JPH0322768A - 固体撮像素子の駆動方法 - Google Patents
固体撮像素子の駆動方法Info
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- JPH0322768A JPH0322768A JP1157369A JP15736989A JPH0322768A JP H0322768 A JPH0322768 A JP H0322768A JP 1157369 A JP1157369 A JP 1157369A JP 15736989 A JP15736989 A JP 15736989A JP H0322768 A JPH0322768 A JP H0322768A
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- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
《イ》産業上の利用分野
本発明は、チャネル領域中の光電荷をチャネル領域外に
排出させ−る固体撮像素子の駆動方法に関する． 〈口〉従来の技術 従来、ＣＣＤ固体撮像素子を用いたテレビカメラの如き
撮像装置に於いては、ＣＣＤの動作原理を活用して電子
的に露光制御を行うことが考えられている．このような
露光制御方法は、例えば特開昭６３−２４７６４号公報
に開示されている如く、垂直走査期間毎の光電変換期間
の途中でそれまで撮像部に蓄積した光電荷を転送排出し
、残余の光電変換期間に光電変換して得た光電荷を蓄積
するように構成されている．即ち、光電荷の排出のタイ
ミングの変更に依って光電変換期間が伸縮されるもので
、光電荷の排出のタイミングがＣＣＤの出力信号のレベ
ルに従って設定される．このようなＣＣＤの駆動方法で
は、撮像部の不要な光電荷を読出転送方向とは反対の方
向に転送することで排出しているが、逆方向への転送に
依る光電荷の排出は、読出転送時と同様に排出転送時に
もスミアが発生する．そこで、スミアの発生しない光電
荷の排出方法が種々考えられている．例えば、本願出願
人既提案の特願平１−９６７１２号に於いては、撮像部
の蓄積転送チケネルに並列して設けられるオーバーフロ
ードレインの電位を高くすることで、蓄積転送チケネル
と才−バーフロードレインとの間の電位障壁を消滅させ
て蓄積転送チャネルから才一バーフロードレインに光電
荷を排出させている． 第３図は、上述の駆動方法を採用するＣＣＤ固体撮像素
子の要部平面図であり、第４図は第３図ｘ−ｘ’線断面
図である．ここでは、クロスゲート構造のフレームトラ
ンスファ型ＣＣＤの撮像部が示してある． Ｐ型基板（１）の一面には、複数のチャネルストップ〈
２〉がＬＯＧＯＳに依って互いに平行に配列形成されて
おり、このチャネルストップ〈２〉の下にオーバーフロ
ードレイン〈３）が形成されている．各チャネルストッ
プ《２〉の間にはＮ型のチャネル領域（４）が拡散に依
って形成され、このチャネル領域《４〉上にチャネルス
トップ（２〉と直交する方向に複数の下層電極（５）が
平行に設けられ、さらにチャネルストップ〈２〉に沿っ
て複数の上層電極（６）が設けられている．上層電極（
６〉には、下層電極《５〉の間隙を覆う突出部が隣り合
う上層電極（６〉と互い違いになるように形成されてい
る．？電極（５）（６）は４相の転送クロックφ■〜φ
■でパルス駆動されるもので、上層電極〈６〉には転送
クロックφ■，φ，．、下層電極（５〉には転送クロッ
クφ，．φ■が交互に印加される．そして、オーバーフ
ロードレイン（３〉には、電位制御クロックφ。，，が
印加される．チャネル領域（４）に光電荷を蓄積する際
には、例えば転送クロックφ■を高レベル、制御クロッ
クφ。，Ｄを低レベルとすることで基板（１）内のボテ
ンシ勺ルを第５図に示すようにチャネル領域（４）とオ
ーバーフロードレイン（３〉との間で浅くさせ、ボテン
シヶル障壁を形成する．従って、受光領域（７〉で発生
する光電荷は、ポテンシャルの勾配に沿って上層電極（
６）の突出部の下に流れてチャネル領域（４〉に蓄積さ
れる． 一方、チャネル領域《４〉内の光電荷を排出する際には
、蓄積の際とは逆に転送クロックφ■を低レベル、制御
クロックφ。，。を高レベルとすることで、第３図に破
線で示すようにチャネル領域（４）のポテンシャルを浅
くしてチャネル領域〈４〉とオーバーフロードレイン（
３〉との間のポテンシャル障壁を消滅させる．ポテンシ
