JPH0321765B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0321765B2 JPH0321765B2 JP61270484A JP27048486A JPH0321765B2 JP H0321765 B2 JPH0321765 B2 JP H0321765B2 JP 61270484 A JP61270484 A JP 61270484A JP 27048486 A JP27048486 A JP 27048486A JP H0321765 B2 JPH0321765 B2 JP H0321765B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- bearing
- pad piece
- pad
- support shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は圧縮流体の流入圧力によつて案内部
の案内面から軸受部を浮上させる静圧軸受に関す
る。
の案内面から軸受部を浮上させる静圧軸受に関す
る。
（従来の技術）
一般に、静圧軸受として第４図に示す構成のも
のが知られている。第４図中で、１は断面形状が
矩形状の直線案内部、２はこの案内部１に対向配
置された軸受部（移動テーブル）である。この場
合、軸受部２には第５図に示すように案内部１の
各案内面１ａ…と対向する部位に圧縮流体の吹出
口３…が形成されている。そして、図示しない適
宜の圧縮流体供給機構から供給される圧縮流体を
これらの吹出口３…を介して案内部１と軸受部２
との間の間〓（例えば、数μm〜数十μm程度の間
〓）を流入させ、この圧縮流体の流入圧力によつ
て案内部１の各案内面１ａ…から軸受部２を浮上
させることにより、案内部１に沿つて軸受部２を
円滑に移動させるようにしている。
のが知られている。第４図中で、１は断面形状が
矩形状の直線案内部、２はこの案内部１に対向配
置された軸受部（移動テーブル）である。この場
合、軸受部２には第５図に示すように案内部１の
各案内面１ａ…と対向する部位に圧縮流体の吹出
口３…が形成されている。そして、図示しない適
宜の圧縮流体供給機構から供給される圧縮流体を
これらの吹出口３…を介して案内部１と軸受部２
との間の間〓（例えば、数μm〜数十μm程度の間
〓）を流入させ、この圧縮流体の流入圧力によつ
て案内部１の各案内面１ａ…から軸受部２を浮上
させることにより、案内部１に沿つて軸受部２を
円滑に移動させるようにしている。
ところで、この種のものにあつては案内部１の
各案内面１ａ…と軸受部２の各対向面２ａ…との
間が平行状態で保持されていない場合には軸受部
２の吹出口３…を介して案内部１と軸受部２との
間の間〓に流入した圧縮流体が案内部１の各案内
面１ａ…と軸受部２の各対向面２ａ…との間の〓
間の大きい方向に逃げ易いので、所定の性能（剛
性や浮上量等）が得られないおそれがあつた。そ
のため、従来構成のものにあつては案内部１およ
び軸受部２の平行度、直角度等の部品精度を高め
なければならない（例えば、案内部１と軸受部２
との間の間〓の10％以内程度）ので、製作が難し
く、コスト高になる問題があつた。
各案内面１ａ…と軸受部２の各対向面２ａ…との
間が平行状態で保持されていない場合には軸受部
２の吹出口３…を介して案内部１と軸受部２との
間の間〓に流入した圧縮流体が案内部１の各案内
面１ａ…と軸受部２の各対向面２ａ…との間の〓
間の大きい方向に逃げ易いので、所定の性能（剛
性や浮上量等）が得られないおそれがあつた。そ
のため、従来構成のものにあつては案内部１およ
び軸受部２の平行度、直角度等の部品精度を高め
なければならない（例えば、案内部１と軸受部２
との間の間〓の10％以内程度）ので、製作が難し
く、コスト高になる問題があつた。
（発明が解決しようとする問題点）
従来構成のものにあつては案内部１の各案内面
１ａ…と軸受部２の各対向面２ａ…との間が平行
状態で保持されていない場合には所定の性能（剛
性や浮上量等）が得られないおそれがあつたの
で、案内部１および軸受部２の平行度、直角度等
の部品精度を高めなければならず、製作が難し
く、コスト高になる問題があつた。
１ａ…と軸受部２の各対向面２ａ…との間が平行
状態で保持されていない場合には所定の性能（剛
性や浮上量等）が得られないおそれがあつたの
で、案内部１および軸受部２の平行度、直角度等
の部品精度を高めなければならず、製作が難し
く、コスト高になる問題があつた。
この発明は上記問題点に着目してなされたもの
で、案内部および軸受部の部品精度を格別に高く
する必要がなく、製作の容易化およびコスト低下
を図ることができる静圧軸受を提供することを目
的とするものである。
で、案内部および軸受部の部品精度を格別に高く
する必要がなく、製作の容易化およびコスト低下
を図ることができる静圧軸受を提供することを目
的とするものである。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
