JPH03187734A - 熱線遮断ガラス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、熱線遮断ガラスに関するものである。

［従来の技術］ 従来から、窓ガラスを通して建物の室内に流入する太陽
エネルギーを遮断して室内の温度上昇を抑え、冷房負荷
を軽減するために熱線遮断ガラスが使われている。従来
の熱線遮断ガラスとしては、スプレー法、ＣＶＤ法、あ
るいは浸漬法などで酸化チタン、酸化錫などの酸化物薄
膜をガラス上に数百人形成したものが知られている。最
近では、スパッタリング法により酸化物ばかりでな（、
金属や窒化物などの薄膜が大面積に自由に形成できるよ
うになった。このため、クロムやチタンなどの遷移金属
の単層膜系、金属／酸化物膜、あるいは窒化物膜／酸化
物膜の２層膜系、または酸化物膜／窒化物膜／酸化物膜
、あるいは酸化物膜／金属／酸化物膜の３層膜系、ある
いはそれ以上の多層膜構成の熱線遮断ガラスも使われる
ようになってきた。

単層膜と異なり、３層、またはそれ以上の多層膜構成の
熱線遮断ガラスは、干渉を利用することで反射率や反射
色調をかなり自由に選択することが可能である。このた
め、意匠性を重視する建築用に需要が伸びている。

この他に、Ｌｏｗ−Ｅガラス（低放射率ガラス）と呼ば
れ、室内からの熱線を反射することにより室内の温度の
低下を防ぎ、暖房負荷な軽減するための熱線反射ガラス
も知られている。

これは、酸化膜／Ａｇ／酸化膜、あるいは酸化膜／Ａｇ
／酸化膜／Ａｇ／酸化膜の構成の積層膜を有し、主に寒
冷地で用いられている。しかし、Ａｇ膜を使用している
ので耐久性に劣る。

このため、合わせガラスか複層ガラスのかたちで積層膜
が外部に露出しない様にして用いられる。このＬｏｗ−
Ｅガラスは、太陽光の熱線遮断効果も有するため、一部
の自動車ガラスにもこの目的で採用されている。

［発明の解決しようとする課題］ 従来のスプレー法、ＣＶＤ法、浸漬法などで酸化チタン
や酸化錫などの酸化物膜をガラス上に形成した熱線遮断
ガラスは、低コストで生産性良く製造できる反面、最近
のスパッタリング法によって形成された金属又は合金系
の単層又は多層系の熱線遮断ガラスと比べると、熱線遮
断性能がやや劣ること、又、酸化錫は酸に弱（、化学的
安定性が十分でないという問題点を有していた。

又、クロムやチタンなどの遷移金属の単層膜系熱線遮断
ガラスは、一般に可視光線反射率Ｒｖが１０〜５０％と
高く、反射色もデザイン面からブロンズ、ブルー　グリ
ーン、グレー　ゴールド、シルバーなどの色がついてい
る。又、可視光線透過率Ｔｖも１０〜６０％と低い。こ
のため、自然な色、即ちニュートラル色で低い反射率、
且つ７０％以上の可視光線透過率が要求される自動車用
や一般家庭の窓ガラスに応用するには、不適当であった
。又、かかる金属の単層膜では、耐擦傷性、化学的安定
性といった耐久性もあまり十分でなく、自動車用など、
使用環境も厳しい用途には単板で用いることは不可能で
あった。

又、前述したタイプのＬｏｗ−Ｅガラスは、比較的ニュ
ートラルな反射色を有し、７０％以上の可視光線透過率
を有するが、Ａｇ膜を用いているので耐擦傷性が不十分
な為、単板では使用できず、必ず合せガラス化あるいは
複層ガラス化しなければならないという難点があった。

又、従来の金属／酸化物膜や窒化物膜／酸化物膜などの
２層系の熱線遮断ガラスにおいては、ニュートラルな色
調、耐久性、高透過率、低反射率を有するものは得られ
ていなかった。

