JPH03201527A - スタッキングボート - Google Patents
スタッキングボートInfo
- Publication number
- JPH03201527A JPH03201527A JP1341235A JP34123589A JPH03201527A JP H03201527 A JPH03201527 A JP H03201527A JP 1341235 A JP1341235 A JP 1341235A JP 34123589 A JP34123589 A JP 34123589A JP H03201527 A JPH03201527 A JP H03201527A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz
- pipes
- silicon carbide
- semiconductor wafers
- end sections
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（１１発明の目的
［産業上の利用分野］
本発明は、複数の石英パイプをパイプ状６しくは中実の
複数の石英支柱で互いに連結して形成されたスタッキン
グボートに関し、特に、石英パイプの内部にそれぞれ化
学蒸着によって炭化珪素の皮膜が付着された炭化珪素製
の補強棒が配置されてなるスタッキングボートに関する
ものである。
複数の石英支柱で互いに連結して形成されたスタッキン
グボートに関し、特に、石英パイプの内部にそれぞれ化
学蒸着によって炭化珪素の皮膜が付着された炭化珪素製
の補強棒が配置されてなるスタッキングボートに関する
ものである。
［従来の技術］
従来、この種のスタッキングボートとしては、第２図に
示したスタッキングボート１０のごとく、両端部の閉鎖
された２本の石英パイプ１１Ａ、１１Ｂを両端部と中間
部とにおいてパイプ状の複数（ここでは３本）の石英支
柱１２Ａ、 １２８．１２Ｃによって互いに結合せしめ
ることにより作成されてなるものが提案されていた。
示したスタッキングボート１０のごとく、両端部の閉鎖
された２本の石英パイプ１１Ａ、１１Ｂを両端部と中間
部とにおいてパイプ状の複数（ここでは３本）の石英支
柱１２Ａ、 １２８．１２Ｃによって互いに結合せしめ
ることにより作成されてなるものが提案されていた。
［解決すべき問題点］
しかしながら、従来のスタッキングボート且では、半導
体ウェーハＭの熱処理温度が昨今の技術革新に伴なって
石英の軟化点（すなわち１２００℃）を超えるようにな
った結果、ｆｉｔ石英パイプ１１Ａ。
体ウェーハＭの熱処理温度が昨今の技術革新に伴なって
石英の軟化点（すなわち１２００℃）を超えるようにな
った結果、ｆｉｔ石英パイプ１１Ａ。
１１Ｂが半導体ウェーハＭの重量によってその熱処理に
際し外方へ彎曲してしまう欠点があり、また（ｉｌ）石
英パイプ１１Ａ、１１Ｂの中間部を連結する石英支柱１
２Ｇの近傍では熱ストレスが増大するため載置された半
導体ウェーハＭにスリップが生じ易い欠、屯があり、ひ
いてはｆｉｉｉｌ ｉｉｔ用寿命を延長できず、半導体
ウェーハの積載数を増加できない欠、屯があった。
際し外方へ彎曲してしまう欠点があり、また（ｉｌ）石
英パイプ１１Ａ、１１Ｂの中間部を連結する石英支柱１
２Ｇの近傍では熱ストレスが増大するため載置された半
導体ウェーハＭにスリップが生じ易い欠、屯があり、ひ
いてはｆｉｉｉｌ ｉｉｔ用寿命を延長できず、半導体
ウェーハの積載数を増加できない欠、屯があった。
ちなみに、従来のスタッキングボート功では、石英パイ
プ１１Ａ、 １１Ｂの内部に石英ウールなどを介して炭
化珪素製の補強棒（図示せず）を刺入して補強すること
が提案されており、上記（１１〜（ｉｉｉｌの欠点を除
去していたが、ｆｉｖｌ製造に多大の時間および労力を
要する欠点があった。
プ１１Ａ、 １１Ｂの内部に石英ウールなどを介して炭
化珪素製の補強棒（図示せず）を刺入して補強すること
が提案されており、上記（１１〜（ｉｉｉｌの欠点を除
去していたが、ｆｉｖｌ製造に多大の時間および労力を
要する欠点があった。
そこで、本発明は、これらの欠点を除去すべく、両端部
の開放された？Ｉ ｆｆｉの石英パイプの内部にそれぞ
れ化学蒸着によって炭化珪素の皮膜が付着された炭化珪
素製の補強棒を配置することにより石英パイプを両端部
のみで石英支柱によって連結可能としてなるスタッキン
グボートを提供せんとするものである。
の開放された？Ｉ ｆｆｉの石英パイプの内部にそれぞ
