JPH03214410A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気記録再生装置に用いられる薄膜磁気ヘッド
に関するものである。

従来の技術 第５図は従来の薄膜磁気ヘッドを示す断面図である。第
５図において１はセラミック等の非磁性材料によってで
きた基板、２は基板の上に二酸化シリコン等の材料をス
パッタリングする事によって形成された絶縁膜、３は絶
縁膜２の上にセンダスト等によって形成された下部磁性
層、４は下部磁性層３の上に形成され、磁気ギャップと
なるギャップ層、５はギャップ層の上にフォトレジスト
等によって形成された層間絶縁層、６は眉間絶縁層５の
上に形成されたコイル層で、コイル層６は、先ず銅等に
よって導電薄膜を形成し、その後にフォトリソグラフィ
等の技術を用いて所定の形状に仕上げる。７はコイル層
の上に形成された層間絶縁層、８は眉間絶縁層７の上に
形成された上部磁性層で、上部磁性層８には傾斜部８ａ
と下部磁性層３に平行なアウタースロート部８ｂを有し
ている。又アウタースロート部８ｂの端面は媒体対向面
を構成している。９は上部磁性層の上に形成された保護
層である。

以上の様に構成された薄膜磁気ヘッドはコイル層に６に
電流を流すと第５図に示す矢印Ａの様に磁束が流れ、磁
気記録媒体に磁気的な記録を行う。又再生の時は磁気記
録媒体からの磁束が上部磁性層８及び下部磁性層３に流
れ込み、コイル層６に誘導起電力が発生する。するとコ
イル層６の中に電流が流れ、その電圧を信号として取り
出していた。

発明が解決しようとする課題 しかしながら前記従来の構成では、記録の際に第６図に
示す上部磁性層８の傾斜部８ａからアウタースロート部
８ｂに磁束が流れ込むときに、磁束が傾斜部１０からア
ウタースロート部８ｂに行かずギャップ層４を通り越し
て下部磁性層３に入りこんで、記録電流に対する媒体対
向而に飛び出す磁束量が減ってしまい、所定の強さの磁
束を得るためにより多くの記録電流を流さなければなら
ないという問題点を有していた。磁束がギャップ層４を
通り越して下部磁性層３に流れ込む訳は、磁束が傾斜部
８ａからアウタースロート部８ｂに曲がるよりも、ギャ
ップ層４を通り越して下部磁性層３に入った方が磁気抵
抗が小さくなるからである。又磁束の流れる向きが下部
磁性層から上部磁性層においても同様の減少が起こる。

本発明は前記従来の問題点を解決するもので、媒体対向
面から飛び出さずにギャップ層を通り越して他方の磁性
層に流れ込む磁束の債を小さくする事ができる薄膜磁気
ヘッドを提供する事を１］的としている。

課題を解決するための手段 この目的を達成するために、上部磁性層をコイル層に平
行な水平部と、水平部の両端に設けられた傾斜部によっ
て構成し、傾斜部の端而を媒体対向面とした。

作　　　用 この構成により、磁束が磁気ギャップを通り越して直接
他の磁性層の方に流れこむ事を抑える事ができる。

実　　施　　例 第１図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドを示
す断面図である。第１図において、ｌは基板、２は絶縁
膜、３は下部磁性層、４はギャップ層、５は層間絶縁層
、６はコイル層、７は層間絶縁層、９は保護層、これら
は従来の構成と同じである。１０は上部磁性層で、上部
磁性層１０はコイル層６に平行な水平部１ｌと、水平部
１１の両端に一体に形成された傾斜部ｌ２によって構成
されている。このとき媒体対向面の傾斜部１の端面は媒
体対向面の一部を構成している。

以上の様に構成された薄膜磁気ヘッドについて，以下記
録する際の磁束の流れ方について説明する。

第２図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドの記
録時の磁束の流れを示す拡大断面図である。第２図に示
す様に、磁束は直接傾斜部ｌ２から外に飛び出る様にな
る。従って外に飛び出ずにギャップ屑４を通り越して下
部磁性層３に流れる磁束がかなり減少し、記録電流の大
きさに対する外に飛び出す磁束量は太き《なり、効率が
良くなる。すなわち小さな記録電流でも大きな磁束を発
生する事ができ、あまりコイル層６に熱が発生せず、熱
による層間絶縁層の絶縁不良の発生を防止することがで
きる。

