JPH031970U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH031970U JPH031970U JP6355789U JP6355789U JPH031970U JP H031970 U JPH031970 U JP H031970U JP 6355789 U JP6355789 U JP 6355789U JP 6355789 U JP6355789 U JP 6355789U JP H031970 U JPH031970 U JP H031970U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- processing
- upper opening
- processing device
- jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
第１図は本考案装置の実施例を示す要部縦断側
面図、第１ａ図は第１図のカバー用治具の一部拡
大断面図、第２図及び第３図は従来装置の異なる
例の要部縦断側面図である。 １０……メツキ液槽（処理液槽）、１１……メ
ツキ液（処理液）、１２……半導体ウエーハ（液
処理対象物）、１６……カバー用治具。
面図、第１ａ図は第１図のカバー用治具の一部拡
大断面図、第２図及び第３図は従来装置の異なる
例の要部縦断側面図である。 １０……メツキ液槽（処理液槽）、１１……メ
ツキ液（処理液）、１２……半導体ウエーハ（液
処理対象物）、１６……カバー用治具。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 処理液槽の上部開口上の液処理対象物に下面か
ら処理液を噴射する噴流式液処理装置において、 液処理対象物の周辺部を吸着被覆するカバー用
治具を処理液槽の上部開口上に配置したことを特
徴とする噴流式液処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6355789U JPH031970U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6355789U JPH031970U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031970U true JPH031970U (ja) | 1991-01-10 |
Family
ID=31593716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6355789U Pending JPH031970U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH031970U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013542326A (ja) * | 2010-10-07 | 2013-11-21 | メコ イクウィップメント エンジニアズ ベスローテン フェンノートシャップ | 平坦基板を片面電解処理する装置 |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP6355789U patent/JPH031970U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013542326A (ja) * | 2010-10-07 | 2013-11-21 | メコ イクウィップメント エンジニアズ ベスローテン フェンノートシャップ | 平坦基板を片面電解処理する装置 |