JPH0530547U - Ｘ−ｙテーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 Ｘ−Ｙテーブルに関し、外乱の影響を減少な
いし解消させて、メインテーブルの送り精度を高めるこ
とを目的とする。 【構成】 メインテーブル２にＸ軸方向に直交するＸプ
ラス受動平面26ｘ及びＸマイナス受動平面27ｘとＹ軸方
向に直交するＹプラス受動面26ｙ及びＹマイナス受動面
27ｙとを設け、これらに近接させて対向させたＸ軸駆動
手段３のＸプラス駆動平面35、Ｘマイナス駆動平面36、
Ｙプラス駆動平面45及びＹマイナス駆動平面46との各間
に加圧空気供給手段５で加圧空気を供給する構成とす
る。また、ベーステーブル１にメインテーブル２を加圧
空気供給手段６から供給される加圧空気層を介して浮動
状に支持させる構成とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば顕微鏡の試料台、光学測定器の載物台等の高精度の微動送り を必要とするＸ−Ｙテーブルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、例えば顕微鏡の試料台、光学測定器の載物台等の高精度の微動送りを必 要とするＸ─Ｙテーブルとしては、例えば図５に示すように、Ｘ送りテーブル10 1にＹ送りテーブル102をＸ軸方向に摺動可能に載置するとともに、Ｙ送りテーブ ル102にメインテーブル103をＹ軸方向に摺動可能に載置し、Ｘ送りテーブル101 に回転自在に支持させたＸボールネジ機構104にＹ送りテーブル102を螺進退可能 に螺合させるとともに、Ｙ送りテーブル102に回転自在に支持させたＹボールネ ジ機構105にメインテーブル103を螺進退可能に螺合させる構造のものがある。

【０００３】 この第１の従来例では、上記Ｘ送りテーブル101は別に設けられる図示しない ベーステーブルの基準面に載置され、Ｘボールネジ機構104とＹボールネジ機構 105とはそれぞれ互いに独立した例えばステッピングモータ、サーボモータ等の 駆動装置に機械的に連動連結される。 また、例えば図６に示すように、適当な間隔を置いてＹ軸と平行に配置された １対のＹ軸ガイド201・201にＸ軸と平行に配置されたＸ軸ガイド202をＹ軸方向 に摺動可能に支持させ、Ｘ軸ガイド202にメインテーブル203を摺動自在に支持さ せる構造のものがある。

【０００４】 この第２の従来例では、上記Ｙ軸ガイド201・201はスペーサ204を介して別に 設けられる図示しないベーステーブルの基準面に載置され、メインテーブル203 はＸ軸ガイド202に機械的に連動連結される図示しないＹ軸駆動装置でＹ軸方向 に進退駆動されるとともに、メインテーブル203に直接に機械的に連動連結され る図示しないＸ軸駆動装置でＸ軸方向に進退駆動されるように構成してある。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

上記第１の従来例では、駆動装置がＸボールネジ機構104あるいはＹボールネ ジ機構105に機械的に連動連結されているので、駆動装置の振動を含む外部の振 動（以下、外乱という）がＸボールネジ機構104、Ｙ送りテーブル102、Ｙボール ネジ機構105を介してあるいはＹボールネジ機構105から直接にメインテーブル10 3に伝達されることになり、送り精度を高める上で不利になる。

【０００６】 また、Ｘ送りテーブル101、Ｙ送りテーブル102およびメインテーブル103が上 下に３段重ねになるため、ベーステーブルの基準面からの高さが高くなる。この ため、外乱、特にＸボールネジ機構104、Ｙ送りテーブル102、Ｙボールネジ機構 105を介してメインテーブル103に伝達される外乱の影響はメインテーブル103に 増幅して現れることがあり、送り精度を高める上で一層不利になる。

【０００７】 さらに、Ｘボールネジ機構104およびＹボールネジ機構105は両端がＸ送りテー ブル101あるいはＹ送りテーブル102に支持されるので、Ｘ送りテーブル101およ びＹ送りテーブル102をＸ軸方向あるいはＹ軸方向のメインテーブル103のストロ ークよりも大きくする必要があり、平面積も大きくなる。 上記第２の従来例でも、外乱がＸ軸ガイド202を介して、あるいは直接にメイ ンテーブル203に伝達されることに変わりはなく、送り精度を高める上で不利な ことも変わりない。