れ化学蒸着によって炭化珪素の皮膜が付着された炭化珪
素製の補強棒を配置することにより石英パイプを両端部
のみで石英支柱によって連結可能としてなるスタッキン
グボートを提供せんとするものである。
（２）発明の構成
Ｅ問題点の解決手段１
本発明により提供される問題点の解決手段は、「半導体
ウェーハを載置するための複数の溝部がそれぞれ形成さ
れかつ平行に配置されたＩＭ Ｅｌの石英パイプを複数
の石英支柱で互いに連結して形成してなるスタッキング
ボートにおいて１石英パイプｆｌｌＡ、１１Ｂ＋の両端
部が開放されかつ内部にそれぞれ化学蒸着によって炭化
珪素の皮膜が付着された炭化珪素製の補強棒（＋３Ａ、
１３Ｂ＋が配置されてなることを特徴とするスタッキ
ングボート」 である。
ウェーハを載置するための複数の溝部がそれぞれ形成さ
れかつ平行に配置されたＩＭ Ｅｌの石英パイプを複数
の石英支柱で互いに連結して形成してなるスタッキング
ボートにおいて１石英パイプｆｌｌＡ、１１Ｂ＋の両端
部が開放されかつ内部にそれぞれ化学蒸着によって炭化
珪素の皮膜が付着された炭化珪素製の補強棒（＋３Ａ、
１３Ｂ＋が配置されてなることを特徴とするスタッキ
ングボート」 である。
［作用］
本発明にかかるスタッキングボートは、上述のＥ問題点
の解決手段］で明示したごとく、半導体ウェーハを載置
するための複数の溝部がそれぞれ形成されかつ平行に配
置された複数の石英パイプを複数の石英支柱で互いに連
結して形成されており、特に、石英パイプの両端部が開
放されかつ内部にそれぞれ化学蒸着によって炭化珪素の
皮膜が付着された炭化珪素製の補強棒が配置されてなる
ので、 （ｉ）石英の軟化点を超える温度まで石英パイプを補強
する作用 をなし、ひいては （１１）半導体ウェーへの熱処理温度が石英の軟化点を
超えてち変形を抑制する作用 をなし、また ｆｉｉｉ）中間部に挿入される石英支柱を除去可能とす
る作用 をなし、結果的に ｆｉｖｌ ｉｎ用寿命を延長可能とし、かつ半導体ウェ
ーへの積載数を増加可能とする作用をなし、併せて ｆＶ１石英パイプの両端部の閉鎖処理を回避して製造容
易とする作用 をなす。
の解決手段］で明示したごとく、半導体ウェーハを載置
するための複数の溝部がそれぞれ形成されかつ平行に配
置された複数の石英パイプを複数の石英支柱で互いに連
結して形成されており、特に、石英パイプの両端部が開
放されかつ内部にそれぞれ化学蒸着によって炭化珪素の
皮膜が付着された炭化珪素製の補強棒が配置されてなる
ので、 （ｉ）石英の軟化点を超える温度まで石英パイプを補強
する作用 をなし、ひいては （１１）半導体ウェーへの熱処理温度が石英の軟化点を
超えてち変形を抑制する作用 をなし、また ｆｉｉｉ）中間部に挿入される石英支柱を除去可能とす
る作用 をなし、結果的に ｆｉｖｌ ｉｎ用寿命を延長可能とし、かつ半導体ウェ
ーへの積載数を増加可能とする作用をなし、併せて ｆＶ１石英パイプの両端部の閉鎖処理を回避して製造容
易とする作用 をなす。
［実施例］
次に、本発明にかかるスタッキングボートについて、そ
の好ましい実施例を挙げ、添付図面を参照しつつ、具体
的に説明する。しかしながら、以下に説明する実施例は
、本発明の理解を容易化ないし促進イヒするために記載
されるものであって、本発明を限定するために記載され
るものではない。換言すれば、以下に説明される実施例
において開示される各要素は、本発明の精神ならびに技
術的範囲に属する全ての設計変更ならびに均等物置換を
含むちのである。
の好ましい実施例を挙げ、添付図面を参照しつつ、具体
的に説明する。しかしながら、以下に説明する実施例は
、本発明の理解を容易化ないし促進イヒするために記載
されるものであって、本発明を限定するために記載され
るものではない。換言すれば、以下に説明される実施例
において開示される各要素は、本発明の精神ならびに技
術的範囲に属する全ての設計変更ならびに均等物置換を
含むちのである。
ユ里住ｘ皿史盈里と
第１図は、本発明のスタッキングボートの一実施例を示
すための部分断面斜視図である。
すための部分断面斜視図である。
１！施里少贋致上
まず、第１図を参照しつつ、本発明にがかるスタッキン
グボートの一実施例について、その構成を詳細に説明す
る。
グボートの一実施例について、その構成を詳細に説明す
る。
ｌＯは、本発明にかかるスタッキングボートであって、
互いに対向する位置にそれぞれ複数の溝部１１ａ、 ｌ
ｌｂが形成されており半導体ウェーハＭをそれらの溝部
１１ａ、１１１）に挿入して保持するための２本の石英
