JPH03183351A - リニアモータ装置 - Google Patents

リニアモータ装置

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JPH03183351A
JPH03183351A JP31867889A JP31867889A JPH03183351A JP H03183351 A JPH03183351 A JP H03183351A JP 31867889 A JP31867889 A JP 31867889A JP 31867889 A JP31867889 A JP 31867889A JP H03183351 A JPH03183351 A JP H03183351A
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Toshiaki Kagawa
敏章 香川
Hiroshi Ishii
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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    • G03F7/70758Drive means, e.g. actuators, motors for long- or short-stroke modules or fine or coarse driving
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はリニアモータ装置に関する。
[従来の技術] 複写機やページプリンタ等の光学走査装置又は磁気ディ
スク駆動装置では、走査駆動のために又はアクセス駆動
のためにリニアモータ装置を用いることが考えられる。
一般的に、このようなリニアモータ装置は、ベースフレ
ームと、可動部材と、この可動部材を前記ベースフレー
ムに対して直線移動させるように駆動するための磁場形
成部材とを備えている。
このようなリニアモータ装置は、本出願人による別の出
願である特願昭63−68425号「リニアモータおよ
びリニアモータを使用した直線駆動装置」、特願昭63
−129982号「直線駆動装置」、特願昭63−21
7276号「直線駆動装置」、特願昭62−33264
3号「複写機の光学系移動装置j等に説明されている。
例えば、第7図に概念的に示すように、−膜内にリニア
モータ装置は、ベースフレームAと、ベースフレームA
に対して相対的に直線移動し得るように構成された磁場
形成部材Bと、例えば回転電動機のコイル部材に相当す
る可動子Cと、同様に例えば回転電動機のロータに相当
する可動体りとを有している。可動体り及び可動子Cは
、磁場形成部材BによってベースフレームAに対して直
線的に駆動を受けるように構成されている。第7図に概
念的に示されたリニアモータ装置は、磁場形成部材Bが
可動子C及び可動体りをベースフレームAに対して相対
移動させる際、当該磁場形成部材Bに生じる反発力を吸
収すべく当該磁場形成部材BをベースフレームAに対し
て相対的に移動させるように構成された移動手段Eを備
えている。
尚、磁場形成部材Bは例えば永久磁石等で構成すること
ができる。
このように構成されたリニアモータ装置は、可動体りの
重量をFl、磁場形成部材Bの重量をF2及び摩擦係数
をμとすると、可動体りとベースフレームAとの間には
摩擦負荷Flμが、磁場形成部材BとベースフレームA
との間には摩擦負荷F2μが夫々生じている。
ここでリニアモータ装置が作動して可動体り及び可動子
Cが駆動され移動する場合の当該可動子C及び可動体り
の移動方向を正方向として矢印aで示し、磁場形成部材
Bに生じる反発力によって受ける当該磁場形成部材Bの
移動方向を負方向として矢印すで示す。また、可動子C
及び可動体り並びに磁場形成部材Bの夫々に作用する力
を以下加速力と定義する。
従って、可動体りの加速力をFl(t)、可動体りに生
じる発生推力をF2(+) 、磁場形成部材Bの加速力
をFm (t)及び磁場形成部材Bに生じる反発力をF
l(t)とすると、当該磁場形成部材Bの加速力Fm(
t)は以下のように表わせる。
Fl(1)  =F2(1)  −FlμF+(t) 
 =−F2(t) Fm(1)  =F+(t)  +F2μ、’、Fm(
t)  =−Fl)  −F1μ+F2μ可動体りとベ
ースフレームAとの間の摩擦負荷F1μが、磁場形成部
材BとベースフレームAとの間の摩擦負荷F2μに比べ