この発明は案内面を有する案内部と、この案内
部の案内面に対向配置された軸受部とからなり、
前記案内部と前記軸受部との間の間〓に圧縮流体
を流入させこの圧縮流体の流入圧力によつて前記
案内部の案内面から前記軸受部を浮上させる軸圧
軸受において、前記案内部の案内面に離間対向配
置され前記圧縮流体の吹出口が形成されたパツド
片と、このパツド片の前記案内部への対面を前記
案内部の案内面に平行な状態に復帰させる自己調
整部とを備え、前記自己調整部は、前記パツド片
と前記軸受部との間に配設された可撓性の弾性材
料からなる支軸と、この支軸の一部にこの支軸よ
りも外径を細くして形成され前記パツド片の揺動
動作に対応するばね作用を持たせた小径部とから
なるものである。
部の案内面に対向配置された軸受部とからなり、
前記案内部と前記軸受部との間の間〓に圧縮流体
を流入させこの圧縮流体の流入圧力によつて前記
案内部の案内面から前記軸受部を浮上させる軸圧
軸受において、前記案内部の案内面に離間対向配
置され前記圧縮流体の吹出口が形成されたパツド
片と、このパツド片の前記案内部への対面を前記
案内部の案内面に平行な状態に復帰させる自己調
整部とを備え、前記自己調整部は、前記パツド片
と前記軸受部との間に配設された可撓性の弾性材
料からなる支軸と、この支軸の一部にこの支軸よ
りも外径を細くして形成され前記パツド片の揺動
動作に対応するばね作用を持たせた小径部とから
なるものである。
（作用）
パツド片の吹出口からこのパツド片と案内部と
の間の間〓に圧縮流体を流入させこの圧縮流体の
流入圧力によつて案内部の案内面から軸受部を浮
上させるとともに、パツド片が案内部の案内面と
平行な状態から外れた場合には支軸の小径部を揺
動支点としてパツド片を揺動動作させ、パツド片
の案内部への対面を案内部の案内面に平行な状態
に復帰させるようにしたものである。
の間の間〓に圧縮流体を流入させこの圧縮流体の
流入圧力によつて案内部の案内面から軸受部を浮
上させるとともに、パツド片が案内部の案内面と
平行な状態から外れた場合には支軸の小径部を揺
動支点としてパツド片を揺動動作させ、パツド片
の案内部への対面を案内部の案内面に平行な状態
に復帰させるようにしたものである。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を第１図および第２
図を参照して説明する。第１図は第２図に示す静
圧軸受の要部の概略構成を示すもので、１１は断
面形状が矩形状の直線案内部、１２はこの案内部
１１に対向配置された軸受部（移動テーブル）で
ある。この場合、軸受部１２には第２図に示すよ
うに４枚の平板状のハウジング構成部材１３…が
矩形状に接合されて形成されたハウジング１４が
設けられている。
図を参照して説明する。第１図は第２図に示す静
圧軸受の要部の概略構成を示すもので、１１は断
面形状が矩形状の直線案内部、１２はこの案内部
１１に対向配置された軸受部（移動テーブル）で
ある。この場合、軸受部１２には第２図に示すよ
うに４枚の平板状のハウジング構成部材１３…が
矩形状に接合されて形成されたハウジング１４が
設けられている。
また、このハウジング１４の各ハウジング構成
部材１３内面にはそれぞれ一対の静圧流体パツド
１５が設けられている。この静圧流体パツド１５
には第１図に示すように案内部１１の案内面１１
ａに離間対向配置され、例えば空気等の圧縮流体
の吹出口１６が形成されたパツド片１７およびこ
のパツド片１７が案内部１１の案内面１１ａに対
し平行状態から外れた場合に案内部１１の案内面
１１ａに平行な状態に復帰させる自己調整部１８
がそれぞれ設けられている。この場合、自己調整
部１８はパツド片１７と軸受部１２のハウジング
１４との間に配設された可撓性の弾性材料からな
る支軸１９と、この支軸１９の一部にこの支軸１
９よりも外径を細くして形成されパツド片１７の
揺動動作に対応するばね作用を持たせた小径部２
０とから形成されている。また、支軸１９の材質
としては例えばばね鋼等の金属材料、或いはプラ
スチツク材料等が使用される。さらに、静圧流体
パツド１５の支軸１９の基端部には取付けフラン
ジ２１が形成されており、この取付けフランジ２
１を介して静圧流体パツド１５が軸受部１２のハ
ウジング１４にねじ止めされている。また、静圧
流体パツド１５の軸心部にはパツド片１７の吹出
口１６に連通させた流体通路２２が形成されてい
る。この流体通路２２の先端部には他の部分より
も穴径を小さく絞つた自成絞り部２３が形成され
ている。ここで、支軸１９の材質としては例えば
ばね鋼が採用され、支軸１９の外径寸法が例えば
５〜10mm程度に設定された場合には小径部２０の
外径は２〜３mm程度、支軸１９の軸心部の流体通
路２２の内径（直径）は0.1〜0.5mm程度にそれぞ
れ設定されている。なお、静圧流体パツド１５の
パツド片１７は必ずしも円形のものである必要は
なく、軸心に対し円形以外の線対称形状のもので
あつてもよい。
部材１３内面にはそれぞれ一対の静圧流体パツド
１５が設けられている。この静圧流体パツド１５