ャル障壁がなくなると、チャネル領域（４〉内の光電荷
はポテンシャル勾配に沿って才一バーフロードレイン（
３）へ流れる．従って、チャネル領域〈４）内の光電荷
が排出されることになる． このような光電荷の排出方法に依ると、撮像部全体の光
電荷を略同時に、しかも極めて短い期間に排出すること
ができるため、逆転送に依る光電荷の排出方法に比して
スミアが大幅に抑圧される． （八）発明が解決しようとする課題 しかしながら、光電荷をチケネル領域（４）からオーバ
ーフロードレイン（３〉に流す場合、チケネル領域（０
内に不要な光電荷が残留することがある．これは、チケ
ネル領域（４）やオーバーフロードレイン（３）等の不
純物濃度、チャネルストップ（２）部分のＬＯＧＯＳの
厚さ等の製造時のばらつきに依り、チャネル領域（４）
とオーバーフロードレイン《３〉との間のポテンシャル
障壁が消滅し易い領域と、消滅し難い領域とが生ずるた
めであり、各領域を均一な電位とした場合、ポテンシ勺
ル障壁の消滅し難い領域に光電荷が残留する．このよう
な光電荷の残留を防止するためには、全ての領域でチャ
ネル領域（４）とオーバーフロードレイン（３〉との間
のボテンシケル障壁が十分に消滅するような極めて高い
電位差をチケネル領域（４〉とオーバーフロードレイン
〈３〉との間に与える必要がある．従って、ＣＣＤを駆
動する駆動パルスの電圧が高くなるという問題が生ずる
．そこで本発明は、チャネル領域（４〉内の光電荷を排
出する際の駆動パルスの電圧を下げると共に、チケネル
領域（４）内に光電荷が残留するのを防止することを目
的とする． （二〉課題を解決するための手段 本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、
複数のチャネル領域がチャネルストップ領域で互いに分
離されて配列形成され、上記チャネルストップ領域内に
設けられたオーバーフロードレインに上記チャネル領域
中の過剰な光電荷を受けるＣＣＤ固体撮像素子の駆動方
法に於いて、上記チャネル領域と上記オーバーフロード
レインとの間に電位障壁を形戒しうる上記オーバーフロ
ードレインの電位に対し、上記オーバーフロードレイン
を高電位として上記電位障壁を消滅させると共に、上記
チャネル領域上に設けられた転送電極をパルス駆動する
ことで、上記チャネル領域中の光電荷を上記チケネル領
域から上記オーバーブロードレインに排出せしめること
を特徴とする． （ホ）作用 本発明に依れば、撮像部の光電荷が読出方向とは反対の
方向に転送される過程に於いてチャネル領域からオーバ
ーフロードレインに排出されるために、チャネル領域と
オーバーフロードレインとの間の電位障壁の消滅し難い
領域に残留した光電荷は転送経路中の電位障壁が消滅し
易い領域でオーバーフロードレインに排出される。
排出させ−る固体撮像素子の駆動方法に関する． 〈口〉従来の技術 従来、ＣＣＤ固体撮像素子を用いたテレビカメラの如き
撮像装置に於いては、ＣＣＤの動作原理を活用して電子
的に露光制御を行うことが考えられている．このような
露光制御方法は、例えば特開昭６３−２４７６４号公報
に開示されている如く、垂直走査期間毎の光電変換期間
の途中でそれまで撮像部に蓄積した光電荷を転送排出し
、残余の光電変換期間に光電変換して得た光電荷を蓄積
するように構成されている．即ち、光電荷の排出のタイ
ミングの変更に依って光電変換期間が伸縮されるもので
、光電荷の排出のタイミングがＣＣＤの出力信号のレベ
ルに従って設定される．このようなＣＣＤの駆動方法で
は、撮像部の不要な光電荷を読出転送方向とは反対の方
向に転送することで排出しているが、逆方向への転送に
依る光電荷の排出は、読出転送時と同様に排出転送時に
もスミアが発生する．そこで、スミアの発生しない光電
荷の排出方法が種々考えられている．例えば、本願出願
人既提案の特願平１−９６７１２号に於いては、撮像部
の蓄積転送チケネルに並列して設けられるオーバーフロ
ードレインの電位を高くすることで、蓄積転送チケネル
と才−バーフロードレインとの間の電位障壁を消滅させ
て蓄積転送チャネルから才一バーフロードレインに光電
荷を排出させている． 第３図は、上述の駆動方法を採用するＣＣＤ固体撮像素
子の要部平面図であり、第４図は第３図ｘ−ｘ’線断面
図である．ここでは、クロスゲート構造のフレームトラ
ンスファ型ＣＣＤの撮像部が示してある． Ｐ型基板（１）の一面には、複数のチャネルストップ〈
