JPH03212942A - マルチコレット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は半導体装置部品等の電子装置部品を吸着保持し
て移送し、基板等に配置するのに使用するマルチコレッ
トに関し、詳細には複数の電子装置部品を吸着保持して
一括移送することのできるマルチコレットに関するもの
である。

［従来の技術］ ＩＣ，ＬＳＩ等を製造するに当たっては、半導体ベレッ
ト等の電子装置部品をパッケージ基板等にボンディング
する工程において、上記半導体ベレット等を吸着保持し
て移送する為のコレットが使用されている。

第３図はマルチコレットの一例を示す断面説明図であり
、該マルチコレット１は固定的に配設された吸引バイブ
３と該バイブ３の軸芯を中心にして回転可能な回転部材
４からなり、該回転部材４の４方向先端部には夫々吸引
部材２８〜２ｄが配設される。前記吸引バイブ３には通
気孔３Ａが１つ設けられ、各吸引部材２８〜２ｄより回
転部材４内へ延設される通気路４ａ〜４ｄのいずれかと
連通ずる様に構成される。第３図においては通気孔３Ａ
が通気路４ｃを介して吸引部材２ｃに連通された状態を
示し、上記吸引バイブ３は真空ポンプ等の吸引装置（図
示せず）に接続され、電子装置部品Ａを負圧によって吸
引部材２ｃの先端面で吸引保持する。

また異なる種類の電子装置部品を吸着するに当たっては
、前記回転部材４を９０”又は１８０゜回転し、該電子
装置部品の大きさに適した開口を有する吸引部材２８〜
２ｄを選択して使用する様に構成している。

［発明が解決しようとする課題］ ところが上記マルチコレット１は電子装置部品を１個ず
つ吸着保持して基板等へ移送するだけであるので、例え
ば複数種の電子装置部品を１つの基板上に載置するに当
たっては、吸引部材を変換するためマルチコレット１の
往復移動の度毎に回転部材４を回転させると共に、マル
チコレット１全体を複数回往復移動しなければならず、
従って生産に長時間を要して生産効率が非常に低いとい
う問題があった。

また複数個の電子装置部品を１つの基板上に載置する場
合にあっては、各電子装置部品を夫々正確な位置に供給
しなければならないが、上記マルチコレット１を使用す
るときには、使用する吸引部材２８〜２ｄを回転して順
次変換することになるので、マルチコレット自体の移動
位置決め制御が非常に繁雑となると共に、複雑な移動装
置及び移動制御が必要であった。

さらに複数の電子装置部品は夫々離れた位置より供給さ
れることがあるので、これら電子装置部品を能率的に回
収保持することも必要である。

そこで本発明者は複数の電子装置部品を基板等へ載置す
るに当たり、該複数の電子装置部品を部品供給位置より
確実に回収すると共に、正確な位置へ効率的に供給でき
るマルチコレットを提供する目的で研究を重ね、本発明
を完成し得た。

［ｉ１！題を解決するための手段］ 上記目的を達成し得た本発明は、複数の吸引部材は基板
の所定位置に対応する位置に同一平面を臨んで配設され
、該各吸引部材は前記基板に対して近接位置と退避位置
を往復移動自在に構成されてなることを要旨とするもの
である。

［作用及び実施例コ 第１図は本発明の代表的な実施例を示す一部破断側面図
である。電子装置部品Ａを吸着保持する吸引部材２Ａに
は中空状の吸引管１１が接続され、該吸引管１１はボー
ルスプラインガイド１２を介して連結部材２０に接続さ
れる。前記吸引管１１の中空孔１１ａは吸引通路１４に
連通され、該吸引通路１４はコネクタ１４ａを介して図
示しない真空ポンプに接続され、前記吸引部材２Ａの先
端開口部で電子装置部品を吸引保持するための負圧が作
用される様に構成する。