には第１図に示すように案内部１１の案内面１１
ａに離間対向配置され、例えば空気等の圧縮流体
の吹出口１６が形成されたパツド片１７およびこ
のパツド片１７が案内部１１の案内面１１ａに対
し平行状態から外れた場合に案内部１１の案内面
１１ａに平行な状態に復帰させる自己調整部１８
がそれぞれ設けられている。この場合、自己調整
部１８はパツド片１７と軸受部１２のハウジング
１４との間に配設された可撓性の弾性材料からな
る支軸１９と、この支軸１９の一部にこの支軸１
９よりも外径を細くして形成されパツド片１７の
揺動動作に対応するばね作用を持たせた小径部２
０とから形成されている。また、支軸１９の材質
としては例えばばね鋼等の金属材料、或いはプラ
スチツク材料等が使用される。さらに、静圧流体
パツド１５の支軸１９の基端部には取付けフラン
ジ２１が形成されており、この取付けフランジ２
１を介して静圧流体パツド１５が軸受部１２のハ
ウジング１４にねじ止めされている。また、静圧
流体パツド１５の軸心部にはパツド片１７の吹出
口１６に連通させた流体通路２２が形成されてい
る。この流体通路２２の先端部には他の部分より
も穴径を小さく絞つた自成絞り部２３が形成され
ている。ここで、支軸１９の材質としては例えば
ばね鋼が採用され、支軸１９の外径寸法が例えば
５〜10mm程度に設定された場合には小径部２０の
外径は２〜３mm程度、支軸１９の軸心部の流体通
路２２の内径（直径）は0.1〜0.5mm程度にそれぞ
れ設定されている。なお、静圧流体パツド１５の
パツド片１７は必ずしも円形のものである必要は
なく、軸心に対し円形以外の線対称形状のもので
あつてもよい。
次に、上記構成の作用について説明する。ま
ず、静圧軸受の使用時には図示しない適宜の圧縮
流体供給機構から流体通路２２を介して供給され
る例えば空気等の圧縮流体が第１図中に矢印で示
すように静圧流体パツド１５の吹出口１６…から
案内部１１と静圧流体パツド１５のパツド片１７
との間の間〓に流入される。そして、この圧縮流
体の流入圧力によつて案内部１１の各案内面１１
ａ…から静圧流体パツド１５のパツド片１７を浮
上させる。この状態で、パツド片１７が案内部１
１の案内面１１ａに対し平行状態から外れた場合
には案内部１１の案内面１１ａと静圧流体パツド
１５のパツド片１７との間の間〓内各部に圧力差
が発生するので、静圧流体パツド１５の支軸１９
が小径部２０を中心に案内部１１の案内面１１ａ
と静圧流体パツド１５のパツド片１７との間の間
〓内各部の圧力差を小さくする方向に弾性変形
し、静圧流体パツド１５のパツド片１７を案内部
１１の案内面１１ａに平行な状態に復帰させる。
なお、この静圧流体パツド１５の支軸１９は材質
として例えばばね鋼が採用され、この支軸１９の
外径寸法が例えば５〜10mm程度に設定された場合
には小径部２０の外径は２〜３mm程度、支軸１９
の軸心部の流体通路２２の内径（直径）は0.1〜
0.5mm程度にそれぞれ設定されているので、軸心
方向の力に対しては座屈しないように充分な剛性
を持つように設計されている。
ず、静圧軸受の使用時には図示しない適宜の圧縮
流体供給機構から流体通路２２を介して供給され
る例えば空気等の圧縮流体が第１図中に矢印で示
すように静圧流体パツド１５の吹出口１６…から
案内部１１と静圧流体パツド１５のパツド片１７
との間の間〓に流入される。そして、この圧縮流
体の流入圧力によつて案内部１１の各案内面１１
ａ…から静圧流体パツド１５のパツド片１７を浮
上させる。この状態で、パツド片１７が案内部１
１の案内面１１ａに対し平行状態から外れた場合
には案内部１１の案内面１１ａと静圧流体パツド
１５のパツド片１７との間の間〓内各部に圧力差
が発生するので、静圧流体パツド１５の支軸１９
が小径部２０を中心に案内部１１の案内面１１ａ
と静圧流体パツド１５のパツド片１７との間の間
〓内各部の圧力差を小さくする方向に弾性変形
し、静圧流体パツド１５のパツド片１７を案内部
１１の案内面１１ａに平行な状態に復帰させる。
なお、この静圧流体パツド１５の支軸１９は材質
として例えばばね鋼が採用され、この支軸１９の
外径寸法が例えば５〜10mm程度に設定された場合
には小径部２０の外径は２〜３mm程度、支軸１９
の軸心部の流体通路２２の内径（直径）は0.1〜
0.5mm程度にそれぞれ設定されているので、軸心
方向の力に対しては座屈しないように充分な剛性
を持つように設計されている。
そこで、上記構成のものにあつては案内部１１
の案内面１１ａに離間対向配置され、圧縮流体の
吹出口１６が形成されたパツド片１７およびこの
パツド片１７が案内部１１の案内面１１ａに対し
て平行状態から外れた場合に案内部１１の案内面
１１ａに平行な状態に復帰させる自己調整部１８
を備えた静圧流体パツド１５を軸受部１２に設
け、軸受部１２のパツド片１７が案内部１１の案
内面１１ａに対し平行状態から外れた場合に自己
調整部１８の復帰力によつて案内部１１の案内面
１１ａに平行な状態に復帰させるようにしたの
で、案内部１１および軸受部１２の平行度、直角
