JPS62140040A - 差圧変換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、差圧を静電容イ孜を介して電気信号ンて変換
する差圧変換装置に係り、特に温度および静圧の影響を
補正した差圧変換装置に関する。

〈従来の技術〉 第７図は差圧変換装置の従来の温度、静圧の変動による
ゼロ点変動、スパン変動補償の概念を説明するための構
成図である。ｌは一室構造の差圧変換装置の本体断面を
示し１両端面に測定すべき圧力ＰＨ１ＰＬを受けるダイ
ヤフラム２，３がその周縁をこの本体罠溶接されて配置
されており１本体に形成された貫通孔４とこれらダイヤ
スラムで囲まれた中空室内にはシリコン油等の封液５が
満たされている。中空室中央部には拡大された電極室が
形成され、この電極室内には本体に嵌合した絶縁材６に
片側が支持された移動電極７及びこれに対向して静電容
量Ｃ１，Ｃ２を形成するだめの固定電極８，９が配置さ
れている。１０は中空室を介して両ダイヤフラム２，３
の中央部を連結する口、ドで、その中央部は電極室内に
おいて移動電極７に固定されており、差圧罠応動したダ
イヤフラムの変位を移＠１！Ｌ極に伝え、静電容量Ｃ１
，Ｃ２を差動的Ｋｔ換される。この信号ｅ。は出力回路
１２に導かれて、遠隔点の負荷Ｒ？！源ＥＢの直列回路
に対し、Ｌ’ ４〜２０　ｍＡスパンの出力電流１ｏに変換される。１
３は本体１あるいは封ｆｒ１．５の温度Ｔを測定する温
度セ／す、１４は封液５の圧力即ち静圧Ｐ８を測定する
圧力センサであり、これらセンサの出力は、補償電圧発
生回路１５．１６１Ｃ導かれ、ゼロ点補償用の温度信号
　　ゼロ点補償用の静圧信号ｅｐに変換され。

Ｔｌ 加算点１７．１８で演算回路１１の出力信号ｅ。に加算
又は減算されて温度変動又は静圧変動に対するゼロ点の
変動が補償される。温度又は静圧変動に対してダイヤス
ラム２．３のバネ定数変化等により生ずるスパン変動が
問題になる場合は、補償電圧発生回路１５．１６よシ点
線で示すスパン変動補償用の温度信号、静圧信号ｅ′、
ｅｐ　　を発生させ、出力回路１２の電圧−電流変換利
得を変化させてスパンの変動を補償する。

第８図は差圧変換装置の他の従来の構成を示す構成図で
ある。この差圧変換装置はその検出部１９がセンサとｈ
Ａ）変換部から構成されている。第８図（イ）Ｋ示すよ
うに検出部１９の中央には円形のダイヤフラム２０が薄
く形成され、この両側に圧力ＰＨ１九が印加される。ダ
イヤフラム２０の周縁部には差圧（ΔＰ＝ＰＨ−ＰＬ）
Ｋ対応する歪を検出するための差圧センサ２１が形成さ
れ、ダイヤフラム２０の外側の固定部には静圧ＰＳを検
出するための静圧センサ２２．シリコン単結晶の温度Ｔ
を検出するための温度セッサ２３が形成されている。こ
れ等のセンサからのアナログ信号をデジタル信号に変換
するアナログ・デジタル変換部（、し勺変換部という）
２４が検出部内に塔載されている。

これ等の複合センサからの各出力は第８図（ロ）に示す
よ５にマイクロプロセ、す２５に入力される。

ところで、各センサ２１．２２．２３は全て半導体で形
成されているので、温度Ｔ、静圧Ｐ８の影響を受ける。

例えば差圧センサ２１は差圧ΔＰのみに感応するのでは
なく差圧ΔＰＫ対して感度が高いというにすぎない。従
って、差圧センサ２１の出力をＸ６　。

静圧センサ２２の出力をｘ、温度センサ２３の出力をＸ
、とすると。

ｘ　　　ｆ（ΔＰＩＰＳ、Ｔ） ｘ＝ｇ（Δｐ、　Ｐｓ、　Ｔ　）　　　　　　　　　　
（１）ｘ＝ｈ（Δｐ、　Ｐｓ、　Ｔ　） と表現でき、各々のセ／すにおいてｆ、　ｇ、　ｈの関
数がわかれば、（１）式の連立方程式を解くことＫよっ
て（１）式の解が（２）式のごとく求められる。

