JPH11255596A - 単結晶インゴットハンドリング装置及び単結晶インゴットハンドリング用治具及び単結晶インゴットハンドリング用治具アセンブリ並びに単結晶インゴットハンドリング方法 - Google Patents

単結晶インゴットハンドリング装置及び単結晶インゴットハンドリング用治具及び単結晶インゴットハンドリング用治具アセンブリ並びに単結晶インゴットハンドリング方法

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JPH11255596A
JPH11255596A JP8031098A JP8031098A JPH11255596A JP H11255596 A JPH11255596 A JP H11255596A JP 8031098 A JP8031098 A JP 8031098A JP 8031098 A JP8031098 A JP 8031098A JP H11255596 A JPH11255596 A JP H11255596A
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JP
Japan
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single crystal
crystal ingot
jig
handling
crane
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Withdrawn
Application number
JP8031098A
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English (en)
Inventor
Junichi Matsubara
順一 松原
Hirotoshi Yamagishi
浩利 山岸
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Super Silicon Crystal Research Institute Corp
Original Assignee
Super Silicon Crystal Research Institute Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 大重量、大型の単結晶インゴットを単結晶引
上げ装置から取り出し、所定場所に横転した状態で載置
可能とする。 【解決手段】 天井クレーン60と、所定の治具10を
用いて単結晶インゴット1を把持し、天井クレーンの操
作により、所定の治具10の一部を回転支点治具40に
回転可能に係合させ、単結晶インゴットを横転させて、
所望の載置位置に載置可能とした。単結晶インゴットハ
ンドリング用治具の重心を単結晶インゴット1の重心に
一致するよう設計することにより、単結晶インゴット1
を吊り下げた状態で垂直な状態を保つことが可能であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶引上げ装置
にて製造された単結晶インゴットを単結晶引上げ装置か
ら取り出し、所定場所に横向きに載置する単結晶インゴ
ットハンドリングに関し、特に単結晶インゴットハンド
リング装置及び単結晶インゴットハンドリング用治具並
びに単結晶インゴットハンドリング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】単結晶引上げ装置にて成長させて製造さ
れた結晶棒である単結晶インゴットは、単結晶引上げ装
置から垂直な状態のまま所定のハンドリング機能を有す
る台車により取り出されている。すなわち、移動可能な
台車を単結晶引上げ装置の横に置き、そのアームなどに
より単結晶インゴットを把持して単結晶引上げ装置から
取り出し、単結晶インゴットを載置するパレットや結晶
運搬用台車などのある所定場所へ移動させ、把持してい
る単結晶インゴットを90度回転させて、水平な状態に
横転させ、下降させて所定場所に載置している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、製造す
る単結晶インゴットの重量、サイズが大型化し、重量が
400kgを超えたり、長さが2000mmを超えたり
すると、従来のハンドリング機能を有する台車をそのま
ま使用することが困難となる。すなわち、取り扱う対象
物である単結晶インゴットの重量、サイズに合せて、台
車自体の重量を大きくし、単結晶インゴットを把持して
