JPH03227257A - 厚膜感熱記録ヘツドの研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は感熱記報ヘッドの研磨装置に係り、特に、ファ
クシミリやプリンタへの利用に好適な厚膜型感熱記録ヘ
ッドの製造装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の感熱記録ヘッドは、第５図の断面図及び第６図の
発熱温度分布に示すように、発熱抵抗体が山形状をして
いることから、各ドツトの発熱温度分布は中央が高く、
段階状に低くなっていくため温度こう配が大きく各ドツ
トが連続しない。そのため、ドツト間の未発色領域が大
きく濃度むらを発生していた。この濃度むらをなくし、
発色ドツト間の未発色領域を極力、減らす手段として、
発熱抵抗体の入力エネルギを制御すると、発色ドツトの
幅を可変できる。また、副走査方向（紙送り方向）の抵
抗体幅を大きくすることにより、発色ドツトの幅を変え
ることができる。しがし、前者の入力エネルギは電源の
制約があり、後者の抵抗体幅を大きくすると、熱効率の
低下を招くなど、濃度むらを無くすには至らなかった。

そこで、焼成前の発熱抵抗体の粗さ及び平坦面の幅を特
定することにより、印画品質を向上する方式が提案され
た（特開昭５４−９９４４３号公報参照）。

この方式は、発熱抵抗体を印刷・乾燥後、ばね板とクツ
ション材を介した研磨材にて研磨を行い、１００μｍ以
上の平坦面と表面粗さ±２μｍ以下に処理し、その後、
発熱抵抗体を焼成し、その上に保護膜を形成するもので
ある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、印刷・乾燥した発熱抵抗体を、ばね板
とクツション材を介して研磨紙を取付けた治具を発熱抵
抗体の表面に押付け、主走査方向に一定速度で移動する
ことにより、平坦面を得るものである。これは、焼成後
の抵抗、たとえば、酸化ルテニウムは、非常に硬く無理
に研磨すれば。

金電極を損なうため、研磨は不可能とされていた。

さらに、小範囲を移動しながら研磨するため、基板の反
りやうねりを完全に取除くことができない。

本発明の目的は、発熱抵抗体の研磨を焼成後に行うこと
、全ドツトの発熱抵抗体を研磨材を貼付した研磨ローラ
によって一体研磨を行い、主・副走査方向にわたって均
等に整形することにより、発色ドツトの範囲を広げて、
発色形状を均一化させ、全体を高画質化することにある
。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するために、本発明の厚膜感熱記録ヘッ
ドの発熱部の製造方法は、発熱抵抗体をスクリーン印刷
・乾燥・焼成後、基板幅の研磨材、たとえば、ダイヤモ
ンドフィルム（粒径３μｍ以下が良好）をゴム材を介し
て研磨ローラに貼付し、一定の荷重で発熱抵抗体表面に
押付は一体研磨することにより可能となり、基板上の反
りやうねりを完全に取除くとともに表面粗さ、及び、平
坦度を大幅に向上することができる。

即ち１本発明は、抵抗材料を基板に印刷し、乾燥し、そ
の後、焼成してなる発熱抵抗体及び／またはこの発熱抵
抗体上の保護層を所定の平面粗さに精密に一体研磨する
際にし、この研磨は研磨ローラを四点の一定の押付は荷
重で基板に押し付け、回転させることにより、発熱抵抗
体、及び、保護層を仕上げることを特徴とし、かつ、研
磨ローラ周面の研磨材を剛性ゴム部材（ゴム硬度９０度
が好適１例えば、ウレタンゴム、ネオプレンゴム）を介
してローラ芯材（たわみのない鉄芯）全周に固着されて
いることを特徴とする。保護層についても、基板サイズ
を一体研磨により、反りやうねりを取除くことができる
。これら、本発明の研磨方法とその装置により厚膜感熱
記録ヘッドの高画質化を達成することができる。

