JPH0320462A - 蒸着材料供給方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、基板に薄膜を形成する際に蒸着材料を被加熱
位置に供給する蒸着材料供給方法及びその装置に関する
ものである。

従来の技術 例えば長尺フィルム上へ薄膜を形成して、コンデンサや
磁気テープ等の素材となる機能性フィルムなどを真空蒸
着などによって作製するためには、長時間に亘って大量
の蒸気を発生させる必要がある。そのためには蒸発坩堝
などの被加熱位置において蒸着材料を連続的に供給する
ことが必要となってくる。その一つに例えば日本学術振
興会編「薄膜ハンドブック」　（昭和５８年発行、オー
ム社刊、第１０５頁）に示されているように蒸着材料を
線材にして坩堝へ供給する方法がある。

この方法は、蒸着材料がＡＬ　　ＮＬ　　Ｃｕのように
延性材料であれば容易に線材化して適用できるが、Ｃｒ
のような脆性材料では線材化は極めて困難である。また
脆性材料でなくとも例えば磁性膜材料であるＧｏ−Ｃｒ
合金あるいはＣｏ−Ｃｒ−Ｎｉ合金のような硬質の材料
は、線材化できないことはないが加工性がよくないため
加工費が高価になり、実用的ではない。従ってこのよう
な材料は棒材で供給することになる。

棒材で材料供給する場合の問題を第１０図〜第１６図を
用いて説明する。

第１０図において、１は坩堝２に収納された蒸着材料で
、図示しない例えば公知の電子ビーム加熱手段により加
熱されて溶融している。３は棒状供給用蒸着材料（以下
棒材と略す）で、１１、１２、１３はそれぞれ棒材３を
案内する回転ローラ、１４は駆動ローラである。駆動ロ
ーラｌ４は、例えば図示しない公知のモータ等によりＣ
ＣＷ方向に駆動されて、前記回転ローラ１１との間に前
記棒材３を挟込んで前記棒材３を矢印Ａ方向に一定速度
で溶融した蒸着材料ｌの液面４に向かって移送する。１
５、１Ｂは、蒸着材料１の蒸気が前記各ローラＩＬ　　
１２、１３、１４に付着することを防止するカバーであ
る。

以上の構成により、長時間に亘って薄膜を形成するため
に、坩堝２内の蒸着材料１が蒸発によって減少しないよ
うに棒材３が供給される。

棒材３の先端５が液面４に接した後の先端５の挙動を、
第１１図〜第１４図に基づいて説明する。

第１１図は棒材３の先端５が液面４に接した瞬間の図で
、この瞬間を状態ａとする。この状態ａにおいて先端５
は液面４から熱を吸収して溶融を始め、溶液６となって
第１２図に示す状態ｂの矢印Ｒのように蒸着材料１の溶
液に溶込む。この時矢印Ｒと逆方向に熱が先端５に伝わ
り先端５の溶融が進む。溶融が進につれて液面４と棒材
３の先端５の距離ｇが長くなるので液而４からの熱が先
端５に伝わりにくくなり、第１３図の状態Ｃのように先
端５の溶融量が減少して前記溶液６の量が少なくなる。

そうするとますます先端５は溶融しにくくなってついに
は第１４図の状態ｄのように溶融が停止する。

この間棒材３は前記矢印Ａ方向に連続して送られている
がその速さよりも状態ａから状態ｄまでの先端５の溶融
速度の方が速いので状態ｄのようにスキマＤが生じるこ
とになる。そして連続して棒材３が送られてくるので時
間が経過するにつれてスキマＤが小さくなってついには
状ｆ３　ａとなり、順次以上のサイクルが繰返されるこ
とになる。すなわち棒材３の送りは連続であっても液面
４への棒材３の供給は間欠的なものとなる。

