JPH03220719A - 拡散炉用治具 - Google Patents
拡散炉用治具Info
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- JPH03220719A JPH03220719A JP1685290A JP1685290A JPH03220719A JP H03220719 A JPH03220719 A JP H03220719A JP 1685290 A JP1685290 A JP 1685290A JP 1685290 A JP1685290 A JP 1685290A JP H03220719 A JPH03220719 A JP H03220719A
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造工程のうち、熱拡散、熱酸化に使
用される拡散炉用治具に関し、特にその治具のうち、シ
リコンを原料として製作される拡散炉用治具に関する。
用される拡散炉用治具に関し、特にその治具のうち、シ
リコンを原料として製作される拡散炉用治具に関する。
従来、半導体デバイスの製造工程において、素子を半導
体ウェーハに形成するのに際して、例えば、半導体ウェ
ーハを高温（約８００〜１２００℃）の雰囲気中の拡散
炉の中に入れ、ウェーハ表面に熱拡散、熱酸化による層
を形成する工程がある。また、この熱拡散酸化工程に用
いられる治具としては、例えば炉芯管、半導体ウェハを
載せるボート、ボートを出入れする引出し棒等がある。
体ウェーハに形成するのに際して、例えば、半導体ウェ
ーハを高温（約８００〜１２００℃）の雰囲気中の拡散
炉の中に入れ、ウェーハ表面に熱拡散、熱酸化による層
を形成する工程がある。また、この熱拡散酸化工程に用
いられる治具としては、例えば炉芯管、半導体ウェハを
載せるボート、ボートを出入れする引出し棒等がある。
通常、これらの治具の材質として次に延べる材料が使用
されてきた。
されてきた。
■水晶を原料とする石英ガラス
■炭化珪素とシリコンを原料としたシリコンカーバイト
■シリコンを原料としたもの
の以上３種類が一般的であり、そのうち加工が容易、高
純度、安価なことにより、石英ガラスが多く用いられて
いた。しかし、石英ガラスの耐熱温度は１０５０℃と低
く１０５０℃以上の高温処理にはシリコンカーバイト、
シリコンを原料としたものが、使用されていた。また、
シリコンを原料とした治具は従来、組立式のものが使用
されていた。
純度、安価なことにより、石英ガラスが多く用いられて
いた。しかし、石英ガラスの耐熱温度は１０５０℃と低
く１０５０℃以上の高温処理にはシリコンカーバイト、
シリコンを原料としたものが、使用されていた。また、
シリコンを原料とした治具は従来、組立式のものが使用
されていた。
次に、従来の組立式の治具のうち、半導体ウェハーを治
具上に並べ熱拡散、熱酸化炉内に挿入するボートについ
て図を用いて説明する。
具上に並べ熱拡散、熱酸化炉内に挿入するボートについ
て図を用いて説明する。
第２図は従来の組立式のボート−例を示す分解斜視図で
ある。このボートは、同図に示すように、２つの板部材
１及び２と、−面にウェーハが挿入される溝が多数形成
された３本の支柱部３゜４．５とをはめ込みによって組
立てられていた。
ある。このボートは、同図に示すように、２つの板部材
１及び２と、−面にウェーハが挿入される溝が多数形成
された３本の支柱部３゜４．５とをはめ込みによって組
立てられていた。
また、これらの部品はそれぞれを成形するか、ブランク
より切削加工等により形成されてきた。
より切削加工等により形成されてきた。
しかし、上述した従来のシリコンを原料とした治具は、
母材を切削研削加工することは可能であるが、互いの部
分を溶接することが不可能であるとされていたため、組
立には、はめ込みを基本とした組立式となっているので
、以下の欠点があった。
母材を切削研削加工することは可能であるが、互いの部
分を溶接することが不可能であるとされていたため、組
立には、はめ込みを基本とした組立式となっているので
、以下の欠点があった。
■組立て後のガタがでやすく、組立後の精度維持が困難
である。
である。
■持運びのときに、不要な力により分解してしまう。
■洗浄、水洗、乾燥時では、差し込み部に滴水残りがお
きないよう、その都度、分解して行なう必要がある。
きないよう、その都度、分解して行なう必要がある。
本発明の目的は、かかる欠点を解消し、不要な力で分解
することなく、洗浄がより簡単で、かつ精度を長時間維
持出来る拡散用治具を提供することにある。
することなく、洗浄がより簡単で、かつ精度を長時間維
持出来る拡散用治具を提供することにある。
本発明の拡散用治具は、シリコン材料から成形される複
数の構成部品で組立てられてなる拡散炉用地具において
、前記構成部品同志の継き目がシラン系ガスを吹き付け
生成するシリコンであることを特徴としている。
数の構成部品で組立てられてなる拡散炉用地具において
、前記構成部品同志の継き目がシラン系ガスを吹き付け
生成するシリコンであることを特徴としている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
（ａ）は、本発明の一実施例を説明するためのボー１〜
の分解斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のボートの
組立を説明するためのボートの部分を示す断面図である
。このボートは、第１図（ａ）に示すように、シリコン
原料から成形されたフランクを従来と同様に、切削加工
により、板部材１及び２と支柱部３，４及び５を製作す
る。このとき、各部品のはめ合い公差は、ゆるめのはめ
合い寸法のする。例えば、そのすき間が０．１〜Ｑ、５
ｍｍ程度のはめ合い寸法差があるように切削加工で仕上
げを行う。
（ａ）は、本発明の一実施例を説明するためのボー１〜
