JPH0412412Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 この考案は電子ビーム測長機等における試料ホ
ルダ、特に板状の試料を同心位置に位置決めする
ための試料ホルダに関するものである。

〔従来技術〕 電子ビーム測長機は、電子線を一定方向に走査
して２次電子の変化からウエハやマスク等の板状
の試料上のICパターンの微小線幅などの距離を
測定する装置であり、試料上の複数の基準マーク
のXY座標を正確に測定し、その値からウエハの
各パターンの位置を正確に決めるようになつてい
る。ところでシリコンウエハ等の試料の基準マー
クは同心にうたれているので、試料を同心にセツ
トすることにより基準マークの位置のずれを小さ
くし、制御回路による補正を簡単にし、自動測定
を可能にしている。このため従来は試料の種類ご
とに試料ホルダを必要とし、多種類の試料を処理
する場合にはその交換が煩雑であるという問題点
があつた。

〔考案の目的〕

この考案は、上記の問題点を解決するためのも
ので、ピニオンに井桁状にかみ合う４本のラツク
のうち３本に中心から同距離の位置に試料保持部
を設けるとともに、他の１本に試料の回転規制部
を設けることにより、１つの試料ホルダで、形状
および大きさの異なる多種類の試料に共用可能な
電子ビーム測長機等の試料ホルダを提供すること
を目的としている。

〔考案の構成〕

この考案は、ベースに設けられたピニオンと、
このピニオンに井桁状にかみ合う４本のラツク
と、このラツクのうち３本に、中心から同距離の
位置を移動して三方から試料を保持するように設
けられた保持部と、他の１本のラツクに設けられ
た試料の回転規制部とを備えたことを特徴とする
電子ビーム測長機等の試料ホルダである。

〔考案の実施例〕

以下、この考案を図面の実施例により説明す
る。第１図ないし第７図はこの考案の一実施例を
示し、第１図は試料ホルダの平面図、第２図はＡ
−Ａ断面図、第３図はＢ−Ｂ断面図、第４図はＣ
−Ｃ断面図、第５図はラツクの平面図、第６図お
よび第７図は試料取付状態の平面図である。

図面において、１はケーシング状のベースで、
センターピース１ａから十字状に伸びる下部ケー
ス１ｂの上部を方形状の上蓋１ｃが覆つた構造と
なつている。ベース１にはセンターピース１ａを
はさんで、下部ケース１ｂ内に平行な２つの挿通
路２ａ，２ｂおよびこれらと交差する方向に他の
平行な挿通路２ｃ，２ｄが設けられており、これ
らの一方の端部に対応して、上蓋１ｃに開口部３
ａ〜３ｄが設けられている。またベース１の中心
にはピニオン４が軸受５を介してセンターピース
１ａに回転可能に取付けられている。

挿通路２ａ〜２ｄにはラツク６ａ〜６ｄが往復
動可能に挿通され、ラツク６ａ，６ｂが上側、ラ
ツク６ｃ，６ｄが下側に配置されて井桁状に交差
し、それぞれの一端部がピニオン４にかみ合い、
他端部が放射状に伸びている。ラツク６ａ〜６ｄ
の放射状に伸びる一方の先端部には、ピニオン４
との係合点から同距離に設けられたねじ７ａ〜７
ｄによりホルダ８ａ〜８ｄが取付けられ、ホルダ
８ａ〜８ｃにはチヤツクピン９ａ〜９ｃが取付け
られ、それぞれ中心から同距離の位置を移動する
ように配置されている。ホルダ８ｄには規制板１
０がピン１１によつて取付けられ、スプリングプ
レツシヤ１２によつて中心方向に押圧されてい
る。

下部ケース１ｂに設けられたピン１３およびラ
ツク６ｄに設けられたピン１４間にはスプリング
テンシヨン１５が引張方向に設けられ、ラツク６
ａ〜６ｄに取付けられたホルダ８ａ〜８ｄが中心
方向に向うように付勢されている。スプリングテ
ンシヨン１５はスプリングプレツシヤ１２の押圧
力よりも大きい引張力を付与されている。１６は
ねじ１７によりベース１上に取付けられたスペー
サ、１８は試料である。

以上のように構成された試料ホルダにおいて
は、ラツク６ａ〜６ｄはピニオン４にかみ合つて
いるので、ピニオン４の回転によりそれぞれ放射
方向に同距離の往復動を行う。そしてねじ７ａ〜
７ｄはピニオン４との係合点から同距離となつて
いるので、チヤツクピン９ａ〜９ｃには中心から
同距離の位置を移動し、また規制板１０もほぼ同
様の位置で移動する。そしてラツク６ｄのピン１
４はスプリングテンシヨン１５によつて引かれて
いるので、全てのラツク６ａ〜６ｄが中心側に付
勢されている。