又、チタン、ジルコニウム、クロムなどの金属、又はこ
れらの金属の窒化物からなる膜を高屈折率酸化物膜で挟
んだ３層構成の熱線遮断ガラスも、十分に良好な熱線遮
断性能を有しており、酸化物膜の厚みを調整し、光の干
渉を利用して可視光の反射率を抑えて可視光線透過率を
７０％以上にすることが可能であり、最外層が酸化物膜
であるため、耐久性も優れているので単板の熱線遮断ガ
ラスとして好適ではあるが、光の干渉によってブルー　
ピンク、あるいは黄色などの色を帯びてしまい、自然で
ニュートラルな外観が得られにくいという問題を有して
いた。

このように、単板で使用できる程度の高耐久性を有し、
可視光線透過率が高（、特に自動車の窓ガラスとして使
用できる様７０％以上であって、透過率、反射色共にニ
ュートラルな熱線遮断ガラスは得られていなかった。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、前述の課題を解決すべ（なされたものであり
、透明基板上に熱線吸収膜、酸化物膜の少なくとも２層
が順次積層された熱線遮断ガラスであって、該酸化物膜
が空気側最外層であり、かつ２．０以下の屈折率を有す
ることを特徴とする熱線遮断ガラスを提供するものであ
る。

第１図は本発明の熱線遮断ガラスの一例の断面図を示し
たものであり、１は透明基板、２は熱線吸収膜、３は屈
折率が２．０以下である酸化物膜を示す。

本発明における最も大きな特徴は、空気側最外層に屈折
率が２．０以下である酸化膜を形成することである。空
気側最外層の酸化物膜の屈折率が２．０を超えると、可
視光線反射率が太き（なり、その結果可視光線透過率が
低くなり、７０％以上の可視光線透過率が容易に得られ
にくくなる。従って、酸化物膜３の屈折率は２．０以下
、好ましくは１．８以下、特に１．７以下が望ましい。

かかる酸化物膜３の膜材料としては、耐久性が高く、屈
折率が２．０以下であれば特に限定されないが、硼素又
は珪素のうち少なくとも一種とジルコニウムとを含む酸
化物、酸化錫、あるいは酸化珪素などが好適な例として
挙げられる。

硼素又は珪素のうち少なくとも一種とジルコニウム、チ
タン、ハフニウム、錫、タンタル。

インジウムのうち少なくとも１種とを含む酸化物膜は、
非晶質であるため、耐摩耗性が大変良好であるばかりで
なく、耐酸性、耐アルカリ性も優れているので、特に高
耐久性が要求される用途に最適である。

表１は、具体的に本発明の酸化物膜に最適な各種非晶質
酸化物膜の性質を示したものである。それぞれ表に挙げ
た組成のターゲットを用いて、反応性スパッタリングに
より製膜したものである。結晶性は、薄膜Ｘ線回折によ
り観測した。又、耐擦傷性は、砂消しゴムによる擦り試
験の結果で、○は傷が殆どつかなかったもの、×は容易
に傷が生じたものである。

耐摩耗性は、テーパー試験（摩耗輪Ｃ５−１０Ｆ、加重
５００　ｇ、　１０００回転）の結果、ヘイズ４％以内
のものをＯ、ヘイズ４％超のものを×とした。耐酸性は
０．１Ｎ　　ｎｇｓｏ４中に２４０時間浸漬した結果、
Ｔ、（可視光透過率）、Ｒｖ　（可視光反射率）の浸漬
前に対する変化率が１％以内のものを○、１〜４％のも
のを△、膜が溶解して消滅してしまったものを×とした
。耐アルカリ性は０．ＩＮ　ＮａＯＨ中に２４０時間浸
漬した結果、Ｔｖ、Ｒｖの浸漬前に対する変化率が１％
以内のものを○、２％以内のものを△、膜が溶解してし
まったものを×とした。煮沸テストは、１気圧下、１０
０℃の水に２時間浸漬した後、Ｔｖ、Ｒｖの浸漬前に対
する変化率が１％以内であるとき０％　１％超のとき×
とした。