ΔＰ　”　Ｆ　（Ｘｄｒ　Ｘｐ＋　Ｘ（）Ｐｓ＝　Ｇ　
（Ｘｄ’　Ｘｐ＋　Ｘｔ　）　　　　　　　　　　（２
）Ｔ　　＝Ｉｔ　　（ｘ　　　ｘ　　＋　　ｘ　　　）
ｄ’ｐｔ これ等の関数ｆ、ｇ、ｈの同定および関数Ｆ、　Ｇ、　
Ｈを求める作業（キャクタリゼーシ、ン）は個々のセン
サごとに実施される。これ等のセンサごとの特性データ
は製造用の計算機２６で求められ、　　ＦＲＯＭメモリ
２７に検出部１９の固有のデータとして格納されており
、この固有のデータを用いてマイクロプロセッサ２５に
より補正演算がなされる。その結果は、デジタル・アナ
ログ変換器（Ｄ／Ａ変換器という）２８によりアナログ
電圧に変換され、更に４〜２０ｍＡの直流電流として伝
送される。

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかしながら、第７図に示す従来の差圧変換装置では差
圧ΔＰＫ対応する信号ｅ。に対してゼロ点あるいはスパ
ンに対してアナログ的に補正しているので高精度の補正
ができない問題点があり、第８図に示す従来の差圧変換
装置では差圧センサ２１゜静圧センサ２２．温度センサ
２３がいずれも半導体で形成でれているので、差圧ΔＰ
、靜圧ｐ８．温度Ｔに対して相互に大幅に依存しく］）
式で示す複雑な関係を有している。これを（２）式で示
す関数関係になる様に（１）式の連立方程式を解くこと
は複雑な演算を必要とし精度低下の要因、あるいは歩留
低下の要因をなすという問題がある。

〈問題点を解決するための手段〉 この発明は、差動各音センサと固定容量セ／すと温度セ
ンサという温度・静圧相互の依存性の少ないセンサを用
いながら差圧出力に対して簡琳なデジタルの補正演算を
施して前記のような問題点がない高精度の差圧変換装置
を得るようにしたもので、その構成は移動電極に対して
第１電極と第２電極が対向して設けられこれ等の間に封
入液が満されて検出すべき差圧〈応じて差動的に変ｆヒ
する第１および第２静電容量を形成する差動容量センサ
と、封液の中に形成された固定容量を検出する固定容量
センサと封入液の温度を検出する温度センサとが設けら
れた検出部と、第１および第２静電容量に対応する差動
容１と固定容量に対応する固定容量信号と温度に対応す
る温度信号とをデジタル信号に変換して演算処理するマ
イクロコノピユータユニットと、このマイクロコンピー
タユニットでの演算結果をアナログ信号に変換するデジ
タル・アナログ変換手段とを有する差圧変換装置であっ
て、マイクロコンピュータユニットによシ第１および第
２静電容量の和分の差を演算して差圧に対応し７’ｃ第
１差圧信号を出力する差圧演算手段と、温度信号と固定
容量信号とを用いて封入液に印加される静圧を算出する
静圧演算手段と。

この静圧に対応する静圧信号と温度信号とを用いて第１
差圧信号の静圧および温度による影響を補正して第２差
圧信号を出力する補正演算手段とを形成して、この第２
差圧信号をアナログ信号として出力するようにしたもの
である。

〈実施例〉 以下１本発明の実施例について図面に基づき説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すプロ。

り図である。尚、従来と同一の機能を有する部分には同
一の符号を付し適宜に説明を省略する。

２９は検出部であり、第７図における本体ｌと機械的に
１体として結合されている部分とほぼ同一のものである
。３０はマイクロコンビーータユニ。

トである。３１は静電容量ＣＩ　、Ｃ２および固定容量
ｃＫを対応する時間信号に変換する容量／時間変換器で
あり、３２は時間信号をデジタル値に変換するタイマカ
ウンタであり、これ等でアナログ／デジタル変換器３３
を構成している。検出部２９の中の温度センサ１３から
の温度信号Ｔはアナログ／デジタル変換器３４によりデ
ジタル値に変換される。３５はＲＡＭ　（ランダムアク
セスメモリ）、３６はＲＯＭ　（リードオンリーメモリ
）でありこれ等のアドレス指定ハｃｐｕ（プロセッサ）
３７がらバス３８．ラッチ・デコーダ３９を介してなさ
れる。４ｏはデータバスである。タイマカウンタ３２．
アナログ／デジタル変換器３４からの出力データはＲＡ
Ｍ３５へ格納される。