回転させる際に、台車自体が転倒することを防止するこ
とが必然的であり、台車が極めて大型化してしまう。ま
た、単結晶インゴットの重量がこのように大きいと、横
転が完了した単結晶インゴットを人力で所定載置位置に
載せ替えることは不可能である。
【0004】したがって、本発明は大重量、大型の単結
晶インゴットを単結晶引上げ装置から取り出し、所定場
所に横転した状態で載置可能な単結晶インゴットハンド
リング装置及び単結晶インゴットハンドリング用治具並
びに単結晶インゴットハンドリング方法を提供すること
を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では従来の台車に代え、天井クレーンと、所
定の治具を用いて単結晶インゴットを把持し、天井クレ
ーンの操作により単結晶インゴットを横転させて、所望
の載置位置に載置可能としたものである。
【0006】すなわち本発明によれば、部屋の天井に移
動可能に設けられた天井クレーンと、単結晶インゴット
に沿って伸長する本体部と、前記単結晶インゴットのテ
ール部を支持し、前記本体部に取り付けられたテール支
持部と、前記単結晶インゴットの直胴部を支持し、前記
本体部に取り付けられた直胴部支持部と、前記本体部の
上部に取り付けられ、前記天井クレーンで前記本体部を
吊り下げるためのクレーン部材係合部と、前記本体部の
下部に取り付けられ、前記本体部が前記クレーンで吊り
下げられたとき、床に設けられた係合部と係合可能な床
係合部とを有する単結晶インゴットハンドリング用治具
とを、有する単結晶インゴットハンドリング装置が提供
される。
【0007】また本発明によれば、単結晶インゴットに
沿って伸長する本体部と、前記単結晶インゴットのテー
ル部を支持し、前記本体部に取り付けられたテール支持
部と、前記単結晶インゴットの直胴部を支持し、前記本
体部に取り付けられた直胴部支持部と、前記本体部の上
部に取り付けられ、クレーンで前記本体部を吊り下げる
ためのクレーン部材係合部と、前記本体部の下部に取り
付けられ、前記本体部が前記クレーンで吊り下げられた
とき、床に設けられた係合部と係合可能な床係合部と
を、有する単結晶インゴットハンドリング用治具が提供
される。
【0008】また本発明によれば、単結晶インゴットを
支持可能であり、吊り下げ手段により吊り下げられる構
造であり、かつその、長手方向が略垂直に吊り下げられ
た状態のときに下端部に設けられた回転軸を有する第1
治具と、前記回転軸が回転可能に収納可能な第2治具と
を有する単結晶インゴットハンドリング用治具アセンブ
リが提供される。
【0009】また本発明によれば、部屋の天井に移動可
能に設けられた天井クレーンと、単結晶インゴットに沿
って伸長する本体部と、前記単結晶インゴットのテール
部を支持し、前記本体部に取り付けられたテール支持部
と、前記単結晶インゴットの直胴部を支持し、前記本体
部に取り付けられた直胴部支持部と、前記本体部の上部
に取り付けられ、クレーンで前記本体部を吊り下げるた
めのクレーン部材係合部と、前記本体部の下部に取り付
けられ、前記本体部が前記クレーンで吊り下げられたと
き、床に設けられた係合部と係合可能な床係合部とを有
する単結晶インゴットハンドリング用治具とを、有する
単結晶インゴットハンドリング装置を用いて、単結晶イ
ンゴットを単結晶引上げ装置から取り出し、所定場所に
横向きに載置する単結晶インゴットハンドリング方法で
あって、前記クレーンにより前記単結晶インゴットハン
ドリング用治具を吊り下げるステップと、前記クレーン
を操作して、前記単結晶インゴットハンドリング用治具
を単結晶引上げ装置にて引き上げられた単結晶インゴッ
トの側面に沿わせるステップと、前記テール支持部と、
前記直胴部支持部により、前記単結晶インゴットを支持
するステップと、前記クレーンを操作して、前記単結晶
インゴットを支持した状態の前記単結晶インゴットハン
ドリング用治具を吊り下げた状態で前記所定場所へ移動
させるステップと、前記クレーンを操作して、前記床係
合部を床に設けられた前記係合部に係合させるステップ
と、前記クレーンを操作して、前記単結晶インゴットを
支持した状態の前記単結晶インゴットハンドリング用治
具を略水平な状態とするステップとを、有する単結晶イ
ンゴットハンドリング方法が提供される。
【0010】また本発明によれば、吊り下げ手段と、単
結晶インゴットを支持可能であり、前記吊り下げ手段に
より吊り下げられる構造であり、かつその、長手方向が
略垂直に吊り下げられた状態のときに下端部に設けられ
た回転軸を有する第1治具と、前記回転軸が回転可能に
収納可能な第2治具とを有する単結晶インゴットハンド
リング用治具アセンブリを用いて、単結晶インゴットを
単結晶引上げ装置から取り出し、所定場所に横向きに載
置する単結晶インゴットハンドリング方法であって、前
記吊り下げ手段により前記第1治具を吊り下げるステッ
プと、前記吊り下げ手段を操作して、前記第1治具を単
結晶引上げ装置にて引き上げられた単結晶インゴットの
側面に沿わせるステップと、前記第1治具により前記単
結晶インゴットを支持するステップと、前記吊り下げ手
段を操作して、前記単結晶インゴットを支持した状態の
前記第1治具を吊り下げた状態で前記所定場所へ移動さ
せるステップと、前記吊り下げ手段を操作して、前記第
2治具に設けられた前記回転軸が回転可能に収納可能な
部分に係合させるステップと、前記吊り下げ手段を操作
して、前記単結晶インゴットを支持した状態の前記第1
治具を略水平な状態とするステップとを、有する単結晶
インゴットハンドリング方法が提供される。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施の形態について説明する。図1は本発明に係
る単結晶インゴットハンドリング装置の好ましい実施の
形態の模式図である。この単結晶インゴットハンドリン
グ装置は工場、作業場などの天井52に設けられた天井
クレーン60と、単結晶インゴットハンドリング用治具
10(第1治具)と、単結晶インゴットハンドリング用
治具10を横転させるときに回転の支点を提供する回転
支点治具40(第2治具)を有している。天井クレーン
60は天井52に取り付けられたレール34と、レール
34に沿って移動可能な移動滑車26と、固定された固
定滑車28、これらの移動滑車26、固定滑車28を介
してワイヤ駆動モータ30により駆動されるワイヤ2
4、ワイヤ24の一端に取り付けられたフック22、ワ
イヤ24の他端に取り付けられたカウンタウエイト3
2、移動滑車26を移動させる移動滑車駆動用モータ3
6を有している。なお、図示省略の制御装置により、ワ
イヤ駆動モータ30と移動滑車駆動用モータ36が制御
される。
【0012】単結晶インゴットハンドリング用治具10
は単結晶インゴット1に沿って伸長する本体部12と、
単結晶インゴット1のテール部1Cを支持し、本体部1
2に取り付けられたテール支持部14Cと、単結晶イン
ゴット1の直胴部1Bを支持し、本体部12に取り付け
られた直胴部支持部14A、14Bと、本体部12の上
部に取り付けられ、天井クレーン60のフック22と係
合して本体部12を吊り下げるためのクレーン部材係合
部16と、本体部12の下部に取り付けられ、本体部1
2が天井クレーン60で吊り下げられたとき、床50に
設けられた回転支点治具40と係合可能な回転支点軸1
9とを有している。なお、図中1Aは単結晶インゴット
1の上部コーン部である
【0013】テール支持部14Cと直胴部支持部14
A、14Bは、開閉可能なアームを有し、図示省略のエ
アシリンダにより、その開閉が制御される。なお、本体
部12は全体がU字状のフレーム構造であり、図2の背
面図に示されるように、2本の堅牢な部材と、その間を
つなぐブリッジ部材11A、11B、11C、11Dで
構成されている。図1の単結晶インゴット1を垂直に吊
り上げた状態での上端部18A、下端部18Bと、これ
らの間を結び単結晶インゴット1に沿って伸長する背骨
部を有する。上端部18Aと下端部18Bの先端近傍に
は、カウンタバランス8A、8Bがそれぞれ取り付けら
れている。
【0014】このカウンタバランス8A、8Bの存在に
より、単結晶インゴットハンドリング用治具10のみを
天井クレーン60により吊り上げたとき(軽負荷時)、
単結晶インゴットハンドリング用治具10は垂直な状態
となり、また、図1に示すように単結晶インゴット1を
支持した状態(重負荷時)でも同様に垂直な状態とな
る。すなわち、単結晶インゴットハンドリング用治具1
0のみを天井クレーン60で吊り下げた状態での重心位
置と、単結晶インゴット1をテール支持部14Cと直胴
部支持部14A、14Bとで支持し、かつ天井クレーン
60で吊り下げた状態での重心位置とを結ぶ線が重力作
用方向と一致するよう重量配分されているのである。ま
た、単結晶インゴットハンドリング用治具10の重心
が、直胴部支持部14A、14Bにより支持される単結
晶インゴット1の位置する断面円形部の中心に位置する
よう、カウンタバランス8A、8Bの量を適宜調節する
ことができる。
【0015】回転支点軸19は本体部12の下端部18
Bの外側に溶接により、あるいは所定の締め付け部材に