先端５が液面に溶込んでいる間は液而４から熱を奪うの
で液面４の温度が低下する。そうすると蒸発速度が低下
することになり、蒸発速度は第１５図に示すように時間
経過と共に周期的に変動することになる。状態ｄの距ｉ
１１１Ｄは棒材３の径が太くなるほど大きくなる。その
理由は前記溶液６を略円筒とした場合、径が太くなるほ
ど（円筒表面積／円筒容積）が小さくなるので液面４か
ら先端５へ溶液６を通って伝わる熱量に対して円筒表面
から輻射で逃げる熱量の割合が少なくなってより長く溶
融するためである。従って棒材の径が太くなると第１５
図の周期ＴＬ及び蒸発速度の変動幅ＨＬ共に大きくなる
。

蒸発速度が変動すると坩堝２の上方を、図示しない基板
やフィルム等を移動させながら蒸着するいわゆる通過製
膜するときに通過方向の膜厚の変動が発生すという大き
な問題があった。

この問題に対応するために従来は棒材を溶融した後坩堝
へ供給するという第１８図に示す方法が用いられること
がある。この方法を第１０図と同一構成要素は同番号に
て説明する。第１６図において棒材３の先端５に公知の
電子ビーム７を照射して溶融し、その溶液６を液面に供
給すると液面４の温度が前例のように低下しないので蒸
発速度が変動することはない。従って坩堝２の上方で基
板８に紙面に垂直方向に通過製膜しても薄膜９の膜厚が
変動することはない。

しかしながら蒸着材料１が、蒸発速度が相異なる成分か
ら成る例えば磁性膜材料であるＣｏ−Ｃｒ合金の場合、
ＣｒはＣｏよりも蒸発速度が高いので目的とする薄膜の
Ｃｒ含有量をＭとし、その含有量Ｍの薄膜が得られる時
の薄膜材料ｌのＣｒ含有量をＹとするとＭＡＹである。

また液面４から発生する蒸気のＣｒ含有量はＭに等しい
。従って蒸発した量だけＣｒ含有量Ｍの材料を供給して
やれば坩堝２内の薄膜材料１の量を一定に保ちっつＣｒ
含有量Ｍの薄膜を連続して蒸着できることになる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら第１６図の構成では電子ビーム７で溶融さ
れた溶液６のＣｒ含有量はＭであるから溶液６から発生
する蒸気のＣｒ含有量はＭよりも大きくなる。

そうすると基板８の向かって右方に形成される薄膜のＣ
ｒ含有量は溶液６に近いので多くなり、左方に形成され
る薄膜のＣｒ含有量はその逆に少なくなるため、基板８
の全幅に亘うて一定組成の薄Ｍ９が形成できないという
大きな問題があった。

そこで本発明は真空蒸着する際に蒸着速度変動が小さく
、また蒸発速度が相異なる複数の成分力）ら成る薄膜を
形成する場合にも基板上にその面方向に成分の含有量の
差の小さい薄膜を形成できる蒸着材料供給方法及びその
装置を提供することを目的とするものである。

課題を解決するための手段 そして上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、
坩堝内で溶融された蒸着材料に向かって移送される供給
用長尺蒸着材料の移゛送速度を、前記蒸着材料に向かう
方向を＋、前記蒸着材料から遠ざかる方向を一としたと
き、交互に十方向と一方向に切替え、平均として十方向
とする蒸着材料供給方法である。

請求項２記載の発明は、坩堝内で溶融された蒸着材料に
向かって移送される供給用長尺蒸着材料の供給方向と前
記液面とのなす角を９０″を除く角度とし、その供給用
長尺蒸着材料の軸を中心とした、あるいは前記軸から所
要距離オフセットした軸を中心とした回転を供給用長尺
蒸着材料に与える蒸着材料供給方法である。

請求項４記載の発明は、坩堝内で溶融された蒸着材料に
向かって移送される供給用長尺蒸着材料の移送速度を、
前記蒸着材料に向かう方向を＋、前記蒸着材料から遠ざ
かる方向を一としたとき、供給用長尺蒸着材料の平均移
送速度（Ｖｏｕ）指令に基づいて Ｖ，ｌｕ＝　　（Ｆ−Ｂ）　　／　　（Ｔｐｏ＋Ｔｓｎ
＋ＴＦＳ＋Ｔａｓ） 但し、Ｆ：十方向移送量 Ｂ：一方向移送量　（一定） ＴＦＤ：　　十方向移送正味時間 Ｔ　Ｆｓ　：　　十方向移送休止時間、ＴＦＳａＯＴＩ
ＩＤ：　　一方向移送正味時間　（一定）Ｔｅａ：　　
一方向移送休止時間　（一定）、Ｔ　ｓ　ｓ≧Ｏ なる演算を行い、算出されたそれぞれの値にて供給用長
尺蒸着材料の移送速度を交互に十方向と一方向に切替え
て坩堝に供給する蒸着材料供給装置である。

