JPH0322211A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、磁気記録媒体に関するものである．さらに
詳しくは、この発明は、書き換え可能な高記録密度の新
しい磁気記録媒体に関するものである． （従来の技術とその課題） 従来より様々な形式と構造の記録媒体が知られており、
すでにかなりの高記録密度と書き換え可能性を有する記
録媒体が実用化され、また開発中でもある， たとえばすでに実用化されているものとしては、記録密
度が約１０５〜１０６ｂｉｔ／一で書き換え可能な塗布
型の磁気ディスクや磁気テープがある．またさらに記録
密度を向上させたものとしては、１　０７ｂｉｔ／一の
光ディスクがある．今後実用化されるものと予測される
光磁気ディスクは、この光ディスクの場合の書き換えの
不可能な欠点を克服し、１　０７ｂｉｔ／一のオーダー
の記録密度を有し、しかも書き換え可能なものとして期
待されている．開発中のものには垂直磁気記録もある．
この場合にも１　０　７ｂｉｔ／ｃｄオーダーの記録密
度を有し、しかも書き換え可能なものが開発の目標とさ
れている． しかしながら、これまでに知られている、また開発中の
ものも含めて公知の記録媒体は、いずれもその記録密度
が１０７ｂｉｔ／一程度にとどまり、これ以上の超高記
録密度を有し、しかも書き換えが可能である新しい記録
媒体の実用化については、その方式や構造の着想すら乏
しいのが実情である．この発明は、以上の通りの事情に
鑑みてなされたものであり、これまでの記録媒体の限界
と欠点を克服し、飛躍的に記録密度を高めることができ
、しかも書き換え可能な新しい記録媒体を提供すること
を目的としている．さらにこの発明は、雑音が少く、ま
た、減磁作用が小さくて、記録読出時の信号強度の大き
い新しい超高記録密度の書き換え可能な記録媒体を提供
することを目的としている。

（課題を解決するための手段） この発明は、上記の課題を解決するものとして、徴粒子
１個に１ビットを記録する方式を提供し、かつその方式
を実現するものとして、強磁性物質からなる形状が一定
の単磁区微粒子を非磁性基板上に対称配列してなること
を特徴とする磁気記録媒体を提供する。

添附した図面に沿ってこの発明の磁気記録媒体について
詳しく説明すると、この磁気記録媒体は、概略的には第
１図に示したような楕遣を有している。

すなわち、この第１図がち明らかなように、非磁性基板
（１）の上に、単磁区微粒子（２）を所定の間隔を介し
て対称的に整合をとって配列している．この単磁区微粒
子（２）は各々記録媒体の要素となり、図中の矢印で示
したように記録系を楕成していく． この単磁区微粒子（２〉は、強磁性物質からなり、その
種類には様々なものが採用できる。たとえば、金属また
は合金としては、Ｆｅ，ＦｅＣｏ，Ｆｅ−Ｎｌ，Ｆｅ−
Ｃｕ，Ｆｅ−Ｐｔ、Ｆｅ−ＭｎなどのＦｅ合金、ＣＯ、
Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−ＣｕなどのＣＯ合金、Ｎｉ，Ｎｉ−
Ｃｕ、Ｍｎ−ＮｉなどのＮｉ合金が示される。

金属間化合物としてＦ　ｅ　３Ａ　ｊ　、ホイスラー合
金などを使用することもできる。また、酸化物でもよく
、マンガンフエライト、ニッケルフエライト、バリウム
フェライト、コバルトフエライトなどのフエライト類や
、マグネタイト（Ｆｅ３０４）、マグヘマイト（γ−Ｆ
　ｅ　２　０　３）などを例示することができる。

