JPH03210446A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、液体が充填されている容積を閉鎖している２
つの弾性的なセンサ振動板を含んでおり、かつ該２つの
センサ振動板に作用する圧力の間にあるセンサ差圧に依
存して容量が反対方向に変化する２つの測定コンデンサ
が形成されている一室形差圧センサと、前記測定コンデ
ンサの容量からセンサ差圧を計算しかっセンサ温度およ
びセンサパラメータの、前記計算されたセンサ差圧に対
する影響を補償する第１の補償装置を含んでいる評価回
路とを備えている差圧測定装置に関する。

従来の技術 この形式の差圧測定装置は西独国特許第３５０９３２９
号明細書から公知である。この公知の差圧測定装置では
、センサ差圧が近似的に、２つの測定コンデンサの容量
値の逆数の差に比例しかつセンサ温度が近似的に、２つ
の測定コンデンサの容量値の逆数の和に比例するという
事実が利用される。この特許明細書において、容量値と
、センサパラメータと、センサ差圧ないしセンサ温度と
の間の関係式も示されている。例えば、製造偏差に基づ
く零点のずれ、種々異なった大きさの温度依存性、セン
サの感度等に関するセンサパラメータが測定技術的に求
められかつ記憶される。補償装置は計算されたセンサ差
圧を、記憶されたパラメータ並びに求められｔ；センサ
温度を用いて補正する。センサ温度は計算されたセンサ
差圧を用いて、最終的にセンサ温度およびセンサパラメ
ータの影響に無関係である、センサ差圧に対する測定結
果が生じるまで、補正される。

比較すべき２つの圧力の１つを所属のセンサ振動板に直
接作用させることが望ましくないかまたは不可能ですら
ある用途がある。このことは例えば、圧力が生じる媒体
が化学的に侵食性であるかまたはセンサ振動板が媒体と
直接接触するとき、センサ振動板を破壊することになる
ほど高い温度を有する場合に生じる。別の場合において
一室形差圧センサは圧力検出箇所に直接組み立てること
ができない。その理由は、そこで生じている条件がこの
ことを許容しないからである。このような場合において
一室形差圧測定を可能にするために、一室形差圧センサ
は、液体が充填されている容積を含んでいる前置体に接
続される。この容積は一方において２つのセンサ振動板
の１つによって閉鎖されておりかつ他方において弾性的
な前置体振動板によって閉鎖されている。その場合圧力
が比較されるべきである媒体は、前置体振動板に作用し
、かつ前置体振動板に作用した圧力は、液体を介してこ
の前置体に結合されたセンサ振動板に伝達される。その
際化学的に侵食性の媒体の場合、前置体振動板を、媒体
によって侵食作用を受けない材料から製造することがで
きる。更に、室形差圧センサを圧力検出箇所から離れた
好都合な箇所に組み付けかつ液体が充填されている管を
介して圧力検出箇所に組み付けられた前置体振動板に結
合することができる。その場合測定すべき差圧は、前置
体振動板に作用する圧力と前置体とは反対側にあるセン
サ振動板に作用する圧力との間の差に相応する。数多く
の場合において、一室形差圧センサのそれぞれの側に前
置体を配設することも必要になってくることがある。

発明が解決しようとする問題点 しかし冒頭に述べた形式の差圧測定装置におけるこの種
の前置体の使用では、前置体に属するセンサ振動板に作
用する圧力が常に、前置体振動板に作用する圧力と正確
に同じであるときにしか正確な測定結果が得られない。

しかし通例はこれら圧力は同じではない。というのは、
前置体に含まれている液体の温度により生じる容積変化
によって殊に、センサ振動板に作用する圧力と前置体振
動板に作用する圧力との差に相応する前置体差圧が生じ
る。この前置体差圧は一方において、時としてセンサ温
度とは異なっている前置体温度に依存しており、かつ他
方において前置体の構造により決められるパラメータに
依存している。これらの影響のために計算されかつ第１
の補償装置によって補正されたセンサ差圧は測定すべき
差圧とは異なっている本発明の課題は、一室形差圧セン
サに接続されている前置体を使用する際にも正確な測定
結果を発生する、冒頭に述べた形式の差圧測定装置を提
供することである。