パイプ１１Ａ、１１Ｂと、石英パイプ１１Ａ。
互いに対向する位置にそれぞれ複数の溝部１１ａ、 ｌ
ｌｂが形成されており半導体ウェーハＭをそれらの溝部
１１ａ、１１１）に挿入して保持するための２本の石英
パイプ１１Ａ、１１Ｂと、石英パイプ１１Ａ。
１１Ｂを両端部において互いに連結するための石英支柱
１２Ａ、 １２Ｂと、石英パイプ１１Ａ、１１Ｂの内部
に対してそれぞれ配設され両端部近傍まで延長されてお
り石英パイプ１１Ａ、１１Ｂを補強するための炭化珪素
製の補強棒１３Ａ、 １３Ｂとを備えている。
１２Ａ、 １２Ｂと、石英パイプ１１Ａ、１１Ｂの内部
に対してそれぞれ配設され両端部近傍まで延長されてお
り石英パイプ１１Ａ、１１Ｂを補強するための炭化珪素
製の補強棒１３Ａ、 １３Ｂとを備えている。
石英支柱１２Ａ、 １２Ｂは、パイプ状であってもよく
、また中実であってもよいが、それぞれ両端部で石英パ
イプｌＩＡ、１１Ｂに対し煽書されている。
、また中実であってもよいが、それぞれ両端部で石英パ
イプｌＩＡ、１１Ｂに対し煽書されている。
補強棒１３Ａ、 １３Ｂは、化学蒸着によって炭化珪素
の皮膜が付着された炭化珪素製の棒材によって形成され
ている。このため、本発明によれば、石英パイプｌＩＡ
、１１Ｂの両端部を開放したまま放置しても、半導体ウ
ェーハＭの熱処理に際して補強棒１３Ａ、 １３Ｂから
不純物が飛散し半導体ウェーハＭを汚染してしまうこと
を回避できる。補強棒１３Ａ１３Ｂは、それぞれ両端部
が石英パイプ１１Ａ、１１Ｂの両端部の一部をそれぞれ
内部へ折返すことによって脱落することが防止されてい
る。また、？ｉ１１強捧１３Ａ、１３Ｂは、石英パイプ
１１Ａ、 １１Ｂへの挿入ののち、石英パイプ１１Ａ、
１１Ｂの両端部に対しそれぞれ短かい固定用石英パイ
プを挿入し加熱軟化せしめて溶着することにより脱落す
ることが防止されてもよい。
の皮膜が付着された炭化珪素製の棒材によって形成され
ている。このため、本発明によれば、石英パイプｌＩＡ
、１１Ｂの両端部を開放したまま放置しても、半導体ウ
ェーハＭの熱処理に際して補強棒１３Ａ、 １３Ｂから
不純物が飛散し半導体ウェーハＭを汚染してしまうこと
を回避できる。補強棒１３Ａ１３Ｂは、それぞれ両端部
が石英パイプ１１Ａ、１１Ｂの両端部の一部をそれぞれ
内部へ折返すことによって脱落することが防止されてい
る。また、？ｉ１１強捧１３Ａ、１３Ｂは、石英パイプ
１１Ａ、 １１Ｂへの挿入ののち、石英パイプ１１Ａ、
１１Ｂの両端部に対しそれぞれ短かい固定用石英パイ
プを挿入し加熱軟化せしめて溶着することにより脱落す
ることが防止されてもよい。
補強棒１３Ａ、１３Ｂの横断面形状は、半円形に這い形
状の場合を図示しているが、石英パイプ１１Ａ。
状の場合を図示しているが、石英パイプ１１Ａ。
１１Ｂの内周面との間に熱膨張率の差に伴なう熱膨張を
吸収できるだけのスペースが確保されている限り、円形
、多角形あるいは矩形などの所望の形状であっても差し
支えない。
吸収できるだけのスペースが確保されている限り、円形
、多角形あるいは矩形などの所望の形状であっても差し
支えない。
工夫慶皿曵且Ｂ±
更に、第１図を全開しつつ、本発明にがかるスタッキン
グボートの一実施例について、その作用を詳細に説明す
る。
グボートの一実施例について、その作用を詳細に説明す
る。
本発明にかかるスタッキングボート耗は、石英パイプ１
１Ａ、１１Ｂの内部に対しそれぞれ炭化珪素製の補強棒
１３Ａ、 １３Ｂが配設されているので、半導体ウェー
ハＭの熱処理温度が石英の軟化点を超えるような場合で
あっても、石英パイプ１１Ａ、 １１Ｂを補強できる。
１Ａ、１１Ｂの内部に対しそれぞれ炭化珪素製の補強棒
１３Ａ、 １３Ｂが配設されているので、半導体ウェー
ハＭの熱処理温度が石英の軟化点を超えるような場合で
あっても、石英パイプ１１Ａ、 １１Ｂを補強できる。
したがって、本発明にかかるスタッキングボー１−１０
は、半導体ウェーハＭの熱処理温度が石英の軟化点を超
えるような場合であっても、石英パイプ１１Ａ、ｌＩＢ
が半導体ウェーハＭの重量によって外方へ彎曲し変形す
ることを抑制でき、また中間部から石英支柱を除去でき
る。
は、半導体ウェーハＭの熱処理温度が石英の軟化点を超
えるような場合であっても、石英パイプ１１Ａ、ｌＩＢ
が半導体ウェーハＭの重量によって外方へ彎曲し変形す
ることを抑制でき、また中間部から石英支柱を除去でき
る。
結果的に、本発明にかかるスタッキングボート１０は、
耐用寿命を延長でき、かつ半導体ウェーハＭの積載数を