これらの強磁性物質からなる単磁区微粒子（２）は、隣
接するものと、その大きさおよび形状を対称的なものと
し、この大きさ、および相互の間隔を、磁気記録媒体の
作動方式に対応させて整合させ、所要の大きさと位置で
対称配列する．この単磁区微粒子（２）の形状は、保持
力を大きくするためにも、第１図に例示したように細長
くすることが好適であるが、その形状は必ずしも長方形
である必要はない．複数のものが均等性を持つように、
たとえば楕円形であってもよい．一般的には、細長い形
状として、その長さ（ｊ）は、巾（Ｗ）の２〜１０倍と
し、高さ（ｈ）を巾（Ｗ）と略均等とすることが好まし
い．また、単磁区漱粒子（２）相互の間隔（ｓ　）（ｓ
２）は、１ 巾（Ｗ）と均等としてもよい． 表１は、この単磁区微粒子（２）の大きさ（ＷＸｊＸｈ
）と、相互の間隔（Ｓ１　）　　（Ｓ２　）の目安とし
て、巾（Ｗ）の好ましい範囲を例示したものである． もちろん、この表１の数字は限定的なものでなく、単磁
区を形成するための目安となるものである． このような単磁区微粒子（２）は、非磁性基板（１）上
に規則的に対称配列するが、この場合、その配列は、第
１図に示したような矩形の格子状のみならず、円盤状の
非磁性基板に沿った多数の同心円状あるいは円形うす巻
き状であってもよい．もちろんこれに限定されるもので
はなく、一定の対称性をもった整然とした配列態様であ
れば何であってもよい．その配列の形状は、単磁区微粒
子（２〉の成長によって、あるいは、エッチング法など
との組合わせによって適宜に行うことができる． より好適には、微小ビーム構図プロセスによってこれら
の単磁区微粒子（２）を形成・配列することができる． く表　１〉 このビーム描画プロセスを例示したものが第２図である
． （ａ） 非磁性基板（１）の上に、レジスト 膜（３）を塗布する．非磁性基板（１）としては、ガラ
ス、樹脂、その他任意のものであってもよい．その形状
も、円盤状のものから、他の適宜なものとすることがで
きる． レジスト膜（３）は、熟硬化性、光硬 化性、その他のタイプのものとすることができる。

このレジスト膜（３）を電子ビーム等 のビームによって所定のパターンに描画し、現象して、
所定の部位のレジストを除去する． （Ｃ）　　次いで、スパッタリング、真空蒸着等の気相
成脱法によって強磁性物質の薄１１！（４）を形成する
。

反応性スパッタリングによって酸化物 膜を形成することもできる。

（ｂ） （ｄ）　　プラズマ灰化処理等によって残っているレジ
スト部を除去すると、その上部の強磁性薄Ｍ（４）も除
去される。こうすることにより、第１図に示したような
単磁区微粒子（２）が形或される． （作　用） この発明においては、単磁区微粒子の配列によって、１
　０９ｂｉｔ／−オーダーの超高記録密度が実現され、
また、書き換えも可能となる。また、雑音が少なく、減
磁作用の小さい記録媒体が得られる．記録続出時の信号
強度も大きくなる。

〈実施例） この発明の磁気記録媒体としては、たとえば以下のもの
を例示することができる． すなわち、円盤状のガラスまたは樹脂製の非磁性基板（
１）の上に、Ｆｅ−Ｃｏ合金の強磁性物質からなる単磁
区微粒子（２）を形成する。この時の単磁区微粒子（２
）の巾（Ｗ）を１００ｒ＋ｎ＋　、その長さ（』）を２
００ｎｎ　、高さ（ｈ）を１００ｎｎとする． また間隔（Ｓ　）（Ｓ２）は、各々１００ｎｎ、１ １００ｎＩ１とする． この配列は、レジスト膜として厚さ５００ｒ＋ｎのＰＭ
ＭＡ　（ポリメチルメタクリレート）を用い、電子ビー
ム描画プロセスによって形成する．このようにして形成
した磁気記録媒体は、抗磁力として約４ＫＯｅの値を示
し、記録密度は約２　Ｘ　１　０９ｂｉｔ／ｃｌに達す
る．ディジタル信号の記録媒体として、コンピュータ用
の磁気ディスク、ディジタル方式のビデオディスク等に
好適に用いることができる．

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の磁気記録媒体を例示した拡大斜視
図である．第２図は、その製造プロセスの一例を示した
工程断面図である．

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）強磁性物質からなる形状が一定の単磁区微粒子を
   非磁性基板上に対称配列してなることを特徴とする磁気
   記録媒体。
2. （２）微小ビーム描画プロセスにより単磁区微粒子を形
   成してなる請求項（１）記載の磁気記録媒体。
3. （３）単磁区微粒子の平面長さをその巾の２〜１０倍と
   してなる請求項（１）記載の磁気記録媒体。
4. （４）単磁区微粒子の相互間隔をその巾と略均等として
   なる請求項（１）記載の磁気記録媒体。