ジルコニウムと硼素を含む酸化物ＺｒＢｘＯｙ、ジルコ
ニウムと珪素を含む酸化物Ｚｒ５ｉｘＯｙ　、ジルコニ
ウムと硼素と珪素を含む酸化物ＺｒＢｘＳｉ＊Ｏ。

からなる膜において、その最適組成については、Ｂ（硼
素）、Ｓｉ（珪素）、０（酸素）各々の膜中におけるＺ
ｒ　（ジルコニウム）に対する原子比をそれぞれＸ＋Ｚ
＋　ｙとすると、次のような範囲である。

表１から明らかなようにＺｒＢｘＯｙについては１．０
≦Ｘであるのが好ましい＊　ｘ　＜　１．０であると膜
の屈折率が２．０を超えてしまい、可視光線透過率が７
０％以上の熱線遮断が得られに（くなってしまう為であ
る。一方、Ｘが増加する程膜の屈折率が下がるので（第
２図（ａ）参照）、Ｘの上限は特に制限されないが、Ｘ
≧２．３耐酸性が低下し、Ｘ≧４で耐アルカリ性の低下
及び煮沸テストで劣化を示すようになるので、本発明の
酸化物膜３としてのＺｒＢｘＯ，膜においては１．０≦
ｘ＜２．３であるのが好ましい、ｙについては、特に限
定されないが、ＺｒＯ＊とＢ！０．の複合系と考えて、
Ｚｒ０ｇ＋　ｘ　ＢＯ＋、　ｓと表すと、ｙ＝２＋１．
５ｘ程度、即ち、２．５≦、ｙ＜５．４５であるのが好
ましい。

Ｚｒ５１　！０１１膜については、ＺｒＢｘＯｙ膜と同
様に２が増加する程、屈折率が下がるが（第２図（ｂ）
参照）、ＢよりもＳＬの方が屈折率低下に対する寄与度
が高いため、Ｂより少量でｎ＝２．０以下となるので、
０．２８≦２であるのが好ましい。上限は特に制限され
ないが、２２：１９であると膜の耐アルカリ性が不十分
となり、Ｚｒを含有している優位性があまり認められな
くなるので、０．２８≦ｚ＜１９であるのが好ましい。

ｙについては同様にＺｒＯ□とＳｉＯ□の複合系を考え
てｙ＝２＋２Ｚ程度、すなわち２．５６≦ｙ＜４０であ
るのが好ましい。

ＺｒＢｘＳｉｘＯ，膜については、同様に屈折率の点か
ら０．２８≦Ｘ＋Ｚであるのが好ましい。又、同様に上
限の制限は特にないが、又、ｘ＋ｚ＜１９であれば耐ア
ルカリ性も良好であるので、ＺｒＢｍＳｉ、Ｏｙ膜にお
いては、０．２８≦ｘ＋ｚ＜１９であるのが好ましい。

ただし、上述のように、Ｂ２Ｏ３は吸湿性で空気中の水
分を吸収しで溶けてしまうため、Ｚ　ｒ　Ｂ　＊　Ｓ　
ｔ　ｘ　Ｏｙ膜中にあまり多く含有されない方がよい。

具体的には、膜中において、０（酸素）以外のＺｒ、　
Ｂ、　Ｓｔの合計に対して、Ｚｒ＜２５原子％、かつＳ
ｔ＜２５原子％で残りが８となる程Ｂが含まれていると
化学的耐久性が不十分となる。即ち、ＺｒＢｘＳｉｚＯ
，膜中のＺｒ：Ｂ　：　Ｓｉ　（原子比）を１：ｘ：ｚ
とすると、ｌ／（１＋ｘ＋ｚ）　＜０．２５、かつｚ／
　（１＋ｘ＋ｚ）＜０．２５、即ち、ｘ＋ｚ−３＞０、
かつＸ−３ｚ＋１＞Ｏの組成は化学的耐久性が好ましく
ない。ｙは、ＺｒＢｘＯｙの場合に述べたのと同様の理
由によりこの膜をＺｒＯ＊　＋　ＢｇＯｓ　＋　ＳｉＯ
□の複合系と考えて、ｙは２＋１．５　ｘ＋　２ｚ程度
であることが好ましい。よってほぼ２．５≦ｙく４０程
度であることが好ましい。ＢやＳｔの含有量が多い程Ｚ
ｒＢｘＳｉｘＯｙ膜の屈折率は低下する（第２図（ｅ）
参照）。