増加できる。
耐用寿命を延長でき、かつ半導体ウェーハＭの積載数を
増加できる。
併せて、本発明にかかるスタッキングボーＮＯは、石英
パイプｌ ＩＡ、 ｌ ＩＢの内部に配設された炭化珪
素製の補強棒１３Ａ、１３Ｂに対し化学蒸着によって炭
化珪素の皮膜が付着されているので、半導体ウェーハＭ
の熱処理に際し補強棒１３Ａ、１３Ｂから不純物が飛散
して半導体ウェーハＭを汚染することを抑制でき、ひい
ては石英パイプ１１Ａ、ｌＩＢの両端部の閉鎖処理を回
避して製造容易とできる。
パイプｌ ＩＡ、 ｌ ＩＢの内部に配設された炭化珪
素製の補強棒１３Ａ、１３Ｂに対し化学蒸着によって炭
化珪素の皮膜が付着されているので、半導体ウェーハＭ
の熱処理に際し補強棒１３Ａ、１３Ｂから不純物が飛散
して半導体ウェーハＭを汚染することを抑制でき、ひい
ては石英パイプ１１Ａ、ｌＩＢの両端部の閉鎖処理を回
避して製造容易とできる。
工え肚量上
なお、上述においては、補強棒１３Ａ、１３Ｂが石英パ
イプ１１Ａ、１１Ｂの内部に挿入されている場合につい
てのみ説明したが、本発明は、これに限定されるちので
はなく、補強棒が石英パイプに加え石英支柱の内部にも
挿入される場合を包摂している。
イプ１１Ａ、１１Ｂの内部に挿入されている場合につい
てのみ説明したが、本発明は、これに限定されるちので
はなく、補強棒が石英パイプに加え石英支柱の内部にも
挿入される場合を包摂している。
（３）発明の効果
上述より明らかなように、本発明にがかるスタッキング
ボートは、上述の［問題点の解決手段］で明示したごと
く、半導体ウェーハを載置するための複数の溝部がそれ
ぞれ形成されかつ平行に配置された複数の石英パイプを
複数の石英支柱で互いに連結して形成されており、特に
、石英パイプの両端部が開放されかつ内部にそれぞれ化
学蒸着によって炭化珪素の皮膜が付着された炭化珪素製
の補強棒が配置されてなるので、 （ｉ１石英の軟化点を超える温度まで石英パイプを補強
できる効果 を有し、ひいては ｆｉｉ）半導体ウェーハの熱処理温度が石英の軟化点を
超えてち変形を抑制可能とできる効果 を有し、また （ｉｉｉｌ中間部に挿入される石英支柱を除去可能とで
きる効果 を有し、結果的に ｆｉｖｌ耐用寿命を延長可能とでき、かつ半導体ウェー
への積載数を増加可能とできる効果 を有し、併せて （Ｖ１石英パイプの両端部の閉鎖処理を回避して製造容
易とできる効果 を有する。
ボートは、上述の［問題点の解決手段］で明示したごと
く、半導体ウェーハを載置するための複数の溝部がそれ
ぞれ形成されかつ平行に配置された複数の石英パイプを
複数の石英支柱で互いに連結して形成されており、特に
、石英パイプの両端部が開放されかつ内部にそれぞれ化
学蒸着によって炭化珪素の皮膜が付着された炭化珪素製
の補強棒が配置されてなるので、 （ｉ１石英の軟化点を超える温度まで石英パイプを補強
できる効果 を有し、ひいては ｆｉｉ）半導体ウェーハの熱処理温度が石英の軟化点を
超えてち変形を抑制可能とできる効果 を有し、また （ｉｉｉｌ中間部に挿入される石英支柱を除去可能とで
きる効果 を有し、結果的に ｆｉｖｌ耐用寿命を延長可能とでき、かつ半導体ウェー
への積載数を増加可能とできる効果 を有し、併せて （Ｖ１石英パイプの両端部の閉鎖処理を回避して製造容
易とできる効果 を有する。
第１図は本発明にがかるスクッキングボートの一実施例
を示すための部分断面斜視図、第２図は従来例を示すた
めの斜視図である。 １０・・・ １１Ａ、１１Ｂ １１ａ、 ｌ １ｂ １２Ａ、１２Ｂ １３Ａ、１３Ｂ ・・・スクッキングボート ・石英パイプ ・・・溝部 ・・・石英支柱 ・・・補強棒
を示すための部分断面斜視図、第２図は従来例を示すた
めの斜視図である。 １０・・・ １１Ａ、１１Ｂ １１ａ、 ｌ １ｂ １２Ａ、１２Ｂ １３Ａ、１３Ｂ ・・・スクッキングボート ・石英パイプ ・・・溝部 ・・・石英支柱 ・・・補強棒
Claims (1)
- 半導体ウェーハを載置するための複数の溝部がそれぞれ
形成されかつ平行に配置された複数の石英パイプを複数
の石英支柱で互いに連結して形成してなるスタッキング
ボートにおいて、石英パイプ（１１Ａ、１１Ｂ）の両端
部が開放されかつ内部にそれぞれ化学蒸着によって炭化
珪素の皮膜が付着された炭化珪素製の補強棒（１３Ａ、
１３Ｂ）が配置されてなることを特徴とするスタッキン
グボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1341235A JPH0831427B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | スタッキングボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1341235A JPH0831427B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | スタッキングボート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03201527A true JPH03201527A (ja) | 1991-09-03 |
| JPH0831427B2 JPH0831427B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=18344434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1341235A Expired - Fee Related JPH0831427B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | スタッキングボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831427B2 (ja) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS583224A (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-10 | Seiko Epson Corp | 半導体装置製造用石英治具 |
| JPS5918434U (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-04 | 株式会社東芝 | 半導体基板用加熱支持台 |
| JPS5999851U (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-05 | 株式会社デンソー | 車両用ワイパア−ム保持構造 |
| JPS59189622A (ja) * | 1983-04-13 | 1984-10-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体用拡散炉プロセスチユ−ブ |
| JPS60138914A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-23 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体拡散炉管の製造方法 |
| JPS60189930A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ウエハ−保持装置 |
| JPS61125013A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-12 | ヘレウス・クアルツシユメルツエ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクタ−・ハフツング | 半導体物質熱処理用炉 |
| JPS6221001U (ja) * | 1985-07-22 | 1987-02-07 | ||
| JPS63225591A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-20 | 住友金属工業株式会社 | 炭化珪素被覆黒鉛材料の製造方法 |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP1341235A patent/JPH0831427B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPS63225591A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-20 | 住友金属工業株式会社 | 炭化珪素被覆黒鉛材料の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0831427B2 (ja) | 1996-03-27 |
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