JPH03204491A - バルブ - Google Patents
バルブInfo
- Publication number
- JPH03204491A JPH03204491A JP34029089A JP34029089A JPH03204491A JP H03204491 A JPH03204491 A JP H03204491A JP 34029089 A JP34029089 A JP 34029089A JP 34029089 A JP34029089 A JP 34029089A JP H03204491 A JPH03204491 A JP H03204491A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- pedestal
- valve
- spring
- tapered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体製造装置等において空間の真空引き
又は真空リーク或いは大気圧から加圧をスローに行う必
要のあるバルブに関する。
又は真空リーク或いは大気圧から加圧をスローに行う必
要のあるバルブに関する。
［従来の技術］
半導体製造装置等の空間を大気圧から低真空状態とした
り、加圧状態とする場合該空間と真空ポンプとをつなぐ
管路には気体の流れをコントロルするためのバルブが設
置される。該バルブではスピードコントローラ等による
オリフィス調整又はマスフローコントローラによる流量
調整を行う。
り、加圧状態とする場合該空間と真空ポンプとをつなぐ
管路には気体の流れをコントロルするためのバルブが設
置される。該バルブではスピードコントローラ等による
オリフィス調整又はマスフローコントローラによる流量
調整を行う。
或いは第５図（ａ）、（ｂ）に示すようなスロースター
トバルブで気体流量を調整する。この図のバルブはＫＦ
フランジタイプのスロースタートバルブであるが、通常
はバネ１１の力で蓋１２が開いて開口部を大きく開いて
いる。例えばＡ側に真空ポンプを設置しＢ側（空間部側
）を真空に引くときは真空で引く力がバネ１１の力を上
回り蓋１２が閉じて開口部が閉じる（第６図）。Ａ側と
Ｂ側の圧力差が小さくなるとまた蓋１２が除々に開く。
トバルブで気体流量を調整する。この図のバルブはＫＦ
フランジタイプのスロースタートバルブであるが、通常
はバネ１１の力で蓋１２が開いて開口部を大きく開いて
いる。例えばＡ側に真空ポンプを設置しＢ側（空間部側
）を真空に引くときは真空で引く力がバネ１１の力を上
回り蓋１２が閉じて開口部が閉じる（第６図）。Ａ側と
Ｂ側の圧力差が小さくなるとまた蓋１２が除々に開く。
半導体製造装置の空間を低真空としたり大気圧とする場
合管路途中に上記するようなスピードコントローラやマ
スフローコントローラ或いはスロスタートバルブを使用
しないと急激な対流が起こり、空間内の塵埃等を舞い上
げてしまう。
合管路途中に上記するようなスピードコントローラやマ
スフローコントローラ或いはスロスタートバルブを使用
しないと急激な対流が起こり、空間内の塵埃等を舞い上
げてしまう。
しかし空間を真空引きする場合、従来のスピードコント
ローラは単にオリフィスを絞るだけであり第７図に示す
ように、最初はスローになるがオリフィスを絞ったまま
であるため真空引き全体に時間がかかってしまう。マス
フローコントローラは流量を一定に保つためのものであ
り真空引きのような用途には適さない。第５図に示した
ような従来のスロースタートバルブは気体の流通が片方
向のみであり、真空引きと真空リークのように圧力バラ
ンスが変わってしまう場合−つのボートでは対応出来な
い。この発明はかかる課題を解決するためになされたも
のである。
ローラは単にオリフィスを絞るだけであり第７図に示す
ように、最初はスローになるがオリフィスを絞ったまま
であるため真空引き全体に時間がかかってしまう。マス
フローコントローラは流量を一定に保つためのものであ
り真空引きのような用途には適さない。第５図に示した
ような従来のスロースタートバルブは気体の流通が片方
向のみであり、真空引きと真空リークのように圧力バラ
ンスが変わってしまう場合−つのボートでは対応出来な
い。この発明はかかる課題を解決するためになされたも
のである。
［課題を解決するための手段］
即ち、この発明にかかるバルブは、内周面両側に雌ネジ
を刻設した管路内に、端部をテーパ状とし外周囲軸方向
に空気流通用の凹部と突起を周設した弁本体と、中空で
且つ内周を前記弁本体のテーパ部に嵌挿接合されるテー
パ部を形成すると共に該テーパ部に溝を設けた台座と、
一方を前記台座端で支持され他端を前記弁本体の突起端
部で付勢力を増減されるよう支持されるバネとを配置す
ると共に、前記バネの一定の付勢力をもって該管路内の
中間部に移動可能に前記弁本体を配置したことを特徴と
している。
を刻設した管路内に、端部をテーパ状とし外周囲軸方向
に空気流通用の凹部と突起を周設した弁本体と、中空で
且つ内周を前記弁本体のテーパ部に嵌挿接合されるテー
パ部を形成すると共に該テーパ部に溝を設けた台座と、
