JPH03207586A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
- Publication number
- JPH03207586A JPH03207586A JP2002489A JP248990A JPH03207586A JP H03207586 A JPH03207586 A JP H03207586A JP 2002489 A JP2002489 A JP 2002489A JP 248990 A JP248990 A JP 248990A JP H03207586 A JPH03207586 A JP H03207586A
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- Japan
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- laser beam
- discharge current
- laser
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、レーザ加工装置に関する。
(従来の技術)
従来のレーザ加工装置の一例を示す第3図において、レ
ーザ発振器3から出射されたレーザ光2は、図示しない
伝送路端に設けられた反射ミラ3で下方に反射され、図
示しない集光ヘッドに収納された集光レンズ4で集光さ
れて下方のワク5に照射される。
ーザ発振器3から出射されたレーザ光2は、図示しない
伝送路端に設けられた反射ミラ3で下方に反射され、図
示しない集光ヘッドに収納された集光レンズ4で集光さ
れて下方のワク5に照射される。
一方、従来のレーザ発振器の制御ブロック図を示す第2
図において,レーザ光2を出射する共振器6の入力側に
は、電流検出器10を介してレーザ電源8が接続され、
このレーザ電源8の制御入力部には電流制御回路9の出
力側が接続され、この電流制御回路9の一側には電流検
出器10の出力が入力され、他側には放電電流を設定す
る設定器7が接続されている。
図において,レーザ光2を出射する共振器6の入力側に
は、電流検出器10を介してレーザ電源8が接続され、
このレーザ電源8の制御入力部には電流制御回路9の出
力側が接続され、この電流制御回路9の一側には電流検
出器10の出力が入力され、他側には放電電流を設定す
る設定器7が接続されている。
このように構或されたレーザ発振器では、ワーク5に照
射されるレーザ光のパワーを所定の値に制御して所定の
加工品質を得るために、設定部7の設定値と電流検出器
8からの検出値を電流制限回路9で突き合せて比較して
、レーザ電源8から共振器6に供給される電力が制御さ
れることで、共振器6から出射されるレーザ光2が制御
される。
射されるレーザ光のパワーを所定の値に制御して所定の
加工品質を得るために、設定部7の設定値と電流検出器
8からの検出値を電流制限回路9で突き合せて比較して
、レーザ電源8から共振器6に供給される電力が制御さ
れることで、共振器6から出射されるレーザ光2が制御
される。
(発明が解決しようとする課題)
ところが、このように構或されたレーザ加工装置におい
ては、たとい、共振器6から出射されるレーザ光2の出
力は所定の範囲に制御されても、長期の稼動で反射ミラ
ー3の表面に付着した微細なほこりや酸化膜の生成で、
反射率が徐々に低下してワーク5の加工品質を落とすお
それがある。
ては、たとい、共振器6から出射されるレーザ光2の出
力は所定の範囲に制御されても、長期の稼動で反射ミラ
ー3の表面に付着した微細なほこりや酸化膜の生成で、
反射率が徐々に低下してワーク5の加工品質を落とすお
それがある。
とくに、軸数が多いレーザ加工機では、各反射ミラーの
反射率が累乗されて集光レンズ4に伝送されるレーザ光
の低減率か増えるので、もし、長年に亘って同じワーク
を同一設定値で溶接するときには、徐々に溶け込み量が
減ってきても外見上は判別できないので、そのまま組立
てられると事故になるおそれもある。
反射率が累乗されて集光レンズ4に伝送されるレーザ光
の低減率か増えるので、もし、長年に亘って同じワーク
を同一設定値で溶接するときには、徐々に溶け込み量が
減ってきても外見上は判別できないので、そのまま組立
てられると事故になるおそれもある。
そのため、従来は、定期的にサンプルを加工してワーク
に照射されるレーザパワーの低下による欠陥の有無を調
べていたが、ワークが溶接品のときには、X線検査や強
度試験が必要となるのでめんどうなだけでなく、後者の
強度試験はサンプル数が要る割にはデータの精度は悪い
。
に照射されるレーザパワーの低下による欠陥の有無を調
べていたが、ワークが溶接品のときには、X線検査や強
度試験が必要となるのでめんどうなだけでなく、後者の
強度試験はサンプル数が要る割にはデータの精度は悪い
。
そこで本発明の目的は、長年月の稼動で反射ミラーの反
射率が低下しても、ワークに照射されるレーザバワーが
一定で加工品質の低下を防ぐことのできるレーザ加工装
置を得ることである。
射率が低下しても、ワークに照射されるレーザバワーが
一定で加工品質の低下を防ぐことのできるレーザ加工装
置を得ることである。
(課題を解決するための手段および作用)本発明は、出
力設定器の設定値と放電電流の検出値を比較して放電電
流が所定の値に制御されたレーザ発振器から出射された
レーザ光を反射ミラーを経て集光レンズに導いてワーク
に照射し加工するレーザ加工装置において、反射ミラー
の反射率の低下を検出する光検出器と、この光検出器か
ら入力された反射ミラーの反射率とあらかしめ入力され
