JPH0321102A - マイクロストリップライン微調整法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はマイクロス１・リノゾラインのインピーダンス
微調整法に関するものである。

（従来の技術） マイクロ波以上の周波数帯で使用される増幅器の入出力
整合或は発振器の調整等を、マイクロス１・リップライ
ンのインピーダンスを調整することによって行う場合が
あるが、この調整方法として、■マイクロストリノプラ
イン上に金属の小片を置く方法、■マイクロストリツフ
０ラインの周辺にあｒ　１　） らかしめ小さいランドを設けて釦き必要に応じてワイヤ
ボンディング等を用いて接続する方法等が従来知られて
いた。

第３図は、前記■の方法によりインピーダンスを調整す
るマイクロストリノプラインの正前図であり、第４図は
その等価回路を示す。この調整法は、調整用金属片６と
それに相対する誘電体基板金属膜３との間の静電容量Ｃ
　Ｉ’がマイクロストリップライン２とそれに相対する
誘電体基板金属膜３との間の静電容量Ｃｌに並列に加わ
ることに着目し、この静電容量Ｃｌ’の値を調整用金属
片６の位置を動かすことによって変化させ、マイクロス
トリップライン２と誘電体基板金属膜３との間の全体の
静電容量を変化させてインピーダンスを調整するもので
ある。

第５図は、前記■の方法によりインピーダンスを調整す
るマイクロストリソプラインの平面図である。この調整
法は、面積の小さいマイクロスｌ・リッゾランド７をマ
イクロス１・リップライン２の周辺にあらかじめ多数設
けて釦き、これらをワイ（２） ャボンディング等によってマイクロストリノフ０ライン
２に接続することにより、該マイクロストリップライン
２の静電容量を変化させてそのインピーダンスを調整す
るものである。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、前記■の方法はマイクロストリップライ
ン，２上に載せた調整用金属片６の位置を変化させるこ
とによりインピーダンスを直接変化するものであるため
、その位置のわずかな変化でインピーダンスが大きく変
化し、微調整は極めて困難であるという問題点があった
。寸た、変化量を小さ〈するために調整用金属片６を小
さくすると、その取扱いが困難となり、調整作業そのも
のが非常にやりずらくなるという欠点が生じた。

一方、前記■の方法は、マイクロストリッフ０ランド７
をマイクロストリップライン２に接続することにより該
マイクロストップライン２の静電容量を直接変化させて
いるので、その変化は階段状であり、従ってインピーダ
ンスの変化量も階段状となるため、微調整を行うことは
困難であるという問題点があった。

本発明はこれらの問題点を解決し、マイクロ波以上の周
波数が高い領域においても、マイクロストリップライン
のインピーダンスの微調整が容易にできるマイクロスト
リップライン微調整法を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記目的を達成するため、基板の片面に金属膜
を形成してなる調整片を、前記金属膜の面を上にしてマ
イクロストリップライン上に載せ、前記マイクロストリ
ップラインのインピーダンスを調整するものである。

（作用） 基板の片面に金属膜を形成してなる調整片をその金属膜
を上にしてマイクロストリノゾライン上に載せると、前
記調整片により生じる静電容量が前記マイクロストリッ
プラインに加わシ、そのインピーダンスを変化させるの
で、前記調整片を動かすことによりその静電容量を変え
、前記インピーダンスを連続的に調整することができる
。

このとき、前記調整片により生じる静電容量は、同一サ
イズの金属片により生じる静電容量よりも小さいので、
金属片を用いる場合よりもインピーダンスの微調整が極
めて容易となる。

（実施例） 第１図は本発明の実施例を示すマイクロストリップライ
ンの正面図であシ、第２図は第１図のマイクロストリッ
プラインの静電容量に関する等価回路である。ここで、
１はマイクロ波以上において誘電損の少ない誘電体基板
、２ぱ誘電体基板ノの上面に形成されたマイクロストリ
ップライン、３は誘電体基板２の下面に形成された金属
膜、４は所定の厚さと面積を有し、マイクロ波以上にお
いて誘電損の少ない基板からなる微調整用片、５は微調
整用片４の片面に形成された金属膜である。