２〉がＬＯＧＯＳに依って互いに平行に配列形成されて
おり、このチャネルストップ〈２〉の下にオーバーフロ
ードレイン〈３）が形成されている．各チャネルストッ
プ《２〉の間にはＮ型のチャネル領域（４）が拡散に依
って形成され、このチャネル領域《４〉上にチャネルス
トップ（２〉と直交する方向に複数の下層電極（５）が
平行に設けられ、さらにチャネルストップ〈２〉に沿っ
て複数の上層電極（６）が設けられている．上層電極（
６〉には、下層電極《５〉の間隙を覆う突出部が隣り合
う上層電極（６〉と互い違いになるように形成されてい
る．？電極（５）（６）は４相の転送クロックφ■〜φ
■でパルス駆動されるもので、上層電極〈６〉には転送
クロックφ■，φ，．、下層電極（５〉には転送クロッ
クφ，．φ■が交互に印加される．そして、オーバーフ
ロードレイン（３〉には、電位制御クロックφ。，，が
印加される．チャネル領域（４）に光電荷を蓄積する際
には、例えば転送クロックφ■を高レベル、制御クロッ
クφ。，Ｄを低レベルとすることで基板（１）内のボテ
ンシ勺ルを第５図に示すようにチャネル領域（４）とオ
ーバーフロードレイン（３〉との間で浅くさせ、ボテン
シヶル障壁を形成する．従って、受光領域（７〉で発生
する光電荷は、ポテンシャルの勾配に沿って上層電極（
６）の突出部の下に流れてチャネル領域（４〉に蓄積さ
れる． 一方、チャネル領域《４〉内の光電荷を排出する際には
、蓄積の際とは逆に転送クロックφ■を低レベル、制御
クロックφ。，。を高レベルとすることで、第３図に破
線で示すようにチャネル領域（４）のポテンシャルを浅
くしてチャネル領域〈４〉とオーバーフロードレイン（
３〉との間のポテンシャル障壁を消滅させる．ポテンシ
ャル障壁がなくなると、チャネル領域（４〉内の光電荷
はポテンシャル勾配に沿って才一バーフロードレイン（
３）へ流れる．従って、チャネル領域〈４）内の光電荷
が排出されることになる． このような光電荷の排出方法に依ると、撮像部全体の光
電荷を略同時に、しかも極めて短い期間に排出すること
ができるため、逆転送に依る光電荷の排出方法に比して
スミアが大幅に抑圧される． （八）発明が解決しようとする課題 しかしながら、光電荷をチケネル領域（４）からオーバ
ーフロードレイン（３〉に流す場合、チケネル領域（０
内に不要な光電荷が残留することがある．これは、チケ
ネル領域（４）やオーバーフロードレイン（３）等の不
純物濃度、チャネルストップ（２）部分のＬＯＧＯＳの
厚さ等の製造時のばらつきに依り、チャネル領域（４）
とオーバーフロードレイン《３〉との間のポテンシャル
障壁が消滅し易い領域と、消滅し難い領域とが生ずるた
めであり、各領域を均一な電位とした場合、ポテンシ勺
ル障壁の消滅し難い領域に光電荷が残留する．このよう
な光電荷の残留を防止するためには、全ての領域でチャ
ネル領域（４）とオーバーフロードレイン（３〉との間
のボテンシケル障壁が十分に消滅するような極めて高い
電位差をチケネル領域（４〉とオーバーフロードレイン
〈３〉との間に与える必要がある．従って、ＣＣＤを駆
動する駆動パルスの電圧が高くなるという問題が生ずる
．そこで本発明は、チャネル領域（４〉内の光電荷を排
出する際の駆動パルスの電圧を下げると共に、チケネル
領域（４）内に光電荷が残留するのを防止することを目
的とする． （二〉課題を解決するための手段 本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、
複数のチャネル領域がチャネルストップ領域で互いに分
離されて配列形成され、上記チャネルストップ領域内に
設けられたオーバーフロードレインに上記チャネル領域
中の過剰な光電荷を受けるＣＣＤ固体撮像素子の駆動方
法に於いて、上記チャネル領域と上記オーバーフロード
レインとの間に電位障壁を形戒しうる上記オーバーフロ
ードレインの電位に対し、上記オーバーフロードレイン
を高電位として上記電位障壁を消滅させると共に、上記
チャネル領域上に設けられた転送電極をパルス駆動する
ことで、上記チャネル領域中の光電荷を上記チケネル領
域から上記オーバーブロードレインに排出せしめること
を特徴とする． （ホ）作用 本発明に依れば、撮像部の光電荷が読出方向とは反対の
方向に転送される過程に於いてチャネル領域からオーバ
ーフロードレインに排出されるために、チャネル領域と
オーバーフロードレインとの間の電位障壁の消滅し難い