作　　　用 請求項１記載の発明は上記構成により、供給材料が十方
向に移送されて供給材料の先端が蒸着材料の液面に接す
る去溶融が始まるが、溶融が長く続かないうちに一方向
に移送され、供給材料の先端が液面から離間するので一
時に大量に供給材料が溶液に溶込むことがない。従って
液面の温度低下が小さくなるので蒸発速度の低下も小さ
くなる。

その結果通過製膜における膜厚の減少が小さくなるので
膜厚の均一性を向上させることができる。

また供給材料が相異なる蒸発速度の稙数の成分から構成
されている場合においても従来のよつに供給材料の先端
部から蒸発速度の高い成分が蒸着材料の液面からよりも
高濃度で蒸発することがなくなり、液面に接してから溶
融して蒸着材料の溶液に拡散した後に蒸発するので基板
に形成された薄膜の面方向の均一性を向上させることが
できる。

請求項２記載の発明は上記構成により、その供給用長尺
蒸着材料の軸を中心とした回転を与える場合は、供給用
長尺蒸着材料の先端が溶液との接触により円錐形となり
溶液との接触面積が小さくなるので一時に大量に供給材
料が溶液に溶け込みにくくなる。従って上記と同様に通
過製膜における膜厚の減少が小さくなるので膜厚の均一
性を向上させることができる。また供給材料が相異なる
蒸発速度の複数の成分から構成されている場合において
も上記と同様に薄膜の面方向の均一性を向上させること
ができる。

また前記軸から所要距離オフセットした軸を中心とした
回転を与える場合は請求項１記載の発明と同様に坩堝内
で溶融された蒸着材料に向かって移送される供給用長尺
蒸着材料の移送速度が、前記蒸着材料に向かう方向を＋
、前記蒸着材料から遠ざかる方向を一としたとき、実質
的に交互に＋方向と一方向に切り替わり、平均として十
方向に移送されることになる。従って請求項１と同等の
効果を得ることができる。

請求項４記載の発明は上記構成により、上記優れた特長
を有する材料供給を実現することができる蒸着材料供給
装置である。

実施例 以下、本発明の実施例を添え付け図面に基づいて説明す
る。尚、従来と同一構成要素は従来例と同一番号で示す
ものである。

第１図〜第４図は、本発明の第１実施例における蒸着材
料供給方法及びその装置を示す図である。

第１図において、２０はモータで、駆動回路２１により
駆動されて前記駆動ローラ１４を回転させる。モータ２
０は図示しない真空チャンバ内に設置しても、あるいは
外部に設置し、公知の回転導入器を介して駆動ローラ１
４を回転させてもよい。２２は演算回路で、棒材３の平
均移送速度指？（Ｖｏｕ）２４とメモリ２３のデータに
基づいて前記モータ２０の速度パターンを演算し、それ
を速度指令２５として前記駆動回路２１に送出する。

次に速度パターン演算の一例を第２図に示す。

第２図において、移送速度Ｖは前記棒材３の移送速度を
示し、＋は矢印Ａ方向、一は矢印Ａと逆方向の速度をそ
れぞれ示すものとする。速度パターンは十方向、一方向
共に台形波状である。演算を簡単にするため十方向、一
方向共に最高速度（ＶＰｌ＾×）は同一であり、速度Ｏ
から速度ＶＭ■×までの加減速、すなわち角度αｈ　α
２、α３、α４も共に同一とする。また移送速度が十方
向から一方向に転じる時及びその逆の時、第１図に示す
各ローラやモータ等からなる棒材供給機構に過大な力が
かからないように、あるいは前記演算に必要な時間とし
て休止時間ＴＦＳ，Ｔｅａをそれぞれ設けてあるが必ず
しも必要ではない。