以上より、本発明の酸化物膜３としての、硼素と珪素の
うち少なくとも１種とジルコニウムとを含む酸化物膜と
しては、ＺｒＢつＯｙ膜（１，０≦ｘ＜２．３．２．５
≦ｙ　＜　５．４５）　、　Ｚｒ５ｉｘＯｙ膜（０，２
８≦ｚ＜１９．２．５６≦ｙ　＜４０）　、ＺｒＢｘＳ
ｉｚＯｙ膜（０，２８≦ｘ＋ｚ＜１９．２．５≦ｙ＜４
ｏ、ただしｘ＋ｚ−３＞Ｏかつｘ−３ｚ＋１＞Ｏの部分
を除く）が特に好ましい。

これらの膜はＺｒＢ、０．膜についてはｘ＞０．１０、
ＺｒＳｉ、０．膜についてはＺ≧０，０５、Ｚｒ５ｉｘ
Ｏｙ膜についてはＸ＋Ｚ≧０．０５であれば膜が非晶質
化し、優れた耐摩耗性を有している。

Ｔｉと、ＢとＳｌのうち少なくとも１種を含む酸化物も
本発明の酸化物として用いることができる。この場合第
２図（ｄ）より、Ｔ　ｉ　Ｓ　１　ｚ　Ｏｙ膜について
は、２≧０．５６で屈折率２以下となる。

硼素又は珪素のうち少なくとも一種とジルコニウムとを
含む酸化物膜は、ジルコニウム、硼素、珪素の混合物、
硼化ジルコニウム、あるいはこれらの混合物等の焼結タ
ーゲットから直流を用いた反応性スパッタリング法で容
易に大面積のコーティングが可能であるので、自動車用
、建築用等の用途に好適である。

酸化錫は、屈折率が１．９と比較的大きいことと、耐酸
性がやや十分でないという点はあるが、その他の点では
優れた性能を有しており、又、直流スパッタリング法で
コーティングできるので、大面積で耐酸性があまり要求
されない用途に適する。

又、酸化珪素は、耐アルカリ性がやや十分でないという
点はあるが、屈折率が約１．５と低（、耐摩耗性、耐擦
傷性も非常に優れているため、特に低反射性が要求され
る用途には最適である。

以上、本発明の熱線遮断ガラスの空気側最外層の酸化物
膜３として、硼素又は珪素のうち少なくとも一種とジル
コニウムとを含む酸化物膜、酸化錫膜、酸化珪素膜を挙
げたが、特にこれだけに限定されるものではなく、又、
これらの酸化物膜が耐久性向上、光学定数調整、成膜時
の安定性、あるいは成膜速度の向上などのために、他の
成分を含んでいても差しつかえない。又、本発明の酸化
物膜３は必ずしも完全に透明である必要はなく、酸素欠
損の状態の吸収性膜であってもよいし、一部窒素や炭素
を含有していてもよい。

酸化物層３の膜厚は限定されないが、あまり薄いと十分
な耐久性が得られない為、用途にもよるが、５０Å以上
、好ましくはｉｏｏ八以へ、特に１５０Å以上であるこ
とが望ましい。一方、あまり厚くなると、屈折率にも依
るが、干渉効果が生じてきて反射色も強（なるので、１
０００Å以下、好ましくは７００Å以下、特に５００Å
以下であることが好ましい。

熱線吸収膜２の膜材料は特に限定されず、用途によって
、あるいは要求仕様によって、金属、炭化物、酸化物、
又はこれらの複合膜から選定される。具体的には、チタ
ン、クロム、ジルコニウム、タンタル、ハフニウム、窒
化チタン、窒化クロム、窒化ジルコニウム、窒化タンタ
ル、窒化ハフニウムのうち一種を主成分とした膜が熱線
吸収性能が良好なため好ましい。