一方を前記台座端で支持され他端を前記弁本体の突起端
部で付勢力を増減されるよう支持されるバネとを配置す
ると共に、前記バネの一定の付勢力をもって該管路内の
中間部に移動可能に前記弁本体を配置したことを特徴と
している。
［作 用］
一方を真空室側、他方を真空ポンプ側とし、該他方より
一方の側を真空に引き始めると圧力差により弁本体は該
他方の側の台座に密着する。この場合、バネの付勢力は
弁本体にかかる力より弱く調整しておく。こうすると台
座と弁本体との密着によりオリフィスが形成されるので
これを使用条件に合うようにしておく。更に、弁本体の
周囲の突起は部分的にバネに接触するが、一方の側の台
座の溝と弁本体の溝と他方の側の台座の溝とで気体の通
路は十分確保される。ここで一方の側の圧力が除々に下
がって行くと弁本体は他方の側のバネの付勢力により除
々に一方の側へ移動し台座と弁本体との間のオリフィス
も除々に拡がって行く。
一方の側を真空に引き始めると圧力差により弁本体は該
他方の側の台座に密着する。この場合、バネの付勢力は
弁本体にかかる力より弱く調整しておく。こうすると台
座と弁本体との密着によりオリフィスが形成されるので
これを使用条件に合うようにしておく。更に、弁本体の
周囲の突起は部分的にバネに接触するが、一方の側の台
座の溝と弁本体の溝と他方の側の台座の溝とで気体の通
路は十分確保される。ここで一方の側の圧力が除々に下
がって行くと弁本体は他方の側のバネの付勢力により除
々に一方の側へ移動し台座と弁本体との間のオリフィス
も除々に拡がって行く。
この動きは一方の側から他方の側を加圧する時にも同様
である。
である。
以下、この発明の具体的実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
第１図はこの発明にかかるバルブの縦断面図である。１
は両側にフランジ１１．１１を設けた管路であり、両側
に雌ネジ１ａ、１ａが刻設しである。２は両側をテーパ
状とした弁本体であるが、回りには第２図に示すように
、後述するバネ５を両側から支えることが出来るよう複
数の突起２ａが周設される。また該突起２ａの間の溝２
ｂは気体（空気）の流通路ともなる。
は両側にフランジ１１．１１を設けた管路であり、両側
に雌ネジ１ａ、１ａが刻設しである。２は両側をテーパ
状とした弁本体であるが、回りには第２図に示すように
、後述するバネ５を両側から支えることが出来るよう複
数の突起２ａが周設される。また該突起２ａの間の溝２
ｂは気体（空気）の流通路ともなる。
前記管路１の両側の雌ネジ部１ａには、内側に中空で且
つ内周をテーパ状とした台座３が螺合され、外側には前
記台座３を一定位置に固定するための中空の固定部材４
が螺合されている。該台座３には、第１図のＸ−Ｘ矢視
断面図である第３図に示すように、テーパ部の内周面に
複数本の溝３ａが設けられている。また前記台座３と前
記弁本体２の突起２ａとの間にはバネ５が配置され一定
の付勢力をもって該弁本体２が管路１内の中間部に位置
するように且つ移動可能なように支持されている。従っ
て弁本体２を移動させる力は前記台座３を内側へねじ込
んだり、外側へ移動させたりすることによって調整する
ことが出来る。
つ内周をテーパ状とした台座３が螺合され、外側には前
記台座３を一定位置に固定するための中空の固定部材４
が螺合されている。該台座３には、第１図のＸ−Ｘ矢視
断面図である第３図に示すように、テーパ部の内周面に
複数本の溝３ａが設けられている。また前記台座３と前
記弁本体２の突起２ａとの間にはバネ５が配置され一定
の付勢力をもって該弁本体２が管路１内の中間部に位置
するように且つ移動可能なように支持されている。従っ
て弁本体２を移動させる力は前記台座３を内側へねじ込
んだり、外側へ移動させたりすることによって調整する
ことが出来る。
この発明にかかるバルブは以上のような構成からなるが
、第１図においてＡ側を真空室側、Ｂ側を真空ポンプ側
とすると、Ｂ側よりＡ側を真空に引き始めると圧力差に
より弁本体２はＢ側の台座３に密着する。この場合、バ
ネ５の付勢力は弁本体２にかかる力より弱く調整してお
く。また台座３のテーパ部には複数本の溝３ａが設けら
れており第１図のＸ−Ｘ矢視断面図である第４図に示す
ように、台座３と弁本体２との密着によりオリフィスが
形成されるのでこれを使用条件に合うようにしておく。
、第１図においてＡ側を真空室側、Ｂ側を真空ポンプ側
とすると、Ｂ側よりＡ側を真空に引き始めると圧力差に
より弁本体２はＢ側の台座３に密着する。この場合、バ
ネ５の付勢力は弁本体２にかかる力より弱く調整してお
く。また台座３のテーパ部には複数本の溝３ａが設けら
れており第１図のＸ−Ｘ矢視断面図である第４図に示す
ように、台座３と弁本体２との密着によりオリフィスが
形成されるのでこれを使用条件に合うようにしておく。
更に、弁本体２の周囲の突起２ａは部分的にバネ５に接
触するが、Ａ側の台座３の溝３ａと弁本体２の溝２ｂと
Ｂ側の台座３の溝３ａとで気体の通路は十分確保されて
いる。ここでＡ側の圧力が除々に下がって行くと弁本体
２はＢ側のバネ５の付勢力により除々にＡ側へ移動し台
