JPH03228567A - 薄膜磁気ヘッドのコアスライダーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の利用分野］ 本発明は、薄膜磁気ヘッドのコアスライダーの製造方法
に係り、特に薄膜磁気ヘッドのコアスライダーを精密位
置決めして歩留りを向上することができる薄膜磁気ヘッ
ドのコアスライダーの製造方法に関する。

［従来の技術］ 一般に薄膜磁気ヘッドのコアスライダーは、ウェハー上
に薄膜技術により多数形成された素子を長方形状のブロ
ックスライダーに切出し、このブロックスライダーを加
工用高精度治具にワックスにより仮止めした状態で、研
削、溝加工及びラッピング加工を行なうことにより製造
される。

従来技術による該ブロックスライダーの仮止めは、ホッ
トメルト形ワックスを加熱によって溶解した状態で人手
作業により位置決めを行なった後に、長時間の除冷を行
なうことにより歪の極力少ない固定が行なわれていた。

尚、この薄膜磁気ヘッドのコアスライダー製造方法に関
連する技術としては、例えば特開昭６３１９１３０９号
公報記載のものか挙げられる。

［発明が解決しようとする課題］ 前記従来技術による薄膜磁気ヘットのコアスライダーの
製造方法は、ワックスを溶解温度である１２０’Ｃ程度
に保って人手作業による位置決めを行なうため安全性に
欠けると共に、人手作業のためにブロックスライダーの
接着位置決め精度、ワックスの塗布厚さ、接着強度等に
バラツキが発生して歩留りが悪いと言う課題を招いてい
た。

また従来の製造方法は、人手作業によって接着強度確保
のために、治具及びブロックスライダーに余分にワック
スを付着する傾向にあり、このためブロックスライダー
の端部から余剰ワックスを除去する行程か余分に必要で
あると言う不具合をも招いていた。尚、従来技術におい
て位置決め仮固定を自動化できなかったのは、前記仮固
定用ワックスの冷却を歪発生防止のために自然冷却して
いたため、位置決め後の共通治具及びブロックスライダ
ーを移動することが困難なためであった。

本発明の目的は、前述の従来技術の課題を解決すること
であり、共通治具に精密位置決めしたブロックスライダ
ーを仮固定して移動可能にしたことにより、製造装置を
自動化して歩留りを向上した薄膜磁気ヘットのコアスラ
イダーの製造方法を提供することである。

［課題を解決するための手段］ 前記目的を達成するために本発明による薄膜磁気ヘット
のコアスライダーの製造方法は、溶解温度に加熱したワ
ックスを共通治具に所定量塗布する塗布行程と、前記ワ
ックスを塗布した共通治具に溶解温度状態でブロックス
ライダーを搭載する移載行程と、前記溶解温度状態で共
通治具及びブロックスライダーの相対位置決めを行なう
位置決め行程と、前記位置決めか終了した共通治具及び
ブロックスライダー間のワックスを凝固温度以下に急速
冷却する急冷行程と、該急冷行程により除冷したワック
スを溶解温度まで加熱した後に自然冷却する再加熱除冷
行程とを含むことを第１の特徴とする。

更に本発明による薄膜磁気ヘットのコアスライダーの製
造方法は、溶解温度に加熱したワックスを共通治具に所
定量塗布する塗布行程と、前記ワックスを塗布した共通
治具に溶解温度下でブロックスライダーを搭載する移載
行程と、前記溶解温度状態で共通治具及びブロックスラ
イダーの相対位置決めを行なう位置決め行程と、前記位
置決めか終了した共通治具及びブロックスライダー間の
ワックスを凝固温度以下に急速冷却する急冷行程とによ
り、ブロックスライダーを共通治具上に仮固定すること
を第２の特徴とする。

［作用］ 前記第１の特徴とする薄膜磁気ヘットのコアスライダー
の製造方法は、位置決め行程により溶解した状態で共通
治具及びブロックスライダーの相対位置決めを行った後
に急冷行程により急速冷却を行なって移動可能にしたこ
とにより、製造を自動化でき歩留りを向上することかで
きる。またこの発明は急冷行程により急速冷却を行なっ
た後に、再び再加熱除冷行程によって再加熱乃至自然冷
却することにより、ワックスの歪を極力少なくすること
ができる。

