレーザ装置 |
-
1989
- 1989-12-12 JP JP32064189A patent/JP2685940B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06188485A (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-08 | Jgc Corp | 炭酸ガスレーザのガス再生装置 |
| JPH06237029A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Nec Corp | 放電励起エキシマレーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2685940B2 (ja) | 1997-12-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |