JPH03213213A - 放電加工用電極 - Google Patents
放電加工用電極Info
- Publication number
- JPH03213213A JPH03213213A JP1003690A JP1003690A JPH03213213A JP H03213213 A JPH03213213 A JP H03213213A JP 1003690 A JP1003690 A JP 1003690A JP 1003690 A JP1003690 A JP 1003690A JP H03213213 A JPH03213213 A JP H03213213A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge machining
- slit
- electrical discharge
- electrode
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、複数の電極か配列一体化している櫛状の放電
加工用電極に係り、特にＩＣパターン印刷用マスクのス
リット加工に適用できる放電加工用電極に関する。
加工用電極に係り、特にＩＣパターン印刷用マスクのス
リット加工に適用できる放電加工用電極に関する。
（従来の技術）
従来のＩＣパターン印刷用マスクのスリット状の孔はエ
ツチング加工によるものが主であるが、Ｉｃパターンの
微細化、高密度化に伴いアンダーカットの生じるエツチ
ング加工では十分な精度が得られず、放電加工による方
法が試みられている。
ツチング加工によるものが主であるが、Ｉｃパターンの
微細化、高密度化に伴いアンダーカットの生じるエツチ
ング加工では十分な精度が得られず、放電加工による方
法が試みられている。
また並列した丸孔、スリット状の孔などの放電加工の場
合、これまでの単孔加工用電極による繰返し加工から例
えば第２図に示す如く６枚の電極１が配列一体化してい
る櫛状の放電加工用電極２を用いてＩＣパターン印刷用
マスク３に６個のスリット状の孔４を放電加工し、その
後スリット状の孔４の６ピツチ分移動して点線の如く６
個のスリット状の孔４を放電加工している。
合、これまでの単孔加工用電極による繰返し加工から例
えば第２図に示す如く６枚の電極１が配列一体化してい
る櫛状の放電加工用電極２を用いてＩＣパターン印刷用
マスク３に６個のスリット状の孔４を放電加工し、その
後スリット状の孔４の６ピツチ分移動して点線の如く６
個のスリット状の孔４を放電加工している。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、上記の櫛状の放電加工用電極２の場合、複数
の電極１間のピッチが０．２ｍｍ以下になると、加工液
の流出入が悪く、その為発生するカーボンの排出が悪く
なる。その結果、放電性が安定しなくなり、スリット状
の孔４の中央部付近が図示の如く広がったり、変形した
りした。
の電極１間のピッチが０．２ｍｍ以下になると、加工液
の流出入が悪く、その為発生するカーボンの排出が悪く
なる。その結果、放電性が安定しなくなり、スリット状
の孔４の中央部付近が図示の如く広がったり、変形した
りした。
そこで本発明は、放電加工時の加工液の流出入を良（し
、発生するカーボン等の微粒子の排出を良くすることが
できて、精度の高い丸孔やスリット状の孔等の加工孔を
放電加工のできる電極を提供しようとするものである。
、発生するカーボン等の微粒子の排出を良くすることが
できて、精度の高い丸孔やスリット状の孔等の加工孔を
放電加工のできる電極を提供しようとするものである。
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決するための本発明の放電加工用電極は、
複数の電極が配列一体化している櫛状の放電加工用電極
に於いて、前記複数の電極のピッチを加工孔のピッチの
整数倍に広げたことを特徴とするものである。
複数の電極が配列一体化している櫛状の放電加工用電極
に於いて、前記複数の電極のピッチを加工孔のピッチの
整数倍に広げたことを特徴とするものである。
（作用）
上述の如く本発明の放電加工用電極は、複数の電極のピ
ッチが加工孔のピッチの整数倍に広げられているので、
放電加工時の加工液の流出入が良（、発生するカーボン
等の微粒子の排出が良好に行われ、単孔の放電加工と同
様に精度の高い加工孔を複数個同時に放電加工できる。
ッチが加工孔のピッチの整数倍に広げられているので、
放電加工時の加工液の流出入が良（、発生するカーボン
等の微粒子の排出が良好に行われ、単孔の放電加工と同
様に精度の高い加工孔を複数個同時に放電加工できる。
また本発明の放電加工用電極は、加工孔のｌピッチ分移
動して加工孔を放電加工することにより、ｌピッチごと
に精度の高い加工孔が連続して得られる。
動して加工孔を放電加工することにより、ｌピッチごと
に精度の高い加工孔が連続して得られる。
（実施例）
本発明の放電加工用電極の一実施例を第１図によって説
明すると、ｌはスリット状の孔を放電加工する板状の電
極で、６枚配列一体化して櫛状の放電加工用電極２′と
なっていて、６枚の電極ｌのピッチは加工するスリット
状の孔４のピッチの整数倍、本例では２倍に広げられて
いる。
明すると、ｌはスリット状の孔を放電加工する板状の電
極で、６枚配列一体化して櫛状の放電加工用電極２′と
なっていて、６枚の電極ｌのピッチは加工するスリット
状の孔４のピッチの整数倍、本例では２倍に広げられて
いる。
かかる実施例の放電加工用電極２′により図示の如＜Ｉ
Ｃパターン印刷用マスク３にスリット状の孔４を放電加
工した処、放電時の加工液の流出入が良好に行われ、発