ＲＯＭ３６には所定の演算プログラムおよび初期データ
が格納されており、ＣＰＵ３７の制御のもとにＲＯＭ３
６に格納された演算手順に従って演算された結果はＲＡ
Ｍ　３５に格納される。なお、コントロールパスの図示
は省略しである。

最終の演算結果は、タイマ／カラ／り４１　Ｋよりデー
ティ信号に変換され、デユティ信号はデーティ／アナロ
グ変換器４２でアナログ信号に変換されて出力端４３に
出力する。タイマ／カウンタ４１とデユティ／アナログ
変換器４２でデジタル／アナログ変換器４４を構成する
。

第２図は第１図における容量／時間変換器３１のうちの
静電容ｉｃ１．Ｃ２を時間に変換する差動容量／時間変
換部３１ａの構成を示すプロ、り図である。

移ｔ！ｈＷ１甑７と共通電位点ＣＯＭとの間には浮遊容
肴Ｃ８ｌが形成されており、移動１唖７はインバータＧ
１の入力端に接続されている。インバータＧ１の出力端
はインバータＧ２を介してカウンタｃＴ１の入力端ＣＬ
に接続されている。ナントゲートＧ３の入力の一端はカ
ウンタｃＴ１の出力端Ｑと接続され。

ナントゲートＧ４の入力の一端はカウンタＣＴ、のｎビ
ットの出力端Ｑ。とインバータＧ５を介して接鏝されて
いる。ナンドゲルトＧ３．Ｇ４の人力の他端はインバー
タＧ１の出力端と各々接続され、これ等の出力端はそれ
ぞれ固定ｊ１極９，８と接続きれている。

また、ナツトゲートＧ３．Ｇ４の出力端の間にはナント
ゲートＧ６の各入力端が接続されその出力端は双方向定
電流回路ＣＣ１を介してインバータＧ１の入力端に接続
されている。なお、各素子は例えばＣＭＯ８で形成され
ている。

カウンタＣＴ１の出力端Ｑ。が負（ローレベル）ニ保持
されている期間Ｔけす／ドゲートＧ４．静電容＊Ｃ１，
インバータＧ１で構成される正帰還ループが形成される
。このため、ナントゲートＧ４の出力端の電位が正の電
源電圧＋Ｅ（）−イレペル）のときは併重容量Ｃ１が充
電されインバータＧ１の入力電圧が上昇しスレ、ショル
ド電圧ｖＴＨに達するとインバータＧ１の出力端の電位
は垂直に立下り負の電源電圧−Ｅ（ローレベル）となる
。従って、ナントゲートＧ４の出力端はハイレベルとな
り、ナントゲートＧ３の出力端はカウンタＣＴ１の出力
端Ｑｎがローレベルに保持されている限りハイレベルに
なっているので、ナントゲートＧ６の出力端はローレベ
ルになり双方向定電流回路ＣＣ１より一定の電流値ｉで
静電容ｔＣ１の電荷を放電し始める。従ってインバータ
Ｇ１の入力端の電位は一定の割合で減少しスレッン、ル
ド電圧Ｖ　Ｔ　ＨＫ達するとインノ（−タＧ１の出力端
の電位が・・イレベルに反転する。インノ（−タＧ１の
入力電圧の立下りから双方向定電流回路ＣＣ１の放電に
よるヌレッショルド電圧ｖＴＨに達するまでの時間１、
は静電容量Ｃ１に比例する。

次に、インバータＧ１の出力端の電位が〕−イレベルに
なるとす／ドゲートＧ４の出力端の電位はローレベルと
なり静電容量Ｃ１は逆方向に充電される。

この場合にはナントゲートＧ６の出力端の電位は７１イ
レベルとなり双方向定電流回路ＣＣ１より静電容量Ｃ１
が一定の電流値ｉで充電され、インノ〈−タＧ１の入力
端の電位が一定の割合で増加しヌレツショルド電圧ｖＴ
Ｈに達するとインバータＧ１の出力端の電位がローレベ
ルに反転する。このイ／ノく一タＧ１が反転するまでの
時間１　、　／も静電容量Ｃ１に比例している。以上の
動作をカウンタＣＴ１がｎビット計数するまで繰シ返す
。従ってカウンタＣＴ１の出力端Ｑの電位がローレベル
に保持されている期間Ｔ１け静電容量Ｃ１に比例した値
となる。