問題点を解決するための手段 本発明によればこの課題は、それぞれの前置体に対する
評価回路が、前置体温度および前置体パラメータの、第
１の補償装置によって補正されるセンサ差圧に対する影
響を補償する別の補償装置を含んでいることによって解
決される本発明により構成された差圧測定装置では、第
１の補償装置によって行われる、センサ温度およびセン
サパラメータの影響の補償に続いて、前置体温度および
前置体パラメータの、計算された差圧に対する影響を補
償する第２の補償が行われる。差圧を計算する容量値は
依然としてセンサ差圧によってのみ決められているにも
拘わらず、第２の補償によって、補正された計算されｔ
；差圧が測定すべき差圧に正確に相応するようになる。

２段階で行われる補償の実施により、第１の補償が、前
置体なしの一室形差圧センサに対して当てはまる公知の
補償であってよいという利点が得られる。従って第１の
補償に対して必要であるセンサパラメータは、一室形差
圧センサに対して、それが後から前置体とともに使用さ
れるのかどうかということを考慮せずに、検出しかつ記
憶することができる。第２の補償に対して必要であるパ
ラメータは、使用の前置体の形式、組み込み条件等に応
じて、種々様々であってよい。すなわちそれらは場合に
応じて別個に検出しかつ記憶することができる。

本発明の有利な実施例および構成はその他の請求項に記
載されている。

実施例 次に本発明を図示の実施例につき図面を用いて詳細に説
明する。

図示の差圧測定装置は、公知の形式の一室形の差圧セン
サ１０を含んでいる。一室形差圧センサ１０はシリンダ
状の基体１１を有しておりこの基体の両方の端面に、シ
リンダの周囲の回りに延在しているスペーサリング１４
ないし１５を介挿して２つの弾性の振動板１２および１
３が圧力密に固定されている。基体１１および振動板１
２．１３は電気的に絶縁性の材料、有利には酸化金属セ
ラミックから成っている。

同様スペーサリング１４および１５も有利には、基体ｔ
ｉと振動板１２との圧力密な連結作用をする電気的な絶
縁材料、有利にはガラスフリットから成っている。スペ
ーサリング１４．１５を介して振動板１２．１３は基体
１１から距離をおいて保持されているので、それぞれの
振動板１２．１３と各振動板の方の側の、基体ｌｌの端
面との間に、へん平な中空室１６ないし１７が生じる。

２つの中空室１６および１７は基体１１中に形成された
軸方向の通路１８によって相互に連結されているので、
それらは外部に対して圧力密に閉鎖されている共通の室
を形成している。室の全容積には、非圧縮性の、絶縁性
液体２０、例えばシリコーンオイルが充填されている。

振動板１２の、基体１１の方の側の内面には膜電極２１
が被着されている。この電極はリング状の膜電極２２と
、基体１１の、このリング状の膜電極の方の側の端面に
おいて対向している。同様に振動板１３の内面には、膜
電極２３が被着されており、この膜電極は、リング状の
膜電極２４に、基体ｌｌの、リング状の膜電極の方の側
の端面において対向している。膜電極２１．２２．２３
．２４は外部から接近可能な接続部２５．２６．２７．
２８に、例えば所属の膜電極２１ないし２４と共通に厚
膜技術において被着されておりかつスペーサリング１４
゜１５と基体１１ないし振動板１２．１３との間で外周
まで延在している膜状の導体ストリップを介して接続さ
れている。

膜電極２１はそれに対向している膜電極２２とともに、
接続部２５および２６の間において測定可能である容量
ＣＩの第１の測定コンデンサを形成し、かつ膜電極２３
はこの電極に対向している膜電極２４とともに、接続部
２７および２８の間において測定可能である容量Ｃ２の
第２の測定コンデンサを形成する。

大抵の場合において図示の形式の一室形差圧センサは、
２つの振動板１２および１３に直接作用する２つの圧力
間の差圧を測定するために使用される。これら両方の圧
力が等しくないとき、非圧縮性液体を介して接続されて
いる両方の振動板１２および１３はより大きい圧力の方
向において振れ、これにより一方における膜電極２１．
２２間の距離および他方における膜電極２３．２４間の
距離、ひいては２つの測定電極の容量Ｃ８およびＣ２も
反対方向に変化する。それ故に容量Ｃ１およびＣ３の測
定によって差圧が求められる。しかし数多くの用途にお
いて、比較すべき圧力の一方を一室形差圧センサの対応
する振動板に直接作用させることは不都合であるかまた
は不可能ですらある。このことは例えば、圧力を及ぼす
媒体が、例えば、それが化学的に侵食性であるという理
由から、振動板を破壊するおそれがあるとき、または圧
力検出箇所における周囲条件が一室形差圧センサを媒体
との直接的な接触領域に組込むことを許容しないときで
ある。