かかる熱線吸収膜２の膜厚としては、あまり厚（なると
可視光線透過率が低下してしまうので、基板１の種類、
酸化物膜３の屈折率と膜厚にも依るが、１０００Å以下
、好ましくは８００Å以下が望まれる。８００人を超え
ると、特に窒化物膜の場合には、内部応力が大きくなり
膜の剥離が生じやすくなる。又、あまり薄いと十分な熱
線吸収性能が得られないので、膜材料と基板ガラスの板
厚、種類にも依るが、２０Å以上、好ましくは２０〜１
００人であることが好ましい。

又、酸化物層３及び熱線吸収膜２の膜形成法も特に限定
されるものではなく、真空蒸着法、イオンブレーティン
グ法、スパッタリング法などが可能であるが、大面積コ
ーティングが必要な場合は、均一性に優れる反応性スパ
ッタリング法が好ましい。

透明基板ｌとしては、通常ガラス、プラスチックなどが
用いられる。

本発明において、色調がニュートラルとは、以下の様な
特性を有するものを意味する。即ち、ＣＩＨの表色系で
表示したときの、基板表面に熱線吸収膜、酸化物膜等の
被膜形成する前と後のＸ坐標、ｙ坐標の変化中をΔＸ、
Δｙとする。Ｊ（（Δｘ）”＋　　（Δｙ）２）を、被
膜形成したことによる色調変化とし、ニュートラル色と
は、この色調変化の値が、透過色、反射色の各々につい
て０．００８．０．０３２以下、より好ましくＧＥＥ　
Ｏ，００７，０，０２８以下であることをいう。但し、
反射色については、被膜形成した面と、形成していない
面とで反射色が異なる場合であるので、値の大きい方を
指すものとする。

熱線吸収膜２が窒化物膜である場合、該窒化物膜を内部
応力を低減しガラス基板との付着力を増すため、ガラス
基板と窒化物膜との間に酸化物膜を形成しても良い。又
、ガラス基板との間に付着力を増すもう一つの方法とし
て、ガラス基板上にまず下地膜を形成し、次いで高エネ
ルギーイオンを注入し、その後、熱線吸収膜を形成する
という方法も有効である。例えば、下地膜としてチタン
膜を形成し、次いで高エネルギー窒素イオンを注入した
後窒化チタン膜を形成すると、熱線吸収膜２として大変
付着力の高い窒化チタン膜が得られる。

「作用」 本発明の熱線遮断ガラスにおいて、空気側最外層の酸化
物膜３は、その屈折率、膜厚などにより、光学的な機能
を果している。即ち、熱線遮断ガラスの反射率を低下さ
せ、可視光線透過率の向上に寄与しているとともに、反
射色の刺激純度を低下させ全体の色調をニュートラル化
する作用を有している。さらに、酸化物膜３は熱線遮断
ガラスの耐摩耗性、耐薬品性を向上させるための保護膜
の役割を有している。

熱線吸収膜２は、太陽光線エネルギーを吸収する作用を
果たすと共に可視光線透過率を調整している。

又、酸化物膜３が硼素又は珪素のうち少なくとも一種と
ジルコニウムとを含む酸化物膜である場合は、その屈折
率を低下させる作用を有するとともに、かかる硼素又は
珪素は酸化ジルコニウム膜に不足している耐摩耗性を向
上させる作用も有している。これは、ガラス構成要素で
ある硼素又は珪素の添加により、膜が非晶質化し、表面
の平滑さが増すため摩擦抵抗が低下し、耐摩耗性が向上
しているものと考えられる。この様な非晶質化により、
酸、アルカリなどに強い化学的安定性を有する酸化ジル
コニウムにあわせて耐摩耗性を付与することができ、耐
摩耗性と化学的安定性の両方を併せもつ大変優れた耐久
性を有する膜の実現に寄与している。