の分解斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のボートの
組立を説明するためのボートの部分を示す断面図である
。このボートは、第１図（ａ）に示すように、シリコン
原料から成形されたフランクを従来と同様に、切削加工
により、板部材１及び２と支柱部３，４及び５を製作す
る。このとき、各部品のはめ合い公差は、ゆるめのはめ
合い寸法のする。例えば、そのすき間が０．１〜Ｑ、５
ｍｍ程度のはめ合い寸法差があるように切削加工で仕上
げを行う。
次に、このボートを組立治具で、その外形及び所要寸法
を確保するように仮組みを行う。次に、この組立治具で
仮組みされたボート、を治具と一緒に真空チャンバに挿
入し、所定の真空度に真空チャンバを排気する。次に、
第１図（ｂ）に示すように、例えは、板部材１と支柱部
３の嵌合部を接続する際は、シラン系ガスノズル６及び
酸素ガスノズルより、シラン系ガスと酸素ガスを吹き付
けることにより、嵌合部のすき間にシリコン生成部８を
形成することにより溶接し、組立を完了する。
を確保するように仮組みを行う。次に、この組立治具で
仮組みされたボート、を治具と一緒に真空チャンバに挿
入し、所定の真空度に真空チャンバを排気する。次に、
第１図（ｂ）に示すように、例えは、板部材１と支柱部
３の嵌合部を接続する際は、シラン系ガスノズル６及び
酸素ガスノズルより、シラン系ガスと酸素ガスを吹き付
けることにより、嵌合部のすき間にシリコン生成部８を
形成することにより溶接し、組立を完了する。
以上説明したように本発明は、シリコン材より製作され
た治具部品の組立では、そのはめ込み部にシリコン生成
物を肉盛りし、溶接構造にすることにより以下の効果が
ある。
た治具部品の組立では、そのはめ込み部にシリコン生成
物を肉盛りし、溶接構造にすることにより以下の効果が
ある。
■ガタをなくし、高精度を保持することが出来る。
■持運び時に分解する恐れはない。
■洗浄、水洗１、乾燥時に、すき間はないので、すき間
に滴水が残ることがないため分解する必要がない。
に滴水が残ることがないため分解する必要がない。
■シリコン治具の基準となる溝加工を溶解後行なえるた
め、より溝精度の高い治具が得られる。
め、より溝精度の高い治具が得られる。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を説明するためのボー
トの分解斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のボー１
〜の組立を説明するためのボード部分を示す断面図、第
２図は従来の組立式のボートの一例を示す部分斜視図で
ある。 １−１７・・液部材、３，４．５・・・支柱部、６・・
・シラン系ガスノズル、 ７・・・ガスノズル、 ８・・・シリコ ン生戒物。
トの分解斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のボー１
〜の組立を説明するためのボード部分を示す断面図、第
２図は従来の組立式のボートの一例を示す部分斜視図で
ある。 １−１７・・液部材、３，４．５・・・支柱部、６・・
・シラン系ガスノズル、 ７・・・ガスノズル、 ８・・・シリコ ン生戒物。
Claims (1)
- シリコン材料から成形される複数の構成部品で組立てら
れてなる拡散炉用地具において、前記構成部品同志の継
き目がシラン系ガスを吹き付け生成するシリコンである
ことを特徴とする拡散炉用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1685290A JPH03220719A (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | 拡散炉用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1685290A JPH03220719A (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | 拡散炉用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03220719A true JPH03220719A (ja) | 1991-09-27 |
Family
ID=11927747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1685290A Pending JPH03220719A (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | 拡散炉用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03220719A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04188617A (ja) * | 1990-11-19 | 1992-07-07 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコン製ウエハ支持ボートの製造方法 |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP1685290A patent/JPH03220719A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04188617A (ja) * | 1990-11-19 | 1992-07-07 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリコン製ウエハ支持ボートの製造方法 |
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