差圧測定をこの種の条件下でも可能にするために、一室
形差圧センサ１０は振動板１２を支持する側が、前置体
３０に連結されている。前置体３０は、細い管３３を介
して相互に連結されている２つのケーシングディスク３
１．３２から成っている。ケーシングディスク３１は、
振動板３５で覆われているへん平な凹部３４を有してい
る。振動板３５は周囲の回りを環状に圧力密にケーシン
グディスクの縁に連結されている。これにより凹部３４
は外側に対して閉鎖されているへん平な中空室を形成し
、この中空室はケーシングディスク３１中に設けられた
中央孔を介して管３３の内部に接続されている。

ケーシングディスク３２はへん平な凹部３７を有してお
りかつ周囲の回りに環状に圧力密に一室形差圧センサｌ
Ｏに連結されているので、へん平な凹部３７は振動板１
２によって被覆されている。これにより凹部３７は、１
室形差圧センサｌＯに対して圧力密に閉鎖されているへ
ん平な中空室を形成し、この中空室はケーシングディス
ク３２に設けられた中央孔３８を介して管３３の内部に
接続されている。このようにして２つの中空室３４およ
び３７は管３３を介して相互に接続されている。２つの
へん平な中空室３４および３７並びに管３３の外側に対
して閉鎖されている容積全体には、一室形差圧センサｌ
Ｏ内に含まれている液体と同じ種類とすることができる
非圧縮性液体３９、例えばシリコーンオイルが充填され
ている。前置体３０は、この容積が出来るだけ小さいか
ないし一室形差圧センサまたは使用条件に最適化されて
いるように形成されている。

前置体３０を備えている一室形差圧センサｌＯの組込み
は、振動板３５が振動板１２に代わって媒体と接触する
ように行われ、その際媒体の圧力Ｐ、を振動板１３に作
用する圧力Ｐ８と比較しようというものである。この媒
体が振動板１２を侵食するおそれがある場合には、この
振動板３５は、媒体によって侵食されない材料から製造
される。圧力検出箇所における状況が一室形差圧センサ
１０の組込みが不可能であるようであれば、振動板３５
のケーシングディスク３１を圧力検出箇所に組込みさえ
すればよく、一方一室形差圧センサ１０はそことは離れ
た有利な箇所に配設されかつ著しい長さであってよい管
３３を介してケーシングディスク３１に接続される。い
ずれの場合にも、振動板３５に作用する圧力Ｐ、は非圧
縮性液体３９を介して振動板１２に伝達され、これによ
りこの振動板１２に、後で更に説明するように必ずしも
圧力Ｐ、と同じである必要はない圧力Ｐ、ｓが作用する
。

一室形差圧センサ１０の働きは公知である。

それは、２つの測定コンデンサの容量Ｃ１およびＣ２が
、次式に示す、振動板１２および１３に作用する圧力の
間にあるセンサ差圧ΔＰ、に依存していることに基づい
ている： ΔＰａ＝Ｐ＋ｓ　　Ｐｘ　　　　　　　　（１）２つの
圧力ｐｉｓおよびＰ２が同じ大きさであり、その結果差
圧ΔＰ、が零であるとき、差圧センサｌＯは、製造偏差
のない完全な対称的な構造をしていることを前提とする
とき、２つの測定コンデンサの容量０１およびＣ２が同
じ大きさである平衡状態にある。すなわち２つの振動板
１２および１３間の容積全体を完全に満たす非圧縮性液
体２０のために、両振動板はそこに作用する圧力ＰＩＳ
およびＰ２によって、これら圧力が同じ大きさであると
き、振れることはない。しかし例えば圧力ＦＩＢが圧力
Ｐ、より大きくなるとき、圧力ＰＩ８が振動板１２を基
体ｌｌの方に振らすことができ、その際非圧縮性液体２
０の一部は中空室１６から通路１８を通つて中空室１７
に押し流されるので、振動板１３は圧力Ｐ２に抗して基
体１１から外方向に振れる。２つの振動板１２および１
３のこの振れのために、膜電極２１および２２間の距離
は小さくなりかつ膜電極２３および２４間の距離は大き
くなる。これに応じて容量ＣＩは大きくなり、容量Ｃ３
は小さくなる。従って２つの容量Ｃ４およびＣ１の測定
によってセンサ差圧ΔＰ、が測定される。非直線性およ
び外乱量の影響を無視するとき、差圧ΔＰ、は近似的に
容量値の逆数の差に比例する： 差圧測定に影響する重要な外乱量は温度である。その理
由は２つの測定コンデンサの容量ＣＩおよびＣ２はセン
サ差圧ΔＰ、の他に、センサ温度Ｔ、にも依存している
からである。すなわち温度変化の際２つの振動板１２お
よび１３の間に閉じ込められた液体２０の容積も変化す
る。温度上昇の際に液体２０の容積が大きくなるとき、
２つの振動板１２および１３は外側に振れ、その結果一
方における膜電極２１および２２間の距離および他方に
おける膜電極２３および２４間の距離が同時に大きくな
る。これに応じて容量Ｃ４およびＣ２は同時に小さくな
る。