た放電電流と初期のレーザ出力との特性から求めた放電
電流の補正値を電流制御回路を介してレーザ電源に入力
する演算補正回路を設けることで、反射ミラーの反射率
の低下に対応して放電電流を増やして、ワークに照射さ
れるレーザ光の強度と加工品質の低下を防いだレーザ加
工装置−3= である。
力設定器の設定値と放電電流の検出値を比較して放電電
流が所定の値に制御されたレーザ発振器から出射された
レーザ光を反射ミラーを経て集光レンズに導いてワーク
に照射し加工するレーザ加工装置において、反射ミラー
の反射率の低下を検出する光検出器と、この光検出器か
ら入力された反射ミラーの反射率とあらかしめ入力され
た放電電流と初期のレーザ出力との特性から求めた放電
電流の補正値を電流制御回路を介してレーザ電源に入力
する演算補正回路を設けることで、反射ミラーの反射率
の低下に対応して放電電流を増やして、ワークに照射さ
れるレーザ光の強度と加工品質の低下を防いだレーザ加
工装置−3= である。
(実施例)
以下、本発明のレーザ加工装置の一実施例を図面を参照
して説明する。但し、第3〜4図と重複する部分は省く
。
して説明する。但し、第3〜4図と重複する部分は省く
。
第1図は、本発明のレーザ加工装置を示す図である。
同図において、共振器6から出射されたレーザ光2を伝
送する図示しない伝送路端には、受光したレーザ光の9
9%を下方に反射して集光レンズ4に転送する反射ミラ
ーとしてビームスプリッタ13が図示しないミラー箱に
収納され、このビームスプリツタl3の右端には、共振
器6とビームスプリッタ13を結ぶ光軸の延長上に、ビ
ームスプリッタ■3を透過したレーザ光の強度を検出す
る光検出J1が設けられている。
送する図示しない伝送路端には、受光したレーザ光の9
9%を下方に反射して集光レンズ4に転送する反射ミラ
ーとしてビームスプリッタ13が図示しないミラー箱に
収納され、このビームスプリツタl3の右端には、共振
器6とビームスプリッタ13を結ぶ光軸の延長上に、ビ
ームスプリッタ■3を透過したレーザ光の強度を検出す
る光検出J1が設けられている。
一方、図示しないレーザ発振器には、同図で示すように
、設定部7で設定された設定値とレーザ電源10の出力
を検出する検出器10の検出値と光検出器11の検出値
がそれぞれ入力される演算補正回4ー 路12が設けられ、この演算補正回路■2の出力側には
、レーザ電源8から共振器6の放電部に供給される放電
電流を制御する電流制御回路9が接続されている。
、設定部7で設定された設定値とレーザ電源10の出力
を検出する検出器10の検出値と光検出器11の検出値
がそれぞれ入力される演算補正回4ー 路12が設けられ、この演算補正回路■2の出力側には
、レーザ電源8から共振器6の放電部に供給される放電
電流を制御する電流制御回路9が接続されている。
次に、このように構成されたレーザ加工装置の作用を説
明する。
明する。
まず、演算補正回路l2には、ビームスプリッタ13の
初期の反射率のときのレーザ電源8の出力電流と共振器
6から出射されるレーザ光2との関係が第2図の基準特
性14としてあらかじめ入力されいる。
初期の反射率のときのレーザ電源8の出力電流と共振器
6から出射されるレーザ光2との関係が第2図の基準特
性14としてあらかじめ入力されいる。
次に、レーザ加工機が稼動中にビームスプリッタ13の
反射率が下がると、その低下率が光検出器11から演算
補正回路12に入力されて、同図に示すように基準特性
14に対する反射率低下時の特性15で得られる出力電
流の差16が演算されて、補正値として電流制御回路9
に出力されてレーザ電源8の放電電流は上述の出力電流
の差16だけ加算される。
反射率が下がると、その低下率が光検出器11から演算
補正回路12に入力されて、同図に示すように基準特性
14に対する反射率低下時の特性15で得られる出力電
流の差16が演算されて、補正値として電流制御回路9
に出力されてレーザ電源8の放電電流は上述の出力電流
の差16だけ加算される。
この結果、本発明のレーザ加工装置では、ビ−ムスプリ
ンタ13の反射率が低下しても、その低下率に見合った
分だけ放電電流が増やされるので、常に初期と同一条件
でワークを加工することのできるレーザ加工装置となる
。
ンタ13の反射率が低下しても、その低下率に見合った
分だけ放電電流が増やされるので、常に初期と同一条件
でワークを加工することのできるレーザ加工装置となる
。
なお、上記実施例において、出力電流の差16に上限値
を設けることで、もし、この上限値を超えたときには警
報を出すようにして、反射率が低下した反射ミラーの清
掃や交換などの時期を予告することもできる。
を設けることで、もし、この上限値を超えたときには警
報を出すようにして、反射率が低下した反射ミラーの清
掃や交換などの時期を予告することもできる。
以上、本発明によれば、出力設定器の設定値と放電電流
の検出値を比較して放電電流が所定の値に制御されたレ
ーザ発振器から出射されたレザ光を反射ミラーを経て集
光レンズに導いてワークに照躬し加工するレーザ加工装
置において、反射ミラーの反射率の低下を検出する光検
出器と、この光検出器から入力された反射ミラーの反射
率とあらかじめ入力された放電電流と初期のレーサ出力
との特性から求めた放電電流の補正値を電流制御回路を
介してレーザ電源に入力する演算補正7− 回路を設けたので、反射ミラーの反射率が低下してもそ
れに応じて放電電流を増やしてワークに照射されるレー
ザ光の強度と加工品質の低下を防ぐことのできるレーザ
加工装置を得ることができる。
の検出値を比較して放電電流が所定の値に制御されたレ
