JPH03218933A - シリコン単結晶の取り出し運搬装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、シリコン単結晶引上機によって引上げられた
シリコン単結晶を、引上機から容易に取り出して運搬す
る装置に関する。

〔従来の技術〕

第８図に示す如く引上機１の引上げドラム２より繰り出
したワイヤー３の先端に取付けられたシードチャック４
によりシリコン単結晶５のシード部６を把持してルツボ
７からチャンバー８内に引上げたシリコン単結晶５は、
引上げ機構９全体を垂直な支持軸ＩＯを中心に回転して
一点鎖線の如く中間ステージ１ｌの上方に移動した後、
人力で中間ステージ１１上に降ろしていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のように引上げ機構９によって引上げられるシリコ
ン単結晶５は、年々大型化されてきており、現在φ８″
シリコン単結晶５の重量は６０ｋｇ〜１００｝ｃｇにも
なっている。また、シリコン単結晶５の上部を構成する
シード部６は、完全な単結晶を引上げるためにネックと
称する小径化が行われ、シード部６の直径はφ２〜φ５
と細くなっている。

このため、シリコン単結晶５の引上げ後引上げ機構９全
体をルツボ７の上方から中間ステージ１１の上方へ回転
移動する際、シリコン単結晶５か揺れてシード部６で折
れ、６０ｋｇ−１００ｋｇのシリコン単結晶５が落下す
る恐れがあった。落下した場合には、作業者への危険、
引上機の破損に対する危険及び高価なシリコン単結晶５
を破損する危険等がある。

またシリコン単結晶５を中間ステージＩＩへ降ろし、シ
ード部６を折ってシリコン単結晶５を分離する作業を行
う際、シリコン単結晶５を手で支え、落下或いは倒れな
いようにする必要があるが、滑り易い大重量の物体を手
作業で行うのは厄介で、ギックリ腰等が生じ易い。

さらに中間ステージ１１へ降ろしたシリコン単結晶５は
、一階床面１２上まで作業者が運び降ろさなければなら
ないのであるが、引上機１の大型化に伴い床而１２から
中間ステージｌ１までの高さは、２，５ｍにもなってい
るので、シリコン単結晶５を床而１２上へ運び降ろす作
業は、甚だ危険で且つ多大な労力を要し、あやまって落
した場合は、高価／なシリコン単結晶５が破損し、作業
者が怪我をする危険性がある。

またシリコン単結晶５を中間ステージ１１上へ降ろす作
業は、熱容量の大きい（重量大）のシリコン単結晶（引
上げ中の温度１４００℃）が十分に冷却された後でない
と行うことができないので、引上機１の停止時間が長く
なり、稼動率が非常に低いものである。

そこで本発明は、シリコン単結晶を引上げた引上げ機構
をルツボの上方から中間ステージの上方へ回転移動した
際、シリコン単結晶が揺れるのを防止でき、またシリコ
ン単結晶の取り出し、運搬を作業者が直接シリコン単結
晶に触れることなく行うことのできるシリコン単結晶の
取り出し運搬装置を提供しようとするものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するための本発明のシリコン単結晶の取
り出し運搬装置は、引上機のチャンバー内に引上げられ
たシリコン単結晶の下部を挾み、シリコン単結晶の重量
を支え、且つ左右に開閉自在な一対の落下防止プレート
を備え、引上機のチャンバーに着脱自在に取付けられる
落下防止金具と、引上げられたシリコン単結晶を支える
支持台を一対ベース上に対向して設け、ベース上の四隅
に吊り金具取付構造を上端に有するシリコン単結晶倒れ
防止用ガイドピンを立設し、ベースの対向する側面に一
対の回転用支点ピンを設けて成るシリコン単結晶収納用
ホルダーと、中間ステージの下方に設けられ前記シリコ
ン単結晶収納用ホルダーを載せる上下動可能なリフター
と、シリコン単結晶を収納した前記ホルダーの四隅のガ
イドピン上端の吊り金具取付構造にピン結合する一対の
接続プレートに吊りワイヤーを取付け、吊りワイヤーの
途中にシリコン単結晶を抱持するクランプを備え、上端
にフック用リングを取付けて成る吊り金具と、一階床面
上に設けられクレーンで吊り下げられた前記ホルダーの
回転用支点ピンを支持する一対のＶ溝付プレートを上端
に有する反転架台と、前記反転架台で水平状態になった
ホルダーからシリコン単結晶を受け取って運搬するリフ
ト付き台車と、から構成されているものである。

〔作　　用〕

上述の如く構成された本発明のシリコン単結晶の取り出
し運搬装置は、引上機のシードチャックにてシード部を
把持してチャンバー内にルツボからシリコン単結晶を引
上げた後、チャンバーに落下防止金具を取付け、開閉自
在な一対の落下防止プレートを閉じてシリコン単結晶の
下部を挾み、シリコン小結晶の重量を支える。次にチャ
ンバーを回転して中間ステージの上方に移動する。そし
てシリコン単結晶の下方からリフターに載せたシリコン
単結晶収納用ホルダーを上昇し、一対の落下防止プレー
トを開いてホルダーをさらに上昇してシリコン単結晶を
受け取る。次いでシリコン単結晶のシード部から引上機
のシードチャックを外し、リフターを下降してホルダー
に収納されたシリコン単結晶をチャンバーの下方に下降
する。そしてチャンバーをルツボの上方に回転移動した
後、ホルダーの四隅のガイドピンの上端の吊り金具取付
構造に、吊り金具の一対の接続プレートをピン結合し、
シリコン単結晶の上部外周を吊りワイヤーの途中のクラ
ンプにて抱持し、吊りワイヤーの上端のフック用リング
を天井クレーンの吊りワイヤーのフックに引掛ける。次
にシリコン単結晶を収納したホルダーを天井クレーンに
より吊り上げ、中間ステージから一階まで吊り降ろし、
反転架台上のＶ溝付プレートのＶ溝にホルダーのべ−ス
側面の回転用支点ピンを嵌合載置する。そして反転架台
の側面位置までリフト付き台車を走行させて停止し、天
井クレーンにてホルダーを回転用支点ピンにて水平に倒
伏してシリコン単結晶を台車のリフト上に載置し、シリ
コン単結晶から吊りワイヤーの途中のクランプを外し、
ホルダーのガイドピンから接続プレートを外した後、台
車を走行し、所要の位置にシリコン単結晶を運搬する。

〔実　施　例〕

本発明のシリコン単結晶の取り出し運搬装置の一実施例
を図によって説明する。第１図ａ，ｂに於いて、２０は
引上機のチャンバー８に着脱臼在に取付けられる落下防
止金具で、該落下防止金具ＩＯはシリコン単結晶５の下
部に挾み、シリコーン単結晶５の重量を支え、且つ左右
に開閉自在な一対の落下防止プレート２１；　２１’　
と、該落下防止プレート２１．　２１’を支持し後述す
るホルダーが通過し得る空間２２を有するフレーム２３
と、該フレーム２３の両端に設けた取付金具２４．　２
４’　とから成るものである。

第２図に於いて、２５はシリコン単結晶５の収納用ホル
ダーで、該収納用ホルダー２５は中心に丙形の透孔２６
を穿設した方形のベース２７上にシリコン単結晶５を支
える平面円弧状の一対の支持台２８，２８′　を透孔２
６を挾んて対向して設け、ベース２７の四隅に吊り金具
取付構造２９を上端に有するシリコン単結晶倒れ防止用
ガイドピン３０を立設し、べ−ス２７の対向する側面に
一対の回転用支点ピン３ｌを設けて成るものである。前
記の４本のシリコン単結晶倒れ防止用ガイドピン３０の
上端の吊り金具取付構造２９は、本例の場合、上端面よ
り垂直にスリット溝２９ａを同一方向に向けて設け、こ
のスリット溝２９ａに直交してピン穴２９ｂを穿設した
ものである。