［実施例］ 実施例１ ガラス基板をスパッタリング装置の真空槽にセットしＩ
　Ｘ　１０−’　Ｔｏｒｒまで排気した。ガラス基板と
しては４ｍｍ厚の青板を用いた。実施例２以下も同様の
ガラス基板を用いた。アルゴンと窒素の混合ガスを導入
して圧力を２　Ｘ　１０−”Ｔｏｒｒとした後、チタン
を反応性スパッタリングして窒化チタン（第１層）を約
２ＯＡ形成した。次にアルゴンと酸素の混合ガスに切り
替え圧力を２　Ｘ　１０−”Ｔｏｒｒにして、ＺｒＢ雪
ターゲットを反応性スパッタリングしてジルコニウムと
硼素からなる酸化膜（第２層）を約２００人形成した。

こうして得られた熱線遮断ガラスの可視光線透過率Ｔｖ
、太陽光線透過率Ｔｔｓ　コート面可視光反射率Ｒｖｒ
、ガラス面可視光反射率Ｒｖａ、透過、反射の色調変化
はＪ（（Δｘ）”＋（Δｙ）２）は、それぞれ７１．５
６．１３．１２（％）、０．００６ｇ。

０、０２６であった。

又、透過色、反射色も素板のガラスと殆ど見分けがつか
ない程ニュートラル色であった。

膜の耐久性を調べるために０．１規定の塩酸、水酸化ナ
トリウム中に室温で６時間、あるいは沸騰水中に２時間
浸漬したが、光学性能に変化は認められなかった。酸、
アルカリに対して更に浸漬を続けて２４０Ｈｒ経過後に
同様に評価したところ、ＴＶ％Ｔｔが２〜３％上昇して
いて、劣化が認められた。

砂消しゴムによる擦り試験でも、傷は殆どっかず極めて
優れた耐擦傷性を示した。

実施例２ 実施例１と同様にガラス基板上にジルコニウムを反応性
スパッタリングして窒化ジルコニウム（第１層）を約２
０人形成した後、アルゴンと酸素の混合ガスに切り替え
２　Ｘ　１０−”Ｔｏｒｒにした。次にＺｒＢ１ターゲ
ットを反応性スパッタリングしてジルコニウムと硼素か
らなる酸化膜（第２層）を約２００人形成した。

得られた熱線遮断ガラスの光学性能Ｔｖ、Ｔ　ｔ　ｓ　
Ｒｖｒｓ　Ｒｖａ、透過、反射の色調変化はそれぞれ７
１．５５．１２．１２（％）、０．００６７、０．０２
６であった。

実施例膜の耐久性を調べるために０．１規定の塩酸、水
酸化ナトリウム各水溶液中に室温で６時間、あるいは沸
騰水中に２時間浸漬したが、光学性能に変化は認められ
なかった。１と同様な耐久試験を行ったが、同様に優れ
た性能を示した。

実施例３ 実施例１と同様にガラス基板上にクロムを反応性スパッ
タリングして窒化クロム（第１層）を約１０人形成後、
アルゴンと酸素の混合ガスに切り替え２　Ｘ　１０−”
Ｔｏｒｒにした。次にＺｒＢ　ｚとＳｉＣを含むターゲ
ットを反応性スパッタリングしてジルコニウム、硼素、
珪素を含む酸化膜（第２層）を約２００人形成した。得
られた熱線遮断ガラスの光学性能ＴＶ、Ｔｇ　、ＲｖＦ
、Ｒｖａ、透過、反射の色調変化はそれぞれ７２．　５
ｇ、　１０゜９（％）　、　０．００７４．０．０２９
であった。透過、反射の色も素板と殆ど見分けがつかな
かった。耐久性も実施例１と同様極めて優れていた。