領域に残留した光電荷は転送経路中の電位障壁が消滅し
易い領域でオーバーフロードレインに排出される。
《へ〉実施例
本発明の一実施例を図面に従って説明する．第１図は本
発明駆動方法を用いて自動露光制御を行う撮像装置のブ
ロック図である． ＣＣＤ固体撮像素子（１０〉は、撮像部に照射された映
像を光電変換し、得られた光電荷が一定期間毎に読出駆
動されて画面単位で連続する映像信号Ｘ （ｔ）を出力
する．この映像信号Ｘ （ｔ）は信号処理回路（１１〉
でサンプルホールド、ガンマ補正等の処理が施され、ピ
デ才信号Ｙ （ｔ）として外部機器に出力される． Ｃ Ｏ Ｄ （１０）は、各種クロックでパルス駆動さ
れるもので、読出クロック発生回路（１２〉から順方向
転送クロックφ，、排出クロック発生回路（１３）から
逆方向転送クロックφ．が撮像部の転送電極に供給され
る．さらに、Ｃ Ｃ Ｄ （１０）のオーバーフロード
レインには、制御クロック発生回路〈１４〉から電位制
御クロックφ。，Ｄが供給される．これらクロック発生
回路（１２）（１３）及び〈１４〉には、読出タイミン
グ設定回路（１５）及び排出タイミング設定回路（１６
〉から、夫々読出タイミング信号ＦＴ及び排出タイミン
グ信号ＲＴが供給され、この読出タイミング信号ＦＴ及
び排出タイミング信号ＲＴに従って動作する．即ち、Ｃ
ＣＤ（１０）に蓄積された光電荷は、一定期間毎に順方
向転送クロックφ，に依って読出駆動され、排出タイミ
ング信号ＲＴで設定されるタイミングに逆方向転送クロ
ックφ．で読出駆動の方向とは反対の方向に転送される
と共に電位制御クロックφ。，，でオーバーフロードレ
インに排出せしめられる． 一力、露光量判定回路（１７）は、Ｃ Ｃ Ｄ （１０
）から得られる映像信号Ｘ （ｔ）の露光量を検知し、
その露光量が適正範囲以上であれば露光抑制信号ＣＬＯ
ＳＥ，適正範囲以下であれば露光促進信号ＯＰＥＮを排
出タイミング設定回路（１６〉に与える．そして、排出
タイミング設定回路（１６）は、露光抑制信号ＣＬＯＳ
Ｅ及び露光促進信号ＯＰＥＮに従って露光期間を伸縮制
御する． 第２図は第１図の動作を示すタイミング図である． 読出タイミング信号ＦＴは、垂直走査信号ＶＤのプラン
キング期間の所定のタイミングにタイミングパルス（ａ
）を有しており、このタイミングパルス（ａ）の入力で
読出クロック発生回路（１２〉は一画面分の光電荷を垂
直方向に転送するクロックパルス（ｂ）を発生する．排
出タイミング信号ＲＴは、垂直走査期間の特定のタイミ
ングにタイミングパルス（ｅ）を有しており、このタイ
ミングにそれまで蓄積した光電荷が排出される．このタ
イミングパルス（Ｃ）の発生するタイミングは、露光量
判定回路（１７〉からの露光抑制信号ＣＬＯＳＥで遅ら
せられ、露光促進信号ＯＰＥＮで速められるように構成
されている．タイミングパルス（ｅ）が排出クロック発
生回路《１３）及び制御クロック発生回路（１４〉に入
力されると、水平走査信号ＨＤのプランキング期間に電
位制御クロックφ。ＦＤが立上り、一定期間（ここでは
水平走査信号ＨＤの２周期）の後同じくプランキング期
間に立下ると共に、電位制御クロックφ。，Ｄが立上っ
てから立下るまでの期間の水平走査信号ＨＤのプランキ
ング期間に逆方向転送クロックφ，がクロックパルス（
ｄ）を発生する．光電荷の排出期間中は、電位制御クロ
ックφ。。に依って才一バーフロードレインの電位が高
められてボテンシ勺ルが深く形成され、チケネル領域と
オーバーフロードレインとの間のボテンシケル障壁が消
滅された状態で、チケネル領域の光電荷が逆方向に転送
される．従って、ポテンシャル障壁が完全に消滅せずに
光電荷が残留するような領域があった場合、その残留電
荷が一定の区間を転送される間にポテンシケル障壁の消
滅した領域に入れば才一バーブロード，レインに排出さ
れる．この排出期間が終わってから、次に順方向転送ク
ロックφ，がクロックパルス（ｂ）を発生するまでの期
間が露光期間Ｅとして設定され、この期間Ｅで一画面分
の光電荷が蓄積される． 上述の如き駆動方法に依れば、逆方向転送クロックφ．
で転送される一定の区間内の一部でチャネル領域からオ
ーバーフロードレインに光電荷が排出されれば良いこと
から、ｃ Ｃ Ｄ （ｔＯ）の製造ばらつきに依って部
分的に光電荷の排出され難い領域があったとしても、こ
の領域に応じて電位制御く、駆動電圧を低下させること
が可能である．尚、本実施例に於いては、光電荷の排出