速度が十方向の台形波の面積が矢印Ａ方向への移送量Ｆ
を、一方向の台形波の面積が矢印Ａと逆方向への移送ｆ
ｌｔＢをそれぞれ表わすことになる。

ＴＦ１１１　ＴＩはそれぞれ十万向移送正味時間、一方
向移送正味時間である。

以上において平均移送速度（Ｖ，ｌｕ）は式（１）で表
わされる。

Ｖｌ１ｕ＝　（Ｆ　　Ｂ）　／　（ＴＦｎ＋Ｔｅｎ＋Ｔ
ＦＳ＋　ＴＢＳ）　．．．．．　（　１　）またＴ　Ｆ
　ｎは（２）式より算出することができる。

ＴＦＤｌ＝　ＴＱＩ１＋　　［．（Ｆ　−　Ｂ　）／　
Ｖｌｌｌｌｌｌコ　．．．．．（２）尚、ｖＡｕは従来
と同様に坩堝２内の蒸着材料１が蒸発によって減少しな
いように、すなわち蒸発した量を補えるよう設定される
。

距離Ｂを第１４図の距１！ｉＫ＋　（＝Ｄ／ｓ　ｉ　ｎ
θ，）と同一あるいはＫ＋よりも大きくしておいて、す
なわち棒材の先端５と液面４が分離するまで一方向に送
るようにして第２図の速度パターンで欅材３を駆動する
と、第２図の時間Ｏで棒材３が第１４図状態ｄにあった
とすると時間Ｔ，で第１１図状態ａとなり、時間がＴＩ
からＴ２まで経過するにつれて第１２図状態ｂ１　第１
３図状態ｃ１　第１４図状態ｄの順に棒材３は前記蒸着
材料１の溶液に溶込む。前記速度パターンの１周期Ｔ，
が従来の第ｌ５図の１周期Ｔ，の例えば１／１０となる
ようにその速度パターンが設定されているとする。そう
すると１周期に前記蒸着材料１の溶液に溶込む棒材３の
量を、従来の１７１０とすることができる。溶込む量が
少なくなると液而４から奪う熱量も少なくなるので液而
４の温度低下も少なくなる。そうすると蒸発速度の低下
も少なくなり、蒸発速度は第３図に示すように時間経過
と共に周期Ｔｓで変動するがその変動幅Ｈｓは従来のそ
れＨ，の約１／１０にすることができる。従って通過製
膜における模厚の均一性を向上させることができる。

また第４図に示すように先端５が液而４に接すると先端
５は融けて溶液６となる。棒材３が前記した蒸発速度の
相異なる成分から成る例えばＣｏとＣｒの合金である場
合、前記したように溶液６中のＣｒの含有量は蒸着材料
１の溶液のそれよりも多いが溶液６は蒸着材料ｌ中に矢
印Ｅに示すように拡散して薄められる。従って溶液６か
ら直接蒸発するＣｒ含有量の多い蒸気の発生は少なくな
るので、第１図において基板８に形成される薄膜９の向
かって右側の部分のＣｒ含有量の増加を抑制することが
でき、薄膜の幅方向の成分の含有量の均一性を向上させ
ることができる。

以上の例では、速度パターンは台形波状で説明したがそ
れに限るものではなく、制御が簡単になる矩形波状、あ
るいは加減速が滑らかな正弦波状、またはその他であっ
てもよい。周期Ｔｓは、膜厚変動許容幅から決まる蒸発
速度変動幅Ｈｓが所要の値となるよう決定すればよい。

棒材の径が太くなると前記した理由で蒸発速度変動幅は
大きくなる傾向にあるので周期Ｔｓは小さくすればよい
。

また以上の例では、距離Ｂを第１４図の距離Ｋ＋＝（Ｄ
／ｓｉｎθ，）と同一あるいはＫ＋よりも大きくしてお
いて、すなわち棒材３の先端５と液面４が分離するまで
一方向に送るようにして説明したが、棒材３の先端５が
第１３図状態Ｃまで、すなわち先端５と液而４か細い溶
液６でつながった状態まで一方向に送るにとどめておい
てもよい。

