JPH03216501A - 小穴径寸法測定方法

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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明はミニチュア軸受のような小内径を有する部品
の内径寸法の測定方法に関するものである。

（従来の技術）小穴の径寸法を簡易に測定しようとする場合、一般的な
方法としてシリンダーゲージタイプの接触式と、小穴の
表面の工・／ヂ部を光学的に拡大、観察しながら座標を
読み取る顕微鏡タイプの非接触式がある。

（発明が解決しようとする課題）しかし、シリングーゲージタイプの接触式では、測定子
を小さくすることに限界があり、数１以下の小穴の径を
測定することが困難である。

また、顕微鏡タイプの非接触式では、穴の表面のエツヂ
部のみが、測定可能で、穴の内部は測定できない。

この発明は工場においても使用できる簡易な測定操作に
より測定できる小穴の内径寸法測定方法の提供を目的と
する。

（課題を解決する為の手段）上記の目的を達成するためにこの発明は、導電性の測定
子の外径と被測定穴径面との隙間が均一になるように測
定子を位置させ、前記隙間の大きさによる静電容量を計
測し、予め求めておいた静電容量値と穴径寸法の関係図
より前記計測の静電容量値をもとに穴径寸法を求めるも
のである。

（作用）披測定穴径に対し、測定子を求心後静電容量を計測し、
この静電容量と穴径寸法の関係図を利用してｍｆｆ！に
穴径寸法を求められる。

（実施例）次に図を参照しながらこの発明の一実施例について説明
する。

１は絶縁体でＸＹテーブル２上に載置されている。この
絶縁体１の上に小内径をもった被測定物３が置かれてい
る。４は先端に鋼球の取付けられた測定子で、図示を省
略した支持部材によって支承されている。５は静電容量
計で、導線によりそれぞれ測定子４と被測定物３と結線
されている。

この測定法においては、絶縁体１上の被測定物３と測定
子４との求心を行うが、この実施例ではＸＹテーブル２
を微小変位させながら被測定物３を移動させ求心する。

この求心は静電容量計５により静電容量の最小となる位
置を探索する。萌記求心は被測定物３の代りに測定子４
を変位させてもよい。

上記のように求心できたら、測定子４の外径と被測定物
３の内径との隙間の大！Ｉｌさによってきまる静電容量
を静電容量計５により計測する。そして各測定子４毎に
、予め穴径寸法と静電容量の関係を求めた図（第２図参
照）により、計測した静電容量値から穴径寸法を求める
ことができる。

上記のように予め測定子毎に穴径寸法と静電容量値の関
係を求めておく必要はあるが、この測定法では前記求心
作業の完了時の静電容量値が即測定値となる。

（発明の効果）この発明は、静電容量を寸法測定に応用することにより
、非接触で測定力による変形のない内径寸法の測定が可
能となる。

求心作業と同時に計測値が求められるので、比較的能率
的である。

しかも測定子に鋼球を用いることにより、測定子の径を
小さくすることができ、例えば０．５ｍｍから数ｍｍの
小穴の径にも十分対応できる。

さらに測定子を内径面に沿って上下動することにより、
内径面の軸方向における任意の位置の測定も可能である
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一寅施例を示す説明用図、第２図は
静電容量値と寸法との関係を示す図である。符号の説明１は絶縁体、２はＸＹテーブル、３は被測定物、４は測
定子、５は静電容量計。

【特許請求の範囲】