JPH03187508A - モノリシック共振子の周波数調整マスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、共振特性の：Ａ整が容易で、！ｌＷ整工程の
簡素化が可能なモノリシック共振子の周波数調整マスク
に関する。

（発明の技術的背景とその問題点〉 従来、２ボールのモノリシック共振子は、たとえば丸板
状の圧電片ｌの一側板面に第２図（ａ）に示すように一
対の人・出力電極２．３を形成し、他側板面の上記穴・
出力電極２．３に略重なる領域に第２図（ｂ）に示すよ
うに共通を極４を形成するようにしている。

しかして、このようなモノリシック共振子の共振特性の
調整は、たとえば上記第２図（ａ）、　（ｂ）に示すよ
うな形状に圧電片ｌの裏表の板面に蒸着等で基礎電極を
形成し、この基礎電極の上にさらに銀、アルミ等の導体
を蒸着して、その質量付加効果によって所望の特性にＷ
ｌ！！するようにしている。

この調整方法をざらに詳しく説明すると、共通に接続し
た入出力電極２．３と共通電極４との間の対称モードの
共振周波数（以下Ｆｓという〉、人力電極２と出力電極
３との間の斜対称モードの共振周波数（以下Ｆａという
）、人力電極２と共通電極４との間の人力モードの共振
周波数（以下Ｆｓｌという）、出力電極３と共通電極４
との間の出力モードの共振周波数（以下Ｆｓ２という）
をそれぞれ監視しつつ基礎電極の上に貿遺を付加するこ
とによって、次の■■■各式で与えられるバランスＢａ
、対称モードの共振周波数Ｆｓおよび対称モードと斜対
称モードの共振周波数の差ΔＦをそれぞれ目標値に調整
するようにしている。

ＩＦ５１−Ｆｓ２１＝Ｂａ・・・　■ Ｆｓ　　　　　・・・・・・・　　■ Ｆａ−Ｆｓ＝ΔＦ　・・・・　　■ この調整方法としては種々の手法があるが、−例として
第２図（ｂ）に示す共通電極４側に、たとえば第３図に
示す側断面図のようにもっばら質ＰＪ５を付加して調整
を行う方法を説明すると次の通りである。

ａ、対称モードの共振周波数Ｆｓを所望の値とするよう
に蒸着を行って調整する。

ｂ、バランスＢａを所定値とするように入出力電極の一
方に対応する部位に選択的に蒸着する。

Ｃ１ΔＦを規定値とするように蒸着を行って斜対称モー
ドの共振周波数Ｆａを調整する。

そして、上記ａ、　　ｂ、　　ｃの調整を数回繰り返し
て最後にｂの調整を行ってバランスＢａを調整して終了
する。

しかしながら、バランスＢａ、対称モードの共振周波数
Ｆｓおよび帯域ΔＦは互に相間間係にあり、その一つを
変化させると他方の要素も同時に変化するためにＩＩ！
１はきわめて面倒で、かつ少しづつ行う必要があり工数
が増加し、コストの上昇する原因となっていた。

ところで、対称モードにおける振動の変位は、たとえば
第４図（ａ）に示すように板面の中央部で最大、両端部
で最小である。これに対して斜対称モードにおける振動
の変位は第４図（ｂ）に示すように板面の中央で極性が
反転し、かつ両端部で最小となる。

したがって板面の中央に質量を付加した場合は対称モー
ドにおけろ共振周波数Ｆｓに与える影響は大きく、斜対
称モードにおけろ共振周波数Ｆａに対してはほとんど影
響を与えない。逆に、板面の中央部をマスクして質量を
付加した場合には、対称モードにおけろ共振周波数Ｆｓ
、斜対称モードにおける共Ｓ周波数Ｆａともに適度の影
響を与えることが可能になる。

このために第５図に示す蒸着マスクの斜視図のように偏
平な金属製の箱体６の底面に間口を設け、表裏主面に蒸
着窓７を形成し、この蒸着窓７の中央に線状に切り残し
部８を設けたマスクを用い、この蒸着マスクを水晶共振
子にかぶせてその板面の中央部を除いた領域に蒸着を行
って共振特性を調整することが考えられている。

このようにすれば、水晶共振子の板面に質量を付加して
も対称モードにおける共振周波数Ｆｓおよび斜対称モー
ドにおける共振周波ＲＦａを遊離させることなく適当な
割合で同時に変化させることができる。

しかしながらこのようなものでは、調整作業を行ってい
くうちに蒸着窓の中央の線状に切り残した部位に蒸着金
属が付着すると、調整パターンの形状が悪くなりｌｊｌ
待する７Ａ整結果が得られなくなる問題がある。また線
状に切り残した部分の線幅を変更する場合はマスク自体
を交換する必要があり、このため多！４類のマスクを用
意しなければならない問題もあった。

