JPH03199059A - サーマルヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はファクシミリ、フルカラープリン久ワープロな
どの記録装置に関すん 従来の技術 熱転黒感熱印字方式プリンタなどの印字装置に用いられ
るサーマルヘッド（主　従来　次の二つの種類のものか
あも　第一のもの（友　第５図に示すように　グレーズ
層（ｌｌａ）を被覆したアルミナような絶縁基板（１１
）の上に　蒸着、スパッタリングのような真空薄膜形成
プロセスにより得たＴａ−３ｉのような抵抗体層（１２
）、Ｎｉ、　Ｃｒのような電極層（１３゜１４）、Ｓｉ
Ｃのような耐磨耗層（１５）をホトリソエツチング法を
もちいてパターン形成したもので、いわゆる薄膜型と呼
ばれるものであも　第二のものは第６図に示すように　
グレーズ層（２１ａ）を被覆した絶縁性基板（２１）の
上に　電極層（２３，２４）、抵抗体層（２２）、耐摩
耗層（２５）、それぞれをペーストの印刷焼成により形
成するものでいわゆる厚膜型と呼ばれるものであも 発明が解決しようとする課題 しかしなか板　上記従来技術においては発熱部の熱は等
方向に周辺部に広がり、発色部の形状はその熱の広がり
によって定まってしまう。

本発明は　その熱の広がり方を制御して印字効率と印字
品質に優れたサーマルヘッドを提供することを目的とす
も 課題を解決するための手段 本発明（友　表面が絶縁性である基板上に一方の電極群
の間に他の電極群の各電極を配して電極列を形成し　前
記画電極と接している抵抗体層を設け、前記電極と前記
抵抗体層上に耐摩耗層を形成し　前記耐摩耗層はその幅
方向に熱伝導率の異なる部分を設けたことを特徴とする
サーマルヘッドである。

作用 本発明は　抵抗体層上にライン状に熱伝導率の異なる部
分を有する耐摩耗層を有するサーマルヘッドであり、抵
抗体層で発生した無が耐摩耗層のライン状の熱伝導率が
高い部分を通って優先的にインクリボン・用紙の方に伝
わり、印字効率と印字品質の優れたサーマルヘッドが得
られも実施例 （実施例１） 本発明の一実施例を第１図を用いて説明すも第１図（よ
　本発明を適用した対向型のサーマルヘッドであも　第
１図において、　１ａはグレーズ凰ｌは基板、　２は抵
抗体層　３は共通型￥ｉ！、４は個別電極　５と６は本
発明の耐磨耗層玄　５は６に比べて熱伝導率の低い耐摩
耗Ｍ、６はライン状玄５に比べて熱伝導率の高い耐摩耗
層であもこのとき、抵抗体層（２）は共通電極（３）と
個別電極（４）の上であっても下であってもよへ　抵抗
体層（２）で発生した熱が選択的に　ライン状の熱伝導
率の比較的高い耐摩耗層（６〉の部分を通り、ヘッドの
表面に伝われる事が好ましく、耐摩耗層のライン状の部
分（６）が　耐摩耗層のそれ以外の部分（５）に比べて
熱伝導率が高ければよ賎　また　耐摩耗層の熱伝導率の
高い部分（６）のラインの幅ｔｉｔ、　　抵抗体層（２
）の発熱部分の幅より大きいことが望ましｔｌな抵　本
発明は基本的に電極パターンによら武例えば　第２図に
示すように千鳥型にも適用することが可能である。第２
図において、　１ａはグレズ恩　１は基板　２は抵抗体
層　３は共通電極４は個別電極　５と６は本発明の耐磨
耗層玄　５は６に比べて熱伝導率の低い耐摩耗ｙｆＬ６
はライン状で、　５に比べて熱伝導率の高い耐摩耗層で
ある。また　厚膜形成法や薄膜形成法のようにサーマル
ヘッドの製造方法にもよらな賎 （実施例２） 本発明のサーマルヘッドの製造方法の一実施例について
、第３図を用いて説明すも　第３図において、　ｌａは
グレーズ凰　１は基Ｋ　２は抵抗体＃　３、４は電極　
５と６は本発明の耐磨耗層で、５は６に比べて熱伝導率
の低い耐摩耗層　６はライン状で、　５に比べて熱伝導
率の高い耐摩耗層であも　厚さ０．８ｍｍのグレーズア
ルミナ基板１，１ａの上にスパッタリングでＴａＳｉの
抵抗体層２を形威しん　その上に　スパッタリングとホ
トリソエツチングによってＡｕの電極層３．４を形成し
ｔうそれかべ　その上にスパッタリングでＳｉＣの被膜
を形成後、ホトリソエツチングでライン状のパターンを
除去して、熱伝導率の低い耐摩耗層５を形威した　そし
て最後に　ダイアモンドライクカーボンを蒸着、ホトリ
ソエツチングして、ライン状の耐摩耗層６を形成しｔら （実施例３） 本発明のサーマルヘッドの製造方法の１実施例について
、第４図を用いて説明すも　第４図において、　１ａは
グレーズＢｔは基板　２は抵抗体層　３、４は電極　５
と６は本発明の耐磨耗層玄５は６に比べて熱伝導率の低
い耐摩耗＃　６はライン状で、　５に比べて熱伝導率の
高い耐摩耗層であも　厚さ０．８ｍｍのグレーズアルミ
ナ基板１，１ａの上にＡｕの有機金属化合物ペーストの
印刷焼点ホトリソエツチングによって電極層３，４を形
成した　それか転　その基板上にＲｕｄｅ−ガラスフリ
ット系ペーストの印刷焼成法によりライン状の抵抗体層
２を形威しｔも　　その上にＭｇの有機金属化合物ペー
ストをスクリーン印刷してライン状の被膜を形成り、　
　８００℃で加熱処理することにより、ライン状の熱伝
導率の比較的高い耐摩耗層６を形成し　さらにホウケイ
酸鉛系ガラスペーストの印刷焼成により熱伝導率の低い
耐磨耗層５を形成した。

