JPH0320054A - 液晶デバイスの接合方法 - Google Patents

液晶デバイスの接合方法

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JPH0320054A
JPH0320054A JP1155303A JP15530389A JPH0320054A JP H0320054 A JPH0320054 A JP H0320054A JP 1155303 A JP1155303 A JP 1155303A JP 15530389 A JP15530389 A JP 15530389A JP H0320054 A JPH0320054 A JP H0320054A
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幸男 前田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は液晶デバイスにおいて、配線のレスキューや、
ベアーの液晶ドライバーICをワイヤーで接続するため
の接合方法に関する。
従来の技術 従来、液晶デバイスに液晶ドライバーICを直接搭載し
てワイヤーポンディングする場合の例を第2図に示す。
図において、101はガラス基板、102はITO配線
膜、103はアルミニウt1膜、104は銀ペースト、
105は液晶ドライバーIC、106は液晶ドライバー
ICのアルミニウム電極、107は金ワイヤーである。
第2図に示すように従来は、ガラス基板101上に形成
したインジウム・スズ・オキサイド(以下ITOと記す
)の配AIIIIIl02に部分的に真空蒸着、スパッ
タリングによってアルミニウム膜103を形成しておく
。次に銀ペースト104をガラス基板101上に塗布し
たのち、液晶ドライバーICl05をマウントして銀ペ
ースト104を硬化させる。しかるのち、液晶ドライバ
ー【C105のアルミニウム電極106とガラス基板1
01上のアルミニウム11103をボールボンディング
法によって金ワイヤー107によって接続する。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、このような方法ではアルミニウム膜10
3を形成しなければならないが、このアルミニウム膜1
03を形成するには、たとえば真空蒸着→レジスト塗布
→ブリベーキング→ボストベーキング→エッチング→洗
浄といった複雑な工程を経なければならなかった。また
、この複雑な工程を経ることによって液晶デバイスの歩
留りが低下するという問題もあった。
課題を解決するための手段 本発明はかかる問題点に鑑み、アルミニウムワイヤーを
ツールで押圧させながら超音波で加振させて、アルミニ
ウムワイヤーとITO配線膜とを接合させる方法をとっ
た。
作   用 本発明によれば、アルミニウムワイヤーをツールで押圧
させながら超音波で加振させるため、大部分はアルミニ
ウムワイヤーとITO配線膜が接合され、一部はITO
fi*を部分的に破壊して、アルミニウムワイヤーとI
TO膜の下地であるガラス基板が部分的に接合される。
したがって、アルミニウムワイヤーとI T O Il
lとは電気的に接続される。
実施例 第l図は本発明の一実施例の構成を説明するための概略
図である。この図において、■はガラス基板、2はIT
O配線膜、3は銀ペースト、4は液晶ドライバーIC、
5は液晶ドライバーICのアルミニウム電極、6はアル
ミニウムワイヤー7は超音波ホーン、8はワイヤー6を
ガイドする溝8aを先に有するツールである。
第1図に示すように、まずガラス基板1に銀ペーストを
塗布したのち液晶ドライバーIC4をマウントして銀ペ
ースト3を硬化させる。しかるのち、液晶ドライバーI
C4のアルミニウム電極5とアルミニウムワイヤー6を
超音波ホーン7の先端に取付けたツール8によって押圧
させながら超音波を加振させながら接合させる。つぎに
、アルミニウムワイヤー6の他端をガラス基板1上に形
成したITO配線膜2とを同様に超音波ホーン7の先端
に取付けたツール8によって押圧させながら超音波を加
振させて接合させる。
なお、ここでは液晶ドライバーICと液晶デノくイスと
の接合であったが、液晶デバイスのレスキューとしてI
TO配線膜間の接合にも使用できることはいうまでもな
い。
発明の効果 本発明によれば、従来のようにITO配線膜との電気的
接触をとるために特別にアルミニウム膜を形成する必要
はないため、工程が簡略化されるとともに、それに伴う
不良もなくなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は従来
の液晶デバイスの接合状態を示す断面図で.ある。 1,101・・・・・・基板、2,102・・・・・・
ITO配線膜、3,103・・・・・・銀ペースト、4
,104・・・・・・液晶ドライバーtC、5.105
・・・・・・アルミニウム電極、6.106・・・・・
・アルミニウムワイヤー、7・・・・・・超音波ホーン
、8・・・・・・ツール、107・・・・・・金ワイヤ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ガラス基板上に形成したインジウム・スズ・オキ
    サイドの配線膜にワイヤーを接続する方法において、ア
    ルミニウムワイヤーをツールで押圧させながら超音波で
    加振させて、前記アルミニウムワイヤーと前記配線膜と
    を接合させる液晶デバイスの接合方法。
  2. (2)アルミニウムワイヤーにおいて、不純物としてシ
    リコンを10%以下添加した請求項1記載の液晶デバイ
    スの接合方法。
  3. (3)ツールにおいて、前記アルミニウムワイヤーと接
    触する底面にアルミニウムワイヤーが沿うように溝が形
    成されていることを特徴とする請求項1記載の液晶デバ
    イスの接合方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2010150351A1 (ja) * 2009-06-23 2012-12-06 東芝三菱電機産業システム株式会社 電極基体

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61216355A (ja) * 1985-03-20 1986-09-26 Tanaka Denshi Kogyo Kk 半導体素子のボンデイング用Al線
JPS6271111A (ja) * 1985-09-24 1987-04-01 三菱レイヨン株式会社 透明導電性基板およびその製造法
JPS63276278A (ja) * 1987-05-08 1988-11-14 Toa Nenryo Kogyo Kk 埋込み配線付き透明電極
JPH01129429A (ja) * 1987-11-16 1989-05-22 Mitsubishi Electric Corp ワイヤボンデイング装置用キヤピラリ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61216355A (ja) * 1985-03-20 1986-09-26 Tanaka Denshi Kogyo Kk 半導体素子のボンデイング用Al線
JPS6271111A (ja) * 1985-09-24 1987-04-01 三菱レイヨン株式会社 透明導電性基板およびその製造法
JPS63276278A (ja) * 1987-05-08 1988-11-14 Toa Nenryo Kogyo Kk 埋込み配線付き透明電極
JPH01129429A (ja) * 1987-11-16 1989-05-22 Mitsubishi Electric Corp ワイヤボンデイング装置用キヤピラリ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2010150351A1 (ja) * 2009-06-23 2012-12-06 東芝三菱電機産業システム株式会社 電極基体

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