上記試料ホルダに試料１８を装着するには、大
気中において試料ホルダを治具に載せ、押え棒に
よつてラツク６ａ〜６ｄのどれかを押圧してチヤ
ツクピン９ａ〜９ｃおよび規制板１０を外側へ拡
げた後、試料１８をスペーサ１６上に載せ、押え
棒による押圧を解除すると、スプリングテンシヨ
ン１５によりラツク６ｄが引張られてピニオン４
が回転し、他のラツク６ａ〜６ｃも中心方向に移
動してチヤツクピン９ａ〜９ｃが試料１８を三方
から保持し、この状態で規制板１０がスプリング
プレツシヤ１２によつて試料１８を他の一方から
押圧し、回転を規制する。

第６図は角形の試料１８を保持する場合を示
し、この場合は試料１８の三方の辺をチヤツクピ
ン９ａ〜９ｃでつかみ、他の一辺を規制板１０で
押圧するようになる。また第７図は円形の試料１
８の場合を示し、この場合は円周部分をチヤツク
ピン９ａ〜９ｃでつかみ、オリエンテーシヨンフ
ラツト部分１９を規制板１０で押圧して回転を規
制する。

以上のようにして保持された試料１８は外形寸
法の誤差にかかわらず、常に同心位置にセツトさ
れる。また試料１８の形状、大きさが変つても、
チヤツクピン９ａ〜９ｃおよび規制板１０は常に
中心方向に付勢されているため、多種類の試料に
共用可能である。試料１８の厚さが異なる場合に
は試料１８の上面を一定位置に位置決めするため
に、スペーサ１６を交換して試料１８を取付け
る。

第８図は他の実施例におけるチヤツクの正面
図、第９図はその側面図である。チヤツク２０は
チヤツクピン９ａ〜９ｃに代えて使用されるもの
で、上部平面２１およびこれに連なる斜面２２か
らなる切欠２３が形成されており、試料１８はこ
の切欠２３に挿入され、斜面２２に沿つて押上げ
られて、上部平面２１に当接し、試料１８の上面
が位置決めされる。こうしてスペーサ１６がなく
ても試料１８の上面を定位置に位置決めすること
ができる。

なお、上記の説明では保持部としてチヤツクピ
ン９ａ〜９ｃおよびチヤツク２０を例示したが、
他の保持機構でもよい。また回転規制部として規
制板１０を例示したが、他の類似の機構であつて
もよい。さらにラツクが４本の場合について説明
したが、この数は最低の場合を示し、試料１８の
形状によつてはさらに多くてもよい。この場合、
保持部が取付けられるラツクの数は最低３個、回
転規制部の取付けられるラツクの数は最低１個と
する必要がある。ベース１の構造およびピニオン
４の取付手段は図示のものに限定されない。

本考案は電子ビーム測長機の試料ホルダに適し
ているが、同様の目的で板状試料を同心位置また
は定位置に位置決めする他の装置の試料ホルダに
も適用可能である。

〔考案の効果〕

この考案によれば、ピニオンに井桁状にかみ合
う４本のラツクのうち３本に中心から同距離の位
置に試料保持部を設けるとともに、他の１本に試
料の回転規制部を設けるようにしたので、１つの
試料ホルダで形状および大きさの異なる多種類の
試料に共用可能であり、簡単な操作で試料の装
着、交換ができ、外形に誤差のある試料でも同心
位置に位置決めできるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図はこの考案の一実施例を示
し、第１図は試料ホルダの平面図、第２図はＡ−
Ａ断面図、第３図はＢ−Ｂ断面図、第４図はＣ−
Ｃ断面図、第５図はラツクの平面図、第６図およ
び第７図は試料取付状態の平面図、第８図は他の
実施例におけるチヤツクの正面図、第９図はその
側面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１はベース、２ａ〜２ｄは挿通路、４はピニ
オン、６ａ〜６ｄはラツク、８ａ〜８ｄはホル
ダ、９ａ〜９ｃはチヤツクピン、１０は規制板、
１２はスプリングプレツシヤ、１５はスプリング
テンシヨン、１６はスペーサ、１８は試料、２０
はチヤツクである。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ベースに設けられたピニオンと、このピニオ
   ンに井桁状にかみ合う４本のラツクと、このラ
   ツクのうち３本に、中心から同距離の位置を移
   動して三方から試料を保持するように設けられ
   た保持部と、他の１本のラツクに設けられた試
   料の回転規制部とを備えたことを特徴とする電
   子ビーム測長機等の試料ホルダ。 (2) 保持部がチヤツクピンである実用新案登録請
   求の範囲第１項記載の電子ビーム測長機等の試
   料ホルダ。 (3) 保持部が試料の上面を規制するチヤツクであ
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載の電子ビ
   ーム測長機等の試料ホルダ。 (4) 回転規制部がスプリングプレツシヤにより押
   圧される規制板である実用新案登録請求の範囲
   第１項ないし第３項のいずれかに記載の電子ビ
   ーム測長機等の試料ホルダ。 (5) 試料がスペーサを介して取付けられるように
   された実用新案登録請求の範囲第１項ないし第
   ４項のいずれかに記載の電子ビーム測長機等の
   試料ホルダ。