この場合は距１ｍｉＢ＝距離Ｋ２となる。そのようにし
ても第１１図状態ａから第１２図状態ｂを経て第１３図
状態Ｃとなるまでの時間は従来に比べ十分短いので１周
期に融込む棒材３の量は従来よりも十分少ない。このよ
うにすると棒材３の先端５と液而４は細い溶液６で常時
つながった状態となる。

そうすると捧材３の先端５と液而４が分離するまで一方
向に送った場合に分離するるときに発生する液面４の揺
れがなくなり、より安定した状態で蒸着することができ
る。

また棒材３を移送する装置は以上のような駆動ローラに
限るものではなく、チェーン、ベルトあるいはロープ等
を駆動し、それらに捧材を係合せしめるものであっても
また、送りネジを用いるものであってもよい。

次に本発明の第２実施例における蒸着材料供給方法及び
その装置について、第５図及び第６図を参照しながら説
明する。

第５図、第６図において、３０１　３１、３２、３３、
３４はそれぞれ棒材３を案内する回転ローラ、３５は駆
動ローラであり、各ローラはそれぞれ交差角βで捧材３
に接している。駆動ローラ３５は、例えば図示しない公
知のモータ等により矢印Ｇ方向に駆動されて、前記回転
ローラ３０１３１との間に前記棒材３を挟込んでその棒
材３の軸を中心として回転させつつ矢印Ａ方向に一定速
度で溶融した蒸着材料１の液面４に向かって移送する。

この時棒材３の１回転当り送り量はｔａｎβとなる。

棒材３の先端５は液面４に接すると棒材３は回転してい
るので第５図に示すように円錐面３６になるように融け
る。円錐面３６と液面４との接触は線接触となる。第１
０図に示す従来の方法は棒材３を回転させていないので
その先端５は平面であり、液面４との接触は面接触であ
る。線接触の方が液而４から棒材３の先端５に熱が伝わ
りにくいので欅材３の先端が蒸着材料１の溶液に溶込む
量も少なくなる。そうすると前記と同様に液面４の温度
低下が少なくなり、蒸発速度の低下も少なくなって膜厚
の均一性を向上させることができる。

さらに本発明の蒸着材料供給方法及びその装置を第３実
施例として第７図に示す。

第７図において、４０は回転ガイドで、棒材３をその棒
材３の長子方向に滑り案内する孔４１を有し軸受４２と
軸受ハウジング４３に支持され、前記と同様に図示しな
いモータ等により回転中心軸４４を中心に回転駆動され
る。４５は蒸着材料１の蒸気がカバー１５、１６の内部
に入込まないようにするための鍔である。４６は矢印Ａ
方向に図示しない手段により一定速度で駆動される移送
ロッドである。この移送ロンドを駆動する機構は前記の
ような駆動ローラであっても、チェーン、ベルトあるい
はロープ等を駆動し、それらに棒材を係合せしめるもの
であってもまた、送りネジを用いるものであってもよい
。４７は回転子で、前記ロッド４６の先端にラジアル、
スラスト両方の負荷を受けられる軸受４８で回転自在に
支持されている。棒材３の後端４９はボル｝５０にて前
記回転子４７に固定されている。

次に本構成の動作を説明する。

棒材３が前記回転ガイド４０に回転させられながら前記
ロッド４６に矢印Ａ方向に一定速度で押されて駆動され
ると、棒材３の先端５は螺旋運動することになる。棒材
３の前記回転中心軸４４からの偏心ｆｆｉｅを棒材３の
半径あるいはそれ以上としておけば、棒材３が第７図の
実線位置から半回転して破線位置になると棒材３の先端
は液面４から離間することになる。また前記偏心量ｅを
棒材３の半径あるいはそれ以下としておけば、第８図に
示すように捧材３の先端５と液面４は細い溶液５１で常
時つながった状態とすることもできる。

従って前記第２図の速度パターンを正弦波状とし、ＴＦ
Ｓ＝Ｔｌｌｓ＝Ｏとし、周期Ｔｓを回転ガイド４０の回
転周期とし、　（Ｆ−Ｂ）を回転ガイド１回転当りの前
記ロッド４６の送り量とする第１実施例に相当する材料
供給を行うことができる。従って第１実施例と同様の効
果を得ることができる。