タイミングをＣ Ｏ Ｄ （１Ｇ）の露光量に対応させ
た（自動露制御）場合を例示しているが、本発明駆動方
法を用いて可変速電子シャッタを実現することもできる
．この場合には、排出タイミングを手動で設定すること
に依り、所定のシャッタ速度の静止画を得ることができ
る． （ト〉発明の効果 本発明に依れば、チヶネル領域に残留した光電荷を駆動
電圧を上げることなくオーバーフロードレインに排出す
ることができるため、光電荷を効率良く排出させること
ができ、露光期間の伸縮制御を容易に実現できる． また、駆動電圧を低くすることが可能なため、駆動クロ
ックを発生する回路を容易に構成することができ、コス
トの低下が望める．
発明駆動方法を用いて自動露光制御を行う撮像装置のブ
ロック図である． ＣＣＤ固体撮像素子（１０〉は、撮像部に照射された映
像を光電変換し、得られた光電荷が一定期間毎に読出駆
動されて画面単位で連続する映像信号Ｘ （ｔ）を出力
する．この映像信号Ｘ （ｔ）は信号処理回路（１１〉
でサンプルホールド、ガンマ補正等の処理が施され、ピ
デ才信号Ｙ （ｔ）として外部機器に出力される． Ｃ Ｏ Ｄ （１０）は、各種クロックでパルス駆動さ
れるもので、読出クロック発生回路（１２〉から順方向
転送クロックφ，、排出クロック発生回路（１３）から
逆方向転送クロックφ．が撮像部の転送電極に供給され
る．さらに、Ｃ Ｃ Ｄ （１０）のオーバーフロード
レインには、制御クロック発生回路〈１４〉から電位制
御クロックφ。，Ｄが供給される．これらクロック発生
回路（１２）（１３）及び〈１４〉には、読出タイミン
グ設定回路（１５）及び排出タイミング設定回路（１６
〉から、夫々読出タイミング信号ＦＴ及び排出タイミン
グ信号ＲＴが供給され、この読出タイミング信号ＦＴ及
び排出タイミング信号ＲＴに従って動作する．即ち、Ｃ
ＣＤ（１０）に蓄積された光電荷は、一定期間毎に順方
向転送クロックφ，に依って読出駆動され、排出タイミ
ング信号ＲＴで設定されるタイミングに逆方向転送クロ
ックφ．で読出駆動の方向とは反対の方向に転送される
と共に電位制御クロックφ。，，でオーバーフロードレ
インに排出せしめられる． 一力、露光量判定回路（１７）は、Ｃ Ｃ Ｄ （１０
）から得られる映像信号Ｘ （ｔ）の露光量を検知し、
その露光量が適正範囲以上であれば露光抑制信号ＣＬＯ
ＳＥ，適正範囲以下であれば露光促進信号ＯＰＥＮを排
出タイミング設定回路（１６〉に与える．そして、排出
タイミング設定回路（１６）は、露光抑制信号ＣＬＯＳ
Ｅ及び露光促進信号ＯＰＥＮに従って露光期間を伸縮制
御する． 第２図は第１図の動作を示すタイミング図である． 読出タイミング信号ＦＴは、垂直走査信号ＶＤのプラン
キング期間の所定のタイミングにタイミングパルス（ａ
）を有しており、このタイミングパルス（ａ）の入力で
読出クロック発生回路（１２〉は一画面分の光電荷を垂
直方向に転送するクロックパルス（ｂ）を発生する．排
出タイミング信号ＲＴは、垂直走査期間の特定のタイミ
ングにタイミングパルス（ｅ）を有しており、このタイ
ミングにそれまで蓄積した光電荷が排出される．このタ
イミングパルス（Ｃ）の発生するタイミングは、露光量
判定回路（１７〉からの露光抑制信号ＣＬＯＳＥで遅ら
せられ、露光促進信号ＯＰＥＮで速められるように構成
されている．タイミングパルス（ｅ）が排出クロック発
生回路《１３）及び制御クロック発生回路（１４〉に入
力されると、水平走査信号ＨＤのプランキング期間に電
位制御クロックφ。ＦＤが立上り、一定期間（ここでは
水平走査信号ＨＤの２周期）の後同じくプランキング期
間に立下ると共に、電位制御クロックφ。，Ｄが立上っ
てから立下るまでの期間の水平走査信号ＨＤのプランキ
ング期間に逆方向転送クロックφ，がクロックパルス（
ｄ）を発生する．光電荷の排出期間中は、電位制御クロ
ックφ。。に依って才一バーフロードレインの電位が高
められてボテンシ勺ルが深く形成され、チケネル領域と
オーバーフロードレインとの間のボテンシケル障壁が消
滅された状態で、チケネル領域の光電荷が逆方向に転送
される．従って、ポテンシャル障壁が完全に消滅せずに
光電荷が残留するような領域があった場合、その残留電
荷が一定の区間を転送される間にポテンシケル障壁の消
滅した領域に入れば才一バーブロード，レインに排出さ
れる．この排出期間が終わってから、次に順方向転送ク
ロックφ，がクロックパルス（ｂ）を発生するまでの期