実施例４ 実施例１の窒化チタンのかわりに第１層としてクロム、
チタン、ジルコニウムをそれぞれ約１０人形成した。そ
の上にＺｒＢ＊ターゲットを反応性スパッタリングして
ジルコニウムと硼素を含む酸化膜（第２層）を約２００
人形成して３種類の熱線遮断ガラスを作った。これらの
Ｔｖ、Ｔｇ　、ＲＶＦ％　ＲＶＯは第１層のクロム、チ
タン、ジルコニウムに大きな差はみられず、それぞれ７
２．５８．１１．１０（％）のものであった。透過色１
反射色は色調変化がそれぞれ０．００３１〜０．００６
５．０．０２８〜０．０３０と実施例１と同様に極めて
優れていた。又、耐久性も実施例１と同様に極めて優れ
ていた。

実施例５ 実施例１と同様に窒化チタンを２０人形成後、錫を反応
性スパッタリングして２００人形成した。こうして得ら
れた熱線遮断ガラスのＴＶ、ＴＩＥ、ＲＶＦ、Ｒｖｏは
、それぞれ７０．５５．１５゜１３（％）であった。

長時間の０．１規定のＨＣＩ水溶液中保存で膜の溶解が
みられた他は耐久性に優れていた。色調も反射が若干高
いことを除けば透過色、反射色の色調変化がそれぞれ０
．００３６．０．０３０とニュートラル色であった。

実施例６ 実施例１と同様に窒化チタンを２０人形成した後、酸化
珪素を高周波反応性スパッタリングして２５０人形成し
た。こうして得られた熱線遮断ガラスのＴＶ、ＴＥ、Ｒ
ｖＦ％Ｒｖｏは、それぞれ７３、５６．８．６（％）で
あった。

長時間の０．１規定のＮａＯＨ水溶液中で膜の溶解がみ
られた他は耐久性に優れていた。反射率が低く、透過、
反射の色調変化が０．００５．０．０１８と色調も極め
て優れていた。

実施例７ 実施例１と同様に窒化チタンを２０人形成後、ジルコニ
ウム−硼素合金ターゲット（組成は原子濃度で５０Ｚｒ
−５０Ｂ　）を反応性スパッタリングしてジルコニウム
と硼素からなる酸化膜（第２層）を約２００人形成した
。

得られた熱線遮断ガラスの光学性能ＴＶ、ＴＥ、Ｒｖ□
Ｒｖｏは、透過、反射の色調はそれぞれ７２．３．５ｇ
、５．１０．４．８．８．０．００２４．０．０２９０
であった。透過、反射の色も素材と殆ど見分けがつかな
かった。膜の耐久性を調べるために０．１規定の塩酸、
水産化ナトリウム各水溶液中に室温で２４０時間、ある
いは沸騰水中に２時間浸漬したが、光学性能に変化は認
められなかった。このとから実施例１よりさらにきびし
い耐久性試験によって優れた耐久性を示すことがわかっ
た。砂消しゴムによる擦り試験でも、極めて優れた耐擦
傷性を示した。

実施例８ 実施例１と同様に窒化チタンを２０人形成後、ＺｒＳｉ
、ターゲットを反応性スパッタリングしてジルコニウム
と珪素からなる酸化膜（第２層）を約２００人形成した
。

得られた熱線遮断ガラスの光学性能Ｔｖ、１区、ＲｖＦ
、Ｒｖｏは、透過、反射の色調変化はそれぞれ７３．７
．５９．３．８．６．７．１．０．００１０゜０．０１
７５であった。膜の耐久性は実施例７と同条件で評価し
たが、同様に優れた性能を示した。

実施例９ 実施例１と同様に窒化チタンを２０人形成後、ジルコニ
ウム−珪素合金ターゲット（組成は原子濃度で１ＯＺｒ
　−９０Ｓｉ）を反応性スパッタリングしてジルコニウ
ムと珪素からなる酸化膜（第２層）を約２００人形成し
た。

得られた熱線遮断ガラスの光学性能ＴＶ、ＴＥ、ＲｖＦ
％ＲＶＱは、透過、反射の色調はそれぞれ７４．３．５
９．６．８．０．６．３．０．０００ｇ、　０．００７
４であった。