逆に温度低下によって生じる、液体容積の縮小の際に、
容量値ＣＩおよびＣ２は同時に大きくなる。近似的に温
度変化は容量値の逆数の和に比例する： この事実に基づいて、測定された容量値Ｃ１およびＣ２
から一室形差圧センサｌＯの温度Ｔ。

を測定しかつセンサ差圧ΔＰ、の温度依存性の補正のた
めに使用することができる。このことは以下に説明する
、図示の差圧測定装置の評価回路において行われる。

評価回路は、容量ＣＩの測定のために接続部２５．２６
に接続されている第１の容量測定回路４１と、容量Ｃ３
の測定のために接続部２７２８に接続されている第２の
容量測定回路４２とを含んでいる。それぞれの容量測定
回路はそれはが出力側において、測定された容量の逆数
値に比例する測定信号を送出するように、構成されてい
る。従って容量測定回路４１は１／Ｃ１に比例している
測定信号を送出し、かつ容量測定回路４２は、ｌ／Ｃ２
に比例する測定信号を送出する。

２つの容量測定回路４１および４２から送出される測定
信号は計算回路４３に供給され、この計算回路はそこか
らセンサ差圧ΔＰ、を計算する。わかりやすくするため
に図には、計算回路４３が減算回路４４を含んでおり、
この減算回路が２つの容量測定回路４１および４２から
測定信号を受信しかつ出力側に、容量値の逆数の差１／
ｃ＋−１／ｃｚに比例する信号を送出することが示され
ている。この信号はセンサ差圧計算機４５に供給される
。

更に、計算回路４３が加算回路４６を含んでおり、この
計算回路が同様２つの容量測定回路４１および４２から
測定信号を受信しかつ出力側に、容量値の逆数の和１／
Ｃ＋　＋１／ｃ、に比例する信号を送出することか示さ
れている。

この信号はセンサ温度計算機４７に供給され、この計算
機はそこから一室形差圧センサｌＯのセンサ温度Ｔ、を
計算する。この温度Ｔ、は同様センサ差圧計算機４５に
伝送される。

センサ温度計算機４７におけるセンサ温度Ｔ、の計算お
よびセンサ差圧計算機４５におけるセンサ差圧ΔＰ、の
計算は、センサ温度およびその他のセンサパラメータの
、センサ差圧に及ぼす影響が補償され、その結果センサ
差圧計算機４５によって計算されるセンサ差圧ΔＰ。

がセンサ振動板１２および１３に作用する圧力Ｆ’＋ｓ
とＰ２との間の差に正確に相応するように、行われる。

西独国特許第３５０４３２９号明細書から公知の方法に
よればこのことは例えばセンサ温度Ｔ、およびセンサ差
圧ΔＰ、を次の式に従って計算することによって行うこ
とができる： 上記中の記号は次のような意味を有しているａ、ｆニー
室形差圧センサの製造偏差に基づいた測定値の零点シフ
トに相応する 量、 ｂ、ｃ：温度変化の際の充填液体の容積変化に依存する
、温度検出の際の感度に 相応する量、 ｄ、ｅ：センサの製造時に生じる非対称性に依存する量
、 ｇ、ｈ：製造時に生じる零点シフトの温度依存性に相応
する量、 ｉ、にニー室形差圧センサの感度を決める、振動板１２
および１３のばね定数に 依存する量、 Ｑ、ｍ＝振動板１２および１３のばね定数の温度依存性
に相応する量。