尚、この装置では、主・副走査方向の発熱抵抗体の厚膜
を均一に研磨する場合、四点の押付は荷重を厳格に一致
させることが望ましい。

〔作用〕

本発明は、上記構成により、従来困−とされていた発熱
抵抗体焼成後の研磨を可能にすることにより、濃度むら
の原因とされる発熱抵抗体表面の表面粗さを向上させ、
発色ドツト分の滑らかな平坦面を得るとともに、基板サ
イズの研磨材、たとえば、ダイヤモンドフィルムを貼付
した研磨ローラによって一体研磨を行い、基板の反りや
うねりを完全に取除くことができる。また、一体研磨の
ため、研磨ローラと発熱部との位置合せが容易である。

更に１発熱抵抗体焼成後は、抵抗値測定が可能なため、
研磨工程による抵抗値調整が可能である。

厚膜感熱記録ヘッドの発熱抵抗体は、共通及び選択の電
極の一部分を橋絡して、主走査方向に形成されており、
この電極のために凹凸、スクリーン印刷によるうねり等
をもつ。さらに、発熱抵抗体の中央部分の電流密度が大
きく、その部分における発熱エネルギが大きくなるため
、発熱抵抗体の温度分布は中央部が最も高く、周辺部分
に向って低くなる。そのため、電極による凹凸、及び、
うねりを無くすとともに、主・副走査方向の発熱抵抗体
膜厚を均一化することにより１発熱抵抗体に、必要な発
色ドツト幅と同様な平坦面が得られれば、発色ドツト同
士が重なり合って未発色領域が大幅に減少される。更に
、発熱抵抗体上に形成される保護層についても、同様な
平坦面を得ることにより、濃度むらをなくすことにより
高画質化を図ることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図及び第２図に本発明の実施例に採用する印刷、乾燥、
焼成後の発熱抵抗体及び保護層の高剛性研磨装置を示す
。研磨工程は、発熱抵抗体１の場合は、発熱抵抗体１を
形成後焼成した基板３を真空吸着基板台９に固定し、研
磨ローラ６の下に位置合せ調整ねじ１２によって、研磨
ローラ６と平行に正確にセットする。基板３は、荷重セ
ンサ１１を介した四点付加部１０によって主・副走査方
向を均等に一定の荷重が付加される。研磨ローラ６は、
例えば、ダイヤモンドフィルム（粒径３μｍ以下が良好
）からなる研磨材７を表面にし、研磨材７を剛性のある
ゴム材８（商品名プラテンゴム＝ゴム硬度９０度のウレ
タンゴム）に重ならないように貼付し、中芯には、基板
の反りに追従しないようにたわみのない高剛性の鉄芯を
使つた構造となっている。発熱抵抗体１の表面は、研磨
ローラ６を回転することによって主・副走査方向を均一
な膜厚に一体研磨され１表面粗さ±１μｍ以下の滑らか
な平坦面に仕上げられる。さらに、うねりや反りを最小
限に抑えるために、この高剛性研磨装置の各部分はたわ
みのない様に鉄製で厚みのある研磨ローラ６、同様に厚
みのある真空吸着基板台９を採用している。また、研磨
ローラ６の真円度と平行度、真空吸着基板台９の反りは
、極限まで抑えられている。これらの特徴をもつ高剛性
研磨装置によって焼成後の発熱抵抗体を研磨すれば、全
ドツトにわたって均一な厚膜に処理することができる。

第３図は、第１図の高剛性研磨装置によって発熱抵抗体
１を研磨した後の拡大断面図を示す。発熱抵抗体１は、
主・副走査方向に基板３と平行に均一な膜厚で滑らかな
平坦面となっている。

第４図は、第３図の研磨工程後の発熱抵抗体１の発熱温
度分布を示したものである。主・副走査方向に均一な膜
厚で滑らかな平坦面を持つために高温度の広がりが大き
く、発色ドツト同士の繋がりが円滑であり未発色領域が
大幅に減少される。