前記第２の特徴とする薄膜磁気ヘッドのコアスライダー
の製造方法は、前記塗布行程、移載行程位置決め行程及
び急冷行程とによって前述の再加熱除冷行程を行なうこ
となしにブロックスライダーを共通治具上に仮固定する
ことにより、より少ない行程でワックス歪発生を防止し
たブロックスライダーを製造することができる。

［実施例］ 以下、本発明による薄膜磁気ヘッドのコアスライダーの
製造方法の一実施例を図面を用いて詳細に説明する。

第１図は本実施例による薄膜磁気ヘッドのコアスライダ
ーの製造方法の概略を説明するための図であり、第２図
は本方法を実現するための薄膜磁気ヘットのコアスライ
ダーの製造装置の全体を示す図であり、第３図は位置決
め急冷ＡＳＳＹ（アッセンブリー）部を説明するための
図である。

本実施例による製造方法は、第１図に示す如く、部品搭
載用に高精度に加工された共通治具２に、１２００Ｃ程
度に加熱して溶解したワックス３を塗布し、このワック
ス３に薄膜磁気ヘッド（以下、ＴＦＨと呼ぶ：Ｔｈ１ｎ
　　Ｆｉ　１ｍ　　Ｈｅａｄ）のブロックスライダー１
を精密位置決めして搭載し、強制冷却により前記ワック
ス３を固化して前記スライダー１を仮固定する。この仮
固定により移動自在にしたブロックスライダー１を所定
の独立形炉等に移送し、溶解温度まで加熱乃至自然冷却
した後に、研削、溝加工、ラッピング加工、切断加工を
行なうことにより、ＴＦＨ用コアスライダー４を製造す
るものである。前記ワックス３は例えばホットメルト形
ワックスと呼ばれるもので１２０°Ｃで溶解し、冷却に
より７６℃で凝固を開始する特性のものである。

前記ワックスの接着状態は、前述の研削等の加工時の基
準になるため、接着歪による変形を防止する必要がある
。このため従来技術によるワックス３の冷却は長時間の
自然冷却により除冷していたが、本実施例においては前
述の様に溶解したワックス３を凝固温度以下に急速冷却
を行ない、この急冷によりブロックスライダー１を位置
ズレを起こさずに移動可能したことにより、製造装置を
自動化して歩留りを向上することができる。

尚、従来技術においてはワックスを自然冷却しなければ
ワックスに歪が生じて精密位置決めができないと言うの
が定説であったが、発明者らは実験の結果、溶解状態の
ワックスを凝固点（７６°Ｃ）以下の温度、例えば５０
℃に急速冷却しても許容範囲内の歪に納ることを発見し
、本発明に至ったものである。

さて本実施例においては、この薄膜磁気ヘッドのコアス
ライダーの製造方法を第２図乃至第３図に示す製造装置
によって実現するものである。

第２図に示す薄膜磁気ヘッドのコアスライダーの製造装
置は、ブロックスライダー１及び共通治具２を加熱搬送
パレット９に搭載して搬送するコンベア部１０と、ワッ
クス３を加熱状態（約１２０’Ｃ）で溶解しているワッ
クス溶解部５と、該溶解部５から溶解したワックス３を
スタンパ−１１により取り出して共通治具２の表面にス
タンプするワックススタンプ部６と、前記コンベア部１
０により搬送されたブロックスライダー１及び共通治具
２を移載スクラブハンド１２によって後述する位置決め
冷却ＡＳＳＹ部８に移動する移載スクラブＡＳＳＹ部７
と、該ＡＳＳＹ部７により移動されたブロックスライダ
ー１及び共通治具２を精密位置決めした後に、急冷を行
なう位置決め冷却ＡＳＳＹ部８と、これら各機構を制御
する制御回路１００とから構成されている。