パラメータａないしｍは一般に周知の方法において測定
技術により求めることができかつ計算回路４３に記憶さ
れる。

式（４）および（５）はＴ、およびΔＰ、に従って解く
ことができないので、計算は巡回方法に従って行われな
ければならない。その際その都度計算されるセンサ差圧
ΔＰ、は、センサ差圧計算機４５の出力側からセンサ温
度計算機４７の第２の入力側への接続によって図示され
ているように、センサ温度計算機４７に帰還されなけれ
ばならない。

大抵の場合そうであるように、一室形差圧センサｌＯが
前置体３０なしに使用されるとき、これまで説明してき
た、評価回路の部分番こよって得られるセンサ差圧ΔＰ
、は既に、求める測定結果を示している。前置体３０が
存在してし）るとき、センサ振動板１２に作用する圧力
Ｐｌｉが前置体振動板３５に作用する圧力基；正確番こ
同じであれば、同様水める差圧ΔＰｉこ相応することに
なる。しかし通例はこのようにはならなし１゜例えば温
度上昇の際前置体３０に閉じ込められた非圧縮性液体３
９の容積が拡大され、これにより付加的な圧力が前置体
に生じ、この圧力分だけ圧力Ｐｌｓは圧力Ｐ、より大き
い。前置体差圧 ΔＰｖ＝Ｐ＋ｓ　　　　Ｐｔ　　　　　　　　　　（６
）はまず第１に、前置体温度Ｔ、並びに前置体３０の構
造により決められるパラメータに依存している。

それ故に図示の評価回路は付加的に、前置体および別の
前置体パラメータの、測定すべき差圧ΔＰへの影響が取
り除かれるように、構成されている。

前置体３０に温度センサ５０が、この温度センサによっ
て測定される温度が実質的に前置体に含まれている非圧
縮性液体３９の温度に相応するように、取り付けられて
いる。温度センサ５０は任意の、それ自体公知の温度セ
ンサ、例えばを名ＰＴ１００の温度に依存する抵抗とす
ることができる。必要の場合には、温度センサ５０の形
式の複数の温度センサを前置体に取り付けることもでき
る。

温度センサ５０に温度測定回路５１が接続されており、
この温度測定回路は出力側において、温度センサ５０に
よって検出される前置体温度Ｔｖに相応する測定信号を
送出する。この測定信号は計算回路４３に含まれている
前置体差圧計算機５２に供給され、この計算機は、前置
体差圧ΔＰｖを例えば次の式に従って計算する：ΔＰｖ
　＝　　ｐ　＋ｑ−Ｔｖ　　　　　　　（７）上式中、
ｐおよびｑは、一室形差圧センサ１０のパラメータａな
いしｍと類似の方法において測定技術的に検出されかつ
計算回路４３に記憶される前置体のパラメータである。

これらパラメータには例えば、前置体に含まれている圧
縮しない液体の熱膨張係数がある。

前置体差圧計算機５２によって計算される前置体差圧Δ
Ｐｖは、減算回路５３に供給されるこの減算回路には更
に、センサ差圧計算ｌ１４５によって計算されたセンサ
差圧ΔＰ８が供給されかつこの減算回路は出力側におい
て、２つの入力値間の差 ΔＰ　−ΔＰ、−ΔＰ　ｖ（８） に相応する信号を送出する。

この信号は、前置体振動板３５に作用する圧力Ｐ１とセ
ンサ振動板１３に作用する圧力Ｐ。

との間の測定すべき差圧ΔＰに正確に相応し、その際前
置体およびセンサにおけるすべての温度の影響および前
置体およびセンサの構造により生じるパラメータの影響
は補償されている。

差圧ΔＰは、減算回路５３の出力側に接続されている差
圧指示部５４において指示することができる。

計算回路４３における補償は２段階において行われるこ
とがわかる。センサ温度計算機４７およびセンサ差圧計
算機４５は、センサ温度およびセンサパラメータの影響
を補償する第１の補償装置を形成する。この第１の補償
装置は、前置体なしに使用される一室形差圧センサにお
ける公知技術に相応する。この第１の補償装置に、前置
体差圧計算機５２および減算回路５３によって形成され
ている第２の補償回路が付加接続されている。この第２
の補償装置は前置体温度および前置体パラメータの、第
１の補償装置を用いて計算されたセンサ差圧に対する付
加的な影響を補償する。

補償の２段階分割により、第１の補償が一室形差圧セン
サの従来の補償に相応しかつ付加的に前置体が使用され
るか否かに関係ないという重要な利点が得られる。従っ
て第１の補償に対して必要であるパラメータは、後に前
置体が付加接続されかつこの前置体がどのように形成さ
れておりかつ組込まれるかを考慮する必要なしに、一室
形差圧センサに対して検出しかつ計算回路４３に記憶す
ることができる。第２の補償に対して必要である、使用
の前置体の形式および組込み条件に応じてその都度種々
異なる可能性があるパラメータは、場合に応じて別個に
検出されかつ計算回路４３に記憶される。