回転中心軸４４と棒材３は必ずしも平行である必要はな
く、本発明の第４実施例における蒸着材料供給方法及び
その装置として第９図に示す構成でもよい。第７図と同
一構成要素は同一番号にて示す。

６０は例えば自動調心転がり軸受で、外周は回転ガイド
７０の孔６２に固定され、内周孔６１で棒材３をその棒
材３の長手方向に滑り案内する。

従って回転ガイド７０の回転軸と棒材３は平行でなくて
も支障はない。６２は前記４６と同様な移送ロッドであ
る。６３は棒材３の後端４９をボルト６４で固定した取
付部材である。６５は公知の自在継ぎ手で、十字型のピ
ン６６で前記ロッド６２の二またアーム６７と前記取付
部材６３の二またアーム６８を連結している。この十字
型のビン６６の中心Ｘ点も回転ガイド７０の回転軸の延
長線上にある必要はない。

以上の構成で第７図と同様に回転ガイド７０を回転させ
、ロッド６２を矢印Ａ方向に一定速度で駆動すると、棒
材３は前記自在継ぎ手６５の十字型のピン６６の中心Ｘ
点を揺動支点とし、そのＸ点と前記自動調心転がり紬受
６０の矢印八方向位置での回転ガイド７０の回転中心Ｚ
点を結ぶ線を回転中心軸７１として先端５が螺旋運動す
ることになる。すなわち回転中心軸７ｌの方向が材料供
給方向となる。従って回転ガイド７０が第９図の実線位
置から半回転すると捧材３は破線位置となり、第７図の
構成と同様に第１実施例に相当するの材料供給を行うこ
とができ、また同様の効果を得ることができる。

第２実施例と第３実施例と第４実施例の差異は、捧材３
が順に自転のみ、自公転、公転のみすることにあるとい
える。但し第５図、第７図、第９図の構成共にθ２、θ
３、θ１は９０’　以外とする必要がある。

以上の実施例Ｃとおいて棒材の形状は円柱状、数量は１
木を１例としてとして説明したが形状は長尺材であれば
角柱状、板状他であっても、また数量は複数であっても
よい。

また棒材供給機構部の冷却は省略したが必要に応じて水
冷等を実施してもよい。

発明の効果 本発明の蒸着材料供給方法は゜上記構成により、蒸着材
料供給時の液面の温度低下が小さく、蒸発速度の低下も
小さい。その結果、通過製膜における膜厚の均一性を向
上させることができる。

また棒材が相異なる蒸発速度の複数の成分から構成され
ている場合においても、従来のように棒材の先端部から
蒸発速度の高い成分が蒸着材料の液面からよりも高濃度
で蒸発することがなくなり、液面に接してから溶融して
蒸着材料の溶液に拡散した後に蒸発するので基板に形成
された薄膜の面方向の均一性を向上させることができる
。