前記加熱搬送パレット９は、ブロックスライダー１及び
共通治具２を搭載する部分のみ加熱され、後述する接着
後の完成品を搭載する部分は加熱しない様に構成されて
いる。また移載スクラブＡＳＳＹ部７は、スクラブハン
ド１２によって位置決め冷却ＡＳＳＹ部８の位置決めベ
ース１６上に共通治具２を移載し、次いで該共通治具２
上にブロックスライダー１を載せる様に動作すると共に
、冷却後のスライダー１及び共通治具２を再び加熱搬送
パレット９上の非加熱部分に戻す様に動作するものであ
る。

前記位置決め急冷ＡＳＳＹ部８は、第３図に示す如く、
共通治具２及びブロックスライダー１の基準位置となる
位置決め基準部１４と、該基準部１４に共通治具２及び
ブロックスライダー１を押し当てることによりこれらを
基準位置に精密位置決めする共通治具クランプ部１３と
、該クランブ部１３により保持された共通治具２及びブ
ロックスライダー１に冷気を吹き付けることによりこれ
らを冷却する急冷ノズル１５と、これら機構を保持する
位置決め台１７と、該位置決め台１７の下面にエアシリ
ンダー１９により上下方向に昇降可能に配置された加熱
ヒータ１８とを備えている。

従ってこのＡＳＳＹ部８は、共通治具２に搭載し。

たブロックスライダー１の精密位置決め及び冷気による
仮固定を行なうものである。

さて、この様に構成された薄膜磁気ヘットのコアスライ
ダーの製造装置は、以下の様に動作する。

ます、薄膜磁気ヘッド用のウェハから長方形状に切出さ
れたブロックスライダー１及び共通治具２を、加熱搬送
パレット部９によりワックス溶解温度まで加熱した状態
でコンベア部１０によってワックススタンプ部６に移動
する。ワックススタンプ部６は、スタンバ−１１により
ワックス溶解部５からワックスを所定量だけ取り出して
共通冶具２上にスタンプ塗布する。

次に本装置は、ブロックスライダー１及び共通治具２を
加熱搬送パレット部９により加熱した状態でコンベア部
１０により移載スクラブＡ、　Ｓ　Ｓ　Ｙ部７まで移動
する。この移載スクラブＡＳＳＹ部７は、第３図に示す
様に移載スクラブハンド１２によりワックス３か塗布さ
れた共通治具２をチャックして位置決め急冷ＡＳＳＹ部
８の位置決めベース１６上に移動し、次いでブロックス
ライダー１を該共通治具２上に載せる。このとき急冷Ａ
ＳＳＹ部８の加熱ヒーター１８かエアーシリンダー１９
により上方向に移動して位置決めベース１６を加熱して
るため、共通治具２上のワックス３は溶解状態を保って
いる。

更に該急冷ＡＳＳＹ部８は、共通治具クランプ部１３を
図面右方向に移動してブロックスライダー１及び共通治
具２を位置決め基準部１４に押し当て前後左右に摺合せ
を行なうことによって、該スライダー１及び共通治具２
の精密位置決めを行なう。この後前記ＡＳＳＹ部８は、
前記加熱ヒーター１８をエアシリンダー１９の駆動によ
り下降させて共通治具２他への加熱を停止し、且つ急冷
用ノズル１５から冷気を噴射してワックス３の急冷動作
を行なう。このワックス３は７６°Ｃ近傍て凝固を開始
し約５０°Ｃまて冷却される。従ってワックス３が急冷
により固化することにより、ブロックスライダータ１を
位置スレを起こすことなく移送することができる。

この後、共通治具２等は前記急冷ＡＳＳＹ部８の共通治
具クランプ部１３によるクランプを解除され、移載スク
ラブＡＳ　ＳＹ部７の移動スクラブハント１２にチャッ
クされて加熱パレット９上の非加熱部分に搭載されてコ
ンベア１０の駆動により次行程に移送される。次行程で
は図示していないか、独立形炉等によってワックスを再
溶解温度（１２０’Ｃ）まで加熱し、所定時間自然冷却
により除冷し、７６°Ｃで凝固して所定の正向に納る様
に固着を行なう。尚、これら一連の動作は前記制御部１
００によって制御される。