カウンタＣＴ１がｎビットを計数するとその出力端Ｑの
電位がハイレベルに反転し、ナントゲートＧ３．静電容
ｔｃ２．インバータＧ１で構成される正帰還ループが選
択され、カウンタＣＴ１の出力端がローレベルに保持さ
れている場合と同じようにして発振する。従って、カラ
／りＣＴ１の出力端Ｑがハイレベルに保持されている期
間Ｔ２は静電容量Ｃ２に比例する。

以上の如くして、差動容！ｔ／時間変換部３１ａは静電
容量ＣＣを時間ＴＩ　、Ｔ２　Ｋ周期的に変換する。

１’　　　２ 変換された時間Ｔ１．Ｔ２はタイマカウンタ３２でデジ
タル値に変換され、温度信号Ｔ　Ｖｉ、Ａ／Ｄ　′Ｒ換
器３４でデジタル値に変換される。

第３図は第１図における容量／時間変換器３１のうちの
固定客″ｉＣＫを時間に変換する固定客ｆ１′／時間変
換部３１ｂの構成を示すブロック図である。

静圧Ｐ８の変動を検出する固定客ｉＩｔ′ＣＫの一端と
共通電位点ＣＯＭとの接続点はインバータＧ７の入力端
に接続され、その出力端と入力端の間に双方向定電流回
路ＣＣ２が接続されている。インバータＧ８の入力端は
インバータＧ７の出力端と接続され、その出力端は固定
容量ＣＫの他端に接続されると共Ｋｎビットのカウンタ
ＣＴ２の入力端ＣＬと接続されている。カウンタＣＴ２
の出力端Ｑｎより固定客１吐を時間叛に変換した時間信
号を得る。

インバータＧ７の入力端がそのスレ、ショルド電圧ｖＴ
Ｈを越えて急激にノ・イレペルになるとその出力端はロ
ーレベルになる。従って、双方向定電流回路ＣＣＫより
インバータＧ７の入力端から出力端に向って一定電流ｉ
で放電を開始する。放電が進ミインバータＧ７のスレッ
シ、ルド電圧ｖＴＨに達するとその出力端は急激に・・
イレベルになり固定客ａＣＫの他端はローレベルになる
。この結果、インバータＧ７の入力端はローレベル、出
力端はＩ・イレベルになり、双方向定電流回路ＣＣ２よ
り固定容量へを一定電流１で充電する。充電の結果、イ
ンノ々−タＧ７の入力端の電圧がスレ、ショルド電圧Ｖ
ＴＨに達するとその出力端のレベルが反転する。以上の
動作を操り返して発振が継続されるが、この放電時１ｉ
ｆｔおよび充電時間は固定客ｒｙｃｃＫに比例した値と
なるので、カウンタＣＴ　２の出力端Ｑ。には固定容今
籏に比例した時間信号が得られる。

第１図におけるこれ等の変換されたデジタル値の処理に
ついて第４図に示すフローチャート図を用いて次に説明
する。

先ず、静電窓−１ｃ１．ｃ２と補正前の差圧ΔＰｆｘど
との関係について説明する。差圧ΔＰがゼロのときの各
静電容量ＣＣの値をＣ８，移動電極７のバ１’　　　２ ネ定数をＫとすれば、静電窓１ｔｃ１．　Ｃ２はとして
現わせる。これ等の式から、差圧ΔＰはと々る。

次に、静圧Ｐ８と固定容量録および温度Ｔとの関係につ
いて説明する。＠度Ｔが上昇すると封液５の誘電率Ｃの
減少に伴い固定客ｔＣＫが減少し、静圧Ｐ８が増加する
と透電５１８Ｘｇの増加に伴い固定客ｌＣが増加するの
で、ａ、ｂを定数とすると、固定に 容情領は次式で示される。

ＣＫ＝　ａＰｓ−ｂＴ　　　　　　　　　　　　（６）
この関係から、静圧Ｐ８を求めると １　　　ｂ　　　　　　　　　　　　（７）ＰＳ−７Ｃ
Ｋ＋〒Ｔ となる。α、βをそれぞれへ、Ｔに対する補正係数とす
ると、、　（８）式けα＝１／ａ、β＝　−ｂ／ａとし
てＰｓ”αＣＫ−βＴ（８） となる。