第５図は、印刷・乾燥・焼成後の発熱抵抗体１の拡大断
面図を示す。形状は山形状をしており、主・副走査方向
には、スクリーン印刷の特長であるうねりをもつ。

第６図は、第５図の発熱抵抗体１の発熱温度分布を示し
たものである。発熱抵抗体１の形状が山形状であるため
、中央部分が最も高く、周辺部分に向って低くなってい
る。そのため、発色ドツト同士に繋がりがなく、発色ド
ツトの間に未発色領域が発生し、白ぬけとなり、画質を
著しく劣化させていた。

保護層５の研磨工程を第７図と第８図によって説明する
。研磨処理を施した発熱抵抗体１の上に保護層５を形成
し、発熱抵抗体１と同様の研磨処理を行い、表面の平坦
性、更に１表面粗さを向上させ、ヘッドタッチを良くす
る。保護層５は耐摩耗性の向上のために、アルミナ等を
配合したものが使用される。そのため、表面にアルミナ
が突出していたり１表面が荒れていると、スティック・
スリップの原因となるため平滑にする必要がある。

保護層５は、発熱抵抗体１に比べて硬度が低いため、小
さな粒度の研磨材、少ない回転数で目的の平坦面が得ら
れる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、主走査方向のうねり、反りがなくなり
、主・副走査方向は均一な膜厚の平坦面となり、表面性
状に起因するとされている濃度むらが解消して高画質化
に効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る厚膜感熱記録ヘッドの
製造方法に用いる高剛性研磨装置の正面図、第２図は第
１図の高剛性研磨装置の断面図、第３＠は研磨処理後の
厚膜感熱記録ヘッドの要部拡大断面図、第４図は第３図
の厚膜感熱記録ヘッドの発熱温度分布図、第５図は研磨
処理前の厚膜感熱記録ヘッドの要部拡大断面図、第６図
は第５図の厚膜感熱記録ヘットの発熱温度分布図、第７
図は保護層の研磨処理後の要部拡大断面図、第８図は第
７図の主走査方向の要部拡大断面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、発熱抵抗体の形状効果に起因する発熱分布を改善す
   るため、焼成後の発熱抵抗体を全ドットの一体研磨を行
   い、発熱抵抗体膜厚を均一化することを特徴とする厚膜
   感熱記録ヘッドの研磨装置。 ２、発熱抵抗体の発熱形状を山形状から台形状に整形す
   ることにより、発熱分布を広げるとともに均一化するこ
   とを特徴とする厚膜感熱記録ヘッドの研磨装置。 ３、請求項１において、発熱抵抗体を台形状に整形する
   時に基板と副走査方向を平行に整形し、ヘッドコンタク
   トを良くしたことを特徴とする感熱記録ヘッドの研磨装
   置。 ４、請求項１において、発熱抵抗体を台形状に整形する
   時に全ドットにわたつて均等に整形されることにより主
   走査方向の発熱分布を均一化した厚膜感熱記録ヘッドの
   研磨装置。５、請求項１において、発熱抵抗体を台形状
   に整形する時に基板と副走査方向を平行とし、主走査方
   向の全ドットにわたつて均等に整形することにより、ヘ
   ッドコンタクトを良くし、発熱分布を均一化したことを
   特徴とする厚膜感熱記録ヘッドの研磨装置。 ６、発熱抵抗体の形状を主走査方向に全ドットに均等に
   、さらに副走査方向に基板と平行の台形に整形し、四点
   支持のたわみのない高剛性の基板ホルダを備えた厚膜感
   熱記録ヘッドの研磨装置。 ７、請求項６において、発熱抵抗体の主走査方向の全ド
   ットにわたつて均等に整形するために、たわみをなくし
   た研磨ローラ、たわみのない高剛性の真空吸着ホルダ、
   さらに四点支持による支持系とした厚膜感熱記録ヘッド
   の研磨装置。 ８、耐摩耗向上のためにアルミナ等を含有した保護層の
   表面平滑性を向上させ、主・副走査方向を均等に研磨し
   、ヘッドコンタクトを向上させた厚膜感熱記録ヘッドの
   研磨装置。