１た、Ｃ１はマイクロストリップライン２とこれに相対
する誘電体基板金属膜３との間の静電容量を、Ｃ２はマ
イクロストリノプライン２とこれに相対する微調整用片
金属膜５との間の静電容量を、Ｃ３は微調整用片金属膜
５とこれに相対する誘電（５） 体基板金属膜３との間の静電容量をそれぞれ現わしてい
る。

マイクロストリップライン２のインピーダンスを調整す
るためには、寸ず、第ｌ図に示すように微調整用片４を
その微調整用片金属膜５を上にしてマイクロストリップ
ライン２上に載せ、次いで、微調整用片４を第１図の矢
印の方向に動かす。微調整用片４を動かすことにより、
前記静電容量Ｃ２，Ｃ３が変化し、第２図に示すように
静電容量ＣＩに並列に接続されるＣ２，Ｃ３の直列回路
の静電容量が変化するので、マイクロストリップライン
２と誘電体基板金属膜３との間の全体の静電容量が変化
する。マイクロストリップライン２のインピーダンス変
化はその静電容量の変化と等価であるので、微調整用片
４を動かすことによシそのインピーダンスを変化させる
ことができることとなる。

ところで、第２図に示す本実施例の等価回路と第４図に
示す従来例の等価回路４とを比較すると、第４図の等価
回路では静電容量ＣＩ’がＣ１に並列（６） に接続される形となってしるのに対し、第２図の等価回
路では静電容量Ｃ２どＣ３の直列回路がＣＩに並列に接
続される形となってｂる。従って、第１図に示す微調整
用片金底ＩＪ莫５と第３図に示す調整用金属片６とが同
一ザイズてちるとすれば、静電容有；．Ｃ３の位はｃｉ
’より小さくなり、静電容量Ｃ２とＣ３の直列回路の値
はＣＩ’より更に小さくなるので、前記微調整用片４の
動きに対するマイクロスｌ・リノフ０ライン２の静電容
量の変化は調整用金属片６の動きに対するマイクロス１
・リノフ゜ライン２の静電容量の変化より小さ〈なり、
従って、マイクロストリノプライン２のインピーダンス
の微調整を容易に行うことができる。

なお、微調整用片金属膜５の形状は、長方形、円形等任
意の形状でよく、１た、微調整片４の厚も特定の値に限
定さｒＬるものではなー。

（発明の効果） 以」二、詳細に説明したように本発明によれば、調整片
として基板の片面に金属膜を形或してなる微調整片を用
い、その金属膜を上にしてマイクロストリノゾライン上
に載せてインピーダンスを調整するので、調整片の移動
に什うインピーダンスの変化が同一サイズの金属片を用
いる場合よりも小さく、微調整が容易になる。

１た、従来の金属片はインピーダンス調整中、ビンセッ
ト等により押圧されるため凸凹を生じて交換を余儀なく
される場合が生じるが、微調整片にアルミナ基板等を用
いれば前記金属片よシも硬いのでそのような凸凹を生じ
ることはなく、調整作業が容易となる。

更に、従来のランドをワイヤボンディングする方法は連
続的にインピーダンスを調整することができないが、本
発明によれば容易に連続的なインピーダンスの微調整が
可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示すマイクロストリノノライ
ンの正前面、第２図は第１図のマイクロス１・リップラ
インの静電容量に関する等価回路、第３図は従来の調整
法１を示すマイクロスｌ・リノゾラインの正前図、第４
図は第３図のマイクロストリソノラインの静電容量に関
する等価回路、第５図は従来の調整法２を示すマイクロ
ストリノン０ラインの平面図、第６図ｉｌ．ｌ：第５図
の従来の調整法２の説明図である。 ｌ・・・誘電体基板、２・・マイクロストリノプライン
、３・・・誘電体基板金属膜、４・・・微調整用片、５
・・・微調整用片金属膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　基板の片面に金属膜を形成してなる調整片を、前記金
   属膜の面を上にしてマイクロストリップライン上に載せ
   、前記マイクロストリップラインのインピーダンスを調
   整することを特徴とするマイクロストリップライン微調
   整法。