第３図に於いて、３２は中間ステージ１１の下方に設け
られ、前記シリコン単結晶５の収納用ホルダー２５を載
せる上下動可能なリフターである。

第４図に於いて、３３は吊り金具で、該吊り金具３３は
、一対の吊りワイヤー３４．　３４’の下端に夫々前記
ホルダー２５の四隅のガイドピン８０の上端の吊り金具
取付構造２９にピン結合する接続プレート３５．３５′
を取付け、吊りワイヤー３４．　３４’の途中にシリコ
ン単結晶５を抱持するクランプ３６を備え、上端にフッ
ク用リング３７を取付けて成るものである。

第５図に於いて、３８は一階床面３９上に設けられた反
転架台で、該反転架台３８は上端に前記ホルダー２５の
回転用支点ピン３ｌを支持する一対のＶ溝４０付プレー
ト４ｌが設けられている。

４２は前記反転架台３８で水平状態になったホルダー２
５からシリコン単結晶５を受け取って運搬するリフト４
３付台車である。

上記の落下防止金具２０、収納用ホルダー２５、リフタ
ー３２、吊り金具３３、反転架台３８、リフト４３付台
車４２とから構成された実施例のシリコン単結晶の取り
出し運搬装置は、第８図に示す如く引上機１の引上げド
ラム２より繰り出したワイヤー３の先端に取付けられた
シードチャック４にょりンドチャック４にてシリコン単
結晶５のシード部６を把持してチャンバー８内にルッポ
７からシリコン単結晶５を引上げた後、第６図ａに示す
如くチャンバー８の下端に落下防止金具２０がそれの取
付金具２４．　２４’　にて取付け、開閉自在な一対の
落下防止プレート２１．　２１’を閉じてシリコン単結
晶５の下部を挾み、シリコン単結晶５の重量を支える。

次にチャンバー８を回転して第３図に示す如く中間ステ
ージｌ１の上方に移動する。そして第６図ｂに示す如く
シリコン単結晶５の下方からりフタ−３２に載せたシリ
コン単結晶収納用ホルダー２５を上昇し、前記落下防止
金具２０の一対の落下防止プレート２１．　２１’を開
いてホルダー２５をさらに上昇して、シリコン単結晶５
を受け取る。次いで第８図に示されるシリコン単結晶５
のシード部６から引上機１のシードチャック４を外し、
リフター３２を下降してホルダー２５に収納されたシリ
コン単結晶５をチャンバー８の下方に下降する。そして
チャンバー８をルツボ７の上方に回転移動した後、ホル
ダー２５の四隅のガイドピン３０の上端の吊り金具取付
構造２９に、第７図に示す如く吊り金具３３の一対の接
続プレート３５．　３５’をピン４４にて結合し、シリ
コン単結晶５の上部外周を吊りワイヤー３４，３４′　
の途中のクランプ３６にて抱持し、吊りワイヤー３４．
　３４’の上端のフック用リング３７を天井クレーンの
吊りワイヤー４５のフック４６に引掛ける。

次にシリコン単結晶５を収納したホルダー２５を第６図
Ｃに示す如く天井クレーンにより吊り上げ、中間ステー
ジｌ１から一階まで吊り降ろし、第５図に示す如く反転
架台３８上のＶ溝４０付プレート４ｌのＶ溝４０にホル
ダー２５のベース２７の側面に設けた回転用支点ピン３
ｌを嵌合載置する。そして反転架台３８の側面位置まで
リフト４３付台車４２を走行させて停止し、天井クレー
ンにてホルダー２５を回転用支点ピン３１にて水平に倒
伏して、シリコン単結晶５を台車４２のリフト４３上に
載置し、シリコン単結晶５から吊りワイヤー３４．　３
４’の途中のクランプ３６を外し、ホルダー２５のガイ
ドピン３０から接続プレート３５．　３５’を外した後
、台車４２を走行し、所要の位置にシリコンｌｌｉ結晶
５を運搬する。

尚、上記実施例では落下防止金具２０の一対の落下防止
プレート２１．　２１’が左右に摺動して開閉する形式
であるが、左右に回動して開閉する形式に変更しても良
いものである。

また、ホルダー２５、リフター３２、台車４２を一体化
して引上機１のチャンバー８が回転移動した中間ステー
ジｌ１の位置に於いて、シリコン単結晶５を台車４２に
受け取るようにすることも可能である。