て大きい場合には、磁場形成部材Bの加速力Fm (t
)が、当該摩擦負荷F1μと摩擦負荷F2μとの差が生
じていない場合に比べて大きくなる。
その結果、磁場形成部材Bの移動距離が所望以上に長く
なってしまう恐れがある。
磁場形成部材Bが所望以上に移動してしまうことによっ
て、当該磁場形成部材Bを元の位置、即ち初期位置に復
帰させるための復帰移動手段に加わる負荷が大きくなる
恐れがある。特に高速複写機に於ける前記復帰移動手段
に於いて例えば、パルスモータを用いる場合には、当該
パルスモータ自体が発熱したり、脱調が生じたりして正
常に動作ができなくなり、磁場形成部材Bを元の位置に
復帰させることができなくなる可能性がある。
[発明が解決しようとする課題] このように従来のリニアモータ装置は、前述の可動子及
び可動体を有する可動部材を磁場形成部材によって直線
移動させて駆動した場合に、磁場形成部材に生じる反発
力によってこの可動部材を所望の位置に正確に停止させ
ることが非常に難しいという欠点を有している。
本発明は、前述の諸点に鑑み成されたものであって、そ
の目的とするところは、磁場形成部材に生じる反発力を
低減させることによって、可動部材を所望の正確な位置
に、比較的容易に停止させることができるリニアモータ
装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 前記目的は、本発明によれば、ベースフレームと、この
ベースフレームに対して相対的に直線移動し得るように
構成された磁場形成部材と、この磁場形成部材上に配置
されており、当該磁場形成部材によって前記ベースフレ
ームに対して直線的に駆動されるように構成された可動
部材とを備えており、前記磁場形成部材による前記可動
部材の前記相対的な直線移動が行なわれるときに、この
磁場形成部材に生じる反発力を吸収すべく構成されてい
ることを特徴とするリニアモータ装置によって達成され
る。
[作用コ 本発明によるリニアモータ装置は、前記磁場形成部材上
に配置された可動部材が前記ベースフレームに対して直
線的に駆動されたときに、当該磁場形成部材に生じた反
発力を吸収すべく、当該磁墳形成部材が、前記ベースフ
レーム及び前記可動部材の夫々に対して相対的に直線移
動する。
更に、本発明によるリニアモータ装置の基本な原理を、
第6図に基づいて概略的に説明する。
このリニアモータ装置は、ベースフレーム4と、ベース
フレーム4に対して直線移動し得るように構成された磁
場形成部材3と、磁場形成部材3上に配置されており、
この磁場形成部材3によってベースフレーム4に対して
直線的に駆動されるように構成された可動部材とを有し
ている。
この可動部材は可動子2及び可動体lを備えている。
磁場形成部材3とベースフレーム4との間には当該磁場
形成部材3がベースフレーム4に対して相対的に直線移
動し得るように移動手段5aが備えられている。
また磁場形成部材3と可動体1との間には当該可動体1
が磁場形成部材3に対して相対的に直線移動し得るよう
に移動手段5aと同様の別の移動手段5bが備えられて
いる。即ち、磁場形成部材3は、ベースフレーム4及び
可動体1の夫々に対して相対的に直線移動し得るように
構成されている。
このように構成されたリニアモータ装置が作動して可動
体1が駆動され移動する場合の当該可動体1の移動方向
は正方向として矢印aで示されており、磁場形成部材3
に生じる反発力によって受ける当該磁場形成部材3の移
動方向は負方向として矢印すで示されている。
このリニアモータ装置は、可動体lの重量をFl。
磁場形成部材3の重量をF2及び摩擦係数をμとすると
、可動体lと磁場形成部材3との間の摩擦負荷はF1μ
、磁場形成部材3とベースフレーム4との間の摩擦負荷
はF2μ、可動体1の加速力は Fl(i)、可動体1
に生じる発生推力はF2(1) 、磁場形成部材3の加
速力はFm (t)及び磁場形成部材3に生じる反発力
はFl(t)  となり、磁場形成部材3の加速力Fm
 (t)は以下のように表わせる。
Fl(1) =F2(1)−Flμ F+(t) =−F2(f) Fm(t) =F+(t)  +F1μ+F2μ、’、
Fm(t)  −−Fl(t)  +F2μこれは、可
動体1と磁場形成部材3との間の摩擦負荷F1μの影響
が打消されてしまうことを示している。
以上から、前述のように可動子2及び可動体1を備えた
可動部材を磁場形成部材3の上を当該磁場形成部材3に
対して相対的に直線移動を自在に行なうことができるよ