膜の耐久性は実施例７と同条件で評価したが、同様に優
れた性能を示した。

［発明の効果］ 本発明の熱線遮断ガラスは透明基板上に熱線吸収膜、屈
折率が２．０以下の酸化物膜を積層した少なくとも２層
膜構成を有しているので、自然な、ニュートラル色調を
有し、可視光透過率が高く、且つ高耐久性を有している
。

従って、単板としても建築用、自動車用など、使用環境
の厳しい用途において充分使用できる。

酸化物膜３として硼素又は珪素のうち少なくとも１種と
ジルコニウムとを含む酸化物膜を形成した場合には、特
に耐摩耗性、耐薬品性に優れた熱線遮断ガラスが可能と
なる。

硼素又は珪素あるいはその合計量の含有割合を多（する
ことにより、該酸化物膜の屈折率を１．７以下にするこ
とが可能であり、その結果、可視光線低反射、高透過、
ニュートラルな色調を有する熱線遮断ガラスが可能とな
る。

さらに、かかる硼素又は珪素のうち少なくとも１種とジ
ルコニウムとを含む酸化物膜や酸化錫膜を空気側最外層
３とする場合には、直流スパッタリング法により製膜で
きるため、大面積が必要とされる自動車用、建築用等の
用途に最適である。

又、酸化珪素膜を空気側最外層３とする場合には、直流
スパッタリングは困難であるが、酸化珪素膜は屈折率が
低いため、ニュートラル色調で非常に可視光反射率が低
（透過率が高い熱線遮断ガラスが可能となる。又、可視
光反射率が小さいので、万−傷がついても傷が目立たな
いという効果も奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の熱線遮断ガラスの一例を示す断面図で
ある。 第２図（ａ）はＺｒＢｘＯｙ膜中のＢの含有量と膜の屈
折率ｎとの関係を示した図である。第２図（ｂ）はＺｒ
Ｓｉ、ｏ、膜中のＳｉの含有量とｎとの関係を、第２図
（ｃ）はＺ　ｒ　Ｂ　＋　Ｓ　１　！　Ｏｙ膜中のＳｉ
の含有量とｎとの関係を示した図、第２図（ｄ）はＴｉ
５ｘｚＯｙ膜中のＳｔの含有量とｎとの関係図である。 ｌ：透明基板、 ２：熱線吸収膜、 ３二酸化物膜 第　　１　　図 ５０ ００ 第 図 （ａ） 第 図 （ｃ） ２ｒＳｉｌＯｘ月真中ｃｐ）　２１ｏ２＋ｓ、。２（−
Ｌｔｖ　’／ａ）第２図ｃｂ） 第 図 （ｃｌ）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明基板上に熱線吸収膜、酸化物膜の少なくとも
   ２層が順次積層された熱線遮断ガラ スであつて、該酸化物膜が空気側最外層であり、かつ２
   ．０以下の屈折率を有することを特徴とする熱線遮断ガ
   ラス。
2. （２）可視光線透過率が７０％以上であることを特徴と
   する請求項１記載の熱線遮断ガラス。
3. （３）酸化物膜が硼素又は珪素のうち少なくとも一種と
   、ジルコニウム、チタン、ハフニウ ム、錫、タンタル、インジウムのうち少なくとも１種と
   を含む酸化物からなることを特徴とする請求項１又は２
   記載の熱線遮断ガラ ス。
4. （４）酸化物膜が酸化錫を主成分とする酸化物からなる
   ことを特徴とする請求項１又は２記載の熱線遮断ガラス
   。
5. （５）酸化物膜が酸化珪素を主成分とする酸化物からな
   ることを特徴とする請求項１又は２記載の熱線遮断ガラ
   ス。
6. （６）熱線吸収膜がチタン、クロム、ジルコニウム、タ
   ンタル、ハフニウム、窒化チタン、窒化クロム、窒化ジ
   ルコニウム、窒化タンタ ル、窒化ハフニウムの群から選ばれた１種又は２種以上
   を主成分とすることを特徴とする請求項１から５いずれ
   か一項記載の熱線遮断ガラス。