以上の様に構成された薄膜磁気ヘッドにおいて以下その
製造方法を説明する。

先ず基板ｌの上に絶縁膜２を形成し、絶縁膜２の上に下
部磁性層３を形成する。次に下部磁性層３の上に二酸化
シリコン等によってギャップ層４を形成する。次にギャ
ップ層４の上に７ォトレジスト等によって層間絶縁層５
を形成する。次に層間絶縁層５の上に鋼等によって導電
薄膜を形成し、フォトリソグラフィ技術を用いて導電薄
膜を渦巻き状に加工して、コイル層６を形成する。次に
コイルＭ６を覆うようにフォトレジスト等によって層間
絶縁層７を形成する。次に層間絶縁層７の上に下部磁性
層とともに磁気回路を構成する様に上部磁性層１０を形
成し、その上に保護層９を形成する。次に媒体対向面と
なる個の基板　１及び積層した薄膜体を研磨する。この
時第１図に示すアベックス１０まで達しないようにしか
も傾斜部ｌ２が研磨面に露出する様になるまで研磨する
。

以上の様に本実施例によれば上部磁性層１０の傾斜部１
２の端面が媒体対向面の一部を構成する様にした事によ
り、磁束は直接傾斜部ｌ２から外に飛び出る様になる。

従って外に飛び出ずにギャップ層４を通り越して下部磁
性層３に流れる磁束がかなり減少し、記録電流の大きさ
に対する外に飛び出す磁束量は大きくなり、効率が良く
なる。

なお本実施例において上部磁性層１０に水平部１１およ
び傾斜部１２を形成したが第３図に示すに下部磁性層に
コイル層と平行な水平部及び傾斜部を備えた薄膜磁気ヘ
ッドでも同様の効果を得る事かできた。第３図において
１３は基板で、基板ｌ３には凹部１３ａが設けられてい
る。ｌ４は少なくとも四部１３ａを形成した面のヒに一
面に形成された絶縁層、ｌ５は絶縁層１４の上に形成さ
れた下部磁性層で、下部磁性層ｌ５は水平部１５ａと水
平部１５ａの両端部に設けられた傾斜部１５ｂより構成
されている。１６は下部磁性層の上に形成されたギャッ
プ層、１７はギャップ層１６の上に形成された層間絶縁
層、１８は層間絶縁層ｌ７の上に形成されたコイル層、
１９はコイル層１８の上に形成された層間絶縁層、２０
は層間絶縁層１９の上に形成された上部磁性層、２１は
上部磁性層２０の上に形成された保護層である。この様
に構成された薄膜磁気ヘッドにおいても、媒体対向面に
飛び出ずにギャップ層１６を通り越して他方の磁性層の
方に行《磁束を減少させる事ができる。

又第４図に示す様に上部磁性層と下部磁性層の両方にコ
イル層と平行な水平部及び傾斜部を設けても同様の効果
を得る事ができる。第４図において１３は基板、１３ａ
は凹部、１４は絶縁層、１５は下部磁性層、１５ａは水
平部、１５ｂは傾斜部、ｌ６はギャップ層、１７は眉間
絶縁層、１８はコイル層、１９は眉間絶縁層でこれらは
第３図に示す構成と同じである。２２は層間絶縁層１９
の上に形成された上部磁性層で、上部磁性層２２にはコ
イル層１８に平行な水平部２２ａと水平部２２ａの両端
部に設けられた傾斜部２２ｂによって構成されている。

２０は上部磁性層２２の上に形成された保護層でこれは
第３図に示すものと同じ構成である。この様な構造の薄
膜磁気ヘッドにおいても媒体対向面に飛び出ずにギャッ
プ層ｌ６を通り越して他方の磁性層の方に行く磁束を減
少させる事ができる。

発明の効果 本発明は上部磁性層をコイル層に平行な水平部と、水平
部の両端に設けられた傾斜部によって構成し、傾斜部の
端而を媒体対向面とした事により磁束が磁気ギャップを
通り越して直接他の磁性層の方に流れこむ事を抑える事
ができるので、記録電流に対する磁束の効率を良くする
事ができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドを示
す側断面図、第２図は同部分拡大断面図、第３図は他の
実施例を示す断面図、第４図は他の実施例を示す断面図
、第５図は従来の薄膜軸ヘッドを示す側断面図、第６図
は同部分拡大断面図である。 １ １ １ １・・・・・・基板 ２・・・・・・絶縁膜 ３・・・・・・下部磁性層 ４・・・・・・ギャップ層 ５・・・・・・層間絶縁層 ６・・・・・・コイル層 ７・・・・・・層間絶縁層 ９・・・・・・保護層 ０・・・・・・上部磁性層、 ｌ・・・・・・水平部 ２・・・・・・傾斜部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板と、前記基板の上に形成された下部磁性層と、前記
   下部磁性層の上に形成されたギャップ層と、前記ギャッ
   プ層の上に形成され、層間絶縁層で覆われたコイル層と
   、前記コイル層の上に形成された上部磁性層を備え、前
   記上部磁性層をコイル層と平行な水平部と、前記水平部
   の両端に設けられた傾斜部によって構成され、前記傾斜
   部の内、媒体対向面側の傾斜部の端部が媒体対向面を形
   成している事を特徴とする薄膜磁気ヘッド。