【０００８】 また、Ｙ軸ガイド201・201とＸ軸ガイド202とを同じ高さに配置することがで きるので、第１の従来例よりは全高を低くすることができ、小型にできる。しか しながら、ベーステーブル上にスペーサ204を介してＹ軸ガイド201・201、Ｘ軸 ガイド202およびメインテーブル203が支持されるので、ベーステーブル上の高さ を低くして送り精度を高めるという観点からは不満が残されている。

【０００９】 また、Ｙ軸ガイド201・201の両端及びＸ軸ガイド202の両端をＸ軸方向あるい はＹ軸方向のメインテーブル103のストロークよりも大きく延出する必要があり 、平面積も大きくなる。 本考案は、上記の事情を鑑みてなされたものであり、その目的は外乱の影響を 減少ないし解消させて、メインテーブルの送り精度を高めることにある。

【００１０】 さらに詳しく述べると、請求項１に記載の本考案は、外乱のメインテーブルへ の伝達を防止して、送り精度を高めることを目的とするものであり、また、請求 項２に記載の本考案は、ベーステーブルに直接にメインテーブルを支持させて、 メインテーブルの振動を減少ないし解消させて、送り精度を高めることを目的と するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

本考案に係るＸ−Ｙテーブルは、例えば図１に示すように、ベーステーブル１ と、ベーステーブル１にＸ軸方向およびこれに直交するＹ軸方向に変位可能に支 持されたメインテーブル２と、メインテーブル２をＸ軸方向に進退駆動するＸ軸 駆動手段３と、メインテーブル２をＹ軸方向に進退駆動するＹ軸駆動手段４とを 有するＸ−Ｙテーブルを前提として、上記の目的を達成するため、次のような手 段を講じている。

【００１２】 すなわち、請求項１に記載の本考案は、メインテーブル２にＸ軸方向に直交す るＸプラス受動平面26ｘおよびＸマイナス受動平面27ｘと、Ｙ軸方向に直交する Ｙプラス受動平面26ｙおよびＹマイナス受動平面27ｙとを設け、Ｘ軸駆動手段３ にＸプラス受動平面26ｘに近接して対向するＸプラス駆動平面35と、Ｘマイナス 受動平面27ｘに近接して対向するＸマイナス駆動平面36とを設け、Ｙ軸駆動手段 ４にＹプラス受動平面26ｙに近接して対向するＹプラス駆動平面45と、Ｙマイナ ス受動平面27ｙに近接して平行に対向するＹマイナス駆動平面46とを設け、各受 動平面26ｘ、27ｘ、26ｙ、27ｙと対応する各駆動平面35、36、45、46との間に加 圧空気を供給する加圧空気供給手段５を設けることを特徴とするものである。

【００１３】 また、請求項２に記載の本考案は、ベーステーブル１が平坦なテーブル板11を 有し、このテーブル板11はメインテーブル２の移動範囲を制限する貫通孔13を有 し、メインテーブル２はテーブル板11の上下両面に近接し、テーブル板11を間に 挟んで互いに対向して配置される上下両板21、22と、貫通孔13に挿通され、上下 両板21、22を連結するスペーサ23とを備え、上下両板21、22とテーブル板11の上 下両面との間に加圧空気を供給する加圧空気供給手段６を設けることを特徴とす るものである。

【００１４】

【作用】

請求項１に記載の本考案においては、Ｘ軸駆動手段３のＸ軸方向の駆動力は、 Ｘプラス駆動平面35からメインテーブル２のＸプラス受動平面26ｘに、あるいは 、Ｘマイナス駆動平面36からメインテーブル２のＸマイナス受動平面27ｘに伝達 される。

【００１５】 しかし、Ｘプラス駆動平面35とＸプラス受動平面26ｘとの間、また、Ｘマイナ ス駆動平面36とＸマイナス受動平面27ｘとの間には加圧空気供給手段５から供給 された加圧空気の層が介在するので、この加圧空気層のクッション作用により、 Ｘプラス駆動平面35あるいはＸマイナス受動平面27ｘに伝達された外乱がＸプラ ス受動平面26ｘあるいはＸマイナス受動平面27ｘに機械的に伝達されることがな い。

【００１６】 一方、Ｘ軸駆動手段３によりメインテーブル２をＸ軸方向に駆動している時に は、メインテーブルのＹプラス受動平面26ｙ及びＹマイナス受動平面27ｙと、Ｙ 軸駆動手段４のＹプラス駆動平面45及びＹマイナス駆動平面45とがＹ軸に直交す る平面であるので、Ｙ軸に直交するＸ軸方向へのメインテーブル２の移動の妨げ となるおそれはない。

【００１７】 しかも、Ｙプラス受動平面26ｙとＹプラス駆動平面45との間、Ｙマイナス受動 平面27ｙとＹマイナス駆動平面45との間に加圧空気供給手段５から供給される加 圧空気の層が形成されるので、加圧空気層の潤滑作用によってこれらの間に摩擦 が生じなくなるので、小出力のＸ軸駆動手段３を使用することかできるようにな り、Ｘ軸駆動手段３を小型にできる。

【００１８】 Ｙ軸駆動手段４によるメインテーブル２のＹ軸方向への駆動についても、その 駆動方向が異なる点を除けば全く同様である。 すなわち、Ｙ軸駆動手段４からメインテーブル２への外乱の伝達はＹプラス受 動平面26ｙとＹプラス駆動平面45との間及びＹマイナス受動平面27ｙとＹマイナ ス駆動平面45との間に形成される加圧空気層のクッション作用によって遮断され る。

【００１９】 また、Ｘプラス受動平面26ｘ、Ｘマイナス受動平面27ｘ、Ｘプラス駆動平面35 及びＸマイナス駆動平面36がＹ軸方向へのメインテーブル２の移動の妨げとなる おそれはなくなる。 さらに、Ｘプラス受動平面26ｘとＸプラス駆動平面35との間、Ｘマイナス受動 平面27ｘとＸマイナス駆動平面36との間に形成される加圧空気層の潤滑作用によ ってこれらの間に摩擦が生じなくなるので、小出力のＹ軸駆動手段４を使用でき るようになり、Ｙ軸駆動手段４を小型にできる。

【００２０】 請求項２に記載の本考案においては、上下両板21、22とテーブル板11の上下両 面との間に加圧空気供給手段６により加圧空気が供給されるので、メインテーブ ル２はこの加圧空気によって形成される加圧空気層を介してベーステーブル１に 浮動状に支持される。この加圧空気層はメインテーブル２に伝達された外乱に対 してクッション作用及びダンパ作用を発揮し、その外乱の振幅を減少させるとと もに短時間内に減衰させて外乱を解消することになる。

【００２１】 また、メインテーブル２の移動時には、この加圧空気層の潤滑作用により上下 両板21、22とテーブル板11の上下両面との直接接触が防止されるので、摩擦抵抗 が無くなり、小出力のＸ軸駆動手段３およびＹ軸駆動手段４を使用できるように なり、Ｘ軸駆動手段３およびＹ軸駆動手段４を小型にできる。

【００２２】

【実施例】

本考案の一実施例に係るＸ−Ｙテーブルを図１ないし図４とに基づき具体的に 説明すれば、以下の通りである。 図２は本考案の一実施例に係るＸ−Ｙテーブルの底面図であり、図１は本考案 の一実施例に係るＸ−Ｙテーブルの要部の縦断正面図であり、図２のＡ−Ａ線縦 断面図に相当する。また、図２は該Ｘ−Ｙテーブルの底面図であり、図３は図２ のＢ─Ｂ線縦断面図であり、図４はその外観斜視図である。

【００２３】 このＸ−Ｙテーブルは、図２に示すように、ベーステーブル１と、ベーステー ブル１にＸ軸方向およびこれに直交するＹ軸方向に変位可能に支持されたメイン テーブル２と、メインテーブル２をＸ軸方向に進退駆動するＸ軸駆動手段３と、 メインテーブル２をＹ軸方向に進退駆動するＹ軸駆動手段４とを有している。 上記ベーステーブル１は水平に配置される正方形のテーブル板11と、このテー ブル板11の４隅部の下面から下方に連出された４本の脚12とを備え、図１に示す ように、上記テーブル板11の中央部にはメインテーブル２の移動範囲を制限する 貫通孔13が形成される。

【００２４】 上記メインテーブル２は、図１に示すように、テーブル板11の上下両面に近接 し、テーブル板11を間に挟んで互いに対向して配置される上下両板21、22と、貫 通孔13に挿通され、上下両板21、22を連結するスペーサ23とを備える。なお、ス ペーサ23の高さはテーブル板11の上下両面と上下両板21、22との間にそれぞれ数 μｍ程度の隙間が生じる程度に設定される。

【００２５】 上下両板21、22とテーブル板11の上下両面との間には、それぞれ例えば数μｍ 程度の隙間が設けられ、これらの隙間に加圧空気供給手段６によって加圧空気が 供給される。加圧空気供給手段６は、順に接続される図示しない加圧空気供給源 および加圧空気配管と、図１に示すようにメインテーブル２内に形成した加圧空 気供給路61とを備える。

【００２６】 加圧空気供給路61はメインテーブル２の上下両板21、22内で放射状に均等配置 される多数の分岐路62に分岐され、各分岐路62の各端末に形成された微小開口63 は、上下両板21、22からテーブル板11の上下両面に向かって開口される。 加圧空気供給路61はベーステーブル１のテーブル板11内に形成してもよいが、 この場合には、常時全ての微小開口63がメインテーブル２に対向して開口してい ることが必要である。したがって、メインテーブル２の移動によって微小開口63 がメインテーブル２から開放されることを防止するため、メインテーブル２の移 動領域を狭く限定するか、微小開口63を貫通孔13の近傍に開口させるかする必要 がある。微小開口63を貫通孔13の近傍に開口させる場合には、メインテーブル２ の重心を中心とする振動を効果的に緩衝し、減衰させるため、加圧空気の空気圧 を高くする必要がある。

【００２７】 そこで、この実施例では、加圧空気供給路61をメインテーブル２内に形成して 、メインテーブル２の周縁部で加圧空気供給路61を開口させることにより、メイ ンテーブル２の移動領域を狭めることなく、比較的低圧の加圧空気で効果的にメ インテーブル２の重心を中心とする振動を効果的に緩衝し、減衰させることがで きるようにしている。

【００２８】 また、この場合、ベーステーブル１のテーブル板11はメインテーブル２の移動 領域の外周を覆う程度の広さを備えればよい。 なお、この実施例では、ベーステーブル１のテーブル板11の上面にメインテー ブル２の移動領域の外周を囲む加圧空気逃がし溝14が形成され、ベーステーブル １のテーブル板11はこれよりも大きく形成されている。

【００２９】 図２に示すように、上記メインテーブル２には、Ｘ軸方向に直交するＸプラス 受動平面26ｘおよびＸマイナス受動平面27ｘと、Ｙ軸方向に直交するＹプラス受 動平面26ｙおよびＹマイナス受動平面27ｙとを設け、Ｘ軸駆動手段３にＸプラス 受動平面26ｘに近接して対向するＸプラス駆動平面35と、Ｘマイナス受動平面27 ｘに近接して対向するＸマイナス駆動平面36とが設けられる。

【００３０】 すなわち、上記メインテーブル２の下面には、平面視（あるいは底面視）にお いてＬ字形に配置される２つの垂直壁24ｘ、24ｙを有する受動主ブロック24が、 各垂直壁24ｘ、24ｙをＸ軸とＹ軸とに直交させるように配置して固定される。ま た、メインテーブル２の下面には、受動主ブロック24の各垂直壁24ｘ、24ｙに所 定の距離を置いて対向させた１対の副ブロック26ｘｘ、26ｘｙが固定される。

【００３１】 そして、図２および図１に示すように、受動主ブロック24のＸ軸に直交する垂 直壁24ｘおよびこれに対向させた副ブロック26ｘｘの互いに対向する平面でＸプ ラス受動平面26ｘおよびＸマイナス受動平面27ｘが構成される。 また、受動主ブロック24のＹ軸に直交する垂直壁24ｙとこれに対向させた垂直 壁24ｙの互いに対向する平面でＹプラス受動平面26ｙおよびＹマイナス受動平面 27ｙが構成される。

【００３２】 上記Ｘ軸駆動手段３は、図２に示すように、メインテーブル２の下面にＸ軸方 向に伸縮するように配置して固定された圧電アクチュエータ31と、ベーステーブ ル１の下面にＸ軸方向に摺動可能に支持されたＸサブスライド32と、圧電アクチ ュエータ31の出力端をＸサブスライド32に連結するＸ駆動伝達ガイド33と、Ｘサ ブスライド32の一端に固定されたＸカップリングブレート34とを備える。

【００３３】 図１に示すように、Ｘカップリングプレート34は、Ｘプラス受動平面26ｘとＸ マイナス受動平面27ｘとの間に挿入され、その両端面がＸプラス受動平面26ｘに 近接して対向するＸプラス駆動平面35と、Ｘマイナス受動平面27ｘに近接して対 向するＸマイナス受動平面27ｘに近接して対向するＸマイナス駆動平面36とを構 成する。

【００３４】 Ｘプラス受動平面26ｘとＸプラス受動平面26ｘとの間およびＸマイナス受動平 面27ｘに近接して対向するＸマイナス駆動平面36との間にはそれぞれ例えば数μ ｍ程度の隙間を設けてあり、これらの隙間に加圧空気供給手段５によって加圧空 気が供給される。 加圧空気供給手段５は、順に接続される図示しない加圧空気供給源および加圧 空気配管と、図１に示すようにＸカップリングプレート34内とＸサブスライド32 内とにわたって形成した加圧空気供給路51とを備える。

【００３５】 加圧空気供給路51はＸカップリングプレート34内でＸ軸の両方向に分岐され、 それらの先端に形成した微小開口52がそれぞれＸプラス受動平面26ｘとＸマイナ ス受動平面27ｘとに向かって開口される。 加圧空気供給路51はメインテーブル２内に形成してもよいが、この実施例では 加圧空気供給路61はメインテーブル２内に形成したのと同様の理由でＸカップリ ングプレート34内とＸサブスライド32内とにわたって形成している。

【００３６】 なお、上記Ｘサブスライド32はベーステーブル１の下面に摺動可能に支持され ておればよく、ここでは、図３および図１示すように、ベーステーブル１の下面 に固定したＸスライド台37ｘと、Ｘスライド台37ｘの下面のＹ軸方向の両側部に 固定した落下防止兼用の案内部材38ｙとの間に摺動可能に保持させている。 Ｙ軸駆動手段４は、Ｘ軸駆動手段３と同様に構成されている。すなわち、メイ ンテーブル２にＹ軸方向に直交するＹプラス受動平面26ｙおよびＹマイナス受動 平面27ｙとを設け、Ｙ軸駆動手段４にＹプラス受動平面26ｙに近接して対向する Ｙプラス駆動平面45と、Ｙマイナス受動平面27ｙに近接して平行に対向するＹマ イナス駆動平面45とを設け、各受動平面26ｙ、26ｙと対応する各駆動平面45、46 との間に加圧空気供給手段５から加圧空気が供給されるように構成される。

【００３７】 その他のＸ軸駆動手段３に対応するＹ軸駆動手段４の各部分にはＸをＹと読替 え、ｘをｙと読み替えた名称と、ＸをＹと読替え、ｘをｙと読み替えるとともに 十の位の４を４と読み替えた符号とが付される。 このＸ−Ｙテーブルにおいては、端的に言えば、メインテーブル２がＸ軸駆動 手段３およびＹ軸駆動手段４に空気ベアリングを介して連結されるとともに、ベ ーステーブル１のベース板11にテーブル板11に空気ベアリングを介して浮動状に 支持されている。

【００３８】 したがって、メインテーブル２がＸ軸駆動手段３およびＹ軸駆動手段４に空気 ベアリングを介して連結されているので、Ｘ軸駆動手段３およびＹ軸駆動手段４ の駆動力はそれぞれメインテーブル２に伝達されるが、Ｘ軸駆動手段３およびＹ 軸駆動手段４から伝達される外乱はメインテーブル２には伝達されなくなる。 すなわち、Ｘ軸駆動手段３のＸ軸方向の駆動力は、Ｘプラス駆動平面35からメ インテーブル２のＸプラス受動平面26ｘに、あるいは、Ｘマイナス駆動平面36か らメインテーブル２のＸマイナス受動平面27ｘに加圧空気層の圧力を媒介として 伝達される。

【００３９】 しかし、Ｘプラス駆動平面35とＸプラス受動平面26ｘとの間、また、Ｘマイナ ス駆動平面36とＸマイナス受動平面27ｘとの間には加圧空気供給手段５から供給 された例えば厚さ数μｍ程度の加圧空気の層が介在するので、この加圧空気層の クッション作用により、Ｘプラス駆動平面35あるいはＸマイナス駆動平面36に伝 達された外乱がＸプラス受動平面26ｘあるいはＸマイナス受動平面27ｘに機械的 に伝達されることがない。