うに構成することによって、磁場形成部材3の加速力F
m (t)を低減することができる。それ故に、磁場形
成部材3を元の初期位置に復帰させるための前述した復
帰移動手段に加わる負荷を最小限にすることができる。
[実施例] 次に、本発明によるリニアモータ装置の一実施例を説明
する。この一実施例は、本発明を走査露光方式の複写機
に適用した場合である。
第1図から第3図の夫々に示すように、リニアモータ装
置0は、走査露光方式の複写機の本体の内部に固定され
たベースフレーム4と、ベースフレーム4に対して相対
的に直線移動し得るように構成された磁場形成部材3と
、磁場形成部材3及びベースフレーム4の夫々に対して
相対的に直線移動し得るように構成された可動部材とを
備えている。
この可動部材は可動子2及び可動体1の夫々を含んでい
る。
可動体1は、第5図に示すような光学ユニットLを装着
し得るように構成されている。
更に可動体1は、第1図及び第2図に示すように、第1
の可動体1a及び第2の可動体1bの夫々によって構成
されている。
第1の可動体1aは細長く平らな形状を有している。こ
の第Iの可動体1aには、第1のミラー24及びランプ
ユニット等(図示せず)が装着されている。
第2の可動体Toは、第1の可動体1aと同様に細長く
平らな形状を有している。
この第2の可動体1bには、第2のミラー25及び第3
のミラー26が装着されている。
これらの第1のミラー24、第2のミラー25、第3の
ミラー26の夫々に対して、当該第1のミラー24から
第3のミラー26の夫々を経た光を倒立させて結像すべ
く配置されたレンズ27と、このレンズ27からの光を
感光体ドラム29に反射すべく当該レンズ27と感光体
ドラム29との間に配置された第4のミラー28とを加
えることによって複写機の光学系を構成している。
可動子2は、第1の可動体1aの両側の端部3Qa及び
端部30bの夫々に固定された可動ヨーク7a及び可動
ヨーク7b、並びに第2の可動体1bの両側の端部30
c及び端部3Qdの夫々に固定された可動ヨーク7c及
び可動ヨーク7dを備えている。
可動ヨークの各々には、3つのコイル部材、即ちコイル
部材6a、  コイル部材6b及びコイル部材6Cが装
着されている。
これらの可動ヨークの各々は、対応する3つのコイル部
材から発生される磁束の通路を構成している。
更に可動体1a及び可動体1bは、可動ヨーク7a及び
可動ヨーク7cの夫々に装着された軸受8,8を有して
いる。
軸受8は軸10に摺動自在に支持されている。
軸IOは、後述する磁場形成部材3を構成している固定
ヨーク13g と固定ヨーク13bとを相互に連結する
連結板14a及び連結板14bの夫々を貫通し、且つ当
該固定ヨークI3a及び固定ヨーク13bの夫々に各ホ
ルダ15a及びホルダ+5bを介して固定されている。
可動子2は可動ヨーク7b及び可動ヨーク7dの夫々に
装着されたローラ11. 1+を有している。
ローラ11は磁場形成部材3の固定ヨーク13bに支持
されている。
これらのローラIt、  If及び軸10に摺動自在に
支持された軸受8,8によって、第6図に概念的に示さ
れた磁場形成部材3と可動体上との間に備えられた、当
該可動体1の磁場形成部材3に対する相対的に直線移動
を行なわせ得る移動手段5bを構成している。
磁場形成部材3は、前述の3つのコイル部材の列、即ち
コイル部材6a、  コイル部材6b及びコイル部材6
cの各列に対応して多極的に着磁された永久磁石11a
及び永久磁石12bと、永久磁石12a及び永久磁石+
21+の夫々を直線上に配列して固定するための固定ヨ
ーク13a及び固定ヨークHbとを有している。
これらの永久磁石12a及び永久磁石12bの夫々は、
第3図に示すように前記3つのコイル部材の列と協働し
て3相のブラシレスモータを構成すべく当該3つのコイ
ル部材の列に対して所定の間隙を有して配置されている
また、固定ヨークlla及び固定ヨーク+3bは、夫々
の両端部に於いて連結板14a及び連結板+4bによっ
て連結され、枠体14として一体化されている。
ベースフレーム4と磁場形成部材3との間には、当該磁
場形成部材3の矢印a及び矢印すの方向に関する移動を
可能にする移動手段5a (第6図)が設けられている
この移動手段5aは、磁場形成部材3の一部を構成する
ベースフレーム4に取付けられた一対の軸受92.軸受
9bと、磁場形成部材3の一部を構成する固定ヨーク1
3bに取付けられた一対のローラ162、ローラ16b
とによって構成されている。