計算回路４３は例えば周知のアナログまたはデジタル回
路を用いて、任意の、それ自体公知の方法において構成
することができる。計算回路は有利には、適当にプログ
ラミングされたマイクロプロセッサによって形成されて
いる。容量測定回路４１および４２がら送出される測定
信号が、マイクロプロセッサによる処理に直接適してい
る形でない場合は勿論、当業者が通例行っているように
、必要なＡＤｆ？ｌ＆器またはインタフェースを挿入し
なければならない。

温度センサ５０および温度測定回路５１は、前置体温度
ＴＶが常に、センサ温度Ｔ３に等しいことが保証されて
いるときは省略することができる。この場合、センサ温
度計算機４７によって計算されるセンサ温度Ｔ、は前置
体差圧計算機５２にも供給される。しかし殆どの場合に
はこの前提条件は満たされていないので、前置体温度Ｔ
Ｖを別個に検出することが望ましい。

数多くの用途において、例えばまた振動板１３を化学的
に侵食性の媒体の作用から保護するために、一室形差圧
センサｌｏの他方の側に前置体３０の形式の第２の前置
体を取り付けることが必要となる可能性がある。その場
合測定すべき差圧は、２つの前置体振動板に作用する圧
４ 方間の差に相応する。既述の差圧測定装置はただちにこ
の例に拡張される。すなわちこの計算回路４３に、第２
の前置体の前置体差圧を既述の方法において計算する第
２の前置体差圧計算機が設けられかつ減算回路５３にお
いて２つの前置体差圧の和がセンサ差圧から減算される
。

第２の前置体の前置体温度はこの場合も１つまたは複数
の温度センサおよび所属の温度測定回路を用いて求める
ことができる。

発明の効果 本発明の第２の補償により、補正された計算された差圧
は測定すべき差圧に正確に相応することになる。本発明
では２段階の補償が行われるので、第１の補償は前置体
のあるなしに拘わらず従来通り行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の差圧測定装置の概略図および所属の
電子回路装置のブロック線図であるｌＯ・・・一室形差
圧センサ、１２．１３．３５・・・振動板、２１．２２
，２３．２４・・・膜電極、３０・・・前置体、４１．
４２・・・容量測定回路、４３・・・計算回路、４５・
・・センサ差圧計算機、４７・・・センサ温度計算機、
５２・・・前置体差圧計算機５４・・・差圧指示部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、液体が充填されている容積を閉鎖している２つの弾
   性的な振動板を含んでおりかつ該２つの振動板に作用す
   る圧力の間にあるセンサ差圧に依存して容量が反対方向
   に変化する２つの測定コンデンサが形成されている一室
   形差圧センサと、前記測定コンデンサの容量からセンサ
   差圧を計算しかつセンサ温度およびセンサパラメータの
   、前記計算されたセンサ差圧に対する影響を補償する第
   １の補償装置を含んでいる評価回路とを備えている差圧
   測定装置において、 前記一室形差圧センサは、液体が充填されている容積を
   含んでいる少なくとも１つの前置体に接続されており、
   前記容積は一方において前記２つの振動板の１つによっ
   て閉鎖されておりかつ他方において弾性的な前置体振動
   板によって閉鎖されており、かつ前記評価回路はそれぞ
   れの前置体に対して、該前置体温度および前置体パラメ
   ータの、前記第１の補償装置によって補正されたセンサ
   差圧に対する影響を補償する別の補償装置を含んでいる
   ことを特徴とする差圧測定装置。 ２、それぞれ別の補償装置は、前置体差圧を前置体温度
   および記憶されている前置体パラメータに基づいて計算
   する前置体差圧計算機、並びに第１の補償装置によって
   補正されたセンサ差圧と計算された前置体差圧との間の
   差を測定結果として出力する減算回路を含んでいる請求
   項１記載の差圧測定装置。 ３、それぞれの前置体に、前置体温度を測定するための
   少なくとも１つの温度センサが取り付けられており、か
   つそれぞれの温度センサは、前置体温度を表す測定信号
   を前置体差圧計算機に送出する温度測定回路に接続され
   ている請求項２記載の差圧測定装置。