な叙　耐摩耗層の形成方法としてスクリーン印刷法を用
いた例を示した力交　デイツプ汰　スピンナー法　ロー
ルコート法やスプレー法のような厚膜形成法とホトリソ
エツチングを用いて、耐摩耗層を形成してもよＬｌ （実施例４） 抵抗体層上に　Ｍｇの有機金属化合物ペーストをデイツ
プコーティングして被膜を形成ＬＡ８゜０℃で加熱処理
後、ホトリソエツチングして、ライン状の熱伝導率の比
較的高い耐摩耗層を形成獣さらにホウケイ酸鉛系ガラス
ペーストの印刷焼成により熱伝導率の低い耐磨耗層を形
成した　他は実施例２に同眺 （実施例５） 熱伝導率の低い耐摩耗層５として、５ｉＣ１ＳｉａＮ４
、　Ｓｉ　○２、　ＺｒＯ２、Ａｌｅ○掌、Ｈｆ　○２
、　ＴｉＯ２、Ｔａ２０５、　Ｍｇ５ｉＯ雪、Ｍｇ２５
ｉＱ４、　ＺｒＳｉＯ４、ＣａＯ−Ｚｒｏｇ、３Ａ１２
０ｓ・２Ｓｉ○２、そしてライン状の耐摩耗層６として
、Ｃ（ダイアモンド）を選ん氾　他は実施例２に同眺　
第１表に作成したサーマルヘッドの印字熱効率を示も　
な耘　印字熱効率（上　感熱記録紙へ反射濃度１．０の
記録を与えるに要した電気エネルギーを特定の大きさの
ドツト当りの値で表した （実施例６） 熱伝導率の低い耐摩耗層５として、Ｍｇ５ｉＯ雪、そし
てライン状の耐摩耗層６として、Ｃ（ダイアモンド）、
ダイアモンドライクカーボン、Ｂ　Ｎ。

Ｂｅｄ、ＡＩＮ、ＳｉＣを選ん氾　他は実施４？Ｉ１２
に同ａ　第２表に作成したサーマルヘッドの印字熱効率
を示す。な叙　印字熱効率（友　感熱記録紙へ反射濃度
１．０の記録を与えるに要した電気エネルギーを特定の
大きさのドツト当りの値で表し九第１表 第２表 （比較例１） 厚さ０．８ｍｍのグレーズアルミナ基板の上に金の有機
金属化合物ペーストの印刷焼成　ホトリソエツチングに
よって電極層を形成した　それかべ　その基板上に　酸
化ルテニウム粉末とホウケイ酸ガラスフリットとエチル
セルローズとターピネオールとの混合抵抗ペーストを用
１．）　　印刷焼成法によりライン状の抵抗体層を形成
した　最後にホウケイ酸鉛系ガラスペーストの印刷焼成
により耐磨耗層を形成し丸 （比較例２） 薄膜形成法により作製しｔラ　　他は比較例１に同じ。

第３表に本発明の実施例によるサーマルヘッドの特性を
示す。な抵　印字熱効率（友　感熱記録紙へ反射濃度１
．Ｏの記録を与えるに要した電気エネルギーを特定の大
きさのドツト当りの値で表した 発明の効果 以上記載のように　本発明によれば　抵抗体層で発生し
た熱力交　耐摩耗層のライン状の熱伝導率が高い部分を
通って優先的にインクリボン・用紙の方に伝わり、印字
効率と印字品質の優れたサーマルヘッドが得られも 第３表

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本発明を適用した対向型
と千鳥型のサーマルヘッドの構成猛　第３図および第４
図はそれぞれ本発明を適用した薄膜型と厚膜型のサーマ
ルヘッドの構成は　第５図および第６図はそれぞれ従来
の薄膜型および厚膜型のサーマルヘッドの構成図であも

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面が絶縁性である基板と、前記基板上に形成さ
   れた複数の端部を有する共通電極と、前記共通電極の端
   部相互間に配した複数の個別電極と、前記共通電極の端
   部と個別電極からなる電極列に接して配した抵抗体層と
   、前記電極および前記抵抗体層上に形成した耐摩耗層を
   構成要素とし、前記耐摩耗層は前記抵抗体層上の前記電
   極列方向に直交する方向において、熱伝導率の異なる部
   分を有することを特徴とするサーマルヘッド。
2. （２）耐摩耗層の中央部の熱伝導率は端部の熱伝導率よ
   り大きいことを特徴とする請求項１記載のサーマルヘッ
   ド。
3. （３）耐摩耗層の構成成分として、Ｃ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｚ
   ｒ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｔａの群から選ば
   れた元素を含むことを特徴とする請求項１記載のサーマ
   ルヘッド。