この場合、中間ステージ１１が運搬フロアーとなる。

回転機能を付加し、リフター３２を下げて一階床面〔発
明の効果〕 以上の説明で判るように本発明のシリコン単結晶の取り
出し運搬装置によれば、引上機のチャンバー内に引上げ
られたシリコン単結晶は、ルツボの上方から中間ステー
ジの上方に回転移動した際、落下防止金具により保持さ
れてシリコン単結晶が揺れるのが防止され、シード部が
折れることが無く、落下が確実に防止される。またシリ
コン単結晶の取り出し運搬が、シリコン単結晶収納用ホ
ルダー、吊り金具、反転架台、リフト付台車等により作
業者が直接シリコン単結晶に触れることなく行えるので
、作業者の安全が確保され、シリコン単結晶の損傷が防
止されると共に作業能率が向上し、引上機の停止時間が
短くなり、稼動率が高くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは本発明のシリコン単結晶の取り出し運搬
装置に於ける落下防止金具を示す側面図及び底面図、第
２図は単結晶収納用ホルダーを示す斜視図、第３図はリ
フターを示す側面図、第４図は吊り金具を示す斜視図、
第５図は反転架台及びリフト付台車を示す側面図、第６
図ａ乃至Ｃはシリコン単結晶を吊り上げ保持してから天
井クレーンで一階まで運搬する工程を示す図、第７図は
シリコン単結晶をホルダーに収容し、吊り金具をホルダ
ーに装着し、天井クレーンにて運搬する時の状態を示す
斜視図、第８図はシリコン単結晶引上機を示す概略縦断
面図である。 １・・・引上機　　　　　　　５・・・シリコン単結晶
８・・・チャ：／／＜−　　　　　　１１・・・中間ス
テージ２０・・・落下防止金具 ２１・・・落下防止プレート ２５・・・シリコン単結晶収納用ホルダー２７・・・ベ
ース　　　　　　　２８．　２８’・・・支持台２９・
・・吊り金具取付構造　　３ｏ・・・ガイドピン３１・
・・回転用支点ピン　　　３２・・・リフター３３・・
・吊り金具 ３４．　３４’　・・・吊りワイヤー　３５・・・接続
プレート３６・・・クランプ　　　　　　３７・・・フ
ック用リング３８・・・反転架台　　　　　　３９・・
・一階床面４０・・・Ｖ　溝　　　　　　　４１・・・
プレート４２・・・台　車　　　　　　４３・・・リフ
ト出　願　人　　東芝セラミックス株式会社第１図（ａ
） ↑ 第 １ 図（ｂ） 第 ４ 図 第 ７ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）引上機のチャンバー内に引上げられたシリコン単結
   晶の下部を挾み、シリコン単結晶の重量を支え、且つ左
   右に開閉自在な一対の落下防止プレートを備え、引上機
   のチャンバーに着脱自在に取付けられる落下防止金具と
   、 引上げられたシリコン単結晶を支える支持台を一対ベー
   ス上に対向して設け、ベース上の四隅に吊り金具取付構
   造を有するシリコン単結晶倒れ防止用ガイドピンを立設
   し、ベースの対向する側面に一対の回転用支点ピンを設
   けて成るシリコン単結晶収納用ホルダーと、 中間ステージの下方に設けられ、前記シリコン単結晶収
   納用ホルダーを載せる上下動可能なリフターと、 シリコン単結晶を収納した前記ホルダーの四隅のガイド
   ピン上端の吊り金具取付構造にピン結合する一対の接続
   プレートに吊りワイヤーを取付け、吊りワイヤーの途中
   にシリコン単結晶を抱持するクランプを備え、上端にフ
   ックリングを取付けて成る吊り金具と、 一階床面上に設けられ、クレーンで吊り下げられた前記
   ホルダーの回転用支点ピンを支持する一対のＶ溝付プレ
   ートを有する反転架台と、 前記反転架台で水平状態になったホルダーからシリコン
   単結晶を受け取って運搬するリフト付台車と、 から構成されているシリコン単結晶の取り出し運搬装置
   。