より取り付けられている。回転支点軸19は、図2に示
すように、本体部12を構成する2本のフレーム部材よ
り外側に突出している。床50の上には、回転支点治具
40が載置されているが、回転支点治具40は、複数の
キャスタ46A、46Bを有し、ハンドル44A、44
Bを操作することにより、回転支点治具40の底面から
キャスタ46A、46Bを出し入れすることが可能であ
る。すなわち、回転支点治具40の移動時には、キャス
タ46A、46Bを出し、単結晶インゴットハンドリン
グ用治具10と共に使用する状態のときは、キャスタ4
6A、46Bをしまい込み、図示省略のボルトで回転支
点治具40の本体42の下端部を床50に固定する。回
転支点治具40の上部には、開閉可能な軸受け部が設け
られている。この軸受け部は、本体42の上部に設けら
れた略半円形状の凹部47Aと、同様な略半円形状の凹
部47Bを有し、蝶番で開閉可能な蓋部48により構成
され、蓋部48の留め具49Bは本体42の上部に設け
られた留め具49Aに係合して、相互にロック可能であ
る。略半円形状の凹部47A、47Bは、蓋部48が閉
じられとき、その内部に回転支点軸19が回転可能に支
持されるようなサイズを有している。
【0016】図1の単結晶インゴットハンドリング装置
は次のように動作する。まず天井クレーン60により単
結晶インゴットハンドリング用治具10を吊り下げ、天
井クレーン60を操作して、単結晶インゴットハンドリ
ング用治具10を図示省略の単結晶引上げ装置にて引き
上げられた単結晶インゴットの1側面に沿わせる。テー
ル支持部14Cと、直胴部支持部14A、14Bによ
り、単結晶インゴット1を支持する。天井クレーン60
を操作して、単結晶インゴット1を支持した状態の単結
晶インゴットハンドリング用治具10を吊り下げた状態
で所定場所へ移動させる。
【0017】図3(a)、(b)と図4(a)、(b)
は、単結晶インゴット1を単結晶インゴットハンドリン
グ装置にて横転させるまでの過程を示す図である。天井
クレーン60を操作して、回転支点軸19を所定位置に
載置・固定された状態の回転支点治具40の上方に位置
させ、図3(a)に示すように、単結晶インゴットハン
ドリング用治具10が略半円形凹部47Aの真上に位置
するようにする。次に、天井クレーン60を操作して、
単結晶インゴットハンドリング用治具10を矢印M1で
示すように下降させ、回転支点軸19が47Aに受け入
れられようにする。回転支点軸19が47Aに受け入れ
られたら、図4(a)に示すよう蓋部48を閉じ、留め
具49Bを留め具49Aに係合させて、相互にロックす
る。
【0018】次に、図1の移動滑車26を図中左方向に
移動させ、ワイヤ24が図4(a)に矢印M2で示すよ
うに移動させる。この状態では、単結晶インゴットハン
ドリング用治具10は矢印M3で示すように図中左方向
に傾くこととなる。なお、単結晶インゴットハンドリン
グ用治具10の傾きが大きくなると、本体部12の下端
部18Bが回転支点治具40の内部空間41(図2参
照)の中へ回転支点軸19を中心に回転しつつ入り込む
ので、回転支点治具40のどの部分も障害とはならな
い。すなわち、回転支点治具40が下端部18Bが入り
込めるような空間を提供できるよう、二股構造又はU字
形状をしているのである。
【0019】天井クレーン60を操作して、ワイヤ24
を矢印M4で示すように、更に下降させるにつれ単結晶
インゴットハンドリング用治具10及び単結晶インゴッ
ト1は次第に傾きが大きくなり、図4(b)に示すよう
に水平位置まで横転することとなる。単結晶インゴット
1を支持した状態の単結晶インゴットハンドリング用治
具10が水平な状態となったら、直胴部支持部14A、
14Bとテール支持部14のアームを開いて図示省略の
所定のパレットや結晶運搬台車などに単結晶インゴット
1を載置することができる。なお、単結晶インゴット1
を支持した状態の単結晶インゴットハンドリング用治具
10を天井クレーン60が吊り下げたとき、重心位置が
前述のように設定されているので、自由に吊り下げられ
た状態では単結晶インゴットハンドリング用治具及び単
結晶インゴット1が傾くことなく、垂直に保持される。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、天
井クレーンと所定の単結晶インゴットハンドリング用治
具を組み合わせて用いているので次の利点がある。すな
わち、従来の台車を大型化させて用いる必要がなく、よ
って台車の転倒事故の心配がない。また、台車を用いる
