JPH03214756A - チップ剥し治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の製造工程中に使用される治具に関
し、特にウェーハ上に多数の集積回路領域を形成し、そ
の領域を含むチップに分割した後に、チップに分割され
たウェーハが粘着シートに貼り付けられた状態から一つ
ずつ粘着シートよりチップを剥すときに使用するチップ
剥し治具に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の治具は、半導体装置としての組立工程に
おける最初の工程であるウェーハよりチップに分割し、
リードフレームにチップを搭載する工程、すなわちチッ
プマウント工程で使用される。このため、チップ上に微
細なごみ等が付着しないように、種々の対策が施されて
きた。

第３図は従来のチップ剥し治具の一例を説明するための
斜視図である。このチップ剥し治具は、同図に示すよう
に、分割された半導体片であるチップ１を貼り付ける粘
着シ一ト４を引張り取り付けるフラットキャップ５と、
このフラットキャップ５に対向して位置する中心に排気
六６とチップ１の外郭と相似の窪みとをもつコレット２
と、図面には示さないが、フラットキャップの裏面より
突き押し、チップをコレット２に押し付ける突き出し棒
とから構成されてい４る。

このチップ剥し治具で、粘着シート４よりチップ１を剥
し取るときには、まず、突き出し棒により、粘着シ一ト
４に貼られたチップ１を突き上げ、コレット２にチッ１
１を押し付け、接触部７で接触させる。次に、コレット
２の排気六６より真空排気し、チップをコレッ１・２に
吸着する。次に、コレットを上げ、チップ１を粘着シー
１・４より弓き剥す。この後は、図面には示さないが、
コレット２が移動し、マウント装置のステージに載置さ
れたリードフレームのアイランドに移載する。このよう
に、粘着シ一ト４に貼り付けられた多数のチップを一つ
ずつ剥し、リードフレームに移載していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来のチップ剥し治具では、切断時に発
生したシリコン屑がコレット２の接触面７に付着し、こ
の屑が、治具を操作中に落下し、粘着シートに貼り付け
られた残りのチップに乗せられ、そのチップに付着した
屑が、後工程で押しきずを発生したり、電気的特性の不
良をもたらすといった問題がある。

本発明は、かかる問題を解消し、チップに押しきすや、
電気特性の不良を起させないチップ剥し治具を提供する
ことにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のチップ剥し治具は、多数のチップに分割される
とともに粘着シートに貼り付けられたウェーハより、前
記チップを真空吸着力で剥し取る排気穴と、前記チップ
の外形と相似の窪みとをもつコレットを有するチップ剥
し治具において、前記コレットに前記チップとの接触部
の外側付近にチップの外郭に沿って並べて複数の吸込み
穴が設けられていることを特徴としている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すチップ剥し治具のコレ
ットの部分断面図である。このチップ剥し治具は、同図
に示すように、コレット２ａのチップ１の周縁と接触す
る接触部７の外側付近に、排気六６とシャツトバルブ９
を介して通ずる吸込み穴を放射状に並べて多数設けたこ
とである。

このチップ剥し治具を使用して、チップ１を粘着シ一ト
４より剥すとき、チップ１にコレット２ａが接近すると
きに、シャツトバルブ９を開き、吸込み穴８より、チッ
プ１の表面に付着した屑を吸込み取り去る。そして、チ
ップ１にコレット２ａが接触したとき、シャツトハルブ
９が閏じ、チップ１がコレット２ａに吸着される。

第２図は本発明の他の実施例を示すチップ剥し治其のコ
レットの部分断面図である。このチップ剥し治具は、同
図に示すように、チップ１の周縁との接触部の外側に並
べて形成された吸込み六８と通ずる穴と連結する可撓な
排気管１０を設け、排気六６と独立に真空ボンブ（図示
せず）を設けたことである。

このチップ剥し治具は、独立に真空ボンブを設けること
によって、この治具を制御するシーケンス制御装置によ
り、チップ１をコレット２ｂで吸一５一 着後でも、吸込み穴８より屑を吸込む作用を持続するこ
とが出来るので、前述の実施例のチップ剥し治具より、
より屑を落下させないという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、コレッ１へのチップの周
縁と接触する接触部の付近に、チップに付着する屑を吸
込む吸込み穴を設けることにより、後工程でチップに押
しきすを発生ずることもなく、また、電気特性の不良を
発生することのないチップ剥し治具が得られるという効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すチップ剥し治具のコレ
ットの部分断面図、第２図は本発明の他の実施例を示す
チップ剥し治具のコレットの部分断面図、第３図は従来
のチップ剥し治具の一例を説明するための斜視図である
。 １・・・チップ、２、２ａ、２ｂ・・・コレット、３・
・・・・一欠番、４・・・粘着シート、５・・・フラッ
トキャップ、６ ６・・・排気穴、 ７・・・接触部、 ８・・・吸込み穴、 ９・・・シ ヤツトバルブ、 １０・・・排気管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 多数のチップに分割されるとともに粘着シートに貼り付
   けられたウェーハより、前記チップを真空吸着力で剥し
   取る排気穴と、前記チップの外形と相似の窪みとをもつ
   コレットを有するチップ剥し治具において、前記コレッ
   トに前記チップとの接触部の外側付近にチップの外郭に
   沿って並べて複数の吸込み穴が設けられていることを特
   徴とするチップ剥し治具。