JPS6216222A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6216222A JPS6216222A JP15744585A JP15744585A JPS6216222A JP S6216222 A JPS6216222 A JP S6216222A JP 15744585 A JP15744585 A JP 15744585A JP 15744585 A JP15744585 A JP 15744585A JP S6216222 A JPS6216222 A JP S6216222A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic pole
- pole layer
- layer
- slope
- waveform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
本発明は磁気ディスク装置等に用いられるスパイラルコ
イル型の１ｌｆｆ磁気ヘツドにおいて、下部磁極層及び
上部磁極層を傾け、該上部磁極層の傾斜先端部における
傾斜面を記録媒体に対して露出するように設けることに
より、記録再生時における孤立再生波形の上下部両磁極
先端対応部分に発生する負の小波形を減少して、記録密
度特性に凸凹状の乱れが生ずることを排除し、再生波形
処理上でのスライスレベルの設定を容易化して信頼性を
向上するようにしたものである。
イル型の１ｌｆｆ磁気ヘツドにおいて、下部磁極層及び
上部磁極層を傾け、該上部磁極層の傾斜先端部における
傾斜面を記録媒体に対して露出するように設けることに
より、記録再生時における孤立再生波形の上下部両磁極
先端対応部分に発生する負の小波形を減少して、記録密
度特性に凸凹状の乱れが生ずることを排除し、再生波形
処理上でのスライスレベルの設定を容易化して信頼性を
向上するようにしたものである。
本発明は磁気ディスク装置等に用いられる薄膜磁気ヘッ
ドに係り、特に記録再生時の孤立再生波形における磁極
先端対応部分に発生する負の小波形を減少して、再生波
形処理上でのスライスレベルの設定を容易化して信頼性
の向上を図ったヘッド構造に関するものである。
ドに係り、特に記録再生時の孤立再生波形における磁極
先端対応部分に発生する負の小波形を減少して、再生波
形処理上でのスライスレベルの設定を容易化して信頼性
の向上を図ったヘッド構造に関するものである。
薄膜磁気ヘッドは薄膜加工技法により磁極及びコイル形
状が高精度に小型化でき、記録磁界の急峻化等の利点を
有し、高密度記録に適するものとして知られ、種々のタ
イプのものが提案されており、近来、比較的高効率が得
られるスパイラルコイル型の薄膜磁気ヘッドがその主流
となっている。
状が高精度に小型化でき、記録磁界の急峻化等の利点を
有し、高密度記録に適するものとして知られ、種々のタ
イプのものが提案されており、近来、比較的高効率が得
られるスパイラルコイル型の薄膜磁気ヘッドがその主流
となっている。
ところでこのような薄膜磁気ヘッドでは、記録再往波形
における磁極先端対応部分に負の異常小波形が発生し、
高密度記録を制限する要因となっており、かかる問題の
解消が要望されている。
における磁極先端対応部分に負の異常小波形が発生し、
高密度記録を制限する要因となっており、かかる問題の
解消が要望されている。
従来の薄膜磁気ヘッドは、第６図の要部断面図に示すよ
うにスライダとなる基板１１上に下部磁極層１２、ギャ
ップ層１３、第１の眉間絶縁層１４、スパイラル状のコ
イル導体層１５、第２の眉間絶縁層１６、上部磁極層１
７、保護層１８が順に積層され、ギャップ層１３を挟ん
で対向する下部磁極層１２と上部磁極層１７の先端部は
、下部磁極層１２が設けられた基板１１面に対して直交
する面に露出され、この面を記録媒体２１に対するスラ
イダ面としている。
うにスライダとなる基板１１上に下部磁極層１２、ギャ
ップ層１３、第１の眉間絶縁層１４、スパイラル状のコ
イル導体層１５、第２の眉間絶縁層１６、上部磁極層１
７、保護層１８が順に積層され、ギャップ層１３を挟ん
で対向する下部磁極層１２と上部磁極層１７の先端部は
、下部磁極層１２が設けられた基板１１面に対して直交
する面に露出され、この面を記録媒体２１に対するスラ
イダ面としている。
