JPH038437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH038437U JPH038437U JP6826889U JP6826889U JPH038437U JP H038437 U JPH038437 U JP H038437U JP 6826889 U JP6826889 U JP 6826889U JP 6826889 U JP6826889 U JP 6826889U JP H038437 U JPH038437 U JP H038437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holding device
- gas
- quartz
- holds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係る試料保持装置の平面図、
第２図は第１図の−線による切欠き縦断面図
、第３図は従来の試料保持装置の縦断面図である
。 １……フード、１２……保持容器、１３……ク
ツシヨン室、Ｗ……ウエハ。
第２図は第１図の−線による切欠き縦断面図
、第３図は従来の試料保持装置の縦断面図である
。 １……フード、１２……保持容器、１３……ク
ツシヨン室、Ｗ……ウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 保持されるべき試料を、これに対向する保持体
との間にガスを通流させるこにより保持する試料
保持装置において、 前記ガスが通流する部分の部材が石英製である
ことを特徴とする試料保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6826889U JPH038437U (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6826889U JPH038437U (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH038437U true JPH038437U (ja) | 1991-01-28 |
Family
ID=31602555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6826889U Pending JPH038437U (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH038437U (ja) |
-
1989
- 1989-06-12 JP JP6826889U patent/JPH038437U/ja active Pending