【００４０】 一方、Ｘ軸駆動手段３によりメインテーブル２をＸ軸方向に駆動している時に は、メインテーブルのＹプラス受動平面26ｙおよびＹマイナス受動平面27ｙと、 Ｙ軸駆動手段４のＹプラス駆動平面45およびＹマイナス駆動平面45とがＹ軸に直 交する平面であるので、Ｙ軸に直交するＸ軸方向へのメインテーブル２の移動の 妨げとなるおそれはない。

【００４１】 しかも、Ｙプラス受動平面26ｙとＹプラス駆動平面45との間、Ｙマイナス受動 平面27ｙとＹマイナス駆動平面45との間に加圧空気供給手段５から供給される加 圧空気の層が形成されるので、加圧空気層の潤滑作用によってこれらの間に摩擦 が生じなくなるので、小出力のＸ軸駆動手段３を使用することかできるようにな り、Ｘ軸駆動手段３を小型にできる。

【００４２】 Ｙ軸駆動手段４によるメインテーブル２のＹ軸方向への駆動についても、その 駆動方向が異なる点を除けば全く同様である。 すなわち、Ｙ軸駆動手段４からメインテーブル２への外乱の伝達はＹプラス受 動平面26ｙとＹプラス駆動平面45との間およびＹマイナス受動平面27ｙとＹマイ ナス駆動平面45との間に形成される加圧空気層のクッション作用によって遮断さ れる。

【００４３】 また、Ｘプラス受動平面26ｘ、Ｘマイナス受動平面27ｘ、Ｘプラス駆動平面35 およびＸマイナス駆動平面36がＹ軸方向へのメインテーブル２の移動の妨げとな るおそれはなくなる。 さらに、Ｘプラス受動平面26ｘとＸプラス駆動平面35との間、Ｘマイナス受動 平面27ｘとＸマイナス駆動平面36との間に形成される加圧空気層の潤滑作用によ ってこれらの間に摩擦が生じなくなるので、小出力のＹ軸駆動手段４を使用でき るようになり、Ｙ軸駆動手段４を小型にできる。

【００４４】 また、メインテーブル２がベーステーブル１のベース板11にテーブル板11に空 気ベアリングで浮動状に支持されているので、たとえ外乱がメインテーブル２に 伝達されたとしても、その外乱の振幅が減少し、外乱が短時間内に減衰して解消 される。 すなわち、上下両板21、22とテーブル板11の上下両面との間に加圧空気供給手 段６により加圧空気が供給されるので、メインテーブル２はこの加圧空気によっ て形成される例えば厚さ数μｍ程度の加圧空気層を介してベーステーブル１に浮 動状に支持される。この加圧空気層はメインテーブル２に伝達された外乱に対し て静圧によるクッション作用および動圧によるダンパ作用を発揮し、その外乱の 振幅を減少させるとともに、短時間内に減衰させて外乱を解消する。

【００４５】 また、メインテーブル２の移動時には、この加圧空気層の潤滑作用により上下 両板21、22とテーブル板11の上下両面との直接接触が防止されるので、摩擦抵抗 が無くなり、小出力のＸ軸駆動手段３およびＹ軸駆動手段４を使用できるように なり、Ｘ軸駆動手段３およびＹ軸駆動手段４を小型にできる。 さらに、ベーステーブル１のテーブル板11はメインテーブル２の移動領域の外 周を覆う程度にしてあればよいので、ベーステーブル１の平面積を小さくするこ とができる。

【００４６】 加えて、上記圧電アクチュエータ31に替えてボールネジとステッピングモータ によってＸカップリングプレート34およびＹカップリングプレート44を移動する ように構成した場合であっても、同様の考案の効果が確認され、一般にいうボー ルネジの触れ回りによる真直性能への影響を0.05μｍ／20mm程度に大幅に軽減で きた。

【００４７】

【考案の効果】

以上のように、請求項１に記載の本考案によれば、Ｘ軸駆動手段およびＹ軸駆 動手段とメインテーブルとが加圧空気層（空気ベアリング）を介して連動連結さ せて、Ｘ軸駆動手段およびＹ軸駆動手段からメインテーブルへの外乱の伝達を加 圧空気層のクッション作用によって遮断させるので、メインテーブルに外乱が影 響しなくなり、送り精度を高めることができる。