しかし、このような構成の従来の薄膜磁気ヘソ１
ドでは、記録媒体２１に対する記録・再生時におけ
る孤立再生波形における両側の下部及び上部磁極先端対
応部分に負の異常小波形が発生する問題がある。
ドでは、記録媒体２１に対する記録・再生時におけ
る孤立再生波形における両側の下部及び上部磁極先端対
応部分に負の異常小波形が発生する問題がある。
かかる異常小波形の発生は、記録媒体２１に対する記録
ピント密度を高めた場合、各信号波形間で干渉しあって
、記録密度特性に凹凸状の乱れやピークシフトが発生す
る不都合がある。
ピント密度を高めた場合、各信号波形間で干渉しあって
、記録密度特性に凹凸状の乱れやピークシフトが発生す
る不都合がある。
従って、再生波形処理上でのスライスレベルの設定が困
難となる欠点があった。
難となる欠点があった。
第７図は上記質の異常小波形の発生を伴った薄膜磁気ヘ
ッドの孤立再生波形を示すものである。
ッドの孤立再生波形を示すものである。
本発明はこのような従来の欠点に鑑み、孤立再生波形の
両側に発生する負の異常小波形を低減した薄膜磁気ヘッ
ドを提供することを目的とするものであり、以て良好な
高記録密度と再生波形処理上でのスライスレベルの設定
を容易化して信頼性の向上を図ろうとするものである。
両側に発生する負の異常小波形を低減した薄膜磁気ヘッ
ドを提供することを目的とするものであり、以て良好な
高記録密度と再生波形処理上でのスライスレベルの設定
を容易化して信頼性の向上を図ろうとするものである。
本発明は上記目的を達成するため、記録再生時における
孤立再生波形の各磁極層先端部対応部分に発生する異常
小波形が、媒体対向面に露出する各磁極の厚さが厚い程
、減少することに着目し、第１図に示すようにスライダ
となる基板３１上にギャップ層３３とコイル導体層３５
を挟んで下部磁極層３２と上部磁極層３７を設けたヘッ
ド構造における記録媒体２１と対向する面３９を、前記
上部磁極層３７の傾斜先端部３７ａにおける傾斜面に沿
って、該傾斜面が露出するように設けた構成とする。
孤立再生波形の各磁極層先端部対応部分に発生する異常
小波形が、媒体対向面に露出する各磁極の厚さが厚い程
、減少することに着目し、第１図に示すようにスライダ
となる基板３１上にギャップ層３３とコイル導体層３５
を挟んで下部磁極層３２と上部磁極層３７を設けたヘッ
ド構造における記録媒体２１と対向する面３９を、前記
上部磁極層３７の傾斜先端部３７ａにおける傾斜面に沿
って、該傾斜面が露出するように設けた構成とする。
上記のように上部磁極層３７の先端傾斜面と下部磁極層
３２の先端部３２ａが傾斜状に露出した媒体対向面３９
を有するヘッド構造とすることにより、記録再生時にお
ける孤立再生波形の上下部磁極先端対応部分の異常小波
形の発生が減少し、ギャップ対応部を中心にして左右対
称な良好な孤立再生波形を得ることが可能となる。
３２の先端部３２ａが傾斜状に露出した媒体対向面３９
を有するヘッド構造とすることにより、記録再生時にお
ける孤立再生波形の上下部磁極先端対応部分の異常小波
形の発生が減少し、ギャップ対応部を中心にして左右対
称な良好な孤立再生波形を得ることが可能となる。
従って、記録ビットの高密度化に対して良好な記録密度
特性が得られ、再生波形処理上でのスライスレベルの設
定が容易となる。
特性が得られ、再生波形処理上でのスライスレベルの設
定が容易となる。
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
要部断面図である。
要部断面図である。
図において、３１はスライダを構成する基板、３２は下
部磁極層、３３はギャップ層、３４は第１の眉間絶縁層
、３５はスパイラル状のコイル導体層、３６は第２の眉
間絶縁層、３７上部磁極層であり、更に３８は保護層で
ある。
部磁極層、３３はギャップ層、３４は第１の眉間絶縁層
、３５はスパイラル状のコイル導体層、３６は第２の眉
間絶縁層、３７上部磁極層であり、更に３８は保護層で
ある。
そしてかかるヘッド構造におけるスライダ面、即ち記録
媒体２１に対する対向面３９は、上部磁極層３７の先端
部３７ａにおける傾斜面に沿って該傾斜面が露出し、か
つ下部磁極層３２の先端部３７ａも傾斜した形に露出す
るように形成されている。
媒体２１に対する対向面３９は、上部磁極層３７の先端
部３７ａにおける傾斜面に沿って該傾斜面が露出し、か