場合に比べて、装置全体の重量、設置面積、設定場所の
点で有利である。さらに、単結晶インゴットを移動させ
る経路が自由空間であるので、従来の台車使用時のよう
に運搬台車用の特別な通路の確保が不要である。さら
に、単結晶インゴットを所望の場所に載置するに際し、
クレーン操作のみで単結晶インゴットの横転が可能であ
り、台車の運転や、人力による載置動作などが不要であ
り、単結晶インゴットの取り出しから所定場所への一連
の動作が単純化される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る単結晶インゴットハンドリング装
置の好ましい実施の形態の模式図である。
【図2】図1の単結晶インゴットハンドリング装置の主
要部の背面図である。
【図3】図1の状態からクレーンを操作して単結晶イン
ゴットを横転させるまでの過程を示す説明図の前半であ
る。
【図4】図1の状態からクレーンを操作して単結晶イン
ゴットを横転させるまでの過程を示す説明図の後半であ
る。
【符号の説明】
1 単結晶インゴット 8A、8B カウンタバランス 10 単結晶インゴットハンドリング用治具(第1治
具) 12 本体部 14A、14B 直胴部支持部 14C テール支持部 16 クレーン部材係合部 18A 上端部 18B 下端部 19 回転支点軸(床係合部) 22 フック 24 ワイヤ 26 移動滑車 28 固定滑車 30 ワイヤ駆動モータ 32 カウンタウエイト 34 レール 36 移動滑車駆動用モータ 40 回転支点治具(係合部・第2治具) 41 回転支点治具の内部空間 48 蓋部 49A、49B 留め具 60 天井クレーン(吊り下げ手段)

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 部屋の天井に移動可能に設けられた天井
    クレーンと、 単結晶インゴットに沿って伸長する本体部と、前記単結
    晶インゴットのテール部を支持し、前記本体部に取り付
    けられたテール支持部と、前記単結晶インゴットの直胴
    部を支持し、前記本体部に取り付けられた直胴部支持部
    と、前記本体部の上部に取り付けられ、前記天井クレー
    ンで前記本体部を吊り下げるためのクレーン部材係合部
    と、前記本体部の下部に取り付けられ、前記本体部が前
    記クレーンで吊り下げられたとき、床に設けられた係合
    部と係合可能な床係合部とを有する単結晶インゴットハ
    ンドリング用治具とを、 有する単結晶インゴットハンドリング装置。
  2. 【請求項2】 単結晶インゴットに沿って伸長する本体
    部と、 前記単結晶インゴットのテール部を支持し、前記本体部
    に取り付けられたテール支持部と、 前記単結晶インゴットの直胴部を支持し、前記本体部に
    取り付けられた直胴部支持部と、 前記本体部の上部に取り付けられ、クレーンで前記本体
    部を吊り下げるためのクレーン部材係合部と、 前記本体部の下部に取り付けられ、前記本体部が前記ク
    レーンで吊り下げられたとき、床に設けられた係合部と
    係合可能な床係合部とを、 有する単結晶インゴットハンドリング用治具。
  3. 【請求項3】 前記床に設けられた係合部が凹部であ
    り、前記床係合部が前記凹部に挿入可能な突起部である
    ことを特徴とする請求項2記載の単結晶インゴットハン
    ドリング用治具。
  4. 【請求項4】 前記直胴部支持部が開閉可能なアームを
    有することを特徴とする請求項2記載の単結晶インゴッ
    トハンドリング用治具。
  5. 【請求項5】 前記単結晶インゴットハンドリング用治
    具のみを前記クレーンで吊り下げた状態での重心位置
    と、前記単結晶インゴットを前記テール支持部と前記直
    胴部支持部とで支持し、かつ前記クレーンで吊り下げた
    状態での重心位置とを結ぶ線が重力作用方向と一致する
    よう重量配分されたことを特徴とする請求項2記載の単
    結晶インゴットハンドリング用治具。
  6. 【請求項6】 前記単結晶インゴットハンドリング用治
    具の重心が、前記直胴部支持部により支持される前記単
    結晶インゴットの位置する断面円形部の中心に位置する
    ことを特徴とする請求項2記載の単結晶インゴットハン
    ドリング用治具。
  7. 【請求項7】 単結晶インゴットを支持可能であり、吊
    り下げ手段により吊り下げられる構造であり、かつそ
    の、長手方向が略垂直に吊り下げられた状態のときに下
