JPH0322906Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、電子ビーム描画装置等に用いられる
角形平板状の試料片収納器具の改良に関する。

従来、電子ビーム描画装置の被描画体として用
いられるガラス板や半導体ウエハなどの試料片
は、第１図に示す如く、試料片収納器具１によつ
て固定された状態で電子ビームの描画が施されて
いる。この試料片収納器具１は、電子ビームを照
射するための窓２を上部に開口し、試料片３を挿
入するための挿入口４を下部に開口した収納基体
５と、挿入口４から挿入された試料片３を前記窓
２の枠部７の下面７ａで固定すると共に、試料片
３の裏面側にばね８を介して押圧板９を設け、押
圧板９を収納基体５の下部に形成したガイド溝１
０に挿入して固定するようにした構造を有してい
る。

このように構成された試料片収納器具１は上部
に窓２を開口し、下部に挿入口４を開口した枠型
をなすため、加工手段は切削法に限られ手間を用
する。また、強度が小さいために、ねじれを生じ
易く、しかも、使用の際は、試料片３を収納した
試料片収納器具１を同図に示す如く、電子ビーム
描画装置のデーブル等の所定の固定部１１上に載
置するが、この固定部１１への取付基準面となる
収納基体５の下面５ａと試料片３の取付基準面と
なる前記枠部７の下面７ａとの間の寸法L₁の加
工精度を高くすることは、加工技術上極めて難し
いため、試料片３の表面の高さ位置を高い精度で
設定することができない。その結果、電子ビーム
を照射する電子銃と試料片３との距離が所定の値
に定まらず、描画精度が著しく低下する欠点があ
つた。

本考案は、かかる点に鑑みてなされたもので、
加工が容易で強度が高く、しかも試料片を高い位
置決め精度で固定することができる角形平板状の
試料片の収納器具を提供するものである。

以下、本考案の実施例によつて図面を参照して
説明する。

第２図Ａは、本考案の一実施例の平面図であ
り、同図Ｂは、同実施例のＢ−Ｂ線に沿う断面図
である。図中２０は、略皿型の収納基体である。
収納基体２０の上部に形成された開口部２１は、
例えば正方形のガラス板などからなる試料片２２
が実線で示すセツト位置にあるときこれより若干
大きくなるように定められているセツト領域２１
ａと、このセツト領域２１ａの四隅部を外部に延
出して試料片２２を２点鎖線で示すように角度α
だけ回転できるようにした延出領域２１ｂとで形
成されている。つまり、開口部２１の形状は、試
料片２２が実線で示す位置とこれに対し所定角度
αだけ回転した２点鎖線で示す位置との両者を重
ね合せた形状より若干大きな形状になつている。
収納基体２０の底部２４には、ばね取付穴２５が
形成されている。底部２４上には、ばね取付穴２
５に係合されたばね２５ａに支持されてクランプ
板２６が設けられている。クランプ板２６は、そ
の上面で試料片２２の下面を保持するようになつ
ている。また、底部２４の三隅のセツト領域２１
ａの端部に相当する位置には、開口部２１から嵌
入されて所定角度αだけ回転してセツト位置に置
かれた試料片２２の第２図において左辺の両端部
とこれに直角な下辺の右端部とをそれぞれ受止め
るための基準ピン２７が立設されている。開口縁
部２３のセツト領域２１ａ上には、回転されてセ
ツト位置に置かれた試料片２２の上面を押える押
え部材２８が開口部２１に延出して取付けられて
いる。また、底部２４の両側には、ばね２５ａに
よつて押し上げられるように支持されたクランプ
板２６をばね２５ａの弾性力に抗して所定位置ま
で押し下げた状態で固定するリセツト機構２９が
設けられている。リセツト機構２９は、同図Ｃに
示す如く、クランプ板２６の側面に沿つて出入す
る押え棒２９ａを出入自在に挿入した押えブロツ
ク２９ｂを、押え用突起２６ａが形成されたクラ
ンプ板２６の側面に近接するようにして固定ねじ
２９ｃで底部２４上に固定したものである。リセ
ツト機構２９は、クランプ板２６の両側に設けた
別の突起２６ｂを底部２４方向に押し下げ、この
押し下げられた状態で押えブロツク２９ｂから押
え棒２９ａをクランプ板２６の押え用突起２６ａ
上に押し出して、押え用突起２６ａの上昇を阻止
することにより、ばね２５ａによつてクランプ板
２６が浮上するのを防止するようになつている。
なお、第２図Ａ，Ｃにおいて、３０は試料片２２
の把持具であり、前記のようにクランプ板２６を
下降させた状態で該把持具３０により試料片２２
を開口部２１内に対して出入させるものである。