つ下部磁極層３２の先端部３７ａも傾斜した形に露出す
るように形成されている。
このように媒体対向面３９に露出する各磁極層３２゜３
７の先端部３２ａ、 ３７ａの幅（記録・再生方向の幅
）を大きく設けたヘッド構造とすることにより、第２図
に示すように記録再生時における孤立再生波形に発生す
る上下部磁極先端部対応部分の異常小波形が顕著に減少
され、ギャップを中心にして左右対称な良好な孤立再生
波形を得ることが可能となる。
７の先端部３２ａ、 ３７ａの幅（記録・再生方向の幅
）を大きく設けたヘッド構造とすることにより、第２図
に示すように記録再生時における孤立再生波形に発生す
る上下部磁極先端部対応部分の異常小波形が顕著に減少
され、ギャップを中心にして左右対称な良好な孤立再生
波形を得ることが可能となる。
ところで、このような構成゛の薄膜磁気ヘッドを得るに
は、先ず第３図に示すようにスライダとなる基板３１上
に、下部磁極層３２、ギャップ層３３、第１の眉間絶縁
層３４、スパイラル状のコイル導体層３５、第２の眉間
絶縁層３６及び上部磁極層３７が順次積層され、コイル
導体層３５に接続リード端子が付設されると共に、保護
層３８が被覆された多数の薄膜ヘッド素子対４１を形成
する。
は、先ず第３図に示すようにスライダとなる基板３１上
に、下部磁極層３２、ギャップ層３３、第１の眉間絶縁
層３４、スパイラル状のコイル導体層３５、第２の眉間
絶縁層３６及び上部磁極層３７が順次積層され、コイル
導体層３５に接続リード端子が付設されると共に、保護
層３８が被覆された多数の薄膜ヘッド素子対４１を形成
する。
次に上記多数の薄膜ヘッド素子対４１が形成された基板
３１を図示のように横列ヘッド素子単位に、上部磁極層
３７の傾斜先端部３７ａにおける傾斜面に沿った面とな
るように、傾斜した角度θで順にスライスして横列ヘッ
ド素子ブロック４２．４３・・を形成する。
３１を図示のように横列ヘッド素子単位に、上部磁極層
３７の傾斜先端部３７ａにおける傾斜面に沿った面とな
るように、傾斜した角度θで順にスライスして横列ヘッ
ド素子ブロック４２．４３・・を形成する。
次に第４図に示すように該スライスした横列ヘッド素子
ブロック４２．４３・・・、例えば４３の媒体対向面３
９となるスライス面にフォトリソグラフィ工程、機械加
工工程等により各ヘッド素子単位のスライダ溝加工を行
い、更に平面研磨加工により上部磁極層３７の傾斜先端
面及び下部磁極層３２の先端面を露出させてスライダ面
、即ち媒体対向面３９を形成する。
ブロック４２．４３・・・、例えば４３の媒体対向面３
９となるスライス面にフォトリソグラフィ工程、機械加
工工程等により各ヘッド素子単位のスライダ溝加工を行
い、更に平面研磨加工により上部磁極層３７の傾斜先端
面及び下部磁極層３２の先端面を露出させてスライダ面
、即ち媒体対向面３９を形成する。
その後、第５図に示すように傾斜した媒体対向面３９が
形成された横列ヘッド素子ブロック４３を各ヘッド素子
単位にそれぞれ切断分離することにより、所望とする本
発明の薄膜磁気ヘッド４４、即ち前記第１図に示す構造
の薄膜磁気ヘッドを順に多数形成することができる。
形成された横列ヘッド素子ブロック４３を各ヘッド素子
単位にそれぞれ切断分離することにより、所望とする本
発明の薄膜磁気ヘッド４４、即ち前記第１図に示す構造
の薄膜磁気ヘッドを順に多数形成することができる。
尚、上記薄膜磁気ヘッドの形成方法の実施例は、これに
限定されるものではなく、その主旨を造膜しない範囲で
工程を種々に変えて実施できることは言うまでもない。
限定されるものではなく、その主旨を造膜しない範囲で
工程を種々に変えて実施できることは言うまでもない。
以上の説明から明らかなように、本発明に係る薄膜磁気
ヘッドによれば、磁気記録媒体の記録再生時における孤
立再生波形に発生する負の異常小波形が著しく減少し、
ギャップを中心にして左右対称な良好な波形となり、記
録ビットの高密度化に対しても良好な記録密度特性が得
られると共に、再生波形処理上でのスライスレベルの設
定が容易となる。従って情報再生処理の信頼性が向上す
る等、実用上優れた効果を奏する。
ヘッドによれば、磁気記録媒体の記録再生時における孤
立再生波形に発生する負の異常小波形が著しく減少し、
ギャップを中心にして左右対称な良好な波形となり、記
録ビットの高密度化に対しても良好な記録密度特性が得