生したカーボンの排出も良好に行われ、６個のスリット
状の孔４が同時に精度良く加工できた。そして放電加工
用電極２′を加工するスリット状の孔４のｌピッチだけ
移動して、加工済みの各スリット状の孔４の隣りに点線
の如くスリット状の孔４を放電加工した処、同様に精度
良く加工でき、スリット状の孔４の中央部付近が広がっ
たり、変形したりするものは無かった。その後放電加工
用電極２′はスリット状の孔４の１ｌピッチ分移動して
加工済みのスリット状の孔４の外側でスリット状の孔４
を放電加工し、次に放電加工用電極２′をスリット状の
孔４のｌピッチ分だけ移動してスリット状の孔４を放電
加工した処、前記と同様に精度の高いスリット状の孔４
が得られた。以後前記の工程を繰返してスリット状の孔
４を連続して放電加工した。
Ｃパターン印刷用マスク３にスリット状の孔４を放電加
工した処、放電時の加工液の流出入が良好に行われ、発
生したカーボンの排出も良好に行われ、６個のスリット
状の孔４が同時に精度良く加工できた。そして放電加工
用電極２′を加工するスリット状の孔４のｌピッチだけ
移動して、加工済みの各スリット状の孔４の隣りに点線
の如くスリット状の孔４を放電加工した処、同様に精度
良く加工でき、スリット状の孔４の中央部付近が広がっ
たり、変形したりするものは無かった。その後放電加工
用電極２′はスリット状の孔４の１ｌピッチ分移動して
加工済みのスリット状の孔４の外側でスリット状の孔４
を放電加工し、次に放電加工用電極２′をスリット状の
孔４のｌピッチ分だけ移動してスリット状の孔４を放電
加工した処、前記と同様に精度の高いスリット状の孔４
が得られた。以後前記の工程を繰返してスリット状の孔
４を連続して放電加工した。
尚、上記実施例はスリット状の孔を放電加工する櫛状の
放電加工用電極の場合であるが、丸孔を放電加工する櫛
状の放電加工用電極の場合は、各電極がピン状となる。
放電加工用電極の場合であるが、丸孔を放電加工する櫛
状の放電加工用電極の場合は、各電極がピン状となる。
（発明の効果）
以上の説明で判るように本発明の放電加工用電極は、櫛
状に配列一体化されている各電極のピッチが、加工孔の
ゼッチの整数倍に広いので、放電加工時、加工液の流出
入が良好に行われ、発生するカーボン等の微粒子の排出
が良好に行われ、精度の高い加工孔を複数個同時に放電
加工できる。
状に配列一体化されている各電極のピッチが、加工孔の
ゼッチの整数倍に広いので、放電加工時、加工液の流出
入が良好に行われ、発生するカーボン等の微粒子の排出
が良好に行われ、精度の高い加工孔を複数個同時に放電
加工できる。
また加工孔のｌピッチ分放電加工用電極を移動して加工
孔を放電加工することによりｌピッチごとに精度の高い
加工孔が連続して得られるという効果がある。
孔を放電加工することによりｌピッチごとに精度の高い
加工孔が連続して得られるという効果がある。
第１図は本発明の放電加工用電極によるスリットの放電
加工状況を示す斜視図、第２図は従来の放電加工用電極
によるスリットの放電加工状況を示す斜視図である。
加工状況を示す斜視図、第２図は従来の放電加工用電極
によるスリットの放電加工状況を示す斜視図である。
Claims (1)
- １）複数の電極が配列一体化している櫛状の放電加工用
電極に於いて、前記複数の電極のピッチを加工孔のピッ
チの整数倍に広げたことを特徴とする放電加工用電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1003690A JPH03213213A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 放電加工用電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1003690A JPH03213213A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 放電加工用電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03213213A true JPH03213213A (ja) | 1991-09-18 |
Family
ID=11739167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1003690A Pending JPH03213213A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 放電加工用電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03213213A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012125883A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Ngk Insulators Ltd | ハニカム構造体成形口金用電極の製造方法 |
-
1990
- 1990-01-19 JP JP1003690A patent/JPH03213213A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012125883A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Ngk Insulators Ltd | ハニカム構造体成形口金用電極の製造方法 |
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