座３と弁本体２との間のオリフィスも除々に拡がって行
く。この動きはＡ側からＢ側を加圧する時にも同様であ
る。
触するが、Ａ側の台座３の溝３ａと弁本体２の溝２ｂと
Ｂ側の台座３の溝３ａとで気体の通路は十分確保されて
いる。ここでＡ側の圧力が除々に下がって行くと弁本体
２はＢ側のバネ５の付勢力により除々にＡ側へ移動し台
座３と弁本体２との間のオリフィスも除々に拡がって行
く。この動きはＡ側からＢ側を加圧する時にも同様であ
る。
而して気体の流通速度を変更したい場合には台座３及び
固定部材４を締め込んだり、緩めたりしてバネ５の付勢
力を変えれば良い。或いはまた台座３に設ける溝３ａの
断面積を変更すれば良い。
固定部材４を締め込んだり、緩めたりしてバネ５の付勢
力を変えれば良い。或いはまた台座３に設ける溝３ａの
断面積を変更すれば良い。
この発明にかかるバルブの一実施例は以上のようである
が、更に変形例としては、弁本体２の周囲に設けた突起
２ａを永久磁石とし、管路ｌの外側にコイル６を巻装し
ておけば同様にスピードをコントロールすることが可能
である。即ち、コイル６に流す電流の方向により弁本体
１の移動を、また電流の強さによって流通気体のスピー
ドを調整することが出来る。こうして真空度を電流値に
フィードバックすればより正確なスピードコントロール
が可能となる。
が、更に変形例としては、弁本体２の周囲に設けた突起
２ａを永久磁石とし、管路ｌの外側にコイル６を巻装し
ておけば同様にスピードをコントロールすることが可能
である。即ち、コイル６に流す電流の方向により弁本体
１の移動を、また電流の強さによって流通気体のスピー
ドを調整することが出来る。こうして真空度を電流値に
フィードバックすればより正確なスピードコントロール
が可能となる。
この発明にかかるバルブは以上詳述したような構成とし
たので、従来一方的であった気体の流れをいずれの方向
にもスロースタート可能にコントロールすることが出来
る。また排気口と吸気口を一つのポートで兼用すること
の出来る便利なバルブを提供することが出来る。
たので、従来一方的であった気体の流れをいずれの方向
にもスロースタート可能にコントロールすることが出来
る。また排気口と吸気口を一つのポートで兼用すること
の出来る便利なバルブを提供することが出来る。
第１図はこの発明にかかるバルブの縦断面図、第２図は
弁本体の横断面図、第３図は第１図のＸ−Ｘ矢視断面図
であって台座部分を示す図、第４図は同じく第１図のＸ
−Ｘ矢視断面図であって台座部分と弁本体部分を示す図
、第５図と第６図は従来のスロースタートバルブの構成
概要図、第７図は従来のスピードコントローラとスロー
スタートバルブ及び何も使用しない時の真空度と時間と
の関係を示す図である。 １−・−管路 ２−・弁本体 ３−台座 ４・・−固定
部材５・−・バネ ６−コイル
弁本体の横断面図、第３図は第１図のＸ−Ｘ矢視断面図
であって台座部分を示す図、第４図は同じく第１図のＸ
−Ｘ矢視断面図であって台座部分と弁本体部分を示す図
、第５図と第６図は従来のスロースタートバルブの構成
概要図、第７図は従来のスピードコントローラとスロー
スタートバルブ及び何も使用しない時の真空度と時間と
の関係を示す図である。 １−・−管路 ２−・弁本体 ３−台座 ４・・−固定
部材５・−・バネ ６−コイル
Claims (1)
- （１）内周面両側に雌ネジを刻設した管路内に、端部を
テーパ状とし外周囲軸方向に空気流通用の凹部と突起を
周設した弁本体と、中空で且つ内周を前記弁本体のテー
パ部に嵌挿接合されるテーパ部を形成すると共に該テー
パ部に溝を設けた台座と、一方を前記台座端で支持され
他端を前記弁本体の突起端部で付勢力を増減されるよう
支持されるバネとを配置すると共に、前記バネの一定の
付勢力をもって該管路内の中間部に移動可能に前記弁本
体を配置したバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34029089A JPH03204491A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34029089A JPH03204491A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03204491A true JPH03204491A (ja) | 1991-09-06 |
Family
ID=18335528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34029089A Pending JPH03204491A (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03204491A (ja) |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP34029089A patent/JPH03204491A/ja active Pending
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