試料片２２のセツトは、次のように行なう。把
持具３０によつて２点鎖線で示すように斜めに開
口部２１内に置かれた試料片２２を把持具３０ま
たは別のピンセツト等により、試料片２２の第２
図Ａにおいて上辺と下辺が左上と右下の基準ピン
２７に接するように回転させ、次いで試料片２２
を右へ移動させると、開口部２１は試料片２２よ
り若干大きく形成されているため、試料片２２の
上辺は左上の基準ピン２７から外れて右側へ移動
する。次に、試料片２２の左側を第２図Ａにおい
て上方へ移動させ、左辺を左側の２本の基準ピン
２７，２７に押付けると同時に下辺を右下の基準
ピン２７に押付け、この状態を保つたまま、押え
棒２９ａを引込めてクランプ板２６をばね２５ａ
によつて上昇させる。これにより試料片２２は押
え部材２８の下面に押圧されて収納基体２０にセ
ツトされる。このセツト状態から試料片２２を取
出す場合は、前記と逆の操作による。

このように構成された試料片収納器具は、上部
に直接試料片２２を嵌入できるように開口されて
おり、下方は底部２４で塞がれた構造になつてい
るので、極めて高い強度を有し、容易にねじれた
り、反つたりすることはない。また、収納された
試料片２２は、開口縁部２３の上面に固定されて
いる押え部材２８の下面によつてその上面の位置
を規制される。この押え部材２８は、開口縁部２
３上に取付けられたものであり、その下面は、開
口縁部２３の上面と一致し、さらに該押え部材２
８の下面に押当てられる試料片２２の上面は該下
面に一致する。その結果前記開口縁部２３の上面
と試料片２２の上面を非常に正確に一致させるこ
とができ、この開口縁部２３の上面を電子ビーム
描画装置のテーブル等の固定部への取付基準面と
すれば、試料片収納器具内に収納された状態で固
定部に設けられた試料片２２の上面の高さ位置を
高い精度で所定位置に設定できる。なお、前記開
口縁部２３の上面でなく収納基体２０の下面２０
ａを固定部への取付基準面としても、収納基体２
０の単なる厚さ寸法は比較的高精度に加工できる
ため試料片２２の上面の高さ位置を比較的高い精
度で設定できる。

また、試料片２２の収納、固定操作は、収納基
体２０を裏返えすことなく、上方から行なえるた
め、容易に試料片２２を収納基体２０内に出入れ
でき、該収納器具を損傷することもない。

以上説明した如く、本考案に係る試料片収納器
具によれば、十分な強度が得られて角形平板状の
試料片をより正しい状態で保持できると共に、試
料片を高い位置決め精度で所定位置に固定でき、
しかも試料片の着脱が容易である等顕著な効果を
有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の試料片収納器具の断面図、第
２図Ａは、本考案の一実施例の平面図、同図Ｂ
は、同図ＡのＢ−Ｂ線に沿う断面図、同図Ｃは、
同図ＡのＣ−Ｃ線に沿う断面図である。 ２０……収納基体、２１……開口部、２２……
試料片、２３……開口縁部、２４……底部、２５
……ばね取付穴、２６……クランプ板、２７……
基準ピン、２８……押え部材、２９……リセツト
機構、２９ａ……押え棒、２９ｂ……押えブロツ
ク、２９ｃ……固定ねじ、３０……把持具。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 角形平板状の試料片がセツトされる領域及び該
   試料片をセツト位置に対して回転させるための延
   出領域とからなる開口部を有する収納基体と、該
   収納基体のセツト領域の開口縁部上に前記開口部
   に延出して取付けられた押え部材と、前記収納基
   体の底部に弾性部材を介して載置されたクランプ
   板と、前記開口縁部の三隅の前記セツト領域の端
   部に相当する位置の開口部内にそれぞれ位置して
   前記試料片の一辺の両端部および該一辺と直角な
   辺の前記一辺から離れた側の端部にそれぞれ当接
   可能に設けられた基準ピンとを具備することを特
   徴とする試料片収納器具。