    端部に設けられた回転軸を有する第1治具と、前記回転
    軸が回転可能に収納可能な第2治具とを有する単結晶イ
    ンゴットハンドリング用治具アセンブリ。
  8. 【請求項8】 前記回転軸が回転可能に収納可能な箇所
    から前記回転軸がはずれないよう、係止する手段を前記
    第2治具が更に有することを特徴とする請求項7記載の
    単結晶インゴットハンドリング用治具アセンブリ。
  9. 【請求項9】 前記第1治具が回転するとき、その一部
    が通過可能な空間を提供すべく前記第2治具がU字状部
    を有することを特徴とする請求項7記載の単結晶インゴ
    ットハンドリング用治具アセンブリ。
  10. 【請求項10】 部屋の天井に移動可能に設けられた天
    井クレーンと、 単結晶インゴットに沿って伸長する本体部と、前記単結
    晶インゴットのテール部を支持し、前記本体部に取り付
    けられたテール支持部と、前記単結晶インゴットの直胴
    部を支持し、前記本体部に取り付けられた直胴部支持部
    と、前記本体部の上部に取り付けられ、クレーンで前記
    本体部を吊り下げるためのクレーン部材係合部と、前記
    本体部の下部に取り付けられ、前記本体部が前記クレー
    ンで吊り下げられたとき、床に設けられた係合部と係合
    可能な床係合部とを有する単結晶インゴットハンドリン
    グ用治具とを、 有する単結晶インゴットハンドリング装置を用いて、単
    結晶インゴットを単結晶引上げ装置から取り出し、所定
    場所に横向きに載置する単結晶インゴットハンドリング
    方法であって、 前記クレーンにより前記単結晶インゴットハンドリング
    用治具を吊り下げるステップと、 前記クレーンを操作して、前記単結晶インゴットハンド
    リング用治具を単結晶引上げ装置にて引き上げられた単
    結晶インゴットの側面に沿わせるステップと、 前記テール支持部と、前記直胴部支持部により、前記単
    結晶インゴットを支持するステップと、 前記クレーンを操作して、前記単結晶インゴットを支持
    した状態の前記単結晶インゴットハンドリング用治具を
    吊り下げた状態で前記所定場所へ移動させるステップ
    と、 前記クレーンを操作して、前記床係合部を床に設けられ
    た前記係合部に係合させるステップと、 前記クレーンを操作して、前記単結晶インゴットを支持
    した状態の前記単結晶インゴットハンドリング用治具を
    略水平な状態とするステップとを、 有する単結晶インゴットハンドリング方法。
  11. 【請求項11】 吊り下げ手段と、単結晶インゴットを
    支持可能であり、前記吊り下げ手段により吊り下げられ
    る構造であり、かつその、長手方向が略垂直に吊り下げ
    られた状態のときに下端部に設けられた回転軸を有する
    第1治具と、前記回転軸が回転可能に収納可能な第2治
    具とを有する単結晶インゴットハンドリング用治具アセ
    ンブリを用いて、単結晶インゴットを単結晶引上げ装置
    から取り出し、所定場所に横向きに載置する単結晶イン
    ゴットハンドリング方法であって、 前記吊り下げ手段により前記第1治具を吊り下げるステ
    ップと、 前記吊り下げ手段を操作して、前記第1治具を単結晶引
    上げ装置にて引き上げられた単結晶インゴットの側面に
    沿わせるステップと、 前記第1治具により前記単結晶インゴットを支持するス
    テップと、 前記吊り下げ手段を操作して、前記単結晶インゴットを
    支持した状態の前記第1治具を吊り下げた状態で前記所
    定場所へ移動させるステップと、 前記吊り下げ手段を操作して、前記第2治具に設けられ
    た前記回転軸が回転可能に収納可能な部分に係合させる
    ステップと、 前記吊り下げ手段を操作して、前記単結晶インゴットを
    支持した状態の前記第1治具を略水平な状態とするステ
    ップとを、 有する単結晶インゴットハンドリング方法。
JP8031098A 1998-03-12 1998-03-12 単結晶インゴットハンドリング装置及び単結晶インゴットハンドリング用治具及び単結晶インゴットハンドリング用治具アセンブリ並びに単結晶インゴットハンドリング方法 Withdrawn JPH11255596A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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