（発明の目的） 本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、調整工
程を簡略化することが可能なモノリシック共振器の周波
数調整マスクを提供することを目的とするものである。

（発明の概要） 本発明は、圧電片の一側板面に共通電極を形成し他側板
面に互いに分離して人力電極および出力電極を形成した
モノリシック共振子の共振特性を共通電極側に蒸着を行
って質量付加効果により調整するマスクにおいて、蒸着
域に対応して窓を形成し、この窓の中央にワイヤを張設
したことを特徴とするものである。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図に示す水晶共振子およ
び蒸着マスクの斜視図を参照して詳細に説明する。

図中１１は水晶の結晶から所定角度に切り出して板状に
整形した水晶共振子である。

そしてこの板面に、予め所定形状の基礎電極を蒸着して
形成する。この基＃電極は、たとえば水晶共振子！１の
一側板面には第２図（ａ）に示すように所定の間隙を存
して入力電極および出力電極を形成してそれぞれ両側部
へ導出している。ざらに他側板面には第２図（ｂ）に示
すように、たとえ、ば上記入出力電極に略対応する位置
に共通電極１２を形成して下端縁へ導出している。

そして、たとえば金属板を小判形にプレス成形して中空
部にガラス等の絶縁材を充填したベース１３に、相互に
絶縁して３本のリード端子１４を植設し、両側のリード
端子１４．１４の先端部で水晶共振子１１の両側部を挟
持して機械的に保持するとともに上記入出力電極をｆ！
ｆＬ気的に外部へ導出するようにしている。

同様に下端縁に導出した共通電極は中央のり−ド端子１
４によって機械的に保持するとともにミス的な接続を行
いこれを外部へ導出するようにしている。

そして１５は共振特性調整用のマスクで、金属製の箱体
の下端面に開口を設け、さらに両側を切り欠いた略矩形
の筒状で、上記ベースに保持した水晶共振子１１に上か
らかぶせて蒸着を行うようにしている。したがってマス
ク１５の水晶共振子１１の板面に対面する部位に蒸着窓
１６を穿設し、かつこの窓１６の中央にワイヤ１７を張
設している。このワイヤ１７は、たとえば所定の線径の
ワイヤを適当な長さに切断したものを接着テープ等によ
り着脱自在に貼着している。

このような構成であれば、水晶共振子１１に共振特性調
整用のマスク１５をかぶせて周波数調整装置に装填して
蒸着源から蒸発した蒸着物質を水晶共振子１１の基礎電
極の上に付着させることにより質量付加効果によって共
振特性を調整することができる。そして、蒸着マスク１
５の中央の窓に張設したワイヤ１７の存在によって共振
特性の調整によって形成する＊ａ膜は中央部が薄くなり
対称モードにおける共振周波数Ｆｓ、斜対称モードにお
ける共振周波数Ｆａともに適度の影響を与えて両者を遊
離させることなく：ＡＵを行え煩雑な調整作業を容易に
行うことができる。

そしてワイヤを用いることによって容易に正確な線径の
ものを得られ、しかも断面は円形のために蒸着金属が付
着しても調整膜の形状の悪化は少なく、またワイヤを接
着テープ等で固定している場合はきわめて容易に交換す
ることができ、最適な線径のワイヤを容易に選択できる
利点がある。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
たとえば上記実施例では２ボールのモノリシック水晶共
振子について説明したが、より極数の多いものでもよい
し、水晶のみならずニオブ酸リチウム、タンタル酸リチ
ウム等の圧電体を用いたモノリシックフィルタの調整等
にも使用できることは勿論である。

（発明の効果） 以上詐述したように、本発明によれば共振特性の調整を
容易に行うことができるモノリシック共振子の周波数調
整マスクを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の蒸着マスクおよび水晶共振
子を示す斜視図、 第２図（ａ）および第２図（ｂ）は水晶共振子の表およ
び裏板面の電極形状の一側を示す正面図、第３図は基礎
電極の上に調整膜を形成した状態を示す載断面図 第４図（ａ）および第４図（ｂ）は対称モードおよび斜
対称モードにおける振動変位を示す図、第５図は従来の
蒸着マスクの一側を示す斜視図である。 １１　　◆ ｌ　２　・ ｌ　３　・ ｌ　４　・ ｌ　５　・ ｌ　６　・ ｌ　７　・ ・・・・水晶共振子 ・・・・共通電極 ・◆・・ベース ・・・・リード端子 ・・・・蒸着マスク 、　　、　　、　　、ｇ ・・・・ワイヤ 第１０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　圧電片の一側板面に共通電極を形成し他側板面に互い
   に分離して入力電極および出力電極を形成したモノリシ
   ック共振子の共振特性を共通電極側に質量を付加して調
   整するマスクにおいて、蒸着域に対応して形成した窓と
   、 この窓の中央に張設したワイヤと、 を具備することを特徴とするモノリシック共振子の周波
   数調整マスク。