度等の部品精度を例えば、案内部１１と軸受部１
２との間の間〓の80〜90％程度にすることができ
る。そのため、従来のように案内部１１および軸
受部１２の平行度、直角度等の部品精度を案内部
１１と軸受部１２との間の間〓の10％以内程度に
した場合に比べて製作の容易化およびコスト低下
を図ることができる。
の案内面１１ａに離間対向配置され、圧縮流体の
吹出口１６が形成されたパツド片１７およびこの
パツド片１７が案内部１１の案内面１１ａに対し
て平行状態から外れた場合に案内部１１の案内面
１１ａに平行な状態に復帰させる自己調整部１８
を備えた静圧流体パツド１５を軸受部１２に設
け、軸受部１２のパツド片１７が案内部１１の案
内面１１ａに対し平行状態から外れた場合に自己
調整部１８の復帰力によつて案内部１１の案内面
１１ａに平行な状態に復帰させるようにしたの
で、案内部１１および軸受部１２の平行度、直角
度等の部品精度を例えば、案内部１１と軸受部１
２との間の間〓の80〜90％程度にすることができ
る。そのため、従来のように案内部１１および軸
受部１２の平行度、直角度等の部品精度を案内部
１１と軸受部１２との間の間〓の10％以内程度に
した場合に比べて製作の容易化およびコスト低下
を図ることができる。
さらに、支軸１９の外周面を切削して小径部２
０を形成する簡単な作業によつて自己調整部１８
を製作することができるので、自己調整部１８の
製作時には球状の接触面等を製作する面倒な作業
を不要とすることができ、その作業の容易化を図
ることができる。
０を形成する簡単な作業によつて自己調整部１８
を製作することができるので、自己調整部１８の
製作時には球状の接触面等を製作する面倒な作業
を不要とすることができ、その作業の容易化を図
ることができる。
なお、この発明は上記実施例に限定されるもの
ではない。例えば、第３図に示すように平面状態
の基準面４１上に断面形状が略逆台形状の案内部
４２を突出させるとともに、この案内部４２の形
状と対応する形状のハウジング４３を備えた軸受
部４４を設け、この軸受部４４のハウジング４３
内面に複数の静圧流体パツド１５…を装着する構
成にしてもよい。
ではない。例えば、第３図に示すように平面状態
の基準面４１上に断面形状が略逆台形状の案内部
４２を突出させるとともに、この案内部４２の形
状と対応する形状のハウジング４３を備えた軸受
部４４を設け、この軸受部４４のハウジング４３
内面に複数の静圧流体パツド１５…を装着する構
成にしてもよい。
さらに、その他この発明の要旨を逸脱しない範
囲で種々変形実施できることは勿論である。
囲で種々変形実施できることは勿論である。
［発明の効果］
この発明によれば案内部の案内面に離間対向配
置され、圧縮流体の吹出口が形成されたパツド片
と、このパツド片の案内部への対面を案内部の案
内面に平行な状態に復帰させる自己調整部とを設
け、自己調整部は、前記パツド片と軸受部との間
に配設された可撓性の弾性材料からなる支軸と、
この支軸の一部にこの支軸よりも外径を細くして
形成され前記パツド片の揺動動作に対応するばね
作用を持たせた小径部とから形成したので、案内
部および軸受部の部品精度を格別に高くする必要
がなく、製作の容易化およびコスト低下を図るこ
とができる。
置され、圧縮流体の吹出口が形成されたパツド片
と、このパツド片の案内部への対面を案内部の案
内面に平行な状態に復帰させる自己調整部とを設
け、自己調整部は、前記パツド片と軸受部との間
に配設された可撓性の弾性材料からなる支軸と、
この支軸の一部にこの支軸よりも外径を細くして
形成され前記パツド片の揺動動作に対応するばね
作用を持たせた小径部とから形成したので、案内
部および軸受部の部品精度を格別に高くする必要
がなく、製作の容易化およびコスト低下を図るこ
とができる。
第１図および第２図はこの発明の一実施例を示
すもので、第１図は静圧流体パツドを示す要部の
縦断面図、第２図は静圧軸受全体の概略構成を示
す縦断面図、第３図は他の実施例を示す要部の縦
断面図、第４図および第５図は従来例を示すもの
で、第４図は静圧軸受全体の概略構成を示す斜視
図、第５図は同縦断面図である。 １１……案内部、１１ａ……案内面、１２……
軸受部、１５……静圧流体パツド、１６……吹出
口、１７……パツド片、１８……自己調整部、１
９……支軸、２０……小径部。
すもので、第１図は静圧流体パツドを示す要部の
縦断面図、第２図は静圧軸受全体の概略構成を示
す縦断面図、第３図は他の実施例を示す要部の縦
断面図、第４図および第５図は従来例を示すもの
で、第４図は静圧軸受全体の概略構成を示す斜視
図、第５図は同縦断面図である。 １１……案内部、１１ａ……案内面、１２……
軸受部、１５……静圧流体パツド、１６……吹出
口、１７……パツド片、１８……自己調整部、１
９……支軸、２０……小径部。
Claims (1)
- １ 案内面を有する案内部と、この案内部の案内
面に対向配置された軸受部とからなり、前記案内
部と前記軸受部との間の間〓に圧縮流体を流入さ
せこの圧縮流体の流入圧力によつて前記案内部の