一方、差圧ΔＰは（５）式で示されるが、この（５）式
は理想的な場合、即ち固定電極８，９．移動電極７相互
間が平行でかつバネ定数にも一定であるような場合につ
いて成立する式である。しかし、実際には静圧Ｐ８ある
いは温度Ｔが変化すると１本体１が変形するなどして（
５）式で得られた差圧ΔＰが変化する。そこで、差圧Δ
Ｐを補正する必要がある。静圧Ｐ８に対する補正係数を
に１．　温度に対する補正係数をに２とすると、補正さ
れた差圧ΔＰＣは次のようになる。

ΔＰ　＝ΔＰ（］＋ｋｌｐｓ＋に２Ｔ　）　　　　　　
　　　　（９）マイクロコンピュータ二二、ト３０は以
上の点全考慮して演算される。演算に先立って、ＲＯＭ
３６には初期データとしてステ、プ■で示すように静圧
ＰＳ、温度Ｔが設定され、更にステ、プ■で（５）　、
　（８）　。

（９）の各式の演算手順が格納される。ＲＡＭ　３５　
Ｋは。

補正係数としてに１．に２．α、β、バネ定数Ｋがステ
、プ■で設定される。

以上の状態において、ＣＰＵ３７の制御のもとに検出部
２９より静電窓ｆｌｋ　ＣＩ　、Ｃ２が読込まれ（ステ
、プ■）ＲＡＭ３５に格納される。格納されたデータを
用いてＲＯＭ３６に格納されている演算プログラムによ
り（５）式に示す差圧演算を実行しＲＡＭ３５に格納す
る。

次に、初期値としてステ、プ■で設定した静圧Ｐｓ、湛
度温度よび（５）式の差圧演算で得たΔＰのデータを用
いてＲＯＭ３６に格納されている演算プログラムにより
（９）式に示す差圧演算（ステ、プ■）を実行する。演
算結果は、デジタル／アナログ変換器４４を介して出力
される。

温度Ｔ、静圧Ｐ８は短時間では変化しないので。

（５）式における差圧ΔＰの演算サイクルに比べて（９
）式に示す差圧ΔＰｏの差圧ΔＰに対する補正項ば１１
５〜１／１０のサイクルで温度Ｔ、静圧Ｐ８を読込んで
補正しても良い。そこで、ステ、プ■でこの補正周期の
判断をする。所定の補正周期になっていないならば静電
容量Ｃ１，Ｃ２の読みを繰り返して行なう。所定の補正
周期に達したときは、ステップ■に移行して固定容量Ｃ
Ｋを読込む。次に、ステ。

プａ）で湯度Ｔを読込み、（８）式で示す静圧Ｐ８の演
算を実行しくステップ■）、ステップ■に戻る。

次回のステ、プｑ）での演算は、ステ、ブ■で読込んだ
温度Ｔ、ステ、プ■で得た静圧Ｐｓを用いて実行する。

以下、同様にして繰返す。

第５図は第２図および第３図で示した差動容量／時間変
換部３１ａおよび固定容量／時間変換部３１ｂを１体の
ものとして容量／時間変換器３１を構成したブロック図
である。

端子４５に制御信号上を印加することにより第２図に示
す差動容量／時間変換部３１ａ、あるいは第３図に示す
固定容量／時間変換部３１ｂのいずれかに切換え、得ら
れた信号を出力端子４６から得る。

インバータＧ９の入力端は、端子４５．ナントゲート６
４′、０３′の各入力端と接続され、その出力端はナン
トゲート０８′の入力の一端に接続されている。ナント
ゲートＧ８′の出力端は固定客ｔＣＫの他端およびす／
ドゲートＧ６′の入力の一端にそれぞれ接続され、第３
図におけるインバータＧ８と同様な機能をもつ。静電容
Ｊ１ｋＣ１，Ｃ２および固定容量ＣＫの一端は浮遊容ｆ
Ｃ８３で共通電位点ＣＯＭと結合されている。ナントゲ
ートＧ３′、０４′は第２図におけるＧ３．Ｇ４と同様
に機能する。

次に第６図に示す波形図を用いて第５図に示す容量／時
間変換器３１の動作について説明する。

制御信号Ｓ。をハイレベル（第６図（イ））にしたとき
は、ナントゲートＧ′、０４′は第２図に示すすンドゲ
ートＧ３．Ｇ４と同じ機能をもつ。また、このときはナ
ントゲート０８′はオフに保持され機能しない。また、
す／トゲー）Ｇ６’はナントゲート０８′の出力がハイ
レベルに保持されているので。