他方前記連結部材２０は連結環２１を介してピストン２
２に接続される。該ピストン２２はシリンダ２５内に形
成されるシリンダ室２５Ａ内に昇降自在に嵌装され、該
シリンダ室２５Ａは圧縮空気供給路２４及びコネクタ２
４ａを介して図示しないコンプレッサー等に接続される
。また該ピストン２２外同部にはシーリング部材２６が
はめ込まれると共に、下方部にはピストンガイド２２ａ
を一体的に設け、該ピストンガイド２２ａの外側には押
圧ばね２３がばね押え２３ａを介して配設され、ピスト
ン２２を上方に向けて付勢している。すなわちシリンダ
室２５Ａに圧縮空気を導入したとき、ピストン２２は下
方へ押付けられ（第１図の状態）、連結環２１及び連結
部材２０を下方へ移動する。この下降は連結部材２０が
本体部５の座面５Ａに当接するまで押下げられる。前記
吸引管１１はボールスプラインガイド１２を介して本体
部５に対して上下移動自在に嵌装されているので、上記
ピストン２２の軸方向に沿う下降移動により、前記吸引
部材２Ａを下降位置に保持する。

前記シリンダ室２５Ａ内の圧縮空気を排出したときには
、上記ピストン２２は押圧ばね２３の付勢力によって上
昇し、連結部材２０等を介して吸引部材２Ａを上方へ引
き上げて上昇位置に保つことができる。吸引部材２０〜
２Ｅ（第２図参照）も上記吸引部材２Ａと同様に下降位
置と上昇位置を変換自在に構成されると共に、各吸引部
材２Ａ〜２Ｅの水平位置関係は基板上へ供給される電子
装置部品の水平配設位置と適合し得る様に配設される。

例えば第２図に示す様に５個の吸引部材２Ａ〜２Ｅを備
えたマルチコレットにおける操作は次の如く行なう、吸
引部材２Ａ〜２Ｅのいずれか１つを下降位置に移動し、
他の吸引部材を上昇退避位置に保持し、１個の吸引部材
の先端面に電子装置部品を吸着する。そしてこの吸引部
材をピストン２２の作動によって上昇位置へ変換移動す
ると共に、本体部５を水平移動して他の電子装置部品供
給部に移動する。次いで他の１つの吸引部材を前述と同
様に下降位置へ移して電子装置部品を吸着する。そして
全ての吸引部材２Ａ〜２Ｅに順次電子装置部品を吸着保
持し、本体部５全体を水平移動して吸引部材２Ａ〜２Ｅ
が基板等の所定位置直上へ相対する様に配置し、全ての
吸引部材２Ａ〜２Ｅを一括して本体部５の下降又は各ピ
ストンの作動によって電子装置部品を基板上へ同時に載
置する。なお必要に応じて任意個数ずつ電子装置部品を
基板等へ別々に載置しても良い。また上記操作において
使用しない吸引部材のあるときには、これを上昇位置に
ずっと退避保持しておくことがで診る。従って吸引部材
２Ａ〜２Ｅは任意に選択して使用することができる。

上記連結枠２１及び連結部材２０等を昇降する手段は上
記例に限定されず、ラック・ビニオン手段やスクリュー
嵌装手段等の公知の昇降手段を採用したものであっても
良い。

［発明の効果］ 本発明は以上の様に構成されているので、複数の電子装
置部品をマルチコレットの１行程の移動によフて基板等
へ供給できる様になった。また吸引部材は近接位置又は
退避位置に任意に変換できるので、電子装置部品を異な
る供給位置からスムーズに吸着保持できる。

これらによって複数の電子装置部品を基板等へ効率的に
しかも確実に８送・搭載できる様になり、生産性を向上
できる様になった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の代表的な実施例を示す一部破断側面図
、第２図は第１図の矢印１１方向から見た底面図、第３
図は従来のマルチコレットを示す断面説明図である。 １・・・マルチコレット ２Ａ〜２Ｅ、２ａ〜２ｄ・・・吸引部材３・・・吸引バ
イブ ５・・・本体部 １１ａ・・・中空孔 １２・・・ポールスプライ １４・・・吸引通路 ２１・・・連結枠 ２３・・・押圧ばね ２５・・・シリンダ ４８〜４ｄ・・・通気路 １１・・・吸引管 １１ｂ・・・スプライン溝 ンガイド ２０・・・連結部材 ２２・・・ピストン ２４・・・圧縮空気供給路 ２６・・・シーリング部材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電子装置部品を一時的に吸着保持する吸引部材が複数配
   設されてなるマルチコレットであって、前記複数の吸引
   部材は基板の所定位置に対応する位置に同一平面を臨ん
   で配設され、該各吸引部材は前記基板に対して近接位置
   と退避位置を往復移動自在に構成されてなることを特徴
   とするマルチコレット。