軸受9a、軸受9bは、軸10を摺動自在に支持するよ
うに構成されている。
尚、このように構成されたリニアモータ装置Oの作動状
態に於いて、前述の3つのコイル部材の列であるコイル
部材6a、  コイル部材6b及びコイル部材6cの夫
々は、例えば第1の可動体1aに固定された可動ヨーク
7a及び可動ヨーク7b、並びに第2の可動体1bに固
定された可動ヨーク7c及び可動ヨーク7dにホール素
子(図示せず)を装着し、このホール素子による励磁の
切換えによって直線移動動作のための駆動力を生起する
ことができる。
また第1の可動体1a及び第2の可動体1bは、光路長
を一定に保つために同期運転するのが好ましい。
第1図及び第2図の夫々に示された、磁場形成部材3を
初期位置に復帰させるための前述の復帰移動手段17は
、特に第4図に拡大されて示されている。
即ち復帰移動手段17は、ベースフレーム4に固定的に
装着された枠体22と、この枠体22に装着されたパル
スモータ21と、このパルスモータ21の作動を制御す
べく当該パルスモータ21に接続された制御装置23と
、パルスモータ21の回転駆動力によって回転される第
1のギア20aと、この第1のギア2(laの回転によ
って回転される第2のギア2Qbと、この第2のギア2
0bの回転によって回転されるプーリ19と、このプー
リ19に巻回されて磁場形成部材3を移動させるべく、
両端部に於いて、当該磁場形成部材3を構成している固
定ヨーク13aに一体的に設けられた2つの突起部材3
1の夫々に連結されたワイヤ18とを備えている。
このように構成された復帰移動手段17に於いては、パ
ルスモータ21が作動して回転による駆動力が生起され
ると、第↓のギア20a1第2のギア20b及びプーリ
目の夫々も当該回転の方向に対応して回転する。
その結果ワイヤ18は当該回転の方向に対応する矢印a
及び矢印すのいずかの方向に移動し、従って固定ヨーク
Haを含む磁場形成部材3を矢印a及び矢印すのいずか
の方向に移動させることができる。
これらのことから磁場形成部材3が、初期位置に復帰す
る方向がいずれ方向にも選択され得ることが理解されよ
う。
次に、本実施例によるリニアモータ装置Oを作動させた
場合の状態について説明する。
可動子2に於ける可動ヨーク7a、可動ヨーク7b。
可動ヨーク7C及び可動ヨーク7dの各々に装着された
3つのコイル部材、即ちコイル部材6g、  コイル部
材6b及びコイル部材6cに電流を供給して磁束を発生
させることによって可動子2には推力が発生する。
各可動子2に推力が発生されると、当該可動子2に一体
化された可動体1a及び可動体1bの各々が当該可動子
2と共に走査方向、例えば第1図に示す矢印aの方向に
移動する。
可動体1a及び可動体1bの各々が矢印aの方向に移動
する際、前述の3つのコイル部材の列に対して所定の間
隙を有して配置された、磁場形成部材3の永久磁石12
a及び永久磁石+2bの夫々には、矢印aと逆の矢印す
で示す方向の反発力が生じる。
しかしながら、磁場形成部材3は、ベースフレム4との
間に当該磁場形成部材3を矢印a又は矢印すの方向に関
する移動を可能にする移動手段5aが設けられているの
で、例えば前述の矢印すで示す方向の反発力が生じても
当該矢印すの方向に移動することによって当該反発力を
吸収することができる。
また、可動体1及び可動子2が前述の矢印aで示す走査
方向への移動が終了して元の位置に戻る、即ち矢印すで
示すリターン方向への移動を行なう場合、磁場形成部材
3の永久磁石12a及び永久磁石12bの夫々には、逆
に矢印すと反対の矢印aで示す方向の反発力が生じる。
磁場形成部材3は、前述の場合と同様に移動手段5aに
より矢印aの方向に移動することによって前記反発力を
吸収することができる。
しかしながら、磁場形成部材3は、摩擦負荷等のために
元の待機位置、即ち正確な初期位置には厳密には復帰し
得ない。
従って、前述の復帰移動手段17によって磁場形成部材
3を正確な初期位置まで移動させる必要がある。
ここで、本実施例のリニアモータ装置0に於いて、可動
体1aの重量をFla 、可動体1bの重量をF1b1
磁場形成部材3の重量をF2及び摩擦係数をμとすると
、可動体1aと磁場形成部材3との間に生じている摩擦
負荷はFlaμ、可動体1bと磁場形成部材3との間に
生じている摩擦負荷はFibμ、磁場形成部材3とベー
スフレーム4との間に生じている摩擦負荷はF2μとな
る。
また、走査方向を正方向として矢印aで示し、可動体1
aの加速力をFl、a(t)、可動体1aに発生する推