第２図におけるす／ドゲートＧ６と同じ機能をもつ。

従って、制御信号Ｓｃがハイレベルの期間では、第２図
に示すフロック図と同じになり、第６図（ロ）。

（ハ）で示すように出力端子４６にはそのハイレベルで
は静電容ｆＣ１に対応した時間Ｔ１が、ローレベルでは
静電容量Ｃ２に対応した時間Ｔ２がそれぞれ得られる。

次に、制御信号Ｓ。をローレベル（第６図（イ））にし
たときは、ナントゲート０３′、０４′の出力端がハイ
レベルとなりナントゲート０６′の出力端はナントゲー
トＧ８′を介してインバータＧ１の出力端のレベルと同
相のレベル変化をする。従って、制御信号Ｓ。がローレ
ベルの期間では、第３図に示すブが得られる。

以上の説明においては、第２図および第３図に示すよう
に静電容ｉｔ　ｃｔ　、Ｃ２および固定容引靴に対応す
る時間ＴＴおよびＴＫとして出力信号を得て１’　　　
２ タイマカウンタ３２でデジタル信号としてデータをマイ
クロコンビーータユニット３０に取入れたが。

これはこれに限ることはなくアナログ信号をデジタル信
号に変換できるものであれば良い。

また、（９）式において静圧ｐ８．ｍ度ＴＫ対して直線
的な補正をしたが、必要があれば非直線（２次あるいは
３次）補正をしても良い。

〈発明の効果〉 以上、実施例とともに具体的に説明した様に本発明によ
れば、相互依存性の少ない差圧容量セ／すと固定容量セ
ンサと温度センサを用いてデジタル演算で若干の補正を
する構成としたので、補正演算が従来に比べて簡単にな
り、しかも高精度の補正ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すプロ、り図。 第２図は＠１図における容量／時間変換器の一部の構成
を示すプロ、り図、第３図は第１図における容量／時間
変換器の他の一部の構成をブロック図、第４図は第１図
における演算手順を示すフローチャート図、第５図は第
１図における容量／時間変換※の他の構成を示すプロ、
り図、第６図は第５図における実施例の動作を説明する
波形図、第７図は従来の差圧変換装置の構成を示す構成
図。 第８図は従来の他の差圧変換装置の構成を示す構成図で
ある。 １・・・本体、５・・・封液、７・・・移動電極、８，
９・・・固定電極、　１１・・・演算回路、　１９　、
２９・・・検出部、２０・・・ダイヤフラム、　２１・
・・差圧センサ、２２・・・静圧センサ。 ２３・・・温度セン？、３０・・・マイクロコンピュー
タユニット、３１・・・容量／時間変換器、　３３．３
４・・・アナログ／デジタル変換器、３５・・・ＲＡＭ
　、　３６・・・ＲＯＭ、３７・・・ＣＰＵ、４４・・
・デジタル／アナログ変換器、　ＣＩｌ　Ｃ２・・・静
電容量、Ｃ・・・固定客１１．　ＣＣ、ＣＣ２・・・双
方同定に１ 電流回路、ＣＴ１．ＣＴ２・・・カウンタ。 第２図 ３１ａ差ｔＩＪ容量７８青間ｔ′を交祁第３図 ３１ｂ固定官量／詩間豐授郭 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 移動電極に対して第１電極と第２電極が対向して設けら
   れこれ等の間に封入液が満されて検出すべき差圧に応じ
   て差動的に変化する第１および第２静電容量を形成する
   差動容量センサと前記封入液の中に形成された固定容量
   を検出する固定容量センサと前記封入液の温度を検出す
   る温度センサとが設けられた検出部と、前記第１および
   第２静電容量に対応する差動容量と前記固定容量に対応
   する固定容量信号と前記温度に対応する温度信号とをデ
   ジタル信号に変換して演算処理するマイクロコンピュー
   タユニットと、このマイクロコンピュータユニットでの
   演算結果をアナログ信号に変換するデジタル・アナログ
   変換手段とを有する差圧変換装置であって、前記マイク
   ロコンピュータユニットにより前記第１および第２静電
   容量の和分の差を演算して前記差圧に対応した第１差圧
   信号を出力する差圧演算手段と、前記温度信号と前記固
   定容量信号とを用いて前記封入液に印加される静圧を算
   出する静圧演算手段と、この静圧に対応する静圧信号と
   前記温度信号とを用いて前記第１差圧信号の前記静圧お
   よび前記温度による影響を補正して第２差圧信号を出力
   する補正演算手段とを形成して、この第２差圧信号を前
   記アナログ信号として出力する差圧変換装置。