【００４８】 その上、加圧空気層（空気ベアリング）の潤滑作用によってＸ軸駆動手段およ びＹ軸駆動手段に対する摩擦抵抗を無視できる程度まで減少させることができる ので、Ｘ軸駆動手段およびＹ軸駆動手段の小出力化および小型化を図ることがで き、更にＸ−Ｙテーブル全体の小型化およびコンパクト化を図ることができる。 また、請求項２に記載の本考案によれば、メインテーブルが加圧空気層（空気 ベアリング）を介してベーステーブルに支持されるので、メインテーブルに伝達 された外乱の振幅を加圧空気層の静圧によるクッション作用によって減少させる とともに、加圧空気層のダンパ作用によって外乱を減衰させ、短時間内に外乱を 解消することができる。

【００４９】 また、加圧空気層の潤滑効果によってＸ軸駆動手段およびＹ軸駆動手段に対す る摩擦抵抗を無視できる程度まで減少させることができるので、Ｘ軸駆動手段お よびＹ軸駆動手段の小出力化および小型化を図ることができ、さらにＸ−Ｙテー ブル全体の小型化およびコンパクト化を図ることができる。 加えて、ベーステーブルの平面積をメインテーブルの移動領域の外周を覆う程 度にすることができるので、Ｘ−Ｙテーブル全体を一層小型に、かつ、コンパク トにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の縦断正面図である。

【図２】本考案の一実施例の底面図である。

【図３】図２のＢ−Ｂ線縦断面図である。

【図４】本考案の一実施例の外観斜視図である。

【図５】第１の従来例の斜視図である。

【図６】第２の従来例の斜視図である。

【符号の説明】

１…ベーステーブル ２…メインテーブル ３…Ｘ軸駆動手段 ４…Ｙ軸駆動手段４ ５…加圧空気供給手段 ６…加圧空気供給手段 11…テーブル板 13…貫通孔 21…上板 22…下板 23…スペーサ 26ｘ…Ｘプラス受動平面 27ｘ…Ｘマイナス受動平面 26ｙ…Ｙプラス受動平面 27ｙ…Ｙマイナス受動平面 35…Ｘプラス駆動平面 36…Ｘマイナス駆動平面 44…Ｙプラス駆動平面 45…Ｙマイナス駆動平面

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベーステーブル１と、ベーステーブル１
   にＸ軸方向およびこれに直交するＹ軸方向に変位可能に
   支持されたメインテーブル２と、メインテーブル２をＸ
   軸方向に進退駆動するＸ軸駆動手段３と、メインテーブ
   ル２をＹ軸方向に進退駆動するＹ軸駆動手段４とを有す
   るＸ−Ｙテーブルにおいて、メインテーブル２にＸ軸方
   向に直交するＸプラス受動平面26ｘおよびＸマイナス受
   動平面27ｘと、Ｙ軸方向に直交するＹプラス受動平面26
   ｙおよびＹマイナス受動平面27ｙとを設け、Ｘ軸駆動手
   段３にＸプラス受動平面26ｘに近接して対向するＸプラ
   ス駆動平面35と、Ｘマイナス受動平面27ｘに近接して対
   向するＸマイナス駆動平面36とを設け、Ｙ軸駆動手段４
   にＹプラス受動平面26ｙに近接して対向するＹプラス駆
   動平面45と、Ｙマイナス受動平面27ｙに近接して平行に
   対向するＹマイナス駆動平面46とを設け、各受動平面26
   ｘ、27ｘ、26ｙ、27ｙと対応する各駆動平面35、36、4
   5、46との間に加圧空気を供給する加圧空気供給手段５
   を設けることを特徴とするＸ−Ｙテーブル。
2. 【請求項２】 ベーステーブル１と、ベーステーブル１
   にＸ軸方向およびこれに直交するＹ軸方向に変位可能に
   支持されたメインテーブル２と、メインテーブル２をＸ
   軸方向に進退駆動するＸ軸駆動手段３と、メインテーブ
   ル２をＹ軸方向に進退駆動するＹ軸駆動手段４とを有す
   るＸ−Ｙテーブルにおいて、ベーステーブル１が水平の
   テーブル板11を有し、このテーブル板11はメインテーブ
   ル２の移動範囲を制限する貫通孔13を有し、メインテー
   ブル２はテーブル板11の上下両面に近接し、テーブル板
   11を間に挟んで互いに対向して配置される上下両板21、
   22と、貫通孔13に挿通され、上下両板21、22を連結する
   スペーサ23とを備え、上下両板21、22とテーブル板11と
   の間に加圧空気を供給する加圧空気供給手段６を設ける
   ことを特徴とするＸ−Ｙテーブル。