ーザ発振器から出射されたレザ光を反射ミラーを経て集
光レンズに導いてワークに照躬し加工するレーザ加工装
置において、反射ミラーの反射率の低下を検出する光検
出器と、この光検出器から入力された反射ミラーの反射
率とあらかじめ入力された放電電流と初期のレーサ出力
との特性から求めた放電電流の補正値を電流制御回路を
介してレーザ電源に入力する演算補正7− 回路を設けたので、反射ミラーの反射率が低下してもそ
れに応じて放電電流を増やしてワークに照射されるレー
ザ光の強度と加工品質の低下を防ぐことのできるレーザ
加工装置を得ることができる。
第工図は本発明のレーザ加工装置の一実旅例を示す図、
第2図は本発明のレーザ加工装置の作用を示す図、第3
図は従来のレーザ加工装置の一例を示す図、第4図は従
来のレーザ加工装置の要部を示す図である。 4・・・集光レンズ 6・・・共振器7・・・
出力設定器 8・・・レーザ電源9・・・電流
制御回路 12・・・演算補正回路(8733)
代理人 弁理士 猪 股 祥 晃(ほかl名)8 配羽E
第2図は本発明のレーザ加工装置の作用を示す図、第3
図は従来のレーザ加工装置の一例を示す図、第4図は従
来のレーザ加工装置の要部を示す図である。 4・・・集光レンズ 6・・・共振器7・・・
出力設定器 8・・・レーザ電源9・・・電流
制御回路 12・・・演算補正回路(8733)
代理人 弁理士 猪 股 祥 晃(ほかl名)8 配羽E
Claims (1)
- 出力設定器の設定値と放電電流の検出値を比較して放電
電流が所定の値に制御されたレーザ発振器から出射され
たレーザ光を反射ミラーを経て集光レンズに導いてワー
クに照射し加工するレーザ加工装置において、前記反射
ミラーの反射率の低下を検出する光検出器と、この光検
出器から入力された前記反射ミラーの反射率とあらかじ
め入力された前記放電電流と初期のレーザ出力との特性
から求めた前記放電電流の補正値を電流制御回路を介し
て前記レーザ電源に入力する演算補正回路を設けたこと
を特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002489A JPH03207586A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002489A JPH03207586A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03207586A true JPH03207586A (ja) | 1991-09-10 |
Family
ID=11530777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002489A Pending JPH03207586A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03207586A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05206554A (ja) * | 1992-01-24 | 1993-08-13 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ出力制御装置 |
| US6509543B1 (en) | 1998-03-10 | 2003-01-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor laser heating apparatus |
| KR20030084408A (ko) * | 2002-04-26 | 2003-11-01 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 마킹시스템의 파워보상방법 및 레이저 마킹시스템 |
| JP2016174057A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | 日本電気株式会社 | 出力制御装置、出力制御システム、出力制御方法、及び出力制御プログラム |
-
1990
- 1990-01-11 JP JP2002489A patent/JPH03207586A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05206554A (ja) * | 1992-01-24 | 1993-08-13 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ出力制御装置 |
| US6509543B1 (en) | 1998-03-10 | 2003-01-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor laser heating apparatus |
| KR20030084408A (ko) * | 2002-04-26 | 2003-11-01 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 마킹시스템의 파워보상방법 및 레이저 마킹시스템 |
| JP2016174057A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | 日本電気株式会社 | 出力制御装置、出力制御システム、出力制御方法、及び出力制御プログラム |
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