JPH0320062A - 半導体ウェハの収納ケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体ウェハを収納するケースに関するもの
である。

従来の技術 一般に、半導体ウェハの保管や半導体製造装置への運搬
には、半導体ウェハ収納ケース（以下、単に収納ケース
と呼ぶ）が用いられている。

第４図の従来例は、全体がテフロン，金属等で箱状に形
成されておシ、３１はその上面板、３２は下面板、３３
は背面板、３４．３５は厠而板、３８．３７は２つの側
面板３４．３５の内（ｌＸｌ１に互いに対向するように
形戊された複数対のウェハ載置用棚である。この収納ケ
ースの対になった棚３６，３７０上面に、第５図に示す
ように、ウェハ３８を載置することにより１つの収納ケ
ース内に複数のウェハを収納することができ、かつ、安
定に半導体製造装置ヘウェハを運搬することができる。

発明が解決しようとする課題 ところが、第４図に示す従来の収納ケーヌにおいては両
側面板と上下面板が固定されていて、開口部の幅が一定
であるので、その開口部の幅に対応した直径のウェハし
か、収納できないという問題があった。

本発明は、上記従来の問題点を解決するもので、ウェハ
の直径に対応して開口部の幅を調整できる収納ケースを
提供することを目的とするものである。

課題を解決するための手段 この目的を達或するために、本発明の収納ケースは、収
納ケースの両側面板の上端同志および下端同志を、上面
板および下面板で伸縮自在に結合させる構或としたもの
である。１た、両側面板の棚に切欠きを形威し、そこに
棒を装着する構戒としたものである。

作　　用 との構或によって、上面板釦よび下面板を、伸縮自在に
結合でき、又棒を任意の位置に装着することができるの
で、ウェハ直径に応じた、収納ケースの開口部の幅や奥
行を調整できる。

実施例 以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説
明する。第１図は、本発明の一実施例を示したもので全
体はテフロン，金属等で箱状に形威されておシ、１はそ
の上面板、２は下面板、３，４は背面板、５，６は側面
板、７，８は２つの側面板６．６の内側に互いに対向す
るように形戊された複数対のウェハ載置用の棚、９．１
０及び１１，１２は２つの側面板６．６の上端及び下端
にそれぞれ設けられた上面板及び下面板保持部である。

この収納ケースの側而板５，６を、Ａ，Ｂ方向に伸縮さ
せ、開口部の幅をウェハ直径に対応させた後、対になっ
た棚９．１０の上面に、ウェハを載置することによシ、
１つの収納ケースに複数のウェハを収納することができ
る。

第２図は、本発明の他の実施例を示したもので：第１図
と同一名称部分には同一符号を付しておυ、１た１３，
１４，１５．１６は収納ケースの上面板１及び下面板２
と、保持部９，１０，１１．１２に着脱自在に装着され
るビン、１　７　．　１　８　．　１　９，２０は保持
部９，１０，１１　．１２に設けられたピン挿入孔、２
１　，２２，２３．２４は、上面板及び下面板２に幾つ
も設けられたピン挿入孔である。側面板３，４をウェハ
直径に応じて伸縮させ、任意の位置にてピン１１　，１
２，１３．１４を装着させることによシ、正面開口部の
幅を固定することができる。

第３図は、本発明の第３の実施例を示したもので、第１
図，第２図と同一名称部分には、同一符号を付してあシ
、！た、２５　．２６は、背面開口部に着脱自在に装着
される棒、２７．２８は、保持部９，１ｏに幾つも設け
られた棒挿入孔、２９，３０は、側面板の内側の棚７．
８に設けられた切欠きで、棒挿入孔２７．２８とともに
棒２５．２６の保持部を形戒している。ウェハ直径に応
じて任意の位置に棒２５．２６を挿入することによう，
ウェハ直径に見合った収納奥行をつくることができる。

発明の効果 以上説明したように、本発明によれば、ウェハ直径に応
じて、側面板を伸縮させ、上面板及び下面板を、側面仮
に結合して、収納ケースの背面に棒を挿入することによ
り、正面開口部の幅と奥行を調整することができるので
、ウェハ直径に応じて収納ケースを交換、選択する必要
がなく、能率向上につながる。

を設けた本発明の一実施例の斜視図、第２図は上面板及
び下面板を側面板に固定する固定手段を設けた本発明の
第２の実施例の斜視図、第３図は側面板の内側のウェハ
載置棚に切欠きを設け、これを棒保持部とした本発明の
第３の実施例の斜視図、第４図は従来例の収納ケースの
斜視図、第６図は同収納ケースにウェハが収納された状
態を示す正面図である。

１・・・・・・上面板、２・・・・・・下而板、３．４
・・・・・・背而板、６，６・・・・・・側面板、７，
８・・・・・・ウェハ載置用棚、９，１０，１１　．１
２・・・・・・上面板、下面板保持部、１３，１４，１
５．１６・・・・・・ピン、１７，１８，１９．２０・
・・・・・保持部ピン挿入孔、２１，２２，２３．２４
・・・・・・上面板、下面板ピン挿入孔、２５．２６・
・・・・・棒、２７．２８・・・・・・棒挿入孔、２９
，３０・・・・・・切欠き。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）互いに対向する側面板と、各側面板の内側に互い
   に対向するように配置されたウェハ載置用の複数対の棚
   と、前記両側面上の上端同志および下端同志を伸縮自在
   に結合する上面板および下面板とを備えたことを特徴と
   する半導体ウェハの収納ケース。
2. （２）上面板および下面板を任意の伸縮位置で両側面板
   に固定する固定手段を設けたことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の半導体ウェハの収納ケース。
3. （３）複数対の左右の棚の任意の位置に、切欠きを一例
   に形成して、その切欠きに着脱自在に装着され、内部に
   収納したウェハの収納ケース背面からの脱出を防止する
   棒を備えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項また
   は第２項記載の半導体ウェハの収納ケース。