案内面から前記軸受部を浮上させる静圧軸受にお
いて、前記案内部の案内面に難間対向配置され前
記圧縮流体の吹出口が形成されたパツド片と、こ
のパツド片の前記案内部への対面を前記案内部の
案内面に平行な状態に復帰させる自己調整部とを
備え、前記自己調整部は、前記パツド片と前記軸
受部との間に配設された可撓性の弾性材料からな
る支軸と、この支軸の一部にこの支軸よりも外径
を細くして形成され前記パツド片の揺動動作に対
応するばね作用を持たせた小径部とからなること
を特徴とする静圧軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27048486A JPS63125820A (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 静圧軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27048486A JPS63125820A (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 静圧軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63125820A JPS63125820A (ja) | 1988-05-30 |
| JPH0321765B2 true JPH0321765B2 (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=17486936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27048486A Granted JPS63125820A (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 | 静圧軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63125820A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01305204A (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-08 | Hitachi Ltd | 低圧給水加熱器 |
| JPH0647135Y2 (ja) * | 1988-10-18 | 1994-11-30 | エヌティエヌ株式会社 | エアスライド装置 |
| DE102004012204B3 (de) * | 2004-03-12 | 2005-05-25 | Siemens Ag | Winkelluftlager mit linear zueinander verschiebbaren länglichen Führungsteilen |
| DE102005063326B4 (de) * | 2005-02-24 | 2014-01-16 | AeroLas GmbH Aerostatische Lager- Lasertechnik | Aerostatisches Lager mit einem Lagerfuß |
| DE102005023998A1 (de) * | 2005-05-25 | 2006-12-14 | Schaeffler Kg | Hydrostatische Lagerung |
| DE102018202772B4 (de) * | 2018-02-23 | 2023-08-10 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Halteeinrichtung für eine Luftlagereinrichtung, Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zur Herstellung einer Halteeinrichtung |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5155572U (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-28 | ||
| JPS59121524U (ja) * | 1983-02-01 | 1984-08-16 | オムロン株式会社 | 空気軸受パツト |
| JPS6193622U (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-17 |
-
1986
- 1986-11-13 JP JP27048486A patent/JPS63125820A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63125820A (ja) | 1988-05-30 |
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