られると共に、再生波形処理上でのスライスレベルの設
定が容易となる。従って情報再生処理の信頼性が向上す
る等、実用上優れた効果を奏する。
第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
要部断面図、 第２図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドによる孤立再生波
形を示す図、 第３図乃至第５図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドを得る
ための一実施例を示す工程図、第６図は従来の薄膜磁気
ヘッドを説明する要部断面図、 第７図は従来の薄膜磁気ヘッドによる孤立再生波形を示
す図である。 第１図において、 ３１は基板、３２は下部磁極層、３２ａは下部磁極先端
部、３７ａは上部磁極傾斜先端部、３３ギャップ層、３
５コイル導体層、３７は上部磁極層、３９は媒体対向面
、２１は記録媒体をそれぞれ示す。 Ｔ 外交１ル湾１気へッ神１； Ｊ ５ Ｊ丸立再主ン薊升
ガ臼第２図 第 ５１
要部断面図、 第２図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドによる孤立再生波
形を示す図、 第３図乃至第５図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドを得る
ための一実施例を示す工程図、第６図は従来の薄膜磁気
ヘッドを説明する要部断面図、 第７図は従来の薄膜磁気ヘッドによる孤立再生波形を示
す図である。 第１図において、 ３１は基板、３２は下部磁極層、３２ａは下部磁極先端
部、３７ａは上部磁極傾斜先端部、３３ギャップ層、３
５コイル導体層、３７は上部磁極層、３９は媒体対向面
、２１は記録媒体をそれぞれ示す。 Ｔ 外交１ル湾１気へッ神１； Ｊ ５ Ｊ丸立再主ン薊升
ガ臼第２図 第 ５１
Claims (1)
- 基板（３１）上にギャップ層（３３）とコイル層（３５
）を挟んで、下部磁極層（３２）と上部磁極層（３７）
を設けてなるヘッド構成において、上記下部磁極層（３
２）及び上部磁極層（３７）を傾け、該上部磁極層（３
７）の傾斜先端部（３７ａ）における傾斜面を記録媒体
（２１）に対して露出させたことを特徴とする薄膜磁気
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15744585A JPS6216222A (ja) | 1985-07-16 | 1985-07-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15744585A JPS6216222A (ja) | 1985-07-16 | 1985-07-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6216222A true JPS6216222A (ja) | 1987-01-24 |
Family
ID=15649810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15744585A Pending JPS6216222A (ja) | 1985-07-16 | 1985-07-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6216222A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03214410A (ja) * | 1990-01-18 | 1991-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
-
1985
- 1985-07-16 JP JP15744585A patent/JPS6216222A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03214410A (ja) * | 1990-01-18 | 1991-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
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