この様に本実施例による薄膜磁気ヘットのコアスライダ
ーの製造方法は、位置決め急冷ＡＳ　ＳＹ部８上で共通
治具クランプ部１３及び位置決め基準部１４によりブロ
ックスライダー１及び共通冶具２の精密位置決めを行な
ってからワックス３を急冷用ノズル１６からの冷気噴射
によって凝固温度以下に急速冷却して仮り固定を行い、
更にワックス３の溶解温度までの再加熱乃至自然冷却を
行なうことにより、ワックス３の凝固時の歪を防止して
ブロックスライダー１を共通治具２に高精度位置決めす
ることができる。従って本コアスライダーの製造方法は
、従来の人手作業に比較して安全性を向上し、且つ過剰
ワックス塗布を防止することができ、ひいては磁気ヘッ
ド製造の歩留りを向上することかできる。

尚、本実施例においては急冷したワックスを再加熱及び
自然冷却してブロックスライダーを仮固定する例を説明
したが、この再加熱を行なわずに凝固温度以下（約５０
℃）に急冷してから自然冷却することによっても歪を減
少した仮固定を行なうことができる。

［発明の効果］ 以上述べた如く本発明の第１の特徴による薄膜磁気ヘッ
ドのコアスライダーの製造方法は、溶解したワックスを
急冷して仮固定することにより、移動搬送自在にして自
動化を可能にし、高温環境下での安全性向上及び歩留り
向上を図ることができる。

また本発明の第２の特徴による薄膜磁気ヘッドのコアス
ライダーの製造方法は、前記塗布行程。

移載行程位置決め行程及び急冷行程とによって前述の再
加熱除冷行程を行なうことなしにブロックスライダーを
共通治具上に仮固定することにより、より少ない行程で
ワックス歪発生を防止したブロックスライダーを製造す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による薄膜磁気ヘットのコア
スライダーの製造方法の原理を説明するための図、第２
図は本実施例による薄膜磁気ヘッドのコアスライダーの
製造方法を実現する製造装置の全体を示す図、第３図は
本実施例による位置決め冷却ＡＳＳＹ部を説明するため
の図である。 １ニブロツクスライダー、２：共通治具、３：ワックス
、４：ＴＦＨ用コアスライダー５：ワックス溶解部、６
：ワックススタンプ部、７：移載スクラブＡＳＳＹ部、 ８：位置決め冷却ＡＳＳＹ部、 ９：加熱搬送パレット部、 １０：コンベア部、１１ニスタンパ− １２：移動スクラブハンド、 １３：共通治具クランプ部、 １４：位置決め基準部、１５：急冷用ノズル、１６：位
置決めベース、 １７：位置決め台、１８：加熱ヒーター１９：エアーシ
リンダー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）共通治具上にブロックスライダーをワックスによ
   り仮固定した状態でブロックスライダーの加工を行なう
   薄膜磁気ヘッドのコアスライダーの製造方法において、
   溶解温度に加熱したワックスを共通治具に所定量塗布す
   る塗布行程と、前記溶解温度状態でワックスを塗布した
   共通治具にブロックスライダーを搭載する移載行程と、
   前記溶解温度状態で共通治具及びブロックスライダーの
   相対位置決めを行なう位置決め行程と、前記位置決めが
   終了した共通治具及びブロックスライダー間のワックス
   を凝固温度以下に急速冷却する急冷行程と、該急冷行程
   により除冷したワックスを溶解温度まで加熱した後に自
   然冷却する再加熱除冷行程とを含むことを特徴とする薄
   膜磁気ヘッドのコアスライダーの製造方法。（２）共通
   治具上にブロックスライダーをワックスにより仮固定し
   た状態でブロックスライダーの加工を行なう薄膜磁気ヘ
   ッドのコアスライダーの製造方法において、溶解温度に
   加熱したワックスを共通治具に所定量塗布する塗布行程
   と、前記ワックスを塗布した共通治具に溶解温度状態で
   ブロックスライダーを搭載する移載行程と、前記溶解温
   度状態で共通治具及びブロックスライダーの相対位置決
   めを行なう位置決め行程と、前記位置決めが終了した共
   通治具及びブロックスライダー間のワックスを凝固温度
   以下に急速冷却する急冷行程とにより、ブロックスライ
   ダーを共通治具上に仮固定することを特徴とする薄膜磁
   気ヘッドのコアスライダーの製造方法。