力をF2a (t)、可動体1bの加速力をFib(1
)、可動体1bに発生する推力をF2b (1)、磁場
形成部材3の加速力をFm(t) 、磁場形成部材3に
発生する反発力をF+(+) とすると、磁場形成部材
3の加速力Fm(0は、 Fla (t) = F2a (+) −Fla  u
Flb (+) = F2b (L) −Flb  μ
Fr(f)  =−F2aft)−F2b(f)Fm(
t)  =Fr(t)  +FIa  μ+F1b  
μ+F2μ、’、Fm(t)  =−Fla(t)−F
lb(t)+F2μとなる。
従ってこれらのことから、可動体1a及び可動体1bが
磁場形成部材3の上で自在に直線移動し得るように構成
されているため、可動体1aの摩擦負荷Flaμ及び可
動体1bの摩擦負荷FToμの影響は打消され得、その
結果、磁場形成部材3の加速力Fmmが低減され得るた
め、前述の復帰移動手段17に加わる負荷を小さくする
ことができる。
[発明の効果] 以上から、本発明によるリニアモータ装置は、前述の構
成、即ちベースフレームと、このベースフレームに対し
て相対的に直線移動し得るように構成された磁場形成部
材と、この磁場形成部材上に配置されており、当該磁場
形成部材によって前記ベースフレームに対して直線的に
駆動されるように構成された可動部材とを備えており、
前記磁場形成部材による前記可動部材の前記相対的な直
線移動が行なわれるときに、当該磁場形成部材に生じる
反発力を吸収すべく構成されていることを特徴とする構
成を有しているため、前記可動部材が磁場形成部材の上
に於いて自在に直線移動し得、当該可動部材に生ずる摩
擦負荷の影響を打消すことができる。
それ故、前記ベースフレームに対して相対的に移動可能
に構成された前記可動部材を、前記磁場形成部材によっ
て直線移動させるように駆動する場合に、前記磁場形成
部材に加わる加速力を低減し得るため、当該磁場形成部
材を所望の場所からそれ程ずらすことなく比較的正確な
位置に停止させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明によるリニアモータ装置の一実施例の
斜視図、第2図は、第1図に示した本発明によるリニア
モータ装置の一実施例の平面図、第3図は、第2図の■
−■線による断面図、第4図は、第2図に示した本発明
によるリニアモータ装置の一実施例の部分拡大平面図、
第5図は、本発明によるリニアモータ装置が適用される
走査露光複写機の光学系の説明図、第6図は、本発明に
よるリニアモータ装置の動作原理の概略説明図、第7図
は、−膜内なリニアモータ装置の動作原理の説明図であ
る。 1・・・・・・可動体、2・・・・・・可動子、3・・
・・・・磁場形成部材、4・・・・・・ベースフレーム
、5・・・・・・移動手段、6a6b、6c・・・・・
・コイル部材、7a、 7b、 7c、 7d・・・・
・・可動ヨーク、8・・・・・・軸受、10・・・・・
・軸、11・・・・・・ローラ、12a、 12b・・
・・・・永久磁石、13g、 13b・・・・・・固定
ヨーク、14g、 14b・・・・・・連結板、15a
、 15b・・・・・・ホルダ、17・・・・・・復帰
手段、18・・・・・・ワイヤ、21・・・・・・パル
スモータ、22・・・・・・枠体、23・・・・・・制
御装置、24.25.26.28・・・・・・ミラー、
27・・・・・・レンズ、29・・・・・・感光体ドラ
ム。 第7叉

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ベースフレームと、該ベースフレームに対して相対的に
    直線移動し得るように構成された磁場形成部材と、該磁
    場形成部材上に配置されており、当該磁場形成部材によ
    って前記ベースフレームに対して直線的に駆動されるよ
    うに構成された可動部材とを備えており、前記磁場形成
    部材による前記可動部材の前記相対的な直線移動が行な
    われるときに、当該磁場形成部材に生じる反発力を吸収
    すべく構成されていることを特徴とするリニアモータ装
    置。
JP1318678A 1989-04-17 1989-12-07 リニアモータ装置 Expired - Lifetime JP2644053B2 (ja)

Priority Applications (4)

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