本発明の蒸着材料供給装置は上記構成により、上記優れ
た特徴を有する材料供給を実現することができ

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例における蒸着材料供給方法
及びその装置を一部断面で示す概略構成図、第２図は同
実施例における棒材の移送速度パターン図、第３図は同
実施例と従来の蒸発速度変動を比較して示すグラフ、第
４図は第１図の要部を拡大して示す説明図、第６図は本
発明の第２実施例における蒸着材料供給方法及びその装
置を一部断面で示す概略構成図、第６図は第５図のＵ矢
視拡大図、第７図は本発明の第３実施例における蒸着材
料供給方法及びその装置を一部断面で示す概略構成図、
第８図は第７図の要部を拡大して示す説明図、第９図は
本発明の第４実施例における蒸着材料供給方法及びその
装置を一部断面で示す概略構成図、第１０図は従来の蒸
着材料供給方法及びその装置を一部断面で示す概略構成
図、第１１図、第１２図、第ｌ３図、第１４図は第１０
図の要部を拡大して示す説明図、第１５図は従来の蒸着
材料供給方法及びその装置における蒸発速度変動を示す
グラフ、第１６図は従来の蒸着材料供給方法及びその装
置のその他の例を一部断面で示す概略構成図である。 １・・・蒸着材料、２・・・坩堝、３・・・棒材、４・
・・液面、８・・・基板、９・・・薄膜、１２、１３、
１４・・・回転ローラ、　１４・・・駆動ローラ、２０
・・・モータ、２１・・・駆動回路、２３・・・メモリ
、２４・・・演算回路、２４・・・平均移送速度指令、
４４、７１・・・回転中心軸。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）　坩堝に収納された蒸着材料を加熱して溶融し、
   その蒸着材料から発生する蒸気を基板に付着せしめて薄
   膜を形成する際に、坩堝内で溶融された蒸着材料に向か
   って移送される供給用長尺蒸着材料の移送速度を、前記
   蒸着材料に向かう方向を＋、前記蒸着材料から遠ざかる
   方向を−としたとき、交互に＋方向と−方向に切替え、
   平均として＋方向として成る蒸着材料供給方法。
2. （２）　坩堝に収納された蒸着材料を加熱して溶融し、
   その蒸着材料から発生する蒸気を基板に付着せしめて薄
   膜を形成する際に、坩堝内で溶融された蒸着材料の液面
   に向かって移送される供給用長尺蒸着材料の供給方向と
   前記液面とのなす角を９０°を除く角度とし、その供給
   用長尺蒸着材料の軸を中心とした、あるいは前記軸から
   所要距離オフセットした軸を中心とした回転を前記供給
   用長尺蒸着材料に与えて成る蒸着材料供給方法。
3. （３）　坩堝内で溶融された蒸着材料に向かって移送さ
   れる供給用長尺蒸着材料の単位時間当りの移送量を、前
   記坩堝中の蒸着材料の単位時間当りの蒸発量と略等しく
   して成る請求項１あるいは２記載の蒸着材料供給方法。
4. （４）　坩堝内で溶融された蒸着材料に向かって移送さ
   れる供給用長尺蒸着材料の移送速度を、前記蒸着材料に
   向かう方向を＋、前記蒸着材料から遠ざかる方向を−と
   したとき、交互に＋方向と−方向に切替えて蒸着材料を
   坩堝に供給する蒸着材料供給装置であって、供給用長尺
   蒸着材料の平均移送速度（Ｖ＿Ａ＿Ｕ）指令に基づいて Ｖ＿Ａ＿Ｕ＝（Ｆ−Ｂ）／（Ｔ＿Ｆ＿Ｄ＋Ｔ＿Ｂ＿Ｄ＋
   Ｔ＿Ｆ＿Ｓ＋Ｔ＿Ｂ＿Ｓ）（但し、Ｆ：＋方向移送量、
   Ｂ：−方向移送量（一定）、Ｔ＿Ｆ＿Ｄ：＋方向移送正
   味時間、Ｔ＿Ｆ＿Ｓ：＋方向移送休止時間、Ｔ＿Ｆ＿Ｓ
   ≧０、Ｔ＿Ｂ＿Ｄ：−方向移送正味時間（一定）、Ｔ＿
   Ｂ＿Ｓ：−方向移送休止時間（一定）、Ｔ＿Ｂ＿Ｓ≧０
   ） なる演算を行い、算出されたそれぞれの値にて供給用長
   尺蒸着材料を駆動するように構成して成る蒸着材料供給
   装置。
5. （５）　＋方向、−方向共に移送速度変化を最高速度（
   Ｖ＿Ｍ＿Ａ＿Ｘ）なる台形波状もしくは矩形波状とし、
   供給用長尺蒸着材料の平均供給速度（Ｖ＿Ａ＿Ｕ）指令
   に基づいて式中のＴ＿Ｆ＿Ｄを Ｔ＿Ｆ＿Ｄ＝Ｔ＿８＿Ｄ＋［（Ｆ−Ｂ）／Ｖ＿Ｍ＿Ａ＿
   Ｘ］（但し台形波状の場合、＋−方向共に加減速は同一
   とする） とする演算を行い、算出されたそれぞれの値にて供給用
   長尺蒸着材料を駆動するように構成して成る請求項４記
   載の蒸着材料供給装置。