間が露光期間Ｅとして設定され、この期間Ｅで一画面分
の光電荷が蓄積される． 上述の如き駆動方法に依れば、逆方向転送クロックφ．
で転送される一定の区間内の一部でチャネル領域からオ
ーバーフロードレインに光電荷が排出されれば良いこと
から、ｃ Ｃ Ｄ （ｔＯ）の製造ばらつきに依って部
分的に光電荷の排出され難い領域があったとしても、こ
の領域に応じて電位制御く、駆動電圧を低下させること
が可能である．尚、本実施例に於いては、光電荷の排出
タイミングをＣ Ｏ Ｄ （１Ｇ）の露光量に対応させ
た（自動露制御）場合を例示しているが、本発明駆動方
法を用いて可変速電子シャッタを実現することもできる
．この場合には、排出タイミングを手動で設定すること
に依り、所定のシャッタ速度の静止画を得ることができ
る． （ト〉発明の効果 本発明に依れば、チヶネル領域に残留した光電荷を駆動
電圧を上げることなくオーバーフロードレインに排出す
ることができるため、光電荷を効率良く排出させること
ができ、露光期間の伸縮制御を容易に実現できる． また、駆動電圧を低くすることが可能なため、駆動クロ
ックを発生する回路を容易に構成することができ、コス
トの低下が望める．
第１図は本発明駆動方法を用いた撮像装置のブロック図
、第２図は第１図の動作タイミング図、第３図はＣＣＤ
固体撮像素子の要部平面図、第４図は第３図の断面図、
第５図はＣＣＤ固体撮像素子内のボテンシ勺ル図である
．
、第２図は第１図の動作タイミング図、第３図はＣＣＤ
固体撮像素子の要部平面図、第４図は第３図の断面図、
第５図はＣＣＤ固体撮像素子内のボテンシ勺ル図である
．
Claims (2)
- （１）光電変換に依り発生する光電荷を蓄積転送する複
数のチャネル領域がチャネルストップ領域で互いに分離
されて配列形成され、上記チャネルストップ領域内に設
けられたオーバーフロードレインに上記チャネル領域中
の過剰な光電荷を受けるＣＣＤ固体撮像素子の駆動方法
に於いて、上記チャネル領域と上記オーバーフロードレ
インとの間に電位障壁を形成しうる上記オーバーフロー
ドレインの電位に対し、 上記オーバーフロードレインを高電位として上記電位障
壁を消滅させると共に、 上記チャネル領域上に設けられた転送電極をパルス駆動
することで上記チャネル領域中の光電荷を転送駆動して
、 上記光電荷を上記チャネル領域から上記オーバーフロー
ドレインに排出せしめることを特徴とする固体撮像素子
の駆動方法。 - （２）請求項第１項記載の固体撮像素子の駆動方法に於
いて、 水平及び垂直方向に走査される上記固体撮像素子の垂直
走査期間中、 第１の期間に上記チャネル領域中の光電荷を上記オーバ
ーフロードレインに排出せしめた後、残余の第２の期間
に上記チャネル領域に光電荷を蓄積し、 この第２の期間に得た光電荷を一画面の映像情報として
出力することを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1157369A JPH0777434B2 (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 固体撮像素子の駆動方法 |
| KR1019900008215A KR100276971B1 (ko) | 1989-06-20 | 1990-06-01 | 고체촬상소자의 구동방법 |
| US07/534,236 US5057926A (en) | 1989-06-20 | 1990-06-07 | Driving method for discharging overflow charges in a solid state imaging device |
| EP90111128A EP0403939B1 (en) | 1989-06-20 | 1990-06-12 | Method of driving a solid state imaging device |
| DE69025651T DE69025651T2 (de) | 1989-06-20 | 1990-06-12 | Ansteuerverfahren eines Festkörper-Bildaufnehmers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1157369A JPH0777434B2 (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 固体撮像素子の駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0322768A true JPH0322768A (ja) | 1991-01-31 |
| JPH0777434B2 JPH0777434B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=15648149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1157369A Expired - Lifetime JPH0777434B2 (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 固体撮像素子の駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777434B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5515103A (en) * | 1993-09-30 | 1996-05-07 | Sanyo Electric Co. | Image signal processing apparatus integrated on single semiconductor substrate |
| US6618085B2 (en) | 1996-11-27 | 2003-09-09 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Image pickup apparatus for controlling the discharge of information charges in the image pickup apparatus |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6362480A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-18 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
| JPS6365668A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-24 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP1157369A patent/JPH0777434B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6362480A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-18 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
| JPS6365668A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-24 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5515103A (en) * | 1993-09-30 | 1996-05-07 | Sanyo Electric Co. | Image signal processing apparatus integrated on single semiconductor substrate |
| US6618085B2 (en) | 1996-11-27 | 2003-09-09 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Image pickup apparatus for controlling the discharge of information charges in the image pickup apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0777434B2 (ja) | 1995-08-16 |
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